CN116901031A - 一种三轴联动执行机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种三轴联动执行机构，包括由X驱动组件驱动可沿X向往复移动的X轴机械臂、由Y轴驱动组件驱动可沿Y向往复移动的Y轴机械臂和由Z轴驱动组件驱动可沿Z向往复移动的Z轴机械臂，XY向跟随台可滑动连接于X轴机械臂的Y向导轨和Y轴机械臂的第一X向导轨，XY向跟随台还设有Z向导轨，XZ向跟随件与安装块连接，XZ向跟随件可滑动连接于Z轴机械臂的第二X向导轨，安装块可滑动连接于Z向导轨。本三轴联动执行机构通过将X轴、Y轴和Z轴的驱动装置固定于工作台上，通过驱动相应的机械臂以及相互滑动连接的部件，使机构的执行端能在三轴空间内自由活动，且能准确移动至指定位置。

Description

一种三轴联动执行机构

技术领域

本发明涉及一种移动执行机构，特别是一种三轴联动执行机构。

背景技术

随着国家经济的持续快速发展，我国正从劳动密集型制造业向智能制造业的方向转型升级，在生产技术不断升级发展的同时，更多的自动化生产设备被运用到制造业中的各个制造环节。

在很多制造工序中，需要使用到可以大范围移动的机械手等执行机构，除了平面范围内的移动执行机构以外，更加需要使用空间范围内的移动执行机构，可以在三个方向上进行移动实现空间位置的定位，进而实行具体工序的操作。

现有技术中的空间移动执行机构大多都是在指定平面上设置可沿X轴移动装置，在垂直X轴移动装置上安装Y轴移动装置，在Y轴移动装置上安装Z轴移动装置，则Z轴移动装置可上下移动，Y轴移动装置搭载Z轴移动装置整体可前后移动，X轴移动装置搭载Y轴移动装置和Z轴移动装置整体可左右移动。上述现有技术中的空间移动执行机构由于驱动装置会随移动装置一起移动，使得基础移动装置(如X轴装置和Y轴移动装置)的负重太大，如此对驱动装置的电机会产生较大的负荷，电机损耗问题严重，且负重也会影响移动机构的执行效率。

发明内容

针对上述缺陷，本发明的目的在于提出一种三轴联动执行机构，解决空间执行机构由于驱动装置随移动装置一并移动而导致整体机构负重较大，执行效率不高的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种三轴联动执行机构，包括工作台、X轴驱动组件、X轴机械臂、Y轴驱动组件、Y轴机械臂、Z轴驱动组件、Z轴机械臂、XY向跟随台、XZ向跟随件和安装块；

所述X轴驱动组件和Y轴驱动组件分别架设于所述工作台的台面，所述Z轴驱动组件竖直固定于所述工作台的台面；所述X轴驱动组件活动安装有所述X轴机械臂，所述X轴驱动组件用于带动所述X轴机械臂沿X向往复移动；所述Y轴驱动组件活动安装有所述Y轴机械臂，所述Y轴驱动组件用于带动所述Y轴机械臂沿Y向往复移动；所述Z轴驱动组件活动安装有所述Z轴机械臂，所述Z轴驱动组件用于带动所述Z轴机械臂沿Z向往复移动；

所述X轴机械臂设有Y向导轨，所述Y轴机械臂设有第一X向导轨，所述Z轴机械臂设有第二X向导轨；

所述XY向跟随台分别与所述Y向导轨和所述第一X向导轨滑动连接，所述XY向跟随台设有Z向导轨；

所述XZ向跟随件与所述第二X向导轨滑动连接，所述XZ向跟随件固定有所述安装块，所述安装块与所述Z向导轨滑动连接，所述安装块至少包括一个安装面。

优选地，所述XY向跟随台为由水平分台和竖直分台相互垂直连接组成的滑台，所述水平分台的顶部设有上滑槽，所述水平分台通过所述上滑槽的设置滑设于所述Y向导轨，所述水平分台的底部设有下滑槽，所述水平分台通过所述下滑槽的设置滑设于所述第一X向导轨，所述竖直分台设有所述Z向导轨。

优选地，所述XZ向跟随件为长度方向平行于Y轴的条形件，所述XZ向跟随件与所述第二X向导轨通过第一滑块滑动连接，所述第一滑块设有相互背向且相互垂直的第一Y向滑槽和第一X向滑槽，所述第一Y向滑槽开设于所述第一滑块的上表面，所述第一Y向滑槽与所述XZ向跟随件滑动连接，所述第一X向滑槽开设于所述第一滑块的下表面，所述第一X向滑槽与所述第二X向导轨滑动连接。

优选地，所述Z轴机械臂分为第一Y向延伸段和第一X向延伸段，所述第一Y向延伸段的一端与所述Z轴驱动组件活动连接，所述第一Y向延伸段的另一端垂直连接有所述第一X向延伸段，所述第一X向延伸段设有所述第二X向导轨，所述第一X向延伸段的顶面所在的平面高度低于所述第一Y向延伸段的顶面所在的平面，且所述第一X向延伸段的顶面所在的平面与所述第一Y向延伸段的顶面所在的平面之间为避让区，所述避让区供所述XZ向跟随件穿过。

优选地，所述X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件均为直线驱动装置，所述直线驱动装置的动子与对应的所述X轴机械臂、Y轴机械臂和Z轴机械臂连接，所述直线驱动装置的定子固定于所述工作台。

优选地，所述X轴机械臂分为X轴动子连接段和第二Y向延伸段，所述X轴动子连接段与所述X轴直线驱动装置的动子固定连接，且与所述X轴直线驱动装置的动子形成C型槽口，所述X轴直线驱动装置的动子为所述C型槽口的下部结构，所述C型槽口朝向所述X轴直线驱动装置的定子，所述C型槽口的内槽壁安装有滑块，所述滑块与所述X轴直线驱动装置的导轨滑动连接；

所述第二Y向延伸段水平设置，所述第二Y向延伸段的一端与所述X轴动子连接段垂直连接，所述第二Y向延伸段的另一端沿Y向延伸，所述第二Y向延伸段的底面与所述C型槽口的底面平齐设置，所述第二Y向延伸段底面安装有所述Y向导轨。

优选地，所述Y轴机械臂分为Y轴动子连接段和第二X向延伸段，所述Y轴动子连接段与所述Y轴直线驱动装置的动子固定连接，且与所述Y轴直线驱动装置的动子形成C型槽口，所述Y轴直线驱动装置的动子为所述C型槽口的下部结构，所述C型槽口朝向所述Y轴直线驱动装置的定子，所述C型槽口的内槽壁安装有滑块，所述滑块与所述Y轴直线驱动装置的导轨滑动连接；

所述第二X向延伸段水平设置，所述第二X向延伸段的一端与所述Y轴动子连接段垂直连接，所述第二X向延伸段的另一端沿X向延伸，所述第二X向延伸段的底面与所述C型槽口的底面平齐设置，所述第二向延伸段顶面安装有所述第一X向导轨。

优选地，所述直线驱动装置包括光栅尺和编码器。

优选地，所述直线驱动装置的定子外部设有原点位置传感器，所述原点位置传感位于所述定子沿长度方向的其中一侧端，所述X轴机械臂、Y轴机械臂和Z轴机械臂分别设有与对应所述原点位置传感器配合使用的金属感应部。

优选地，所述X轴机械臂、Y轴机械臂、Z轴机械臂、XY向跟随台、XZ向跟随件和安装块采用航空铝材料加工而成。

本发明提供的技术方案可以包括以下有益效果：

通过将X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件固定于工作台上，驱动相应的机械臂沿驱动组件移动，配合以相互滑动连接的部件，使机构的执行端能在驱动组件包围形成的空间内自由活动，且能准确移动至指定位置。

附图说明

附图对本发明作进一步说明，但附图中的内容不构成对本发明的任何限制。

图1是本发明的一个实施例的结构示意图；

图2是本发明的XY向跟随台的结构示意图；

图3是本发明的XZ向跟随件与第二X向导轨的结构示意图；

图4是本发明X轴驱动组件和X轴机械臂的结构示意图；

图5是本发明Y轴驱动组件和Y轴机械臂的结构示意图；

图6是本发明Z轴驱动组件和Z轴机械臂的结构示意图。

其中：

X轴驱动组件1；

X轴机械臂2、Y向导轨21、X轴动子连接段22、第二Y向延伸段23；

Y轴驱动组件3；

Y轴机械臂4、第一X向导轨41、Y轴动子连接段42、第二X向延伸段43；

Z轴驱动组件5；

Z轴机械臂6、第二X向导轨61、第一Y向延伸段62、第一X向延伸段63；

XY向跟随台7、Z向导轨71、上滑槽72、下滑槽7；

XZ向跟随件8、安装块9；

第一滑块10、第一Y向滑槽101、第一X向滑槽102；

动子111、光栅尺222、编码器333、原点位置传感器444和金属感应部555。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面结合附图1至图6并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

一种三轴联动执行机构，包括工作台、X轴驱动组件1、X轴机械臂2、Y轴驱动组件3、Y轴机械臂4、Z轴驱动组件5、Z轴机械臂6、XY向跟随台7、XZ向跟随件8和安装块9；

所述X轴驱动组件1和Y轴驱动组件3分别架设于所述工作台的台面，所述Z轴驱动组件5竖直固定于所述工作台的台面，所述X轴驱动组件1、Y轴驱动组件3和Z轴驱动组件5形成的工作台上的空间则为机构的执行端的移动空间；所述X轴驱动组件1活动安装有所述X轴机械臂2，所述Y轴驱动组件3活动安装有所述Y轴机械臂4，所述Z轴驱动组件5活动安装有所述Z轴机械臂6，架设于工作台上的X轴驱动组件1、Y轴驱动组件3和Z轴驱动组件5作为三个轴的动力源，所述X轴驱动组件1用于带动所述X轴机械臂2沿X向往复移动，所述Y轴驱动组件3用于带动所述Y轴机械臂4沿Y向往复移动，所述Z轴驱动组件5用于带动所述Z轴机械臂6沿Z向往复移动。

所述X轴机械臂2设有Y向导轨21，所述Y轴机械臂设有第一X向导轨41，所述Z轴机械臂设有第二X向导轨61，XY向跟随台7分别与Y向导轨21和第一X向导轨41滑动连接，使得XY向跟随台7既能随X轴机械臂2沿X向往复移动，又能随Y轴机械臂4沿Y向往复移动，且能同时进行X向和Y向的移动，互不影响。

所述XZ向跟随件8与所述第二X向导轨61滑动连接，所述XZ向跟随件8固定有所述安装块9，令XY向跟随台7能带动安装块9在各自所在的XY面移动；另，安装块9能滑动连接于所述XY向跟随台7的Z向导轨71，则当Z轴机械臂6沿Z向移动时，XZ向跟随件8会带动安装块9沿Z向导轨71移动。综上，安装块9作为本机构的执行端，可以通过上述结构的联动，实现在XYZ向的空间范围内移动。

本发明通过将X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件固定在工作台的台面，三轴方向重量较大的动力提供结构均固定在工作台，通过三轴对应的机械臂、导轨以及XZ向跟随件、XY向跟随台的设置，实现驱动结构可活动部分的轻量化设置，进而实现高速和高精度地执行移动。

此外，安装块9至少包括一个安装面，可以配合具体的生产、工作模式，安装不同的部件或装置，如抓取结构等，则可实现在工作台上的空间范围内，将目标物件从初始位置移动至目标位置，能适应很多应用场景。

进一步地，所述XY向跟随台7为由水平分台和竖直分台相互垂直连接组成的滑台，所述水平分台的顶部设有上滑槽72，所述水平分台通过所述上滑槽72的设置滑设于所述Y向导轨21，所述水平分台的底部设有下滑槽73，所述水平分台通过所述下滑槽73的设置滑设于所述第一X向导轨41，使得XY向跟随台7在X向和Y向两个方向的移动导轨分设于不同水平面，相当于XY向跟随台7夹设于滑动于上方的Y向导轨21和下方的第一X向导轨41，使得XY向跟随台7在其XY平面上移动更加稳定。且所述竖直分台设有所述Z向导轨71，通过水平和竖直分台的设置，使得不同平面上的轨道更加紧凑地集成于一个结构，该结构简单、稳定。

进一步地，所述XZ向跟随件8为长度方向平行于Y轴的条形件，所述XZ向跟随件8与所述第二X向导轨61通过第一滑块10滑动连接，所述第一滑块10设有相互背向且相互垂直地第一Y向滑槽101和第一X向滑槽102，所述第一Y向滑槽101开设于所述第一滑块10的上表面，所述第一Y向滑槽101与所述XZ向跟随件8滑动连接，所述第一X向滑槽102开设于所述第一滑块10的下表面，所述第一X向滑槽102与所述第二X向导轨61滑动连接。

具体地，由于本机构为三轴联动的执行机构，则XZ向跟随件8需要具备沿Y轴方向延伸的长条形，才能满足与第二X向导轨61发生接触，从而滑动于第二X向导轨61。通过设置第一滑块10使XZ向跟随件8滑动于第二X向导轨61，能令XZ向跟随件8与第二X向导轨61的相对滑动更顺畅；同时，第一滑块10的上下表面分别设有第一Y向滑槽101和第一X向滑槽102，能更好限定XZ向跟随件8和第二X向导轨61在机构联动执行的时候在第一滑块10的相应滑槽内滑动，不容易发生偏移，机构的整体移动执行更准确。

更进一步地，如图6所示，所述Z轴机械臂6分为第一Y向延伸段62和第一X向延伸段63，所述第一Y向延伸段62的一端与所述Z轴驱动组件5活动连接，所述第一Y向延伸段62的另一端垂直连接有所述第一X向延伸段63，所述第一X向延伸段63设有所述第二X向导轨61，所述第一X向延伸段63的顶面所在的平面高度低于所述第一Y向延伸段62的顶面所在的平面，且所述第一X向延伸段63的顶面所在的平面与所述第一Y向延伸段62的顶面所在的平面之间为避让区，所述避让区供所述XZ向跟随件8穿过。

具体地，由于XZ向跟随件8通过第一滑块10滑动于第二X向导轨61，第一滑块10由于连接有第一Y向滑槽101和第一X向滑槽102，使得XZ向跟随件8与第一滑块10整体有一定的厚度。当Z轴驱动组件5驱动Z轴机械臂6上升到一定高度时，XZ向跟随件8会与架设于工作台上的Y轴机械臂4相碰，然而，通过设置Z轴机械臂6的避让区，使得XZ向跟随件8始终在该避让区内移动，受机构的其他部件影响的可能就减小。

进一步地，所述X轴驱动组件1、Y轴驱动组件3和Z轴驱动组件5均为直线驱动装置，现有技术中的直线驱动装置结构简单紧凑，响应速度快，精度高，且可通过增加定子数量来延伸获得更长的直线驱动装置；所述直线驱动装置的动子111与对应的X轴机械臂2、Y轴机械臂4和Z轴机械臂6连接，所述直线驱动装置的定子固定于所述工作台，通过对定子进行通电，能产生电磁推力，则动子111能带动机械臂产生高速、大推力的驱动；同时，由于定子和动子间无相对摩擦，因此不存在磨损，使用寿命更长。

更进一步地，如图4所示，所述X轴机械臂2分为X轴动子连接段22和第二Y向延伸段23，所述X轴动子连接段22与所述X轴直线驱动装置的动子111固定连接，且与所述X轴直线驱动装置的动子111形成C型槽口，所述X轴直线驱动装置的动子111为所述C型槽口的下部结构，所述C型槽口朝向所述X轴直线驱动装置的定子，所述C型槽口的内槽壁安装有滑块，所述滑块与所述X轴直线驱动装置的导轨滑动连接。具体地，所述X轴机械臂2通过所述X轴动子连接段22与所述X轴直线驱动装置的动子111连接，通过动子111驱动X轴机械臂2沿X向移动，且所述X轴动子连接段22安装有可沿X轴直线驱动装置的导轨滑动的滑块，使X轴机械臂2沿X轴的直线移动有直线导轨的引导，移动不容易偏离，X轴向的移动更准确。

所述第二Y向延伸段23水平设置，所述第二Y向延伸段23的一端与所述X轴动子连接段22垂直连接，所述第二Y向延伸段23的另一端沿Y向延伸，所述第二Y向延伸段23的底面与所述C型槽口的底面平齐设置，则所述第二Y向延伸段23更靠近动力输出端，响应更迅速。

同理，如图5所示，所述Y轴机械臂4分为Y轴动子连接段42和第二X向延伸段43，所述Y轴动子连接段42与所述Y轴直线驱动装置的动子111固定连接，且与所述Y轴直线驱动装置的动子111形成C型槽口，所述Y轴直线驱动装置的动子111为所述C型槽口的下部结构，所述C型槽口朝向所述Y轴直线驱动装置的定子，所述C型槽口的内槽壁安装有滑块，所述滑块与所述Y轴直线驱动装置的导轨滑动连接。具体地，所述Y轴机械臂4通过所述Y轴动子连接段42与Y轴直线驱动装置的动子111连接，通过动子111驱动Y轴机械臂4沿Y向移动，且所述Y轴动子连接段42安装有可沿Y轴直线驱动装置的导轨滑动的滑块，使Y轴机械臂4沿Y轴的直线移动有直线导轨的引导，移动不容易偏离，Y轴向的移动更准确。

所述第二X向延伸段43水平设置，所述第二X向延伸段43的一端与所述Y轴动子连接段42垂直连接，所述第二X向延伸段43的另一端沿X向延伸，所述第二X向延伸段43的底面与所述C型槽口的底面平齐设置，则所述第二X向延伸段43更靠近动力输出端，响应更迅速。

另外，所述Y向导轨21设于所述第二Y向延伸段23的底面，所述第一X向导轨41设于所述第二X向延伸段43的顶面，能更好地适配所述XY向跟随台7的上滑槽72和下滑槽73的滑动要求，更有效地利用X轴机械臂2和Y轴机械臂4之间的空间，确保本机构的内部结构紧凑。

更进一步地，参考图5所示，所述直线驱动装置包括光栅尺222和编码器333。具体地，直线驱动装置接收到控制器发出的脉冲信号后，将信号放大后传送至直线驱动装置的动子111，动子111根据接收到的脉冲信号移动距离；此时，编码器333通过读取光栅尺222上经过的光栅数量并反馈给控制器以确保机械臂移动距离是准确的。

更进一步地，所述三轴联动执行机构还包括设于所述直线驱动装置的定子外部的原点位置传感器444，所述原点位置传感器444位于所述定子沿长度方向的其中一侧端，所述X轴机械臂2、Y轴机械臂4和Z轴机械臂6分别设有与对应所述原点位置传感器444配合使用的金属感应部555。具体地，当任一机械臂搭载金属感应部555移动至原点位置感应器444，控制器接收到相应的信号，该信号表示直线驱动装置位置信息归零，即回到初始位置；后续若需要直线驱动装置移动，控制器再发出相应的脉冲信号至动子111，即可实现移动至准确的位置。

进一步地，所述X轴机械臂2、Y轴机械臂4、Z轴机械臂6、XY向跟随台7、XZ向跟随件8和安装块9均采用航空铝材料加工而成。由于航空铝材料具有质量轻且不易变形的突出优点，使用航空铝材料作为机械臂的重要材料进行制作加工，能降低联动执行机构的整体重量，进一步提升机构的移动速度和响应速度。

以上结合具体实施例描述了本发明的技术原理。这些描述只是为了解释本发明的原理，而不能以任何方式解释为对本发明保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本发明的其它具体实施方式，这些方式都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种三轴联动执行机构，其特征在于：包括工作台、X轴驱动组件、X轴机械臂、Y轴驱动组件、Y轴机械臂、Z轴驱动组件、Z轴机械臂、XY向跟随台、XZ向跟随件和安装块；

所述X轴驱动组件和Y轴驱动组件分别架设于所述工作台的台面，所述Z轴驱动组件竖直固定于所述工作台的台面；所述X轴驱动组件活动安装有所述X轴机械臂，所述X轴驱动组件用于带动所述X轴机械臂沿X向往复移动；所述Y轴驱动组件活动安装有所述Y轴机械臂，所述Y轴驱动组件用于带动所述Y轴机械臂沿Y向往复移动；所述Z轴驱动组件活动安装有所述Z轴机械臂，所述Z轴驱动组件用于带动所述Z轴机械臂沿Z向往复移动；

所述X轴机械臂设有Y向导轨，所述Y轴机械臂设有第一X向导轨，所述Z轴机械臂设有第二X向导轨；

所述XY向跟随台分别与所述Y向导轨和所述第一X向导轨滑动连接，所述XY向跟随台设有Z向导轨；

所述XZ向跟随件与所述第二X向导轨滑动连接，所述XZ向跟随件固定有所述安装块，所述安装块与所述Z向导轨滑动连接，所述安装块至少包括一个安装面。

2.根据权利要求1所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述XY向跟随台为由水平分台和竖直分台相互垂直连接组成的滑台，所述水平分台的顶部设有上滑槽，所述水平分台通过所述上滑槽的设置滑设于所述Y向导轨，所述水平分台的底部设有下滑槽，所述水平分台通过所述下滑槽的设置滑设于所述第一X向导轨，所述竖直分台设有所述Z向导轨。

3.根据权利要求1所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述XZ向跟随件为长度方向平行于Y轴的条形件，所述XZ向跟随件与所述第二X向导轨通过第一滑块滑动连接，所述第一滑块设有相互背向且相互垂直的第一Y向滑槽和第一X向滑槽，所述第一Y向滑槽开设于所述第一滑块的上表面，所述第一Y向滑槽与所述XZ向跟随件滑动连接，所述第一X向滑槽开设于所述第一滑块的下表面，所述第一X向滑槽与所述第二X向导轨滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述Z轴机械臂分为第一Y向延伸段和第一X向延伸段，所述第一Y向延伸段的一端与所述Z轴驱动组件活动连接，所述第一Y向延伸段的另一端垂直连接有所述第一X向延伸段，所述第一X向延伸段设有所述第二X向导轨，所述第一X向延伸段的顶面所在的平面高度低于所述第一Y向延伸段的顶面所在的平面，且所述第一X向延伸段的顶面所在的平面与所述第一Y向延伸段的顶面所在的平面之间为避让区，所述避让区供所述XZ向跟随件穿过。

5.根据权利要求1所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述X轴驱动组件、Y轴驱动组件和Z轴驱动组件均为直线驱动装置，所述直线驱动装置的动子与对应的所述X轴机械臂、Y轴机械臂和Z轴机械臂连接，所述直线驱动装置的定子固定于所述工作台。

6.根据权利要求5所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述X轴机械臂分为X轴动子连接段和第二Y向延伸段，所述X轴动子连接段与所述X轴直线驱动装置的动子固定连接，且与所述X轴直线驱动装置的动子形成C型槽口，所述X轴直线驱动装置的动子为所述C型槽口的下部结构，所述C型槽口朝向所述X轴直线驱动装置的定子，所述C型槽口的内槽壁安装有滑块，所述滑块与所述X轴直线驱动装置的导轨滑动连接；

所述第二Y向延伸段水平设置，所述第二Y向延伸段的一端与所述X轴动子连接段垂直连接，所述第二Y向延伸段的另一端沿Y向延伸，所述第二Y向延伸段的底面与所述C型槽口的底面平齐设置，所述第二Y向延伸段底面安装有所述Y向导轨。

7.根据权利要求5所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述Y轴机械臂分为Y轴动子连接段和第二X向延伸段，所述Y轴动子连接段与所述Y轴直线驱动装置的动子固定连接，且与所述Y轴直线驱动装置的动子形成C型槽口，所述Y轴直线驱动装置的动子为所述C型槽口的下部结构，所述C型槽口朝向所述Y轴直线驱动装置的定子，所述C型槽口的内槽壁安装有滑块，所述滑块与所述Y轴直线驱动装置的导轨滑动连接；

所述第二X向延伸段水平设置，所述第二X向延伸段的一端与所述Y轴动子连接段垂直连接，所述第二X向延伸段的另一端沿X向延伸，所述第二X向延伸段的底面与所述C型槽口的底面平齐设置，所述第二X向延伸段顶面安装有所述第一X向导轨。

8.根据权利要求5所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述直线驱动装置包括光栅尺和编码器。

9.根据权利要求8所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述直线驱动装置的定子外部设有原点位置传感器，所述原点位置传感位于所述定子沿长度方向的其中一侧端，所述所述X轴机械臂、Y轴机械臂和Z轴机械臂分别设有与对应所述原点位置传感器配合使用的金属感应部。

10.根据权利要求1所述的一种三轴联动执行机构，其特征在于：所述X轴机械臂、Y轴机械臂、Z轴机械臂、XY向跟随台、XZ向跟随件和安装块采用航空铝材料加工而成。