CN116934900A - 曲线对齐方法及装置 - Google Patents

Abstract

一种曲线对齐方法及装置。此方法获取由至少一个机台分析测试样品所得数据并用以生成多条测试曲线；响应于由测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向第二曲线周围的第二点的对齐操作，记录第一点对应的第一特征及第二点对应的第二特征的对应关系，并集合多个对齐操作的对应关系为特征数据；获取由机台分析当前样品所得数据并用以生成多条当前曲线；根据所记录特征数据中的对应关系，搜寻当前曲线中第三曲线上匹配第一特征的第三点及第四曲线上匹配第二特征的第四点；以及调整第三曲线及第四曲线的至少其中之一，使得第三点对齐第四点。

Description

曲线对齐方法及装置

技术领域

本发明是有关于一种数据处理方法及装置，且特别是有关于一种曲线对齐方法及曲线对齐装置。

背景技术

随着显微科技的进步，各种类型的显微观察装置，例如原子力显微镜(AtomicForce Microscope，AFM)、电子显微镜如透射电子显微镜(Transmission ElectronMicroscope，TEM)、扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy，SEM)、二次离子质谱仪(SIMS)、扩展电阻分析仪(SRP)、X射线能量色散分析仪(EDS)、X射线光电子能谱仪(XPS)、欧杰电子能谱分析仪(FE-AES)、薄膜厚度轮廓测量仪(α-step)，因应而生。电子显微镜的高解析三维图像技术应用在临床医疗及生物分子研究的分析检测应用上，可有效地增加观测图像的分辨率以及观测结果的精确度。

在使用显微观察装置对样品进行分析的过程中，需要对不同机台的分析结果进行整合，包括对多个机台的检测数据进行调整、扩充、整并等，藉此得出样品的完整分析报告。其中，由于每个机台的规格、特性、操作方式、操作环境不尽相同，其检测数据的曲线彼此间可能存在偏移、形变等差异，因此在整合这些检测数据时，需仰赖操作人员依经验手动调整曲线，找出其中的关联性并加以对齐，从而获得正确的分析结果，分析过程费时费力。

发明内容

本发明实施例提供一种曲线对齐方法及曲线对齐装置，通过学习过往曲线对齐的操作经验，可实现多机台数据曲线的自动调整及对齐。

本发明实施例的曲线对齐方法，适用于具有数据捕获设备及处理器的电子装置。此方法包括下列步骤：利用数据捕获设备获取由至少一个机台分析一测试样品所得的数据并用以生成多条测试曲线；响应于由测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点的对齐操作，记录第一点对应的第一特征及第二点对应的第二特征的对应关系，并集合多个对齐操作的对应关系作为特征数据；利用数据捕获设备获取由机台分析一当前样品所得的数据并用以生成多条当前曲线；根据所记录特征数据中的各对应关系，针对当前曲线中的第三曲线及第四曲线，搜寻第三曲线上匹配第一特征的第三点及第四曲线上匹配第二特征的第四点；以及调整第三曲线及第四曲线的至少其中之一，使得第三点对齐第四点

本发明实施例的曲线对齐装置包括数据捕获设备、存储装置及处理器。其中，数据捕获设备用以连接至少一个机台。处理器耦接数据捕获设备及存储装置，经配置以利用数据捕获设备获取由机台分析一测试样品所得的数据并用以生成多条测试曲线响应于由测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点的对齐操作，记录第一点对应的第一特征及第二点对应的第二特征的对应关系，并集合多个对齐操作的对应关系作为特征数据，利用数据捕获设备获取由机台分析一当前样品所得的数据并用以生成多条当前曲线，根据所记录特征数据中的各对应关系，针对当前曲线中的第三曲线及第四曲线，搜寻第三曲线上匹配第一特征的第三点及第四曲线上匹配第二特征的第四点，以及调整第三曲线及第四曲线的至少其中之一，使得第三点对齐第四点。

基于上述，本发明的曲线对齐方法及曲线对齐装置，获取操作人员对单一机台或不同机台输出数据曲线所进行的对齐操作并记录为特征数据，用以对机台后续输出数据的曲线进行特征比对及调整，从而实现单一机台或多机台数据曲线的自动对齐。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐装置的方块图。

图2是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的流程图。

图3是根据本发明一实施例所绘示的曲线图。

图4A至图4C是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的范例。

图5A及图5B是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的范例。

图6是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的流程图。

图7是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的范例。

其中，附图标记：

10：曲线对齐装置

12：数据捕获设备

14：存储装置

16：处理器

20：机台

30：曲线图

42、44：特征

62、64、66、68、70：区段

32、34、A1、A2、B1、B2、C、D：测试曲线

c、d、e、f：点

c1～c4、d1～d7、e1～e4、f1～f7：特征点

C1、C2、D1、D2、E、F：当前曲线

S202～S210、S602～S614：步骤

具体实施方式

下面结合附图对本发明的结构原理和工作原理作具体的描述：

本发明实施例提出一种曲线对齐方法及曲线对齐装置，针对单一机台分析测试样品或不同机台分析同一测试样品所得数据的曲线之间的偏移、形变等差异，通过学习操作人员对这些曲线所进行的对齐操作并记录为特征数据，后续在取得当前样品的曲线时，则基于此特征数据对曲线进行特征比对，藉此找出这些曲线之间的关联性并进行对齐，从而正确且快速地整合不同机台的分析结果。

图1是根据本发明的一实施例所绘示的曲线对齐装置的方块图。请参照图1，本实施例的曲线对齐装置10例如是具备运算功能的个人计算机、服务器、工作站或其他装置，其中包括数据捕获设备12、存储装置14与处理器16，其功能分述如下：

数据捕获设备12例如是通用串行总线(universal serial bus，USB)、RS232、通用异步接收发送设备(universal asynchronous receiver/transmitter，UART)、内部整合电路(I2C)、串行外部接口(serial peripheral interface，SPI)、显示端口(displayport)、霹雳端口(thunderbolt)或局域网络(local area network，LAN)接口等有线的连接装置，或是支持无线保真(wireless fidelity，Wi-Fi)、RFID、蓝牙、红外线、近场通信(near-field communication，NFC)或装置对装置(device-to-device，D2D)等通信协议的无线连接装置。数据捕获设备12可连接用以分析样品的至少一个机台20，以获取机台20分析样品所得的数据。所述机台20例如是例如二次离子质谱仪(SIMS)、扩展电阻分析仪(SRP)、X射线能量散布分析仪(EDS)、X射线光电子能谱仪(XPS)、欧杰电子能谱分析仪(FE-AES)等各类型的微小区域成份分析装置，在此不设限。

存储装置14例如是任意型式的固定式或可移动式随机存取内存(random accessmemory，RAM)、只读存储器(read-only memory，ROM)、闪速存储器(flash memory)、硬盘或其他类似装置或这些装置的组合，而用以存储可由处理器16执行的程序。在一些实施例中，存储装置14可记录对数据捕获设备12所获取的数据以及对该数据的曲线进行对齐操作及特征辨识所得的特征数据。其中，所记录的数据例如是以文本文件、电子表格、树状结构的形式存储在数据库中，以供搜寻时调用，本实施例不限制其存储方式。

处理器16耦接数据捕获设备12以及存储装置14，用以控制曲线对齐装置10的运行。在一些实施例中，处理器16例如是中央处理器(central processing unit，CPU)，或是其他可编程的一般用途或特殊用途的微处理器(microprocessor)、数字信号处理器(digital signal processor，DSP)、可编程控制器、专用集成电路(application specificintegrated circuit，ASIC)、现场可编程门阵列(fieldprogrammable gate array，FPGA)、可编程逻辑控制器(programmable logic controller，PLC)或其他类似装置或这些装置的组合，而可加载并执行存储装置14中存储的程序，以执行本发明实施例的曲线对齐方法。

在一些实施例中，曲线对齐装置10还包括用以显示数据捕获设备12所获取数据的曲线的显示器，以及用以对该显示器所显示的曲线进行操作的操作装置，其中所述显示器例如是液晶显示器(liquid-crystal display，LCD)，所述操作装置例如是鼠标、键盘、触摸板、触控屏幕等装置，在此不设限。

图2是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的流程图。请同时参照图1及图2，本实施例的方法适用于图1的曲线对齐装置10，以下即搭配曲线对齐装置10的各项组件说明本发明的曲线对齐方法的详细步骤。

在步骤S202中，由曲线对齐装置10的处理器16利用数据捕获设备12获取由至少一个机台20分析一测试样品所得的测试数据并用以生成多条测试曲线。其中，处理器16例如是利用数据捕获设备12从机台20获取其分析测试样品的原始数据(raw data)，并绘制成测试曲线，其中包括生成测试曲线的名称、点数、备注等曲线信息，并计算测试曲线的平均值、最小值、最大值、及其他具备意义的统计信息。

在一些实施例中，处理器16可进一步将所绘制的测试曲线显示于显示器，并列出上述的曲线信息、统计信息及轴信息。例如，在图3所示的曲线图30中，即显示出测试曲线32、34及其相关的轴信息(时间、强度)，所述测试曲线32、34表示出不同机台分析一测试样品所得的讯号强度随时间的变化。

在一些实施例中，处理器16可通过操作装置接收操作人员对测试曲线进行的调整操作。其中，操作人员可使用鼠标(按住左键或右键)拖曳测试曲线，以对测试曲线进行平移、伸缩等操作，或是使用鼠标点击测试曲线，以对测试曲线进行切断、合并等操作，在此不设限。在一些实施例中，操作人员可使用鼠标由测试曲线中第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点，以对测试曲线进行对齐操作，所述的对齐操作例如是以曲线起点或自定义的基线为基准(即，固定位在该基线上的测试曲线的点)，对第一或第二曲线进行缩放，使得第一点与第二点彼此对齐的操作。

在步骤S204中，响应于由测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点的对齐操作，处理器16将第一点对应的第一特征及第二点对应的第二特征的对应关系记录于存储装置14，并集合多个对齐操作的对应关系作为特征数据。所述的特征数据例如包括第一点及第二点的位置、对应曲线的名称、对应特征的特征点、对应的点距等，在此不设限。

详细而言，在一些实施例中，所述的第一特征例如包括第一曲线上位于第一点周围的多个特征点，第二特征例如包括第二曲线上位于第二点周围的多个特征点，这些特征点例如是根据曲线形状以等时间间隔或等距方式取样所得的特征点，其数量可依曲线的形变程度或所期望的精细度决定，本实施例不限制其取得方式。在一些实施例中，所述的第一特征记录第一点与第一曲线的相对关系(即，全局特征)，所述的第二特征记录第二点与第二曲线的相对关系，但不限于此。

在步骤S206中，处理器16利用数据捕获设备12获取由机台20分析一当前样品所得的当前数据并用以生成多条当前曲线。

在步骤S208中，处理器16根据所记录特征数据中的各对应关系，针对当前曲线中的第三曲线及第四曲线，搜寻第三曲线上匹配第一特征的第三点及第四曲线上匹配第二特征的第四点。其中，处理器16例如会根据第三曲线及第四曲线所对应的机台种类、曲线名称、位置、特征点、分辨率等信息，使用特征数据来比对第三曲线及第四曲线中特征的相似程度，从而筛选出适合套用于第三曲线及第四曲线的对齐操作，以便进行自动对齐。

详细而言，处理器16例如是利用滑动窗口(sliding window)分别对第三曲线及所述第四曲线进行特征比对，以从第三曲线中搜寻出与第一特征匹配的第三点以及从第四曲线中搜寻出与第二特征匹配的第四点。其中，所述的特征比对包括斜率比对、相关性(correlation)比对或位置比对，但本实施例不限于此。

在一些实施例中，上述特征比对所使用的特征数据例如可根据测试阶段所接收对齐操作或是实作阶段所接收的确认操作的累计记录次数来进行权重调整，调整后的权重例如亦存储于数据库中，用以作为后续特征比对的依据。即，若某第一特征对应到某第二特征的对齐操作的累计次数较多时，当其特征数据在日后搜寻时被匹配当前曲线中的特征时，该对齐操作被调用的可能性较大。藉此，可调整该对齐操作所指向的对应关系用于特征比对的权重，使得比对结果反应操作人员的真实操作，而优化使用者体验。此外，在搜寻出与第一特征匹配的第三点以及与第二特征匹配的第四点之后，响应于操作人员对于此第三点及第四点的确认操作，可调整该确认操作所确认的对应关系用于特征比对的权重，使得比对结果反应操作人员的真实操作；相对地，若操作人员删除某个第三点及第四点的对应关系，则可降低将此对应关系用于特征比对的权重，以减少此对应关系被调用的可能性。

在步骤S210中，处理器16调整第三曲线及第四曲线的至少其中之一，使得第三点对齐第四点。其中，处理器16例如是对第三曲线及/或第四曲线进行等比例伸缩，以使得第三点对齐第四点。在一些实施例中，处理器16可额外定义用以调整第三曲线及第四曲线的基线，并且以该基线为基准(即，固定在该基线上的第三曲线或第四曲线的点)来调整第三曲线或第四曲线，以使得第三点对齐第四点。在一些实施例中，处理器16还可以对齐后的第三点及第四点所在的位置定义基线，并以该基线为基准继续调整第三曲线或第四曲线。

举例来说，图4A至图4C是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的范例。请参照图4A，本实施例是由曲线对齐装置在显示器上显示由不同机台分析一测试样品的数据所生成的测试曲线C、D，并接收操作人员由测试曲线C周围的点c指向测试曲线D周围的点d的对齐操作。接着，请参照图4B，曲线对齐装置会将测试曲线C上对应于点c的多个特征点c1～c4作为第一特征，将测试曲线D上对应于点d的多个特征点d1～d7作为第二特征，并记录第一特征与第二特征的对应关系作为特征数据。请参照图4C，当曲线对齐装置接收到相同机台或同类型机台分析一当前样品所得的数据并用以生成当前曲线E、F时，即会利用先前记录的特征数据对当前曲线E、F上的多个特征进行分析，从而找到当前曲线E上与第一特征(包括特征点c1～c4)匹配的第三特征(包括特征点e1～e4)及其所对应的点e，并找到当前曲线F上与第二特征(包括特征点d1～d7)匹配的第四特征(包括特征点f1～f7)及其所对应的点f。据此，曲线对齐装置即可调整当前曲线E及/或当前曲线F，使得点e对齐点f，从而完成当前曲线E与当前曲线F的对齐操作。

需说明的是，上述第一特征与第二特征的对应关系可包括操作人员对于测试曲线的多个对齐操作。举例来说，图5A及图5B是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的范例。请参照图5A，对于测试曲线A1、B1，操作人员可实施由测试曲线B1中波峰的边缘指向测试曲线A1中对应波峰的边缘的两个对齐操作并将这两个对齐操作所对应特征的对应关系记录为特征数据，而对于当前曲线C1、D1，则可利用先前记录的特征数据找到与当前曲线D1中的波峰相对应的当前曲线C1中的波峰，从而完成当前曲线C1与D1的对齐操作。请参照图5B，对于测试曲线A2、B2，操作人员可实施由测试曲线B2中波谷的边缘指向测试曲线A2中对应波峰的边缘的两个对齐操作并将这两个对齐操作所对应特征的对应关系记录为特征数据，而对于当前曲线C2、D2，则可利用先前记录的特征数据找到与当前曲线D2中的波谷相对应的当前曲线C2中的波峰，从而完成当前曲线C2与D2的对齐操作。

通过上述方法，本发明实施例的曲线对齐装置可习取操作人员调整机台数据曲线的经验，并应用于后续数据曲线的特征比对与自动对齐，从而快速且正确地整合不同机台的分析结果，协助操作人员观察机台数据曲线之间的关联性。

需说明的是，在一些实施例中，本发明实施例的曲线对齐装置还可根据分析曲线中特征的形状及分布，将分析曲线区分为多个分段并分别进行上述的特征比对与自动对齐，从而获得较佳的分析结果。

详细而言，图6是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的流程图。请同时参照图1及图6，本实施例的方法适用于图1的曲线对齐装置10，以下即搭配曲线对齐装置10的各项组件说明本发明的曲线对齐方法的详细步骤。

在步骤S602中，由曲线对齐装置10的处理器16利用数据捕获设备12获取由至少一个机台20分析一测试样品所得的测试数据并用以生成多条测试曲线。此步骤与前述实施例的步骤S202相同或相似，故其详细内容在此不再赘述。

与前述实施例不同的是，本实施例在步骤S604中，由处理器16分析各测试曲线的多个特征，并依照这些特征的形状及分布将这些测试曲线区分为多个分段。所述的特征例如是曲线中的高峰、凹处或其他特别形状，在此不设限。处理器16例如是将曲线中连续出现的多个高峰、多个凹处或其他特征设为同个分段，并记录针对不同分段的对齐操作，以便用于后续相似分段的特征比对。

在步骤S606中，由处理器16响应于由测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点的对齐操作，记录各分段内各对齐操作的第一点对应的第一特征及第二点对应的第二特征的对应关系以作为特征数据。其中，针对测试曲线的每个分段，处理器16可根据操作人员对于该分段内曲线的对齐操作，记录其特征的对应关系，并用以作为后续特征比对所使用的特征数据。

在步骤S608中，由处理器16利用数据捕获设备12获取由机台20分析一当前样品所得的当前数据并用以生成多条当前曲线，然后在步骤S610中，分析各当前曲线的多个特征，而依照这些特征的形状及分布将当前曲线区分为多个分段。其中，处理器16可采用与前述步骤S504相同或相似的方式区分当前曲线，或是根据当前曲线所属机台的种类，采用先前针对同一机台数据曲线的区分方式对当前曲线进行区分，在此不设限。

在步骤S612中，由处理器16根据所记录各分段的特征数据中的各对应关系，针对位于这些分段中的选定分段内的第三曲线及第四曲线，搜寻第三曲线上匹配第一特征的第三点及第四曲线上匹配第二特征的第四点。其中，处理器16例如是针对各分段内的当前曲线，计算每一条当前曲线中特征的特征值，从而根据所计算特征值的大小，选择在选定分段内用以对齐的当前曲线。

详细而言，在某些情况下，曲线的某些区段内的特征不够明显，因此无法或不易用于特征比对，因此，较佳的做法是观察曲线特征的对应关系，在不同的区段中采用可利用的特征(例如高峰、凹处或其他特别形状)做为特征比对的依据。此特征可用以对齐该区段中的曲线，本实施例不限制其范围。

在步骤S614中，由处理器16调整选定分段内的第三曲线及第四曲线的至少其中之一，使得第三点对齐第四点。

需说明的是，在一些实施例中，处理器16在完成各个选定分段内曲线的对齐之后，例如会对当前曲线重新进行分段及特征比对，并比较采用不同分段方式所获得的对应特征，从而找出当前曲线之间的所有对应特征，避免因分段错误所造成的对应特征的漏失。

举例来说，图7是根据本发明一实施例所绘示的曲线对齐方法的范例。请参照图7，本实施例是由曲线对齐装置在显示器上显示由单一机台或不同机台分析同一当前样品所生成的测试曲线(包括A线、B线、C线、D线、E线及F线)。其中，曲线对齐装置例如是根据密集变化的A线及B线来区分出区段62，根据C线及E线的对应起伏来区分出区段64，根据C线的3个高峰和D线的3个凹处来区分出区段66，根据起伏频率和振幅相当的E线及F线来区分出区段68，以及根据形状相似的E线及F线来区分出区段70。针对上述当前曲线的多个区段62～70，曲线对齐装置例如是在区段62内藉由将B线对齐A线来实现对齐操作，在区段64内藉由C线与E线中连续且交互出现的多个波峰及波谷来实现对齐操作，在区段66内藉由将C线的3个高峰与D线的3个凹处对齐来实现对齐操作，在区段68内藉由将E线及F线对齐来实现对齐操作，在区段70内则藉由将E线及F线对齐来实现对齐操作。藉由利用各区段62-70中特征明显的曲线来进行对齐操作，可获得较佳的对齐结果。

综上所述，本发明实施例的曲线对齐方法及曲线对齐装置，通过监测操作人员对单一机台或不同机台输出数据的曲线所进行的对齐操作并记录为特征数据，用以对机台后续输出数据的曲线进行特征比对，从而筛选出合适的对齐操作而套用于当前曲线的对齐。藉此，本发明实施例可将繁复的调整/对齐过程转换为经验并回馈于当前曲线的调整，从而实现曲线的自动对齐，可正确且快速地整合不同机台的分析结果。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (20)

1.一种曲线对齐方法，适用于具有数据捕获设备及处理器的电子装置，其特征在于，所述方法包括下列步骤：

利用所述数据捕获设备获取由至少一机台分析一测试样品所得的测试数据并用以生成多条测试曲线；

响应于由所述测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点的对齐操作，记录所述第一点对应的第一特征及所述第二点对应的第二特征的对应关系，并集合多个所述对齐操作的所述对应关系作为特征数据；

利用所述数据捕获设备获取由所述机台分析一当前样品所得的当前数据并用以生成多条当前曲线；

根据所记录的所述特征数据中的各所述对应关系，针对所述当前曲线中的第三曲线及第四曲线，搜寻所述第三曲线上匹配所述第一特征的第三点及所述第四曲线上匹配所述第二特征的第四点；以及

调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，更包括：

分析各所述测试曲线的多个特征，并依照所述特征的形状及分布区分所述测试曲线为多个分段；以及

记录各所述分段内各所述对齐操作的所述第一点对应的所述第一特征及所述第二点对应的所述第二特征的对应关系以作为所述特征数据。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，更包括：

分析各所述当前曲线的多个特征，并依照所述特征的形状及分布区分所述当前曲线为多个分段；以及

根据所记录各所述分段的所述特征数据中的各所述对应关系，针对位于所述分段中的一选定分段内的所述第三曲线及第四曲线，搜寻所述第三曲线上匹配所述第一特征的所述第三点及所述第四曲线上匹配所述第二特征的所述第四点；以及

调整所述选定分段内的所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，更包括：

针对各所述分段内的所述当前曲线，计算各所述当前曲线中的所述特征的一特征值；以及

根据所述特征值的大小，选择在所述选定分段内用以对齐的所述当前曲线。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中搜寻所述第三曲线上匹配所述第一特征的所述第三点及所述第四曲线上匹配所述第二特征的所述第四点的步骤包括：

利用滑动窗口分别对所述第三曲线及所述第四曲线进行特征比对，以搜寻出所述第三点及所述第四点，其中所述特征比对包括斜率比对、相关性比对或位置比对。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，其中在搜寻所述第三曲线上匹配所述第一特征的第三点及所述第四曲线上匹配所述第二特征的第四点的步骤之后，所述方法更包括：

响应于对于所搜寻的所述第三点及所述第四点的确认操作，以调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点；以及

累计所述第一特征与所述第二特征的所述对应关系的记录次数，并依据所累计的所述记录次数调整所述对应关系用于所述特征比对的权重。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中记录所述第一点对应的第一特征及所述第二点对应的第二特征的对应关系，并集合多个所述对齐操作的所述对应关系作为特征数据的步骤包括：

累计各所述对应关系的记录次数，并依据所累计的所述记录次数调整所述对应关系用于所述特征比对的权重。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点的步骤包括：

对所述第三曲线或所述第四曲线进行等比例伸缩使得所述第三点对齐所述第四点。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点的步骤包括：

定义用以调整所述第三曲线及所述第四曲线的基线，以所述基线为基准调整所述第三曲线或所述第四曲线，使得所述第三点对齐所述第四点。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点的步骤之后，所述方法更包括：

以对齐后的所述第三点及所述第四点所在的位置定义基线，并以所述基线为基准继续调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一。

11.一种曲线对齐装置，其特征在于，包括：

数据捕获设备，连接至少一机台；

存储装置；

处理器，耦接所述数据捕获设备及所述存储装置，经配置以：

利用所述数据捕获设备获取由所述机台分析一测试样品所得的测试数据并用以生成多条测试曲线；

响应于由所述测试曲线中的第一曲线周围的第一点指向至第二曲线周围的第二点的对齐操作，记录所述第一点对应的第一特征及所述第二点对应的第二特征的对应关系于所述存储装置，并集合多个所述对齐操作的所述对应关系作为特征数据；

利用所述数据捕获设备获取由所述机台分析一当前样品所得的当前数据并用以生成多条当前曲线；

根据记录在所述存储装置的所述特征数据中的各所述对应关系，针对所述当前曲线中的第三曲线及第四曲线，搜寻所述第三曲线上匹配所述第一特征的第三点及所述第四曲线上匹配所述第二特征的第四点；以及

调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点。

12.根据权利要求11所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括分析各所述测试曲线的多个特征，并依照所述特征的形状及分布区分所述测试曲线为多个分段，以及记录各所述分段内各所述对齐操作的所述第一点对应的所述第一特征及所述第二点对应的所述第二特征的对应关系以作为所述特征数据。

13.根据权利要求12所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括根据所记录各所述分段的所述特征数据中的各所述对应关系，针对位于所述分段中的一选定分段内的所述第三曲线及第四曲线，搜寻所述第三曲线上匹配所述第一特征的所述第三点及所述第四曲线上匹配所述第二特征的所述第四点，以及调整所述选定分段内的所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点。

14.根据权利要求13所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括针对各所述分段内的所述当前曲线，计算各所述当前曲线中的所述特征的一特征值，以及根据所述特征值的大小，选择在所述选定分段内用以对齐的所述当前曲线。

15.根据权利要求11所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括利用滑动窗口分别对所述第三曲线及所述第四曲线进行特征比对，以搜寻出所述第三点及所述第四点，其中所述特征比对包括斜率比对、相关性比对或位置比对。

16.根据权利要求15所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括响应于对于所搜寻的所述第三点及所述第四点的确认操作，以调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一，使得所述第三点对齐所述第四点，以及累计所述第一特征与所述第二特征的所述对应关系的记录次数，并依据所累计的所述记录次数调整所述对应关系用于所述特征比对的权重。

17.根据权利要求11所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括累计各所述对应关系的记录次数，并依据所累计的所述记录次数调整所述对应关系用于所述特征比对的权重。

18.根据权利要求11所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括对所述第三曲线或所述第四曲线进行等比例伸缩使得所述第三点对齐所述第四点。

19.根据权利要求11所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括定义用以调整所述第三曲线及所述第四曲线的基线，以所述基线为基准调整所述第三曲线或所述第四曲线，使得所述第三点对齐所述第四点。

20.根据权利要求11所述的曲线对齐装置，其特征在于，其中所述处理器包括以对齐后的所述第三点及所述第四点所在的位置定义基线，并以所述基线为基准继续调整所述第三曲线及所述第四曲线的至少其中之一。