TWI802363B

TWI802363B - 曲線對齊方法及曲線對齊裝置

Info

Publication number: TWI802363B
Application number: TW111113396A
Authority: TW
Inventors: 鄒翔宇; 陳弘仁
Original assignee: 閎康科技股份有限公司
Priority date: 2022-04-08
Filing date: 2022-04-08
Publication date: 2023-05-11
Also published as: JP7358581B1; TW202340711A; JP2023155117A; US20230326000A1; CN116934900A

Abstract

本發明提供一種曲線對齊方法及裝置。此方法擷取由至少一個機台分析測試樣品所得資料並用以生成多條測試曲線；響應於由測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向第二曲線周圍的第二點的對齊操作，記錄第一點對應的第一特徵及第二點對應的第二特徵的對應關係，並集合多個對齊操作的對應關係為特徵資料；擷取由機台分析當前樣品所得資料並用以生成多條當前曲線；根據所記錄特徵資料中的對應關係，搜尋當前曲線中第三曲線上匹配第一特徵的第三點及第四曲線上匹配第二特徵的第四點；以及調整第三曲線及第四曲線的至少其中之一，使得第三點對齊第四點。

Description

曲線對齊方法及曲線對齊裝置

本發明是有關於一種資料處理方法及裝置，且特別是有關於一種曲線對齊方法及曲線對齊裝置。

隨著顯微科技的進步，各種類型的顯微觀察裝置，例如原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope，AFM）、電子顯微鏡如穿透式電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）、掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscopy，SEM）、二次離子質譜儀（SIMS）、展阻分析儀（SRP）、X射線能量散布分析儀（EDS）、X光光電子能譜儀（XPS）、歐傑電子能譜分析儀（FE-AES）、薄膜厚度輪廓測量儀（α-step），因應而生。電子顯微鏡的高解析三維影像技術應用在臨床醫療及生物分子研究的分析檢測應用上，可有效地增加觀測影像的解析度以及觀測結果的精確度。

在使用顯微觀察裝置對樣品進行分析的過程中，需要對不同機台的分析結果進行整合，包括對多個機台的檢測資料進行調整、擴充、整併等，藉此得出樣品的完整分析報告。其中，由於每個機台的規格、特性、操作方式、操作環境不盡相同，其檢測資料的曲線彼此間可能存在偏移、形變等差異，因此在整合這些檢測資料時，需仰賴操作人員依經驗手動調整曲線，找出其中的關聯性並加以對齊，從而獲得正確的分析結果，分析過程費時費力。

本發明實施例提供一種曲線對齊方法及曲線對齊裝置，通過學習過往曲線對齊的操作經驗，可實現多機台資料曲線的自動調整及對齊。

本發明實施例的曲線對齊方法，適用於具有資料擷取裝置及處理器的電子裝置。此方法包括下列步驟：利用資料擷取裝置擷取由至少一個機台分析一測試樣品所得的資料並用以生成多條測試曲線；響應於由測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點的對齊操作，記錄第一點對應的第一特徵及第二點對應的第二特徵的對應關係，並集合多個對齊操作的對應關係作為特徵資料；利用資料擷取裝置擷取由機台分析一當前樣品所得的資料並用以生成多條當前曲線；根據所記錄特徵資料中的各對應關係，針對當前曲線中的第三曲線及第四曲線，搜尋第三曲線上匹配第一特徵的第三點及第四曲線上匹配第二特徵的第四點；以及調整第三曲線及第四曲線的至少其中之一，使得第三點對齊第四點。

本發明實施例的曲線對齊裝置包括資料擷取裝置、儲存裝置及處理器。其中，資料擷取裝置用以連接至少一個機台。處理器耦接資料擷取裝置及儲存裝置，經配置以利用資料擷取裝置擷取由機台分析一測試樣品所得的資料並用以生成多條測試曲線響應於由測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點的對齊操作，記錄第一點對應的第一特徵及第二點對應的第二特徵的對應關係，並集合多個對齊操作的對應關係作為特徵資料，利用資料擷取裝置擷取由機台分析一當前樣品所得的資料並用以生成多條當前曲線，根據所記錄特徵資料中的各對應關係，針對當前曲線中的第三曲線及第四曲線，搜尋第三曲線上匹配第一特徵的第三點及第四曲線上匹配第二特徵的第四點，以及調整第三曲線及第四曲線的至少其中之一，使得第三點對齊第四點。

基於上述，本發明的曲線對齊方法及曲線對齊裝置，擷取操作人員對單一機台或不同機台輸出資料曲線所進行的對齊操作並記錄為特徵資料，用以對機台後續輸出資料的曲線進行特徵比對及調整，從而實現單一機台或多機台資料曲線的自動對齊。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

本揭露實施例提出一種曲線對齊方法及曲線對齊裝置，針對單一機台分析測試樣品或不同機台分析同一測試樣品所得資料的曲線之間的偏移、形變等差異，通過學習操作人員對這些曲線所進行的對齊操作並記錄為特徵資料，後續在取得當前樣品的曲線時，則基於此特徵資料對曲線進行特徵比對，藉此找出這些曲線之間的關聯性並進行對齊，從而正確且快速地整合不同機台的分析結果。

圖1是根據本發明的一實施例所繪示的曲線對齊裝置的方塊圖。請參照圖1，本實施例的曲線對齊裝置10例如是具備運算功能的個人電腦、伺服器、工作站或其他裝置，其中包括資料擷取裝置12、儲存裝置14與處理器16，其功能分述如下：

資料擷取裝置12例如是通用序列匯流排（universal serial bus，USB）、RS232、通用非同步連接裝置/傳送器（universal asynchronous receiver/transmitter，UART）、內部整合電路（I2C）、序列周邊介面（serial peripheral interface，SPI）、顯示埠（display port）、雷電埠（thunderbolt）或區域網路（local area network，LAN）介面等有線的連接裝置，或是支援無線保真（wireless fidelity，Wi-Fi）、RFID、藍芽、紅外線、近場通訊（near-field communication，NFC）或裝置對裝置（device-to-device，D2D）等通訊協定的無線連接裝置。資料擷取裝置12可連接用以分析樣品的至少一個機台20，以擷取機台20分析樣品所得的資料。所述機台20例如是例如二次離子質譜儀（SIMS）、展阻分析儀（SRP）、X射線能量散布分析儀（EDS）、X光光電子能譜儀（XPS）、歐傑電子能譜分析儀（FE-AES）等各類型的微小區域成份分析裝置，在此不設限。

儲存裝置14例如是任意型式的固定式或可移動式隨機存取記憶體（random access memory，RAM）、唯讀記憶體（read-only memory，ROM）、快閃記憶體（flash memory）、硬碟或其他類似裝置或這些裝置的組合，而用以儲存可由處理器16執行的程式。在一些實施例中，儲存裝置14可記錄對資料擷取裝置12所擷取的資料以及對該資料的曲線進行對齊操作及特徵辨識所得的特徵資料。其中，所記錄的資料例如是以文字檔、試算表、樹狀結構的形式儲存在資料庫中，以供搜尋時調用，本實施例不限制其儲存方式。

處理器16耦接資料擷取裝置12以及儲存裝置14，用以控制曲線對齊裝置10的運行。在一些實施例中，處理器16例如是中央處理單元（central processing unit，CPU），或是其他可程式化之一般用途或特殊用途的微處理器（microprocessor）、數位訊號處理器（digital signal processor，DSP）、可程式化控制器、特殊應用積體電路（application specific integrated circuit，ASIC）、場域可程式閘陣列（field programmable gate array，FPGA）、可程式化邏輯控制器（programmable logic controller，PLC）或其他類似裝置或這些裝置的組合，而可載入並執行儲存裝置14中儲存的程式，以執行本揭露實施例的曲線對齊方法。

在一些實施例中，曲線對齊裝置10還包括用以顯示資料擷取裝置12所擷取資料的曲線的顯示器，以及用以對該顯示器所顯示的曲線進行操作的操作裝置，其中所述顯示器例如是液晶顯示器（liquid-crystal display，LCD），所述操作裝置例如是滑鼠、鍵盤、觸控板、觸控螢幕等裝置，在此不設限。

圖2是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的流程圖。請同時參照圖1及圖2，本實施例的方法適用於圖1的曲線對齊裝置10，以下即搭配曲線對齊裝置10的各項元件說明本揭露的曲線對齊方法的詳細步驟。

在步驟S202中，由曲線對齊裝置10的處理器16利用資料擷取裝置12擷取由至少一個機台20分析一測試樣品所得的測試資料並用以生成多條測試曲線。其中，處理器16例如是利用資料擷取裝置12從機台20擷取其分析測試樣品的原始資料（raw data），並繪製成測試曲線，其中包括生成測試曲線的名稱、點數、備註等曲線資訊，並計算測試曲線的平均值、最小值、最大值、及其他具備意義之統計資訊。

在一些實施例中，處理器16可進一步將所繪製的測試曲線顯示於顯示器，並列出上述的曲線資訊、統計資訊及軸資訊。例如，在圖3所示的曲線圖30中，即顯示出測試曲線32、34及其相關的軸資訊（時間、強度），所述測試曲線32、34表示出不同機台分析一測試樣品所得的訊號強度隨時間的變化。

在一些實施例中，處理器16可通過操作裝置接收操作人員對測試曲線進行的調整操作。其中，操作人員可使用滑鼠（按住左鍵或右鍵）拖曳測試曲線，以對測試曲線進行平移、伸縮等操作，或是使用滑鼠點擊測試曲線，以對測試曲線進行切斷、合併等操作，在此不設限。在一些實施例中，操作人員可使用滑鼠由測試曲線中第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點，以對測試曲線進行對齊操作，所述的對齊操作例如是以曲線起點或自定義的基準線為基準（即，固定位在該基準線上的測試曲線的點），對第一或第二曲線進行縮放，使得第一點與第二點彼此對齊的操作。

在步驟S204中，響應於由測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點的對齊操作，處理器16將第一點對應的第一特徵及第二點對應的第二特徵的對應關係記錄於儲存裝置14，並集合多個對齊操作的對應關係作為特徵資料。所述的特徵資料例如包括第一點及第二點的位置、對應曲線的名稱、對應特徵的特徵點、對應的點距等，在此不設限。

詳細而言，在一些實施例中，所述的第一特徵例如包括第一曲線上位於第一點周圍的多個特徵點，第二特徵例如包括第二曲線上位於第二點周圍的多個特徵點，這些特徵點例如是根據曲線形狀以等時間間隔或等距方式取樣所得的特徵點，其數量可依曲線的形變程度或所期望的精細度決定，本實施例不限制其取得方式。在一些實施例中，所述的第一特徵記錄第一點與第一曲線的相對關係（即，全局特徵），所述的第二特徵記錄第二點與第二曲線的相對關係，但不限於此。

在步驟S206中，處理器16利用資料擷取裝置12擷取由機台20分析一當前樣品所得的當前資料並用以生成多條當前曲線。

在步驟S208中，處理器16根據所記錄特徵資料中的各對應關係，針對當前曲線中的第三曲線及第四曲線，搜尋第三曲線上匹配第一特徵的第三點及第四曲線上匹配第二特徵的第四點。其中，處理器16例如會根據第三曲線及第四曲線所對應的機台種類、曲線名稱、位置、特徵點、解析度等資訊，使用特徵資料來比對第三曲線及第四曲線中特徵的相似程度，從而篩選出適合套用於第三曲線及第四曲線的對齊操作，以便進行自動對齊。

詳細而言，處理器16例如是利用滑動視窗（sliding window）分別對第三曲線及所述第四曲線進行特徵比對，以從第三曲線中搜尋出與第一特徵匹配的第三點以及從第四曲線中搜尋出與第二特徵匹配的第四點。其中，所述的特徵比對包括斜率比對、相關性（correlation）比對或位置比對，但本實施例不限於此。

在一些實施例中，上述特徵比對所使用的特徵資料例如可根據測試階段所接收對齊操作或是實作階段所接收的確認操作的累計記錄次數來進行權重調整，調整後的權重例如亦儲存於資料庫中，用以作為後續特徵比對的依據。即，若某第一特徵對應到某第二特徵的對齊操作的累計次數較多時，當其特徵資料在日後搜尋時被匹配當前曲線中的特徵時，該對齊操作被調用的可能性較大。藉此，可調整該對齊操作所指向的對應關係用於特徵比對的權重，使得比對結果反應操作人員的真實操作，而優化使用者體驗。此外，在搜尋出與第一特徵匹配的第三點以及與第二特徵匹配的第四點之後，響應於操作人員對於此第三點及第四點的確認操作，可調整該確認操作所確認的對應關係用於特徵比對的權重，使得比對結果反應操作人員的真實操作；相對地，若操作人員刪除某個第三點及第四點的對應關係，則可降低將此對應關係用於特徵比對的權重，以減少此對應關係被調用的可能性。

在步驟S210中，處理器16調整第三曲線及第四曲線的至少其中之一，使得第三點對齊第四點。其中，處理器16例如是對第三曲線及/或第四曲線進行等比例伸縮，以使得第三點對齊第四點。在一些實施例中，處理器16可額外定義用以調整第三曲線及第四曲線的基準線，並且以該基準線為基準（即，固定在該基準線上的第三曲線或第四曲線的點）來調整第三曲線或第四曲線，以使得第三點對齊第四點。在一些實施例中，處理器16還可以對齊後的第三點及第四點所在的位置定義基準線，並以該基準線為基準繼續調整第三曲線或第四曲線。

舉例來說，圖4A至圖4C是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的範例。請參照圖4A，本實施例是由曲線對齊裝置在顯示器上顯示由不同機台分析一測試樣品的資料所生成的測試曲線C、D，並接收操作人員由測試曲線C周圍的點c指向測試曲線D周圍的點d的對齊操作。接著，請參照圖4B，曲線對齊裝置會將測試曲線C上對應於點c的多個特徵點c1~c4作為第一特徵，將測試曲線D上對應於點d的多個特徵點d1~d7作為第二特徵，並記錄第一特徵與第二特徵的對應關係作為特徵資料。請參照圖4C，當曲線對齊裝置接收到相同機台或同類型機台分析一當前樣品所得的資料並用以生成當前曲線E、F時，即會利用先前記錄的特徵資料對當前曲線E、F上的多個特徵進行分析，從而找到當前曲線E上與第一特徵（包括特徵點c1~c4）匹配的第三特徵（包括特徵點e1~e4）及其所對應的點e，並找到當前曲線F上與第二特徵（包括特徵點d1~d7）匹配的第四特徵（包括特徵點f1~f7）及其所對應的點f。據此，曲線對齊裝置即可調整當前曲線E及/或當前曲線F，使得點e對齊點f，從而完成當前曲線E與當前曲線F的對齊操作。

需說明的是，上述第一特徵與第二特徵的對應關係可包括操作人員對於測試曲線的多個對齊操作。舉例來說，圖5A及圖5B是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的範例。請參照圖5A，對於測試曲線A1、B1，操作人員可實施由測試曲線B1中波峰的邊緣指向測試曲線A1中對應波峰的邊緣的兩個對齊操作並將這兩個對齊操作所對應特徵的對應關係記錄為特徵資料，而對於當前曲線C1、D1，則可利用先前記錄的特徵資料找到與當前曲線D1中的波峰相對應的當前曲線C1中的波峰，從而完成當前曲線C1與D1的對齊操作。請參照圖5B，對於測試曲線A2、B2，操作人員可實施由測試曲線B2中波谷的邊緣指向測試曲線A2中對應波峰的邊緣的兩個對齊操作並將這兩個對齊操作所對應特徵的對應關係記錄為特徵資料，而對於當前曲線C2、D2，則可利用先前記錄的特徵資料找到與當前曲線D2中的波谷相對應的當前曲線C2中的波峰，從而完成當前曲線C2與D2的對齊操作。

通過上述方法，本發明實施例的曲線對齊裝置可習取操作人員調整機台資料曲線的經驗，並應用於後續資料曲線的特徵比對與自動對齊，從而快速且正確地整合不同機台的分析結果，協助操作人員觀察機台資料曲線之間的關聯性。

需說明的是，在一些實施例中，本發明實施例的曲線對齊裝置還可根據分析曲線中特徵的形狀及分佈，將分析曲線區分為多個分段並分別進行上述的特徵比對與自動對齊，從而獲得較佳的分析結果。

詳細而言，圖6是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的流程圖。請同時參照圖1及圖6，本實施例的方法適用於圖1的曲線對齊裝置10，以下即搭配曲線對齊裝置10的各項元件說明本揭露的曲線對齊方法的詳細步驟。

在步驟S502中，由曲線對齊裝置10的處理器16利用資料擷取裝置12擷取由至少一個機台20分析一測試樣品所得的測試資料並用以生成多條測試曲線。此步驟與前述實施例的步驟S202相同或相似，故其詳細內容在此不再贅述。

與前述實施例不同的是，本實施例在步驟S504中，由處理器16分析各測試曲線的多個特徵，並依照這些特徵的形狀及分佈將這些測試曲線區分為多個分段。所述的特徵例如是曲線中的高峰、凹處或其他特別形狀，在此不設限。處理器16例如是將曲線中連續出現的多個高峰、多個凹處或其他特徵設為同個分段，並記錄針對不同分段的對齊操作，以便用於後續相似分段的特徵比對。

在步驟S506中，由處理器16響應於由測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點的對齊操作，記錄各分段內各對齊操作的第一點對應的第一特徵及第二點對應的第二特徵的對應關係以作為特徵資料。其中，針對測試曲線的每個分段，處理器16可根據操作人員對於該分段內曲線的對齊操作，記錄其特徵的對應關係，並用以作為後續特徵比對所使用的特徵資料。

在步驟S508中，由處理器16利用資料擷取裝置12擷取由機台20分析一當前樣品所得的當前資料並用以生成多條當前曲線，然後在步驟S510中，分析各當前曲線的多個特徵，而依照這些特徵的形狀及分佈將當前曲線區分為多個分段。其中，處理器16可採用與前述步驟S504相同或相似的方式區分當前曲線，或是根據當前曲線所屬機台的種類，採用先前針對同一機台資料曲線的區分方式對當前曲線進行區分，在此不設限。

在步驟S512中，由處理器16根據所記錄各分段的特徵資料中的各對應關係，針對位於這些分段中的選定分段內的第三曲線及第四曲線，搜尋第三曲線上匹配第一特徵的第三點及第四曲線上匹配第二特徵的第四點。其中，處理器16例如是針對各分段內的當前曲線，計算每一條當前曲線中特徵的特徵值，從而根據所計算特徵值的大小，選擇在選定分段內用以對齊的當前曲線。

詳細而言，在某些情況下，曲線的某些區段內的特徵不夠明顯，因此無法或不易用於特徵比對，因此，較佳的做法是觀察曲線特徵的對應關係，在不同的區段中採用可利用的特徵（例如高峰、凹處或其他特別形狀）做為特徵比對的依據。此特徵可用以對齊該區段中的曲線，本實施例不限制其範圍。

在步驟S514中，由處理器16調整選定分段內的第三曲線及第四曲線的至少其中之一，使得第三點對齊第四點。

需說明的是，在一些實施例中，處理器16在完成各個選定分段內曲線的對齊之後，例如會對當前曲線重新進行分段及特徵比對，並比較採用不同分段方式所獲得的對應特徵，從而找出當前曲線之間的所有對應特徵，避免因分段錯誤所造成的對應特徵的漏失。

舉例來說，圖7是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的範例。請參照圖7，本實施例是由曲線對齊裝置在顯示器上顯示由單一機台或不同機台分析同一當前樣品所生成的測試曲線（包括A線、B線、C線、D線、E線及F線）。其中，曲線對齊裝置例如是根據密集變化的A線及B線來區分出區段62，根據C線及E線的對應起伏來區分出區段64，根據C線的3個高峰和D線的3個凹處來區分出區段66，根據起伏頻率和振幅相當的E線及F線來區分出區段68，以及根據形狀相似的E線及F線來區分出區段70。針對上述當前曲線的多個區段62~70，曲線對齊裝置例如是在區段62內藉由將B線對齊A線來實現對齊操作，在區段64內藉由C線與E線中連續且交互出現的多個波峰及波谷來實現對齊操作，在區段66內藉由將C線的3個高峰與D線的3個凹處對齊來實現對齊操作，在區段68內藉由將E線及F線對齊來實現對齊操作，在區段70內則藉由將E線及F線對齊來實現對齊操作。藉由利用各區段62-70中特徵明顯的曲線來進行對齊操作，可獲得較佳的對齊結果。

綜上所述，本發明實施例的曲線對齊方法及曲線對齊裝置，通過監測操作人員對單一機台或不同機台輸出資料的曲線所進行的對齊操作並記錄為特徵資料，用以對機台後續輸出資料的曲線進行特徵比對，從而篩選出合適的對齊操作而套用於當前曲線的對齊。藉此，本發明實施例可將繁複的調整/對齊過程轉換為經驗並回饋於當前曲線的調整，從而實現曲線的自動對齊，可正確且快速地整合不同機台的分析結果。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

10:曲線對齊裝置

12:資料擷取裝置

14:儲存裝置

16:處理器

20:機台

30:曲線圖

42、44:特徵

62、64、66、68、70:區段

32、34、A1、A2、B1、B2、C、D:測試曲線

c、d、e、f:點

c1~c4、d1~d7、e1~e4、f1~f7:特徵點

C1、C2、D1、D2、E、F:當前曲線

S202~S210、S502~S514:步驟

圖1是根據本發明的一實施例所繪示的曲線對齊裝置的方塊圖。圖2是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的流程圖。圖3是根據本揭露一實施例所繪示的曲線圖。圖4A至圖4C是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的範例。圖5A及圖5B是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的範例。圖6是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的流程圖。圖7是根據本揭露一實施例所繪示的曲線對齊方法的範例。

S202~S210:步驟

Claims

一種曲線對齊方法，適用於具有資料擷取裝置及處理器的電子裝置，所述方法包括下列步驟：利用所述資料擷取裝置擷取由至少一機台分析一測試樣品所得的測試資料並用以生成多條測試曲線；響應於由所述測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點的對齊操作，記錄所述第一點對應的第一特徵及所述第二點對應的第二特徵的對應關係，並集合多個所述對齊操作的所述對應關係作為特徵資料；利用所述資料擷取裝置擷取由所述機台分析一當前樣品所得的當前資料並用以生成多條當前曲線；根據所記錄的所述特徵資料中的各所述對應關係，針對所述當前曲線中的第三曲線及第四曲線，搜尋所述第三曲線上匹配所述第一特徵的第三點及所述第四曲線上匹配所述第二特徵的第四點；以及調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項1所述的方法，更包括：分析各所述測試曲線的多個特徵，並依照所述特徵的形狀及分佈區分所述測試曲線為多個分段；以及記錄各所述分段內各所述對齊操作的所述第一點對應的所述第一特徵及所述第二點對應的所述第二特徵的對應關係以作為所述特徵資料。
如請求項2所述的方法，更包括：分析各所述當前曲線的多個特徵，並依照所述特徵的形狀及分佈區分所述當前曲線為多個分段；以及根據所記錄各所述分段的所述特徵資料中的各所述對應關係，針對位於所述分段中的一選定分段內的所述第三曲線及第四曲線，搜尋所述第三曲線上匹配所述第一特徵的所述第三點及所述第四曲線上匹配所述第二特徵的所述第四點；以及調整所述選定分段內的所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項3所述的方法，更包括：針對各所述分段內的所述當前曲線，計算各所述當前曲線中的所述特徵的一特徵值；以及根據所述特徵值的大小，選擇在所述選定分段內用以對齊的所述當前曲線。
如請求項1所述的方法，其中搜尋所述第三曲線上匹配所述第一特徵的所述第三點及所述第四曲線上匹配所述第二特徵的所述第四點的步驟包括：利用滑動視窗（sliding window）分別對所述第三曲線及所述第四曲線進行特徵比對，以搜尋出所述第三點及所述第四點，其中所述特徵比對包括斜率比對、相關性（correlation）比對或位置比對。
如請求項5所述的方法，其中在搜尋所述第三曲線上匹配所述第一特徵的第三點及所述第四曲線上匹配所述第二特徵的第四點的步驟之後，所述方法更包括：響應於對於所搜尋的所述第三點及所述第四點的確認操作，以調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點；以及累計所述第一特徵與所述第二特徵的所述對應關係的記錄次數，並依據所累計的所述記錄次數調整所述對應關係用於所述特徵比對的權重。
如請求項1所述的方法，其中記錄所述第一點對應的第一特徵及所述第二點對應的第二特徵的對應關係，並集合多個所述對齊操作的所述對應關係作為特徵資料的步驟包括：累計各所述對應關係的記錄次數，並依據所累計的所述記錄次數調整所述對應關係用於所述特徵比對的權重。
如請求項1所述的方法，其中調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點的步驟包括：對所述第三曲線或所述第四曲線進行等比例伸縮使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項1所述的方法，其中調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點的步驟包括：定義用以調整所述第三曲線及所述第四曲線的基準線，以所述基準線為基準調整所述第三曲線或所述第四曲線，使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項1所述的方法，其中調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點的步驟之後，所述方法更包括：以對齊後的所述第三點及所述第四點所在的位置定義基準線，並以所述基準線為基準繼續調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一。
一種曲線對齊裝置，包括：資料擷取裝置，連接至少一機台；儲存裝置；處理器，耦接所述資料擷取裝置及所述儲存裝置，經配置以：利用所述資料擷取裝置擷取由所述機台分析一測試樣品所得的測試資料並用以生成多條測試曲線；響應於由所述測試曲線中的第一曲線周圍的第一點指向至第二曲線周圍的第二點的對齊操作，記錄所述第一點對應的第一特徵及所述第二點對應的第二特徵的對應關係於所述儲存裝置，並集合多個所述對齊操作的所述對應關係作為特徵資料；利用所述資料擷取裝置擷取由所述機台分析一當前樣品所得的當前資料並用以生成多條當前曲線；根據記錄在所述儲存裝置的所述特徵資料中的各所述對應關係，針對所述當前曲線中的第三曲線及第四曲線，搜尋所述第三曲線上匹配所述第一特徵的第三點及所述第四曲線上匹配所述第二特徵的第四點；以及調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項11所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括分析各所述測試曲線的多個特徵，並依照所述特徵的形狀及分佈區分所述測試曲線為多個分段，以及記錄各所述分段內各所述對齊操作的所述第一點對應的所述第一特徵及所述第二點對應的所述第二特徵的對應關係以作為所述特徵資料。
如請求項12所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括根據所記錄各所述分段的所述特徵資料中的各所述對應關係，針對位於所述分段中的一選定分段內的所述第三曲線及第四曲線，搜尋所述第三曲線上匹配所述第一特徵的所述第三點及所述第四曲線上匹配所述第二特徵的所述第四點，以及調整所述選定分段內的所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項13所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括針對各所述分段內的所述當前曲線，計算各所述當前曲線中的所述特徵的一特徵值，以及根據所述特徵值的大小，選擇在所述選定分段內用以對齊的所述當前曲線。
如請求項11所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括利用滑動視窗分別對所述第三曲線及所述第四曲線進行特徵比對，以搜尋出所述第三點及所述第四點，其中所述特徵比對包括斜率比對、相關性比對或位置比對。
如請求項15所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括響應於對於所搜尋的所述第三點及所述第四點的確認操作，以調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一，使得所述第三點對齊所述第四點，以及累計所述第一特徵與所述第二特徵的所述對應關係的記錄次數，並依據所累計的所述記錄次數調整所述對應關係用於所述特徵比對的權重。
如請求項11所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括累計各所述對應關係的記錄次數，並依據所累計的所述記錄次數調整所述對應關係用於所述特徵比對的權重。
如請求項11所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括對所述第三曲線或所述第四曲線進行等比例伸縮使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項11所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括定義用以調整所述第三曲線及所述第四曲線的基準線，以所述基準線為基準調整所述第三曲線或所述第四曲線，使得所述第三點對齊所述第四點。
如請求項11所述的曲線對齊裝置，其中所述處理器包括以對齊後的所述第三點及所述第四點所在的位置定義基準線，並以所述基準線為基準繼續調整所述第三曲線及所述第四曲線的至少其中之一。