CN221100471U - 移动平台及aoi光学检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种移动平台及AOI光学检测设备，移动平台包括相互垂直的X向移动机构以及Y向移动机构，Y向移动机构包括相互平行的两Y向导轨，与Y向导轨平行的设置有Y向驱动机构，X向移动机构通过X向龙门横梁设在两Y向导轨上，X向龙门横梁为挤压铝型材横梁，X向龙门横梁通过Y向移动滑块与Y向导轨滑动连接，Y向移动滑块沿滑动方向的有效长度大于X向龙门横梁在该方向上的宽度。X向龙门横梁采用挤压工艺进行制造，其截面可以形成封闭结构横梁，产品综合力学性能好，刚性大重量轻，通过该横梁结构结合Y向移动滑块结构，使得在X向龙门横梁的移动方向上靠近驱动端的一端与远离驱动端的一端重复定位精度更为接近，而保证移动位置精度。

Description

移动平台及AOI光学检测设备

技术领域

本申请涉及自动光学检测技术领域，尤其涉及一种移动平台及AOI光学检测设备。

背景技术

AOI(Automated Optical Inspection，自动光学检测)是一种使用光学技术自动检测制造过程中产品的缺陷、错误或不良之处的方法。它在工业制造领域，特别是电子制造和组装领域，得到了广泛应用。AOI利用相机、光源和图像处理软件来自动识别和分析产品表面的特征。

在AOI光学检测设备中，大量使用龙门XY轴方案，为了尽可能提高龙门横梁的刚性，龙门横梁一般重量比较重。因工作区域避让空间的需求，驱动龙门横梁移动的丝杠一般布置在横梁的支撑一侧，且丝杠一般是和导轨并排布置。由丝杠驱动的主动端重复定位精度较好，另一支撑侧没有丝杠驱动，其重复定位精度比主动端较要差，当负载在从动端时，重复定位精度一般有2-5倍数的差距，这种差距会严重影响AOI光学检测设备的检测效果。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于：提供一种移动平台，其能够解决现有技术中存在的上述问题。

为达上述目的，本申请采用以下技术方案：

一方面，提供一种移动平台，包括相互垂直的X向移动机构以及Y向移动机构，所述Y向移动机构包括相互平行的两Y向导轨，与所述Y向导轨平行的设置有Y向驱动机构，所述X向移动机构通过X向龙门横梁设在两所述Y向导轨上，所述X向龙门横梁为挤压铝型材横梁，所述X向龙门横梁通过Y向移动滑块与所述Y向导轨滑动连接，所述Y向移动滑块沿滑动方向的有效长度大于所述X向龙门横梁在该方向上的宽度。

可选地，所述Y向移动滑块为一块，其长度大于所述X向龙门横梁的宽度，所述Y向移动滑块的至少一端位于所述X向龙门横梁与所述Y向导轨的重叠区域之外。

可选地，所述Y向移动滑块包括第一Y向滑块以及第二Y向滑块，所述第一Y向滑块与所述第二Y向滑块向间隔设置，以使所述第一Y向滑块与所述第二Y向滑块相背离的两端分别位于所述X向龙门横梁与所述Y向导轨的重叠区域之外。

可选地，所述Y向驱动机构包括Y向驱动电机，所述Y向驱动电机(102)的动力输出端设置有Y向丝杠，所述Y向丝杠平行设置于所述Y向导轨朝向所述X向龙门横梁的一侧，所述X向龙门横梁通过设置在所述Y向丝杠上的Y向螺母与所述Y向驱动机构传动连接。

可选地，所述X向龙门横梁上设置有X向导轨，所述X向导轨上安装有Z向移动机构，所述Z向移动机构通过X向驱动机构驱动可沿所述X向导轨滑动。

可选地，所述X向驱动机构包括X向驱动电机(202)，所述X向驱动电机(202)的动力输出端设置有X向丝杠，所述Z向移动机构通过设置在所述X向丝杠上的X向螺母与所述X向驱动机构传动连接。

可选地，所述X向驱动机构和/或所述Y向驱动机构为直线电机。

可选地，所述Y向导轨上设置有Y向防撞座，所述X向龙门横梁上与所述Y向防撞座对应的设置有Y向防撞块，和/或，所述X向导轨上设置有X向防撞座，所述Z向横梁上与所述X向防撞座对应的设置有X向防撞块。

可选地，所述Y向导轨和/或所述X向导轨上设置有导轨压块。

可选地，还包括Y轴拖链以及X轴拖链，所述X向移动机构以及所述Y向移动机构的电源线、信号线、光电开关信号线及成像模块分别设置在所述Y轴拖链和所述X轴拖链中。

可选的，所述X向龙门横梁(201)包括主框架以及设置在所述主框架一侧的安装部，所述X向驱动机构安装在所述安装部上。

可选的，所述主框架呈矩形结构，内部设置有四边形补强框，所述补强框的四个顶点分别连接于所述主框架的四个侧边的内壁中心。

可选的，所述主框架的四角向所述补强框的四个侧边垂直设置有加强筋。

另一方面，提供一种AOI光学检测设备，包括检测模块，所述检测模块安装于如上任一项所述的移动平台上。

本申请的有益效果为：

本申请中X向龙门横梁作为支撑主体工件，其材料采用6063铝材，并用挤压工艺进行制造，具有更好的质量一致性，模具成本低且工艺成本低，其截面可以形成封闭结构横梁，产品综合力学性能好，刚性大重量轻，通过该横梁结构结合有效长度大于X向龙门横梁宽度的Y向移动滑块结构，使得在X向龙门横梁的移动方向上靠近驱动端的一端与远离驱动端的一端重复定位精度更为接近，从而保证移动位置精度。

附图说明

下面根据附图和实施例对本申请作进一步详细说明。

图1为本申请实施例所述移动平台总装图；

图2为本申请实施例所述移动平台分解状态示意图；

图3为本申请实施例所述移动平台另一分解状态示意图；

图4为本申请实施例所述X向移动机构及Z向移动机构分解状态示意图；

图5为本申请实施例所述Y向移动机构分解状态示意图；

图6为本申请实施例所述X向龙门横梁截面图；

图7为本申请实施例所述又一X向龙门横梁截面图；

图8为本申请实施例所述再一X向龙门横梁截面图；

图9为本申请实施例所述再一X向龙门横梁截面图；

图10为本申请实施例所述再一X向龙门横梁截面图；

图11为本申请实施例所述再一X向龙门横梁截面图；

图12为本申请实施例所述再一X向龙门横梁截面图；

图13为本申请一实施例所述X向移动机构截面图；

图14为图3中I处局部放大图。

图中：

100、Y向移动机构；101、Y向导轨；102、Y向驱动电机；103、Y向丝杠；104、第一Y向滑块；105、第二Y向滑块；106、Y向螺母；107、Y向电机支撑座；108、Y向丝杠支撑座；109、Y向防撞座；110、Y轴拖链；

200、X向移动机构；201、X向龙门横梁；2011、安装部；2012、主框架；20121、补强框；20122、加强筋；20123、补强环；202、X向驱动电机；203、X向丝杠；204、X向螺母；205、X向电机支撑座；206、X向丝杠支撑座；207、X向联轴器；208、X向防撞座；209、X向导轨；210、X轴安装座；211、X轴拖链；212、导轨压块；

300、Z向移动机构。

具体实施方式

为使本申请解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面对本申请实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

AOI(Automated Optical Inspection，自动光学检测)是一种使用光学技术自动检测制造过程中产品的缺陷、错误或不良之处的方法。它在工业制造领域，特别是电子制造和组装领域，得到了广泛应用。AOI利用相机、光源和图像处理软件来自动识别和分析产品表面的特征。

在AOI光学检测设备中，大量使用龙门XY轴方案，为了尽可能提高龙门横梁的刚性，龙门横梁一般重量比较重。因工作区域避让空间的需求，驱动龙门横梁移动的丝杠一般布置在横梁的支撑一侧，且丝杠一般是和导轨并排布置。由丝杠驱动的主动端重复定位精度较好，另一支撑侧没有丝杠驱动，其重复定位精度比主动端较要差，当负载在从动端时，重复定位精度一般有2-5倍数的差距；这对需要高精度定位的设备而言这影响是较致命的。对于从动端的重复定位精度，龙门横梁的刚性及重量均会对其造成影响。大刚性重量轻的龙门横梁对于高速高精度设备而言，其从动端的精度一般较好，且移动到位后，镇定时间也较短，对提升产品的检测精度和产品检测时间均具有明显的帮助。

为了解决AOI产品高刚性低重量，且制造成本要尽量低的需求，本专利提出采用挤压铝型材的制造工艺，且通过优化铝横梁的截面形状，可以很好地解决行业产品的以上痛点。实现了横梁高刚性低重量，较低的制造成本等需求。

另外，因AOI光学检测设备在产线上空间布局的限制，产品期望在宽度方向做的尽量较窄，以方便产品在不同产线的集成布置需求；但又期望龙门末端成像模块的移动行程尽可能地大，以便兼容不同尺寸的检测对象。本申请对Y轴丝杠由传统与导轨水平布置改为采用上下布置方式，可以较明显地提升成像模块的移动行程。

具体的，本申请实施例提供一种移动平台，参照图1-8所示，其包括相互垂直的X向移动机构200以及Y向移动机构100，其中所述Y向移动机构100包括相互平行的两Y向导轨101，与所述Y向导轨101平行的设置有Y向驱动机构，所述X向移动机构200通过X向龙门横梁201设在两所述Y向导轨101上，所述X向龙门横梁201为挤压铝型材横梁，所述X向龙门横梁201通过Y向移动滑块与所述Y向导轨101滑动连接，所述Y向移动滑块沿滑动方向的有效长度大于所述X向龙门横梁201在该方向上的宽度。

本申请中X向龙门横梁201作为支撑主体工件，其材料采用6063铝材，并用挤压工艺进行制造，具有更好的质量一致性，模具成本低且工艺成本低，其截面可以形成封闭结构横梁，产品综合力学性能好，刚性大重量轻，通过该横梁结构结合有效长度大于X向龙门横梁201宽度的Y向移动滑块结构，使得在X向龙门横梁201的移动方向上靠近驱动端的一端与远离驱动端的一端重复定位精度更为接近，从而保证移动位置精度。

具体的，当Y向滑块的长度较长时，其与Y向导轨101之间的线性配合长度更长，有利于保持平行度，从而可以避免从动端的重复定位精度产生偏差。

可以理解的是，本申请中所述Y向移动滑块沿滑动方向的有效长度是指设置在Y向导轨101上的所有Y向滑块距离最远的两端之间的距离，该两端距离决定Y向滑块的有效长度，在本申请实施例中可以采用多种方式提高该长度。

例如，在本申请的一种可选的实施例中，所述Y向移动滑块为一块，其长度大于所述X向龙门横梁201的宽度，所述Y向移动滑块的至少一端位于所述X向龙门横梁201与所述Y向导轨101的重叠区域之外(未图示)。

具体的，Y向移动滑块可以靠近Y向驱动电机102的一端与X向龙门横梁对齐，另一端沿Y向导轨延伸至X向龙门横梁外部；或，远离Y向驱动电机102的一端与X向龙门横梁对齐，另一端沿Y向导轨延伸至X向龙门横梁外部；或，两端均延伸至X向龙门横梁外部；上述三种设置方式可以根据Y向导轨101的长度及安装位置进行合理选择，相对于Y向驱动滑块长度小于或等于X向龙门横梁的宽度，本申请中Y向移动滑块能够与Y向导轨101具有更长的线性配合长度，有利于保持平行度，从而可以避免从动端的重复定位精度产生偏差。

可选的，参照图2、图4所示，图中示出了另一种实现所述Y向移动滑块沿滑动方向的有效长度大于所述X向龙门横梁201在该方向上的宽度的方案，所述Y向移动滑块包括第一Y向滑块104以及第二Y向滑块105，所述第一Y向滑块104与所述第二Y向滑块105向间隔设置，以使所述第一Y向滑块104与所述第二Y向滑块105相背离的两端分别位于所述X向龙门横梁201与所述Y向导轨101的重叠区域之外。

本申请中采用Y向移动滑块的长度大于X向龙门横梁201宽度的方案，而不是通过同步增加X向龙门横梁201的宽度而提高Y向导轨101与Y向滑块的有效配合长度的具体原因为，一方面在X向龙门横梁201刚度足够的情况下，增加其宽度就会增加其重量，这不利于提高远离驱动端的一端重复定位精度，另一方面，X向龙门横梁201宽度的增加会减少其Y向上的运动距离，不利于空间的充分利用。

本申请实施例还提供了Y向驱动机构的具体结构，参照图5所示，所述Y向驱动机构包括Y向驱动电机102，所述Y向驱动电机102的动力输出端设置有Y向丝杠103，所述Y向丝杠103平行设置于所述Y向导轨101朝向所述X向龙门横梁201的一侧，所述X向龙门横梁201通过设置在所述Y向丝杠103上的Y向螺母106与所述Y向驱动机构传动连接。

具体的，为了实现对Y向驱动电机102的支撑，本申请实施例中还设置有Y向电机支撑座107以及Y向丝杠支撑座108，Y向丝杠103通过Y向联轴器与所述Y向驱动电机102传动连接，Y向电机支撑座107上设置有安装腔，Y向联轴器设置在安装腔中。

上述结构实现了X向龙门横梁201的Y向移动，而为了进一步实现移动平台的X向移动，参照图1-4、8所示，所述X向龙门横梁201上设置有X向导轨209，所述X向导轨209上安装有Z向移动机构300，所述Z向移动机构300通过X向驱动机构驱动可沿所述X向导轨209滑动。

具体的，所述X向驱动机构包括X向驱动电机202，所述X向驱动电机202的动力输出端设置有X向丝杠203，所述Z向移动机构300通过设置在所述X向丝杠203上的X向螺母204与所述X向驱动机构传动连接。

同样的，本实施例中具有用于对X向驱动电机202进行支撑的X向电机支撑座205以及Y向丝杠支撑座206,X向丝杠203通过X向联轴器207与所述X向驱动电机202传动连接，X向电机支撑座205上设置有安装腔，X向联轴器207设置在安装腔中。

本实施例中Y向导轨101与X向导轨209均采用高精度滚珠导轨，其可以实现高精度导向；Y向丝杠支撑座108及Y向丝杠支撑座206内部均采用滚珠轴承结构，可吸收滚珠丝杠因热胀冷缩导致的轴向方向的伸缩，以便消除相应的内应力。

本申请上述实施例中所采用的X向驱动机构与Y向驱动机构结构相同，需要指出的是，上述结构并不构成对本申请的限制，在本申请的其他实施例中还可以采用其他结构的X向驱动机构与Y向驱动机构，且X向驱动机构与Y向驱动机构还可以为不同的驱动结构。

例如，在本申请的另一个可选的实施例中，所述X向驱动机构和所述Y向驱动机构均为直线电机。

再例如，在本申请的再一个可选的实施例中，所述X向驱动机构为直线电机，Y向驱动机构为前述实施例所述的Y向驱动电机102及Y向丝杠103。

优选的，参照图4、5所示，所述Y向导轨101上设置有Y向防撞座109，所述X向龙门横梁201上与所述Y向防撞座109对应的设置有Y向防撞块，所述X向导轨209上设置有X向防撞座208，所述Z向横梁上与所述X向防撞座208对应的设置有X向防撞块，所述Y向防撞座109与所述X向防撞座208分别为两个，且分别设置在所述Y向导轨101及所述X向导轨209两端靠近极限位置处，从而可以在两个方向上实现防撞功能。

需要指出的是，上述在X方向与Y方向同时设置有防撞块与防撞座的方案并不作为对本申请的限制，在本申请其他实施例中还可以采用单独在X方向设置防撞块与防撞座，或，单独在Y方向设置防撞块与防撞座的方案。

通过设置防撞块与防撞座可以在意外情况下各机构运动到极限位置时首先防撞块与防撞座发生碰撞，从而避免运动部件收到碰撞而损坏。

可以理解的是，防撞块与防撞座的具体结构及安装位置属于本领域常规的技术手段，本申请中不对其进行详细说明。

可选地，本申请中在X向龙门横梁201与Y向滑块之间还设置有X轴安装座210，通过X轴安装座210对X向龙门横梁201进行支撑的同时，X轴安装座210还可以起到充当Y向防撞块的作用。

进一步的，参照图3、4所示，在本申请的另一个可选的实施例中所述Y向导轨101和/或所述X向导轨209上设置有导轨压块212。导轨压块212用于固定导轨在特定位置，同时，当移动机构意外移动到极限位置，相应方向上的防撞块与防撞座发生碰撞时，振动会传递到相应的导轨上，设置导轨压块212能够消除相应导轨在垂直于碰撞方向上的微小移动，避免因为机械碰撞导致定位精度受影响。

可选的，参照图1-4所示，本申请实施例还包括Y轴拖链110以及X轴拖链211，所述X向移动机构200以及所述Y向移动机构100的电源线、信号线、光电开关信号线及成像模块分别设置在所述Y轴拖链110和所述X轴拖链211中。设置拖链可以防止在移动平台工作过程中相应的接线对移动形成干扰，同时可以保证移动平台的外形整洁美观。

具体的，参照图6所示，本申请实施例提供的所述X向龙门横梁201包括主框架2012以及设置在所述主框架一侧的安装部2011，所述X向驱动机构安装在所述安装部2011上。所述主框架2012呈矩形结构，内部设置有四边形补强框20121，所述补强框20121的四个顶点分别连接于所述主框架2012的四个侧边的内壁中心。所述主框架2012的四角向所述补强框20121的四个侧边垂直设置有加强筋20122。

通过在主框架2012内部设置矩形的补强框20121，并将主框架2012四角顶点与补强框20121侧壁垂直连接，在所述X向龙门横梁201的截面上形成若干稳定的三角型结构，该结构可以有效提高X向龙门横梁201的结构强度，通过仿真实验在本申请实施例所述的X向龙门横梁上安装总质量为16KG的负载，并当系统在16m/s²的加速度冲击下X向龙门横梁的位移变形极小，其能够保证较高的重复定位精度。

可选的，本申请实施例还提供了多种X向龙门横梁的结构；

参照图7所示，在本申请的一种可选的实施例中，在上述X向龙门横梁201的基础上于补强框20121的竖直方向对角线上设置加强筋20122结构；

参照图8所示，在本申请的进一步可选的实施例中，在上述X向龙门横梁201的基础上于补强框20121的水平方向对角线上设置加强筋20122结构；

进一步的，上述在补强框20121的竖直或水平对角线上设置加强筋20122的结构并不作为对本申请的限制，在其他实施例中还可以采用在竖直以及水平对角线均设置加强筋20122的结构，如图9所示；

可选的，参照图10所示，在本申请的另一个实施例中，在所述补强框20121的内部还设置补强环20123，所述补强环20123外壁设置有加强筋20122，所述加强筋20122连接所述补强框20121；

优选的，在本申请的另一个实施例中，参照图11所示，在补强框内20121可以同时设置补强环20123以及呈十字交叉的补强筋20122，且所述补强环20123与所述补强筋20122相互交叉设置。

可选的，参照图12所示，在本申请的另一个实施例中，在所述补强框20121的内部设置有另一个四边形的补强框20121，位于内部的补强框20121的四角顶点与位于外侧的补强框20121侧边连接。

上述设置补强环20123以及补强筋20122的方案均能够在一定程度上增加X向龙门横梁201的结构强度，降低其远端负载情况下的变形。

同时，本实施例还提供一种AOI光学检测设备，包括检测模块，所述检测模块安装于如上所述的移动平台上。

本实施例总采用上述移动平台的AOI光学检测设备，其检测精度高，设备生产成本低空间利用率高，可以在更小的空间实现更大范围的检测。

以上结合具体实施例描述了本申请的技术原理。这些描述只是为了解释本申请的原理，而不能以任何方式解释为对本申请保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本申请的其它具体实施方式，这些方式都将落入本申请的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种移动平台，其特征在于，包括相互垂直的X向移动机构(200)以及Y向移动机构(100)，所述Y向移动机构(100)包括相互平行的两Y向导轨(101)，与所述Y向导轨(101)平行的设置有Y向驱动机构，所述X向移动机构(200)通过X向龙门横梁(201)设在两所述Y向导轨(101)上，所述X向龙门横梁(201)为挤压铝型材横梁，所述X向龙门横梁(201)通过Y向移动滑块与所述Y向导轨(101)滑动连接，所述Y向移动滑块沿滑动方向的有效长度大于所述X向龙门横梁(201)在该方向上的宽度。

2.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于，所述Y向移动滑块为一块，其长度大于所述X向龙门横梁(201)的宽度，所述Y向移动滑块的至少一端位于所述X向龙门横梁(201)与所述Y向导轨(101)的重叠区域之外。

3.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于，所述Y向移动滑块包括第一Y向滑块(104)以及第二Y向滑块(105)，所述第一Y向滑块(104)与所述第二Y向滑块(105)向间隔设置，以使所述第一Y向滑块(104)与所述第二Y向滑块(105)相背离的两端分别位于所述X向龙门横梁(201)与所述Y向导轨(101)的重叠区域之外。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的移动平台，其特征在于，所述Y向驱动机构包括Y向驱动电机，所述Y向驱动电机(102)的动力输出端设置有Y向丝杠(103)，所述Y向丝杠(103)平行设置于所述Y向导轨(101)朝向所述X向龙门横梁(201)的一侧，所述X向龙门横梁(201)通过设置在所述Y向丝杠(103)上的Y向螺母(106)与所述Y向驱动机构传动连接。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的移动平台，其特征在于，所述X向龙门横梁(201)上设置有X向导轨(209)，所述X向导轨(209)上安装有Z向移动机构(300)，所述Z向移动机构(300)通过X向驱动机构驱动可沿所述X向导轨(209)滑动。

6.根据权利要求5所述的移动平台，其特征在于，所述X向驱动机构包括X向驱动电机(202)，所述X向驱动电机(202)的动力输出端设置有X向丝杠(203)，所述Z向移动机构(300)通过设置在所述X向丝杠(203)上的X向螺母(204)与所述X向驱动机构传动连接。

7.根据权利要求5所述的移动平台，其特征在于，所述X向驱动机构和/或所述Y向驱动机构为直线电机。

8.根据权利要求5所述的移动平台，其特征在于，所述Y向导轨(101)上设置有Y向防撞座(109)，所述X向龙门横梁(201)上与所述Y向防撞座(109)对应的设置有Y向防撞块，和/或，所述X向导轨(209)上设置有X向防撞座(208)，所述Z向横梁上与所述X向防撞座(208)对应的设置有X向防撞块。

9.根据权利要求8所述的移动平台，其特征在于，所述Y向导轨(101)和/或所述X向导轨(209)上设置有导轨压块(212)。

10.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于，还包括Y轴拖链(110)以及X轴拖链(211)，所述X向移动机构(200)以及所述Y向移动机构(100)的电源线、信号线、光电开关信号线及成像模块分别设置在所述Y轴拖链(110)和所述X轴拖链(211)中。

11.根据权利要求1所述的移动平台，其特征在于，所述X向龙门横梁(201)包括主框架以及设置在所述主框架一侧的安装部，所述X向驱动机构安装在所述安装部上。

12.根据权利要求11所述的移动平台，其特征在于，所述主框架呈矩形结构，内部设置有四边形补强框，所述补强框的四个顶点分别连接于所述主框架的四个侧边的内壁中心。

13.根据权利要求12所述的移动平台，其特征在于，所述主框架的四角向所述补强框的四个侧边垂直设置有加强筋。

14.一种AOI光学检测设备，其特征在于，包括检测模块，所述检测模块安装于权利要求1-13中任一项所述的移动平台上。