CN116947323A - 一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，属于折叠屏技术领域。该顶喷塑型超薄玻璃的制作方法包括以下步骤：S1、在超薄玻璃的下端平面贴附耐酸性薄膜；S2、将所述超薄玻璃设置有所述耐酸性薄膜的一端放置于衬板上，并与衬板固定形成基板单元；S3、将所述基板单元放入顶喷式蚀刻机内，在所述超薄玻璃远离所述耐酸性薄膜的一端平面的对称中心线处蚀刻一条梯形状凹槽；S4、从所述顶喷式蚀刻机取出所述基板单元，将所述超薄玻璃与所述耐酸性薄膜脱离；S5、采用硝酸钾溶液对所述超薄玻璃的表面进行化学强化。使整个超薄玻璃形成中间薄两端厚，降低超薄玻璃的回弹力，在超薄玻璃整体表面形成压应力层，提高超薄玻璃的抗冲击力。

Description

一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法

技术领域

本发明涉及折叠屏技术领域，尤其涉及一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法。

背景技术

近年来国内华为、小米、OPPO、VIVO、国外三星、摩托罗拉手机终端逐步推出折叠屏手机，根据权威机构预计，2022年可折叠手机将超过7000万部。可折叠手机的盖板主要采用超薄玻璃(Uitra Thin Glass，UTG)作为主要材料，UTG超薄玻璃应用将供不应求。

随着终端逐步推出折叠手机，前期UTG超薄玻璃的推出从功能性上可达到代替透明聚酰亚胺(Clearpolyimide，CPI)材质。但是由于UTG超薄玻璃主要原材料为玻璃，本身具备一定的刚性，导致终端UTG超薄玻璃回弹力大，抗冲击力低。

为此，亟需提供一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，降低超薄玻璃的回弹力，增大超薄玻璃的抗冲击力。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，包括如下步骤：

S1、在超薄玻璃的下端平面贴附耐酸性薄膜；

S2、将所述超薄玻璃设置有所述耐酸性薄膜的一端放置于衬板上，并与所述衬板固定形成基板单元；

S3、将所述基板单元放入顶喷式蚀刻机内，在所述超薄玻璃远离所述耐酸性薄膜的一端平面的对称中心线处蚀刻一条梯形状凹槽；

S4、从所述顶喷式蚀刻机取出所述基板单元，将所述超薄玻璃与所述耐酸性薄膜脱离；

S5、采用硝酸钾溶液对所述超薄玻璃的表面进行化学强化。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述超薄玻璃的端平面分为塑型区和位于所述塑型区两侧的第一端非塑型区和第二端非塑型区，在所述超薄玻璃的所述塑型区蚀刻出所述梯形状凹槽，所述梯形状凹槽包括平坦区塑型、第一坡度区塑型和第二坡度区塑型，所述第一坡度区塑型和所述第二坡度区塑型对称分布于所述平坦区塑型的相对两侧，且所述第一坡度区塑型和所述第二坡度区塑型均与所述平坦区塑型平滑过渡，所述第一坡度区塑型和所述第二坡度区塑型均与非塑型区平滑过渡。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述第一端非塑型区和所述第二端非塑型区的厚度相同均为20μm-150μm。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述平坦区塑型的深度为10μm-100μm。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述平坦区的宽度为5μm-20μm，所述第一坡度区塑型和所述第二坡度区塑型的宽度相同且均为1mm-5mm。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述步骤S3还包括以下步骤：在将所述基板单元放入所述顶喷式蚀刻机之前，先将多片所述基板单元载入篮具内，再将所述篮具放入所述顶喷式蚀刻机内。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述步骤S3还包括以下步骤：

S31、所述顶喷式蚀刻机对所述塑型区蚀刻第一设定时间；

S32、将所述基板单元从所述顶喷式蚀刻机取出，并旋转180度后重新放入所述顶喷式蚀刻机内，对所述塑型区蚀刻第二设定时间，形成所述第一坡度区塑型、所述第二坡度区塑型和所述平坦区塑型。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述步骤S5还包括以下步骤：

S51、将塑型后的所述超薄玻璃的所述第一端非塑型区浸入硝酸钾溶液中进行第一次强化并取出，

S52、将所述超薄玻璃的所述第二端非塑型区浸入硝酸钾溶液中进行第二次强化并取出，

S53、然后再将所述超薄玻璃整体浸入硝酸钾溶液中进行第三次强化并取出，得到CFG超薄玻璃。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，所述步骤S51还包括步骤S511：所述第一次强化深度为：所述第一端非塑型区的DOL目标值减去所述塑型区的DOL目标值；

所述步骤S52还包括步骤S521：所述第二次强化深度为：所述第二端非塑型区的DOL目标值减去所述塑型区的DOL目标值；

所述步骤S53还包括步骤S531：所述第三次强化深度为：塑型区的DOL目标值。

作为顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的可选方案，还包括以下步骤：

S6、在所述超薄玻璃的上端平面贴附有耐酸性薄膜，并循环进入所述步骤S2、所述步骤S3、所述步骤S4和所述步骤S5中，使所述超薄玻璃的上下两个端平面均蚀刻有所述梯形状凹槽。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

本发明所提供的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，采用顶喷式蚀刻机对超薄玻璃进行喷射蚀刻，在超薄玻璃远离耐酸性薄膜的上端平面的中心线处蚀刻形成一条梯形状凹槽，使整个超薄玻璃形成中间薄两端厚的结构，在超薄玻璃终端弯折使用时，降低超薄玻璃的回弹力；采用硝酸钾溶液对超薄玻璃整体表面进行化学强化，在超薄玻璃整体表面形成压应力层，提高超薄玻璃的抗冲击力；顶喷式蚀刻机通过化学蚀刻的过程，在超薄玻璃上形成梯形状凹槽，在梯形状凹槽加工时，一方面精度高，不发生微裂纹，所以无需打磨或修复工艺；另一方面避免使用昂贵的光刻胶制作工艺或物理粗细制作工艺，加工成本低。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例中顶喷塑型超薄玻璃的制作方法的流程图；

图2为本发明实施例中超薄玻璃贴合有耐酸性薄膜的结构示意图；

图3为本发明实施例中基板单元的结构示意图；

图4为本发明实施例中超薄玻璃上蚀刻有梯形状凹槽的结构示意图；

图5为本发明实施例中超薄玻璃的上端面有梯形状凹槽的结构示意图；

图6为本发明实施例中超薄玻璃准备第一次蚀刻的结构示意图；

图7为本发明实施例中超薄玻璃准备第二次蚀刻的结构示意图；

图8为本发明实施例中超薄玻璃的上端面和下端面均有梯形状凹槽的结构示意图。

附图标记：

1、超薄玻璃；2、耐酸性薄膜；3、衬板；4、基板单元；5、梯形状凹槽；6、顶喷式蚀刻机；7、胶带；8、篮具；

11、塑型区；12、第一端非塑型区；13、第二端非塑型区；

51、平坦区塑型；52、第一坡度区塑型；53、第二坡度区塑型。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

随着终端逐步推出折叠手机，前期UTG超薄玻璃的推出从功能性上可达到代替透明聚酰亚胺(Clear polyimide，CPI)材质。但是由于UTG超薄玻璃主要原材料为玻璃，本身具备一定的刚性，导致终端UTG超薄玻璃回弹力大，抗冲击力低。

为了降低超薄玻璃的回弹力，增大超薄玻璃的抗冲击力，本实施例提供一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，以下结合图1至图8对本实施例的具体内容进行详细描述。

如图1至图7所示，本实施例中顶喷塑型超薄玻璃的制作方法包括如下步骤：

S1、在超薄玻璃1的下端平面贴附耐酸性薄膜2；如图2所示，完成覆膜过程。

S2、将超薄玻璃1设置有耐酸性薄膜2的一端放置于衬板3上，并与衬板3固定形成基板单元4；如图3所示，完成衬板3贴合过程。

S3、如图6和图7所示，将基板单元4放入顶喷式蚀刻机6内，在超薄玻璃1远离耐酸性薄膜2的一端平面的对称中心线处蚀刻一条梯形状凹槽5，如图4和图5所示。

S4、从顶喷式蚀刻机6取出基板单元4，将超薄玻璃1与耐酸性薄膜2脱离；

S5、采用硝酸钾溶液对超薄玻璃1的表面进行化学强化。

简而言之，采用顶喷式蚀刻机6对超薄玻璃1进行喷射蚀刻，在超薄玻璃远离耐酸性薄膜1的上端平面的中心线处蚀刻形成一条梯形状凹槽5，使整个超薄玻璃1形成中间薄两端厚的结构，在超薄玻璃1终端弯折使用时，降低超薄玻璃1的回弹力；采用硝酸钾溶液对超薄玻璃1整体表面进行化学强化，在超薄玻璃1整体表面形成压应力层，提高超薄玻璃1的抗冲击力。顶喷式蚀刻机通过化学蚀刻的过程，在超薄玻璃1上形成梯形状凹槽5，在梯形状凹槽5加工时，一方面精度高，不发生微裂纹，所以无需打磨或修复工艺；另一方面避免使用昂贵的光刻胶制作工艺或物理粗细制作工艺，所以加工成本低。

具体地，将塑型后的超薄玻璃1放到温度为420℃～450℃的硝酸钾熔融液体中，使硝酸钾熔盐中的K离子与玻璃中的Na离子进行扩散交换，从而在超薄玻璃1表面形成一层压应力层，这可以提高超薄玻璃1基板的柔韧性与耐冲击性能。厚度可以为0.05mm-0.3mm的耐酸性薄膜1可以为PVC,PP,PET等，达到蚀刻溶液中保护非蚀刻玻璃面。通过特定治具装载后置入顶喷式蚀刻机6中完成中央折叠玻璃(Center Folded Glass，CFG)的超薄玻璃塑型。

进一步地，如图3所示，步骤S2还包括步骤S21：采用胶带7布置在超薄玻璃1的四周，将超薄玻璃1固定于衬板3上。

进一步地，如图4所示，超薄玻璃1的端平面分为塑型区11和位于塑型区两侧的第一端非塑型区12和第二端非塑型区13，在超薄玻璃1的塑型区11蚀刻出梯形状凹槽5，其中，塑型区11的厚度小于第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的厚度。梯形状凹槽5包括平坦区塑型51、第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53，第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53对称分布于平坦区塑型51的相对两侧，且第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53均与平坦区塑型51平滑过渡，第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53均与非塑型区平滑过渡，能有效降低CFG超薄玻璃的回弹力。采用此工艺技术可解决塑型区11与第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的平滑过渡，使交界处尖角去除。

进一步地，如图4和图5所示，第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的厚度L3相同均为20μm-150μm。示例性地，第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的厚度L3可以为但不限于20μm、30μm、40μm、50μm、60μm、70μm、80μm、90μm、100μm、110μm、120μm、130μm、140μm或150μm。

更进一步地，如图4和图5所示，平坦区塑型51的深度L2为10μm-100μm。示例性地，平坦区塑型51的深度可以为但不限于10μm、20μm、30μm、40μm、50μm、60μm、70μm、80μm、90μm或100μm。

进一步地，如图4和图5所示，平坦区的宽度L4为5μm-20μm，第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53的宽度L1相同且均为1mm-5mm。

示例性地，平坦区的宽度L4可以为但不限于5μm、6μm、7μm、8μm、9μm、10μm、11μm、12μm、13μm、14μm、15μm、16μm、17μm、18μm、19μm或20μm。

示例性地，第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53的宽度L1可以为但不限于1mm、2mm、3mm、4mm或5mm。

第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53交界处成型尺寸管控有以下要求。

当L3尺寸设置为50μm时，L2值为20μm、L1值为1㎜。

当L3尺寸设置为70μm时，L2值为40μm、L1值为1.5㎜。

当L3尺寸设置为100μm时，L2值为70μm、L1值为2㎜。

实现塑型区11与第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53的平滑过渡后，L1值的管控根据L3值设置而调整。

在塑型区11与第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53的平滑过渡的过程中，其初期塑型喷洒定位位置设置为L4两端点，塑型过程中通过调整喷淋装置的喷洒角度、喷洒流量、喷洒压力，让酸液在设置的L1区间来回冲刷，达到塑型区11与第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53的平滑过渡的目的。

需要说明的是，本发明的制备方法可以在超薄玻璃1的中间位置形成塑型区11，也可以在其他任意位置形成塑型区11。

进一步地，步骤S3还包括以下步骤：在将基板单元4放入顶喷式蚀刻机6之前，先将多片基板单元4载入篮具8内，再将篮具8放入顶喷式蚀刻机6内。在本发明中，可一次性将不超过100片的附有超薄玻璃1的衬板3载入篮具8中，提高了生产效率，并且采用本发明的塑型装置，可保证各片超薄玻璃具有相同的减薄效果，提高了生产稳定性。

进一步地，步骤S3还包括以下步骤：

如图6所示，S31、顶喷式蚀刻机6对塑型区11蚀刻第一设定时间；

如图7所示，S32、将基板单元4从顶喷式蚀刻机6取出，并旋转180度后重新放入顶喷式蚀刻机6内，对塑型区11蚀刻第二设定时间，形成第一坡度区塑型52、第二坡度区塑型53和平坦区塑型51。

通过步骤S31和步骤S32，相当于顶喷式蚀刻机6的喷淋装置对塑型区11蚀刻了两次，进而实现超薄玻璃1的对称中心线处的塑型区11的蚀刻时间大于第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的时间，导致塑型区11的减薄深度大于第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的减薄深度，从而在塑型区11处形成第一坡度区塑型52、第二坡度区塑型53和平坦区塑型51。

顶喷式蚀刻机6的喷淋装置可对喷洒角度、喷洒流量、喷洒压力等参数进行调整。在步骤S31和步骤S32中，顶喷式蚀刻机6的喷淋装置的喷洒角度、喷洒位置和喷洒压力均相同。具体地，喷洒角度为10°-90°；喷洒流量为3L/S-15L/S；喷洒压力为0.5bar-2.5bar。

示例性地，喷洒角度为10°、15°、20°、25°、30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°、65°、70°、75°、80°、85°或90°等。

示例性地，喷洒流量为3L/S、4L/S、5L/S、6L/S、7L/S、8L/S、9L/S、10L/S、11L/S、12L/S、13L/S、14L/S或15L/S等。

示例性地，喷洒压力为0.5bar、1bar、1.5bar、2bar或2.5bar等。

进一步地，在步骤S31和步骤S32中，第一设定时间和第二设定时间相等，1min-2min。例如，第一设定时间和第二设定时间均为1min、1.5min或2min等。将附有超薄玻璃1的衬板3置入顶喷式蚀刻机6中塑型2-4min，可以形成平坦区塑型51，蚀刻期间将喷洒角度、喷洒流量、喷洒压力等参数进行调整，则可以形成平滑过渡的平坦区塑型51，避免平坦区塑型51和第一坡度区塑型52和第二坡度区塑型53的交界处产生尖角。根据客户对产品的平坦区塑型51的宽度的需求，可以适应性地调整产品在蚀刻液中的浸入时间。根据客户对产品的平坦区塑型51的宽度的需求，可以适应性调整喷洒角度、喷洒流量、喷洒压力等参数。通常全程减薄时间控制在5min-20min完成。

按照传统化学强化方式将整体CFG玻璃进行化学强化处理，化学强化输出将得到整体相接近的强化参数。但是，当第一端非塑型区12和第二端非塑型区13强化深度超过塑型区11时，塑型区11将有自爆现象发生，因此需要提高CFG玻璃整体性能，需达到整张CFG玻璃的CT(拉伸张应力)值接近。

CT计算式如下：CT拉伸张应力＝(CS压缩应力×DOL化学强化深度)/(测量点玻璃厚度-2×DOL化学强化深度)。

为解决整张CFG玻璃的CT值接近，通过调整第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的强化时间达到DOL(强化深度)的调整,从而实现CT的一致性。

进一步地，步骤S5还包括以下步骤：

S51、将塑型后的超薄玻璃1的第一端非塑型区12浸入硝酸钾溶液中进行第一次强化并取出，

S52、将超薄玻璃1的第二端非塑型区13浸入硝酸钾溶液中进行第二次强化并取出，

S53、然后再将超薄玻璃1整体浸入硝酸钾溶液中进行第三次强化并取出，得到CFG超薄玻璃。

更进一步地，步骤S51还包括步骤S511：第一次强化深度为：第一端非塑型区12的DOL目标值减去塑型区11的DOL目标值；

步骤S52还包括步骤S521：第二次强化深度为：第二端非塑型区13的DOL目标值减去塑型区11的DOL目标值；

步骤S53还包括步骤S531：第三次强化深度为：塑型区11的DOL目标值。实现整张CFG玻璃的CT值接近。

进一步地，CFG超薄玻璃的上表面和/或下表面设有塑型区11。

在一些实施例中，如图8所示，需要对超薄玻璃的两面进行塑型时，顶喷塑型超薄玻璃的制作方法还包括以下步骤：S6、在超薄玻璃1的上端平面贴附有耐酸性薄膜2，并循环进入步骤S2、步骤S3、步骤S4和步骤S5中，使超薄玻璃1的上下两个端平面均蚀刻有梯形状凹槽5。超薄玻璃1的上端平面的蚀刻时间和下端平面的蚀刻时间、喷洒角度、喷洒流量、喷洒压力等参数需设置为相同，避免造成两头的第一端非塑型区12和第二端非塑型区13的厚度不均匀。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所说的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在超薄玻璃(1)的下端平面贴附耐酸性薄膜(2)；

S2、将所述超薄玻璃(1)设置有所述耐酸性薄膜(2)的一端放置于衬板(3)上，并与所述衬板(3)固定形成基板单元(4)；

S3、将所述基板单元(4)放入顶喷式蚀刻机(6)内，在所述超薄玻璃(1)远离所述耐酸性薄膜(2)的一端平面的对称中心线处蚀刻一条梯形状凹槽(5)；

S4、从所述顶喷式蚀刻机(6)取出所述基板单元(4)，将所述超薄玻璃(1)与所述耐酸性薄膜(2)脱离；

S5、采用硝酸钾溶液对所述超薄玻璃(1)的表面进行化学强化。

2.根据权利要求1所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述超薄玻璃(1)的端平面分为塑型区(11)和位于所述塑型区两侧的第一端非塑型区(12)和第二端非塑型区(13)，在所述超薄玻璃(1)的所述塑型区(11)蚀刻出所述梯形状凹槽(5)，所述梯形状凹槽(5)包括平坦区塑型(51)、第一坡度区塑型(52)和第二坡度区塑型(53)，所述第一坡度区塑型(52)和所述第二坡度区塑型(53)对称分布于所述平坦区塑型(51)的相对两侧，且所述第一坡度区塑型(52)和所述第二坡度区塑型(53)均与所述平坦区塑型(51)平滑过渡，所述第一坡度区塑型(52)和所述第二坡度区塑型(53)均与非塑型区平滑过渡。

3.根据权利要求2所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述第一端非塑型区(12)和所述第二端非塑型区(13)的厚度相同均为20μm-150μm。

4.根据权利要求3所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述平坦区塑型(51)的深度为10μm-100μm。

5.根据权利要求4所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述平坦区的宽度为5μm-20μm，所述第一坡度区塑型(52)和所述第二坡度区塑型(53)的宽度相同且均为1mm-5mm。

6.根据权利要求2所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述步骤S3还包括以下步骤：在将所述基板单元(4)放入所述顶喷式蚀刻机(6)之前，先将多片所述基板单元(4)载入篮具(8)内，再将所述篮具(8)放入所述顶喷式蚀刻机(6)内。

7.根据权利要求2所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述步骤S3还包括以下步骤：

S31、所述顶喷式蚀刻机(6)对所述塑型区(11)蚀刻第一设定时间；

S32、将所述基板单元(4)从所述顶喷式蚀刻机(6)取出，并旋转180度后重新放入所述顶喷式蚀刻机(6)内，对所述塑型区(11)蚀刻第二设定时间，形成所述第一坡度区塑型(52)、所述第二坡度区塑型(53)和所述平坦区塑型(51)。

8.根据权利要求2-7任一项所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，所述步骤S5还包括以下步骤：

S51、将塑型后的所述超薄玻璃(1)的所述第一端非塑型区(12)浸入硝酸钾溶液中进行第一次强化并取出，

S52、将所述超薄玻璃(1)的所述第二端非塑型区(13)浸入硝酸钾溶液中进行第二次强化并取出，

S53、然后再将所述超薄玻璃(1)整体浸入硝酸钾溶液中进行第三次强化并取出，得到CFG超薄玻璃。

9.根据权利要求8所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，

所述步骤S51还包括步骤S511：所述第一次强化深度为：所述第一端非塑型区(12)的DOL目标值减去所述塑型区(11)的DOL目标值；

所述步骤S52还包括步骤S521：所述第二次强化深度为：所述第二端非塑型区(13)的DOL目标值减去所述塑型区(11)的DOL目标值；

所述步骤S53还包括步骤S531：所述第三次强化深度为：塑型区(11)的DOL目标值。

10.根据权利要求9所述的顶喷塑型超薄玻璃的制作方法，其特征在于，还包括以下步骤：

S6、在所述超薄玻璃(1)的上端平面贴附有耐酸性薄膜(2)，并循环进入所述步骤S2、所述步骤S3、所述步骤S4和所述步骤S5中，使所述超薄玻璃(1)的上下两个端平面均蚀刻有所述梯形状凹槽(5)。