CN116960037A - 基板搬运车及基板搬运方法 - Google Patents

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CN116960037A CN202211448610.9A CN202211448610A CN116960037A CN 116960037 A CN116960037 A CN 116960037A CN 202211448610 A CN202211448610 A CN 202211448610A CN 116960037 A CN116960037 A CN 116960037A
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moving
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Abstract

本发明涉及一种基板搬运车及基板搬运方法，根据本发明的一实施例的基板搬运车包括：第一驱动部；第二驱动部，与所述第一驱动部在第一移动方向上相隔；子驱动部，布置在第一驱动部与第二驱动部之间；传感部，计算所述第一驱动部或所述第二驱动部与所述子驱动部之间的与所述第一移动方向交叉的第二移动方向的距离；以及控制器，基于所述距离，使所述第一驱动部以及第二驱动部在第二移动方向上移动，其中，所述基板搬运车可以基于所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部中的至少两个而移动。

Description

基板搬运车及基板搬运方法
技术领域
本发明涉及一种可靠性得到提高的基板搬运车及基板搬运方法。
背景技术
正在开发使用于诸如电视、便携式电话、导航仪、计算机显示器或游戏机等之类的多媒体装置的各种显示装置。显示装置可以包括基板。
基板为了提供为显示装置而可以进行多个工序。基板可以装载在基板搬运车而移动，以便于在多个工序中进行保管以及搬运。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可靠性得到提高的基板搬运车及基板搬运方法。
根据本发明的一实施例的基板搬运车可以包括：第一驱动部；第二驱动部，与所述第一驱动部在第一移动方向上相隔；子驱动部，布置在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间；传感部，计算所述第一驱动部或所述第二驱动部与所述子驱动部之间的与所述第一移动方向交叉的第二移动方向的距离；以及控制部，基于所述距离，使所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部中的至少一个在所述第二移动方向上移动，其中，所述基板搬运车可以基于所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部中的至少两个而移动。
还可以包括基板装载盒，所述基板装载盒用于装载基板，并且布置在所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部上。
所述传感部可以测定基板的与地面的倾斜角度。
所述控制部可以基于所述倾斜角度控制所述第一驱动部或所述第二驱动部的移动。
所述子驱动部可以包括移动部和布置在所述移动部下方的轮部。
所述移动部可以使所述轮部在所述第一移动方向上移动。
所述轮部可以在所述第二方向上移动。
所述移动部可以将所述轮部布置在与沿着第二移动方向经过所述第一驱动部的中心点的第一虚拟线和沿着第二移动方向经过所述第二驱动部的中心点的第二虚拟线之间的与所述第一虚拟线和所述第二虚拟线垂直的线段上的从所述第一虚拟线相距所述线段的长度的2/3的位置处或从所述第二虚拟线相距所述线段的长度的2/3的位置处对应的位置。
所述第一驱动部可以在所述第二移动方向上移动。
所述第二驱动部可以在所述第二移动方向上移动。
所述传感部可以包括陀螺仪传感器，并且所述距离可以基于所述基板搬运车所装载的基板与所述第一驱动部或所述第二驱动部及所述子驱动部相接的地面的角度来计算。
所述传感部可以包括位移传感器，所述距离可以基于从所述传感部到所述第一驱动部或所述第二驱动部的与所述第二移动方向平行的方向的第一距离和从所述传感部到所述子驱动部的与所述第二移动方向平行的方向的第二距离而计算。
所述传感部可以从外部接收信号而向所述控制部提供进入信号，所述控制部可以控制所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部。
所述第一驱动部和所述第二驱动部在所述第二移动方向上能够移动的第一最大幅度可以小于所述子驱动部在所述第二移动方向上能够移动的第二最大幅度。
根据本发明的一实施例的基板搬运方法可以包括如下步骤：将基板搬运车与与第一空间不同的第二空间相邻地布置，所述基板搬运车布置在所述第一空间，且收容有基板，并且包括第一驱动部、与所述第一驱动部在第一移动方向上相隔的第二驱动部、布置在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间的子驱动部以及传感部；在与所述第一移动方向交叉的第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第二驱动部和所述子驱动部支撑所述基板；将所述第一驱动部布置在所述第二空间内；在所述第二方向上移动所述第一驱动部，以使所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部支撑所述基板；在所述第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部支撑所述基板；在所述第二空间内布置所述第一驱动部和所述子驱动部，并且所述子驱动部在所述第一移动方向上移动；在所述第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第一驱动部和所述子驱动部支撑所述基板；在所述第二空间内布置所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部；以及在所述第二移动方向上移动所述第一驱动部和所述子驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部支撑所述基板。
还可以包括所述传感部判断所述第一空间和第二空间的界线的步骤。
还可以包括所述传感部将所述第一空间的表面与所述基板之间的角度维持在-3°至3°的步骤。
所述子驱动部在所述第一移动方向上移动的步骤可以包括所述子驱动部移动至与沿着第二移动方向经过所述第一驱动部的中心点的第一虚拟线和沿着第二移动方向经过所述第二驱动部的中心点的第二虚拟线之间的与所述第一虚拟线和所述第二虚拟线垂直的线段上的从所述第一虚拟线相距所述线段的长度的2/3的位置处或从所述第二虚拟线相距所述线段的长度的2/3的位置处对应的位置的步骤。
所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部支撑所述基板的步骤可以包括在与所述第二移动方向平行的方向上对所述第二空间施加第一负荷的步骤。
在所述第二方向上移动所述子驱动部，以使所述第一驱动部以及所述子驱动部支撑所述基板的步骤可以包括使所述子驱动部移动第一幅度的步骤，在所述第二移动方向上移动所述第一子驱动部，以使所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部支撑所述基板的步骤可以包括使所述第一驱动部移动与所述第一幅度不同的第二幅度的步骤，并且所述第一幅度可以大于所述第二幅度。
如上所述，控制部能够控制被装载的基板的倾斜角度，并且能够防止对基板施加不必要的冲击。即，基板搬运车能够防止基板的损伤。因此能够提供可靠性得到提高的基板搬运车。
并且，如上所述，在本发明的基板搬运方法中，第一驱动部、子驱动部以及第二驱动部中的每一个可以逐步施加负荷。第一驱动部、子驱动部以及第二驱动部中的每一个可以防止因基板搬运车的瞬间碰撞而可能发生的冲击。可以防止有可能在基板发生的冲击。可以稳定地运输基板。因此，可以提供一种可靠性得到提高的基板搬运车及基板搬运方法。
附图说明
图1是根据本发明的一实施例的基板搬运车的侧面图。
图2a是根据本发明的一实施例的基板搬运车的侧面图。
图2b是根据本发明的一实施例的基板搬运车的侧面图。
图3a至图3i是示出根据本发明的一实施例的基板搬运方法的图。
图4a至图4h是示出根据本发明的一实施例的基板搬运方法的图。
附图标记说明：
AGV：基板搬运车 DV1：第一驱动部
SD：子驱动部 DV2：第二驱动部
SS：传感部 CC：控制部
具体实施方式
在本说明书中，当提到某一构成要素(或者区域、层、部分等)在另一构成要素“之上”、与另一构成要素“连接”或者“结合”时，其表示可以直接布置在另一构成要素上或者与另一构成要素直接连接/结合，或者在它们之间也可以布置有第三构成要素。
相同的附图标记指代相同的构成要素。并且，在附图中，构成要素的厚度、比率以及尺寸为了针对技术内容进行有效的说明而被夸大。“和/或者”包括相关的构成可以定义的一个以上的全部的组合。
第一、第二等术语可以用于说明多种构成要素，但所述构成要素不应被所述术语限定。所述术语仅用于将一个构成要素与另一构成要素进行区分的目的。例如，在不脱离本发明的权利范围的情况下，第一构成要素可以被命名为第二构成要素，相似地，第二构成要素也可以被命名为第一构成要素。单数的表述只要在语境中没有明确表示出不同含义，便包括复数的表述。
并且，“在……下方”、“在……下侧”、“在……上方”、“在……上侧”等术语用于说明附图中示出的构成要素的相关关系。所述术语为相对的概念，以附图中表示的方向为基准而被说明。
“包括”或者“具有”等术语应当被理解为旨在指定说明书中所记载的特征、数字、步骤、操作、构成要素、部件或者它们的组合的存在，而不是预先排除一个或者其以上的其他特征或者数字、步骤、操作、构成要素、部件或者其组合的存在或者附加的可能性。
只要没有被不同地定义，本说明书中所使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属技术领域的技术人员通常所理解的内容相同的含义。并且，与通常使用的词典中所定义的术语相同的术语应当被解释为具有与在相关技术的语境中的含义一致的含义，并且只要没有在此明示性地定义，则不应被解释为过于理想的或者过度的形式性的含义。
以下，将参照附图说明本发明的实施例。
图1是根据本发明的一实施例的基板搬运车的侧面图。
参照图1，基板SUB可以装载在基板搬运车AGV。基板搬运车AGV可以保管和/或搬运被装载的基板SUB。例如，基板搬运车AGV可以保护完成第一工序的基板SUB免受外部冲击，并将其安全地搬运至用于第二工序的场地。
基板SUB可以具有与由第一方向DR1和第二方向DR2定义的面平行的面。基板SUB的厚度方向可以由第三方向DR3指示。基板SUB的前表面(或上表面)和后表面(或下表面)可以被第三方向DR3区分。第三方向DR3可以是与第一方向DR1和第二方向DR2交叉的方向。例如，第一方向DR1、第二方向DR2以及第三方向DR3可以彼此正交。并且，在本说明书中，将由第一方向DR1和第二方向DR2定义的面定义为平面，“从平面上观察”可以定义为从第三方向DR3观察。
基板搬运车AGV可以包括第一驱动部DV1、第二驱动部DV2、子驱动部SD、传感部SS、控制部CC以及基板装载盒CH。
第一驱动部DV1可以旋转为使得基板搬运车AGV可以在预定的方向上移动。第一驱动部DV1可以在第三方向DR3上移动。第一驱动部DV1可以包括伺服电机。所述伺服电机可以使加减速变得容易，以使得第一驱动部DV1可以在第三方向DR3上移动。当第一驱动部DV1借由所述伺服电机移动时，能够减小外部的冲击。
第二驱动部DV2可以与第一驱动部DV1在第一方向DR1上相隔。第二驱动部DV2可以旋转为使得基板搬运车AGV可以在所述预定的方向上移动。第二驱动部DV2可以在第三方向DR3上移动。第二驱动部DV2可以包括伺服电机。所述伺服电机可以使加减速变得容易，以使得第二驱动部DV2可以在第三方向DR3上移动。当第二驱动部DV2借由所述伺服电机移动时，能够减少外部的冲击。
子驱动部SD可以布置在第一驱动部DV1与第二驱动部DV2之间。子驱动部SD可以包括移动部MV和轮部WH。移动部MV可以使轮部WH在第一方向DR1上移动。轮部WH可以旋转为使得基板搬运车AGV可以在所述预定的方向上移动。轮部WH可以借由移动部MV而在第一方向DR1上移动。轮部WH可以在第三方向DR3上移动。轮部WH可以包括伺服电机。所述伺服电机可以使加减速变得容易，以使得轮部WH可以在第三方向DR3上移动。当轮部WH借由所述伺服电机移动时，能够减少外部的冲击。
传感部SS可以计算第一驱动部DV1或第二驱动部DV2与子驱动部SD之间的在第三方向DR3上的距离。传感部SS可以包括陀螺仪传感器或位移传感器。
控制部CC可以基于由传感部SS测定的所述距离，使第一驱动部DV1或第二驱动部DV2在第三方向DR3上移动。对此将在后面描述。
基板搬运车AGV可以基于第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD中的至少两个而移动。
基板装载盒CH可以装载多个基板SUB。基板装载盒CH可以布置在第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD上。根据本发明的一实施例的基板装载盒CH在基板搬运车AGV不移送多个基板SUB时可以被省略。
图2a是根据本发明的一实施例的基板搬运车的侧面图。
参照图2a，传感部SS可以测定基板SUB的与地面SF1的倾斜角度SAG。控制部CC可以控制倾斜角度SAG在预定的范围内操作。例如，控制部CC可以控制倾斜角度SAG维持在-3°至3°。在根据本发明的一实施例的倾斜角度SAG小于-4°或大于4°的情况下，基板SUB可能在基板装载盒CH内因重力而移动。由此，基板SUB可能从基板装载盒CH分离，或者可能对易受振动影响的基板SUB施加冲击。然而，根据本发明，控制部CC可以控制倾斜角度SAG，并且能够防止对基板SUB施加不必要的冲击。即，基板搬运车AGV能够防止基板SUB的损伤。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV。
传感部SS可以包括第一传感器GS。第一传感器GS可以包括陀螺仪传感器。第一传感器GS可以基于第一传感器GS倾斜的程度测定斜率值AG。控制部CC可以基于斜率值AG和预先储存的第一驱动部DV1与轮部WH之间的距离AA而计算第一驱动部DV1或第二驱动部DV2与轮部WH之间的高度差DS1。
控制部CC可以基于高度差DS1控制倾斜角度SAG在所述预定的范围内操作。控制部CC可以调节第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD中的每一个的高度。控制部CC可以控制第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD中的每一个，以使得基板SUB与地面SF1平行。例如，倾斜角度SAG可以是接近于0°的值。斜率值AG实质上可以与倾斜角度SAG相同。
图2b是根据本发明的一实施例的基板搬运车的侧面图。当说明图2b时，对于通过图2a说明的构成要素将一并记载相同的附图标记，并省略对此的说明。
参照图2b，传感部SS可以包括第二传感器VS，第二传感器VS可以包括位移传感器。第二传感器VS可以测定从传感部SS到地面SF1的距离。控制部CC可以基于从布置有传感部SS的面SSF到第一驱动部DV1或第二驱动部DV2与地面SF1相接的点的距离BB1以及从所述面SSF到轮部WH与地面SF1相接的点的距离BB2来计算第一驱动部DV1或第二驱动部DV2与轮部WH之间的高度差DS2。
控制部CC可以基于高度差DS2控制倾斜角度SAG在所述预定的范围内操作。控制部CC可以调节第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD中的每一个的高度。控制部CC可以控制第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD中的每一个，以使得基板SUB与地面SF1平行。例如，倾斜角度SAG可以是接近于0°的值。
图3a至图3i是示出根据本发明的一实施例的基板搬运方法的图。
参照图3a，基板搬运车AGV可以进入到升降机LF内。根据本发明的一实施例的基板SUB可以借由基板搬运车AGV移动，以在完成预定的工序后移动到另一工序。例如，基板SUB可以通过升降机LF移动，以提供到布置在不同层的工序设备中。
基板搬运车AGV可以从第一空间移动至第二空间。例如，所述第一空间可以是由地面SF1定义的空间，并且所述第二空间可以是升降机LF内部。
基板搬运车AGV可以在第一移动方向MD1a上与升降机LF相邻地移动。第一移动方向MD1a可以与第一方向DR1平行。第一驱动部DV1和第二驱动部DV2可以支撑基板SUB。基板SUB可以与地面SF1平行。
参照图3b，子驱动部SD的轮部WH可以在第二移动方向MD2a上移动。第二移动方向MD2a可以与第一移动方向MD1a交叉。轮部WH可以对地面SF1施加负荷。在这种情况下，当轮部WH安置于地面SF1时，轮部WH的伺服电机可以使在第二移动方向MD2a移动的轮部WH减速。借由轮部WH的伺服电机可以减小施加于基板SUB的在轮部WH安置到地面SF1时发生的冲击。
第二驱动部DV2和子驱动部SD可以支撑基板SUB。第二驱动部DV2和子驱动部SD中的每一个可以与地面SF1接触。
移动部MV可以将轮部WH移动到与在第一驱动部DV1与第二驱动部DV2之间的线段WD中从第二驱动部DV2相距线段WD长度的2/3的第一位置MC1对应的位置。例如，第一位置MC1可以被定义为与沿着第二移动方向MD2a经过所述第一驱动部DV1的中心点的第一虚拟线VL1和沿着第二移动方向MD2a经过所述第二驱动部DV2的中心点的第二虚拟线VL2之间的与所述第一虚拟线VL1和所述第二虚拟线VL2垂直的线段WD上的从所述第二虚拟线VL2相距所述线段WD的长度的2/3的位置处。
根据本发明，子驱动部SD可以与第二驱动部DV2在第一方向DR1上相隔地布置，以免基板搬运车AGV倾倒。子驱动部SD和第二驱动部DV2可以容易地支撑基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV。
第一驱动部DV1可以不对地面SF1施加负荷。第一驱动部DV1可以与地面SF1相隔。
倾斜角度SAG1可以是基板SUB与地面SF1之间的角度。倾斜角度SAG1可以被定义在预定的范围内。例如，倾斜角度SAG1可以是-3°至3°。虽然在图3b中示例性地示出了具有3°的倾斜度的倾斜角度SAG1，但根据本发明的一实施例的倾斜角度SAG1并不限于此。例如，子驱动部SD可以布置为使倾斜角度SAG1接近于0°。
参照图3c，传感部SS可以判断第一驱动部DV1是否进入到升降机LF。传感部SS可以判断升降机LF和地面SF1所定义的空间之间的界线。例如，传感部SS还可以包括Rider传感器、位移传感器、测定二维码(QR code)的相机。
基板搬运车AGV可以在第三移动方向MD3a上移动。第三移动方向MD3a可以与第一方向DR1平行。第一驱动部DV1可以布置在升降机LF内。
子驱动部SD和第二驱动部DV2可以支撑基板SUB。轮部WH和第二驱动部DV2可以与地面SF1接触。
参照图3d，第一驱动部DV1可以在第四移动方向MD4a上移动。第四移动方向MD4a可以与第二移动方向MD2a平行。第一驱动部DV1可以对升降机LF的内部表面LS施加负荷，可以借由所述负荷对升降机LF施加第一负荷LD1。在这种情况下，当第一驱动部DV1安置于内部表面LS时，第一驱动部DV1的伺服电机可以使在第四移动方向MD4a上移动的第一驱动部DV1减速。借由第一驱动部DV1的伺服电机可以减小施加到基板SUB的在第一驱动部DV1安置于内部表面LS时发生的冲击。
由于第一负荷LD1，在升降机LF中可能发生第一下垂现象。与升降机LF连接的线的延伸率因第一负荷LD1而增加，从而可能发生所述第一下垂现象。由于所述第一下垂现象，地面SF1与内部表面LS之间可能发生第一高度差LM1。
可以基于第一高度差LM1来定义第一驱动部DV1的可移动距离。例如，第一驱动部DV1的所述可移动距离的第一最大幅度可以是第一高度差LM1的最大值的三倍。例如，第一高度差LM1的最大值可以是20mm(毫米)，所述第一最大幅度可以是60mm。
与本发明不同，当不存在第一驱动部DV1对升降机LF的内部表面LS施加负荷的步骤时，可能在对升降机LF与地面SF1之间的第一高度差LM1没有补偿的情况下基板搬运车AGV的前轮进入到升降机LF的内部。在这种情况下，所述基板搬运车AGV的前轮下落相当于升降机LF的第一高度差LM1的高度的同时相接于内部表面LS，从而可能发生冲击。由于所述冲击，所述基板搬运车AGV所装载的基板SUB可能发生损伤。然而，根据本发明，第一驱动部DV1可以对升降机LF的内部表面LS逐步施加负荷。第一驱动部DV1可以防止因基板搬运车AGV的瞬间碰撞而可能发生的冲击。可以防止有可能发生在基板SUB的冲击。可以稳定地运输基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1可以与内部表面LS相接。第二驱动部DV2以及子驱动部SD可以与地面SF1相接。
参照图3e，轮部WH可以在第五移动方向MD5a上移动。第五移动方向MD5a可以与第四移动方向MD4a平行。子驱动部SD可以与地面SF1相隔。
第一驱动部DV1以及第二驱动部DV2可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1可以与内部表面LS接触。第二驱动部DV2可以与地面SF1接触。
参照图3f，基板搬运车AGV可以在第六移动方向MD6a上移动。第六移动方向MD6a可以与第一方向DR1平行。第一驱动部DV1和子驱动部SD可以布置在升降机LF内部。
传感部SS可以判断第一驱动部DV1和子驱动部SD是否进入到升降机LF。
移动部MV可以将轮部WH在第七移动方向MD7a上移动。第七移动方向MD7a可以与第五移动方向MD5a交叉。
参照图3g，子驱动部SD的轮部WH可以在第八移动方向MD8a上移动。第八移动方向MD8a可以与第三方向DR3平行。轮部WH可以对内部表面LS施加负荷，并且通过上述负荷可以对升降机LF施加第二负荷LD2。在这种情况下，当轮部WH安置于内部表面LS时，轮部WH的伺服电机可以使在第八移动方向MD8a上移动的轮部WH减速。借由轮部WH的伺服电机可以减小施加到基板SUB的在轮部WH安置于内部表面LS时发生的冲击。
由于第二负荷LD2，在升降机LF中可能发生第二下垂现象。与升降机LF连接的线的延伸率因第二负荷LD2而增加，从而可能发生所述第二下垂现象。由于所述第二下垂现象，地面SF1与内部表面LS之间可能发生第二高度差LM2。
可以基于第二高度差LM2来定义轮部WH的可移动距离。例如，轮部WH的所述可移动距离的第二最大幅度可以是第二高度差LM2的最大值的四倍。例如，第二高度差LM2的最大值可以是20mm，所述第二最大幅度可以是80mm。第一驱动部DV1和第二驱动部DV2中的每一个的可移动距离的第一最大幅度可以小于轮部WH的可移动距离的第二最大幅度。
与本发明不同，当不存在子驱动部SD对升降机LF的内部表面LS施加负荷的步骤时，可能在对升降机LF与地面SF1之间的第二高度差LM2没有补偿的情况下基板搬运车AGV的后轮进入。在这种情况下，所述基板搬运车AGV的后轮下落相当于升降机LF的第二高度差LM2的高度的同时相接于内部表面LS，从而可能发生冲击。由于所述冲击，所述基板搬运车AGV的基板SUB可能发生损伤。然而，根据本发明，子驱动部SD可以对升降机LF的内部表面LS逐步施加负荷。子驱动部SD可以防止因基板搬运车AGV的瞬间碰撞而可能发生的冲击。可以防止有可能发生在基板SUB的冲击。可以稳定地运输基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
第一驱动部DV1和子驱动部SD可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1和子驱动部SD可以相接于内部表面LS。移动部MV可以将轮部WH移动到与在第一驱动部DV1与第二驱动部DV2之间的线段WD中从第一驱动部DV1相距线段WD长度的2/3的第二位置MC2对应的位置。例如，第二位置MC2可以被定义为与沿着第二移动方向MD2a经过所述第一驱动部DV1的中心点的第一虚拟线VL1和沿着第二移动方向MD2a经过所述第二驱动部DV2的中心点的第二虚拟线VL2之间的与所述第一虚拟线VL1和所述第二虚拟线VL2垂直的线段WD上的从所述第一虚拟线VL1相距所述线段WD的长度的2/3的位置处。
根据本发明，子驱动部SD可以与第一驱动部DV1在第一方向DR1上相隔地布置，以免基板搬运车AGV倾倒。子驱动部SD和第一驱动部DV1可以容易地支撑基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV。
第二驱动部DV2可以不对地面SF1施加负荷。第二驱动部DV2可以与地面SF1相隔。
参照图3h，传感部SS可以判断第二驱动部DV2是否进入到升降机LF。
基板搬运车AGV可以在第九移动方向MD9a上移动。第九移动方向MD9a可以与第一方向DR1平行。第一驱动部DV1、子驱动部SD以及第二驱动部DV2可以布置在升降机LF内。
参照图3i，第一驱动部DV1可以在第十移动方向MD10a上移动。子驱动部SD可以在第十一移动方向MD11a上移动。第十移动方向MD10a和第十一移动方向MD11a可以彼此平行。第十移动方向MD10a和第十一移动方向MD11a可以与第三方向DR3平行。
在这种情况下，当第二驱动部DV2安置于内部表面LS时，第一驱动部DV1的伺服电机可以使在第十移动方向MD10a上移动的第一驱动部DV1减速。借由第一驱动部DV1的伺服电机可以减小施加到基板SUB的在第二驱动部DV2安置于内部表面LS时发生的冲击。
第一驱动部DV1和第二驱动部DV2可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1和第二驱动部DV2可以相接于内部表面LS。子驱动部SD可以与内部表面LS相隔。
根据本发明，基板SUB可以装载于基板搬运车AGV，并安全地向升降机LF内移动。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
并且，根据本发明，基板搬运车AGV可以提供为多个，多个基板搬运车AGV可以利用本发明的基板搬运方法装载于升降机LF内的空间。多个基板搬运车AGV中的每一个可以将多个基板SUB以防止损伤的状态提供给其他工序设备。大量的基板SUB提供到各个工序，从而可以提供工序效率得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
图4a至图4h是示出根据本发明的一实施例的基板搬运方法的图。当说明图4a至图4h时，对于通过图3a至图3i说明的构成要素，将一并记载相同的附图标记，并省略对此的说明。
参照图4a，基板搬运车AGV可以从升降机LF内搬出。根据本发明的一实施例的基板SUB可以借由升降机LF被移送到不同的层。
基板搬运车AGV可以从第二空间移动至第一空间。例如，所述第一空间可以是地面SF2所定义的空间，所述第二空间可以是升降机LF内部。
子驱动部SD的轮部WH可以在第一移动方向MD1b上移动。轮部WH可以对内部表面LS施加负荷。
第一驱动部DV1和子驱动部SD可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1和子驱动部SD中的每一个可以与内部表面LS接触。
移动部MV可以将轮部WH移动到与在第一驱动部DV1与第二驱动部DV2之间的线段WD中从第一驱动部DV1相距线段WD长度的2/3的第二位置MC2对应的位置。
根据本发明，子驱动部SD可以与第一驱动部DV1在第一方向DR1上相隔地布置，以免基板搬运车AGV倾倒。子驱动部SD和第一驱动部DV1可以容易地支撑基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV。
第二驱动部DV2可以不对内部表面LS施加负荷。第二驱动部DV2可以与内部表面LS相隔。
倾斜角度SAG2可以是基板SUB与内部表面LS之间的角度。倾斜角度SAG2可以被定义在预定范围内。例如，倾斜角度SAG2可以是-3°至3°。虽然在图4a中示例性地示出了具有3°的倾斜度的倾斜角度SAG2，但根据本发明的一实施例的倾斜角度SAG2并不限于此。例如，子驱动部SD可以布置为使倾斜角度SAG2接近于0°。
参照图4b，传感部SS可以判断第二驱动部DV2是否进入到升降机LF外部。
基板搬运车AGV可以在第二移动方向MD2b上移动。第二移动方向MD2b可以与第一方向DR1平行。第二驱动部DV2可以布置在地面SF2所定义的外部空间。
第一驱动部DV1和子驱动部SD可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1和轮部WH可以与内部表面LS接触。
参照图4c，第二驱动部DV2可以在第三移动方向MD3b上移动。第三移动方向MD3b可以与第一移动方向MD1b平行。第二驱动部DV2可以对地面SF2施加负荷，升降机LF因所述负荷而被施加第三负荷LD3。
由于第三负荷LD3，在升降机LF中可能发生第三下垂现象。与升降机LF连接的线的延伸率因第三负荷LD3而减小，从而可能发生所述第三下垂现象。由于所述第三下垂现象，内部表面LS与地面SF2之间可能发生第三高度差LM3。
可以基于第三高度差LM3来定义第二驱动部DV2的可移动距离。例如，第二驱动部DV2的所述可移动距离的第三最大幅度可以是第三高度差LM3的最大值的三倍。例如，第三高度差LM3的最大值可以是20mm，所述第三最大幅度可以是60mm。
与本发明不同，当不存在第二驱动部DV2对地面SF2施加负荷的步骤时，可能在对升降机LF与地面SF2之间的第三高度差LM3没有补偿的情况下基板搬运车AGV的后轮提供至升降机LF的外部。在这种情况下，所述基板搬运车AGV的后轮下落相当于升降机LF的第三高度差LM3的高度的同时相接于地面SF2，从而可能发生冲击。由于所述冲击，所述基板搬运车AGV所装载的基板SUB可能发生损伤。然而，根据本发明，第二驱动部DV2可以对地面SF2逐步施加负荷。第二驱动部DV2可以防止因基板搬运车AGV的瞬间碰撞而可能发生的冲击。可以防止有可能在基板SUB中发生的冲击。可以稳定地运输基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
第一驱动部DV1、第二驱动部DV2以及子驱动部SD可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1和子驱动部SD可以与内部表面LS相接。第二驱动部DV2可以与地面SF2相接。
参照图4d，轮部WH可以在第四移动方向MD4b上移动。第四移动方向MD4b可以与第一移动方向MD1b平行。子驱动部SD可以与内部表面LS相隔。
第一驱动部DV1和第二驱动部DV2可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1可以与内部表面LS接触。第二驱动部DV2可以与地面SF2接触。
参照图4e，基板搬运车AGV可以在第五移动方向MD5b上移动。第五移动方向MD5b可以与第一方向DR1平行。基板搬运车AGV可以移动至升降机LF的外部。第二驱动部DV2和子驱动部SD可以布置在地面SF2所定义的空间。
传感部SS可以判断子驱动部SD和第二驱动部DV2是否进入到地面SF2所定义的所述空间。
移动部MV可以将轮部WH在第六移动方向MD6b上移动。第六移动方向MD6b可以与第四移动方向MD4b交叉。
参照图4f，子驱动部SD的轮部WH可以在第七移动方向MD7b上移动。第七移动方向MD7b可以与第三方向DR3平行。轮部WH可以对地面SF2施加负荷，升降机LF因所述负荷而被施加第四负荷LD4。
由于第四负荷LD4，在升降机LF中可能发生第四下垂现象。与升降机LF连接的线的延伸率因第四负荷LD4而减小，从而可能发生所述第四下垂现象。由于所述第四下垂现象，地面SF2与内部表面LS之间可能发生第四高度差LM4。
可以基于第四高度差LM4来定义轮部WH的可移动距离。例如，轮部WH的所述可移动距离的第四最大幅度可以是第四高度差LM4的最大值的四倍。例如，第四高度差LM4的最大值可以是20mm，所述第四最大幅度可以是80mm。第一驱动部DV1和第二驱动部DV2中的每一个的可移动距离的第三最大幅度可以小于轮部WH的可移动距离的第四最大幅度。
与本发明不同，当不存在子驱动部SD从升降机LF离开之前对地面SF2施加负荷的步骤时，可能在对升降机LF与地面SF2之间的第四高度差LM4没有补偿的情况下基板搬运车AGV的前轮进入。在这种情况下，所述基板搬运车AGV的前轮下落相当于升降机LF的第四高度差LM4的高度的同时相接于地面SF2，从而可能发生冲击。由于所述冲击，所述基板搬运车AGV的基板SUB可能发生损伤。然而，根据本发明，子驱动部SD可以对地面SF2逐步施加负荷。子驱动部SD可以防止因基板搬运车AGV的瞬间碰撞而可能发生的冲击。可以防止有可能在基板SUB中发生的冲击。可以稳定地运输基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
第二驱动部DV2和子驱动部SD可以支撑基板SUB。第二驱动部DV2和子驱动部SD可以与地面SF2相接。移动部MV可以将轮部WH移动到与在第一驱动部DV1与第二驱动部DV2之间的线段WD从第二驱动部DV2相距线段WD长度的2/3的第一位置MC1对应的位置。
根据本发明，子驱动部SD可以与第二驱动部DV2在第一方向DR1上相隔地布置，以免基板搬运车AGV倾倒。子驱动部SD和第二驱动部DV2可以容易地支撑基板SUB。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV。
第一驱动部DV1可以不对内部表面LS施加负荷。第一驱动部DV1可以与内部表面LS相隔。
参照图4g，传感部SS可以判断第一驱动部DV1是否进入到地面SF2所定义的空间。
基板搬运车AGV可以在第八移动方向MD8b上移动。第八移动方向MD8b可以与第一方向DR1平行。基板搬运车AGV可以布置在升降机LF外部。
参照图4h，第二驱动部DV2可以在第九移动方向MD9b上移动。子驱动部SD可以在第十移动方向MD10b上移动。第九移动方向MD9b和第十移动方向MD10b可以彼此平行。第九移动方向MD9b和第十移动方向MD10b可以与第三方向DR3平行。
第一驱动部DV1和第二驱动部DV2可以支撑基板SUB。第一驱动部DV1和第二驱动部DV2可以与地面SF2相接。子驱动部SD可以与地面SF2相隔。
根据本发明，基板SUB可以装载于基板搬运车AGV而安全地移动至升降机LF外部。因此，可以提供可靠性得到提高的基板搬运车AGV以及基板搬运方法。
以上，虽然参照本发明的优选实施例进行了说明，但只要是本技术领域的熟练的技术人员或者具有本技术领域中的普通知识的人员，便可以理解在不脱离权利要求书中记载的本发明的思想和技术领域的范围内，可以对本发明进行多样的修改和变更。因此，本发明的技术范围不应该局限于说明书的详细说明中记载的内容，而应当通过权利要求书来确定。

Claims (10)

1.一种基板搬运车，包括：
第一驱动部；
第二驱动部，与所述第一驱动部在第一移动方向上相隔；
子驱动部，布置在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间；
传感部，计算所述第一驱动部或所述第二驱动部与所述子驱动部之间的与所述第一移动方向交叉的第二移动方向的距离；以及
控制部，基于所述距离，使所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部中的至少一个在所述第二移动方向上移动，
其中，所述基板搬运车基于所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部中的至少两个而移动。
2.如权利要求1所述的基板搬运车，其中，
所述传感部测定基板的与地面的倾斜角度。
3.如权利要求2所述的基板搬运车，其中，
所述控制部基于所述倾斜角度控制所述第一驱动部或所述第二驱动部的移动，
所述子驱动部包括移动部和布置在所述移动部下方的轮部。
4.如权利要求3所述的基板搬运车，其中，
所述移动部将所述轮部布置在与沿着第二移动方向经过所述第一驱动部的中心点的第一虚拟线和沿着第二移动方向经过所述第二驱动部的中心点的第二虚拟线之间的与所述第一虚拟线和所述第二虚拟线垂直的线段上的从所述第一虚拟线相距所述线段的长度的2/3的位置处或从所述第二虚拟线相距所述线段的长度的2/3的位置处对应的位置。
5.如权利要求1所述的基板搬运车，其中，
所述传感部包括陀螺仪传感器，
所述距离基于所述基板搬运车所装载的基板与所述第一驱动部或所述第二驱动部及所述子驱动部相接的地面的角度而计算。
6.如权利要求1所述的基板搬运车，其中，
所述传感部包括位移传感器，
所述距离基于从所述传感部到所述第一驱动部或所述第二驱动部的与所述第二移动方向平行的方向的第一距离和从所述传感部到所述子驱动部的与所述第二移动方向平行的方向的第二距离而计算。
7.如权利要求1所述的基板搬运车，其中，
所述传感部从外部接收信号而向所述控制部提供进入信号，
所述控制部控制所述第一驱动部、所述第二驱动部以及所述子驱动部。
8.如权利要求1所述的基板搬运车，其中，
所述第一驱动部和所述第二驱动部在所述第二移动方向上能够移动的第一最大幅度小于所述子驱动部在所述第二移动方向上能够移动的第二最大幅度。
9.一种基板搬运方法，包括如下步骤：
将基板搬运车与与第一空间不同的第二空间相邻地布置，所述基板搬运车布置在所述第一空间，且收容有基板，并且包括第一驱动部、与所述第一驱动部在第一移动方向上相隔的第二驱动部、布置在所述第一驱动部与所述第二驱动部之间的子驱动部以及传感部；
在与所述第一移动方向交叉的第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第二驱动部和所述子驱动部支撑所述基板；
将所述第一驱动部布置在所述第二空间内；
在所述第二移动方向上移动所述第一驱动部，以使所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部支撑所述基板；
在所述第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第一驱动部以及所述第二驱动部支撑所述基板；
在所述第二空间内布置所述第一驱动部和所述子驱动部，并且所述子驱动部在所述第一移动方向上移动；
在所述第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第一驱动部和所述子驱动部支撑所述基板；
在所述第二空间内布置所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部；以及
在所述第二移动方向上移动所述第一驱动部以及所述子驱动部，以使所述第一驱动部和所述第二驱动部支撑所述基板。
10.如权利要求9所述的基板搬运方法，其中，
在所述第二移动方向上移动所述子驱动部，以使所述第一驱动部和所述子驱动部支撑所述基板的步骤包括使所述子驱动部移动第一幅度的步骤，
在所述第二移动方向上移动所述第一驱动部，以使所述第一驱动部、所述子驱动部以及所述第二驱动部支撑所述基板的步骤包括使所述第一驱动部移动与所述第一幅度不同的第二幅度的步骤，
其中，所述第一幅度大于所述第二幅度。
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