CN116871055B - 三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，涉及三氯氢硅生产技术领域，包括反应罐和收集机构，所述反应罐的外侧壁固定连接有通气管，所述收集机构包括排气管，所述排气管的一端与所述反应罐的外侧壁固定连接，所述排气管的内部设置有起电组件，所述起电组件的外侧设置有吸附组件。本发明，通过在排气管中设置缩口的导向块，增加了排气管内部排气流速，而气流会带动摩擦带移动后，与摩擦片摩擦起电，使吸附板表面始终附有静电吸附力，当气流从吸附板通过时，跟随的硅灰微粒将受到静电作用，附着在吸附板表面，并沿着倾斜的坡面向收纳箱内部收集，不但节约了原料，还避免了排气管堵塞的问题，大大降低了设备的故障率。
Description
技术领域
本发明涉及三氯氢硅生产技术领域，具体为三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置。
背景技术
三氯氢硅是一种无机化合物，是生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的重要原料，亦是合成有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷最基本的单体。三氯氢硅生产主要有3个工序：三氯氢硅合成、三氯氢硅精馏、尾气处理。其中，三氯氢硅合成是将硅粉加入硅粉干燥器，用蒸汽加热至一定的温度，然后利用氮气和位差压入硅粉计量罐，最后由硅粉给料机送入三氯氢硅沸腾炉，与通入的氯化氢气体在一定的温度下反应；通入的氯化氢与硅粉在流化床反应器中发生流化床反应。
现有技术中，如中国专利号为：CN102745691B的“一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置”，包括合成炉和硅粉收集罐，具体操作步骤包括，A、在合成炉正常停车后，对合成炉进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连，通过氮气进口管线向合成炉通入氮气；C、打开硅粉泄放阀，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐内，实现了硅粉的全部回收使用。
但现有技术中，三氯氢硅合成时，硅粉颗粒大小和氯化氢的流量，对反应的影响很大，硅粉颗粒过大，或是因HCl流量不足，导致床层托不住，造成死床，出现局部“沟流”，一般来说硅粉颗粒越小，硅粉与氯化氢气体的接触面积越大，从而加速反应；另一方面，硅粉颗粒小会造成床层过高，有形成“床涌”的可能性，从而导致大部分微小颗粒容易未反应就被带出反应系统，不但容易造成管路堵塞，还会浪费硅粉的物料。
发明内容
本发明的目的在于提供三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，以解决上述背景技术提出的硅粉颗粒小会造成床层过高，有形成“床涌”的可能性，从而导致大部分微小颗粒容易未反应就被带出反应系统，不但容易造成管路堵塞，还会浪费硅粉物料的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，包括反应罐和收集机构，所述反应罐的外侧壁固定连接有通气管，所述收集机构包括排气管，所述排气管的一端与所述反应罐的外侧壁固定连接，所述排气管的内部设置有起电组件，所述起电组件的外侧设置有吸附组件，所述起电组件的顶端上方设置有缩口组件，所述吸附组件的顶端上方设置导向块；
所述起电组件包括两个传动辊，两个所述传动辊之间传动连接有摩擦带，所述传动辊的两端均固定连接有旋转棒，所述旋转棒与所述排气管的内侧壁转动连接，所述吸附组件包括摩擦片，所述摩擦带的外侧壁与所述摩擦片的内侧壁滑动连接，所述摩擦片外侧壁固定连接有吸附板，所述吸附板的底端与排气管的内底壁固定连接，所述吸附板的底面与所述排气管的内底壁固定连接有支撑板；
所述排气管的底端固定连接有回收机构，所述回收机构包括收纳箱，所述收纳箱的顶端连接有第一进料板，所述第一进料板的底端下方设置有第二进料板，所述第一进料板与所述第二进料板之间固定连接有变径管，所述支撑板的两外侧均设置有往复组件，所述吸附板的顶面设置有刮粉组件，所述支撑板与所述旋转棒之间设置有传动组件。
优选的，所述缩口组件包括调节板，所述调节板的顶端固定连接有第一定位轨，所述第一定位轨的内侧壁滑动连接由定位杆，所述排气管的顶端固定连接有第二定位轨，所述第二定位轨的内侧壁滑动连接有滑动块。
优选的，所述定位杆的顶端与所述滑动块固定连接，所述滑动块的顶端活动插接有插销，所述调节板的一端与所述排气管的内侧壁转动连接，所述调节板的另一端转动连接有活动挡板，所述活动挡板的顶端与所述排气管的内顶壁滑动连接。
优选的，所述往复组件包括旋转轴，所述旋转轴与所述支撑板之间转动连接，所述旋转轴的一端固定连接有摆动杆，所述支撑板的侧壁中心位置处转动连接有第二转动轴，所述第二转动轴的两端均转动连接有第一连接杆。
优选的，所述第一连接杆的一端与所述摆动杆活动连接，所述摆动杆的顶端活动连接有第二连接杆，所述第二连接杆的侧壁转动连接有第一转动轴，所述第二转动轴的外侧壁中心位置处固定连接有蜗杆，所述蜗杆的外侧壁啮合有蜗轮。
优选的，所述刮粉组件包括两个第三转动轴，两个所述第三转动轴之间转动连接有刮板，所述刮板的外侧壁固定连接有活动板，所述第三转动轴的内侧壁固定连接有两个限位板。
优选的，所述第三转动轴的外侧壁固定连接有连接板，所述连接板的底端固定连接有限位块，所述限位块与所述吸附板的外侧滑动连接，所述第一转动轴的一端与所述刮板的外侧壁固定连接。
优选的，所述传动组件包括两个固定板，两个所述固定板之间转动连接有第二旋转板，所述旋转棒的外侧壁与所述第二旋转板的外侧壁均固定连接有第一同步轮，两个所述第一同步轮之间传动连接有第一同步带，所述第二旋转板的外侧壁固定连接有第二同步轮。
优选的，所述第二同步轮传动连接有第二同步带，所述第二同步带的内侧壁传动连接有第三同步轮，所述第三同步轮的一侧转动连接有支撑座，所述第三同步轮的另一侧固定连接有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的顶端啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮与所述蜗轮之间固定连接。
优选的，所述收纳箱的外侧壁固定连接有铰链，所述收纳箱通过所述铰链转动连接有封板，所述封板的外侧壁固定连接有把手。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明中，通过在排气管中设置缩口的导向块，增加了排气管内部排气流速，而气流会带动摩擦带移动后，与摩擦片摩擦起电，使吸附板表面始终附有静电吸附力，当气流从吸附板通过时，跟随的硅灰微粒将受到静电作用，附着在吸附板表面，并沿着倾斜的坡面向收纳箱内部收集，不但节约了原料，还避免了排气管堵塞的问题，大大降低了设备的故障率。
2、本发明中，通过移动滑动块带动定位杆移动，定位杆越靠近转动轴一端，定位杆将调节板撑开的角度就越大，缩口组件与导向块产生的通道缩口就越小，从而使吸附板具有的静电吸附能力不同，实现了对不同规格的硅灰回收效果，便于对较小的硅灰更加精准的回收处理。
3、本发明中，通过转动第二转动轴，第二转动轴将带动第一连接杆圆周转动，使摆动杆进行往复摆动，第二连接杆带动第一转动轴滑动时，第一转动轴将带动刮板在吸附板的表面滑动，从而使刮板将附着的硅灰向收纳箱处铲出，提升了硅灰向收纳箱内部收集的速率，使吸附板表面始终具有足够的吸附力回收硅灰。
4、本发明中，通过气流带动摩擦带传动时，传动辊也带动旋转棒转动，旋转棒带动第一同步轮旋转，使第二旋转板转动、第二同步轮转动，以至于第三同步轮带动第一锥形齿轮转动，并让下方的蜗轮转动，最终让蜗杆转动带动第二转动轴旋转，为刮板表面挂灰提供驱动力，实现了自动清理硅灰的效果。
附图说明
图1为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置的立体结构示意图；
图2为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中收集机构的结构示意图；
图3为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中排气管内部的结构示意图；
图4为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中缩口组件的结构示意图；
图5为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中回收机构的结构示意图；
图6为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中起电组件的结构示意图；
图7为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中传动组件的结构示意图；
图8为本发明三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置中刮粉组件的结构示意图；
图9为图8中A处局部结构放大效果图。
图中：1、通气管；2、反应罐；3、收集机构；31、排气管；32、起电组件；321、摩擦带；322、旋转棒；323、传动辊；33、缩口组件；331、调节板；332、活动挡板；333、定位杆；334、第一定位轨；335、第二定位轨；336、滑动块；337、插销；34、导向块；35、吸附组件；351、吸附板；352、摩擦片；353、支撑板；36、传动组件；361、第一同步轮；362、第一同步带；363、固定板；364、第二旋转板；365、第二同步轮；366、第二同步带；367、第一锥形齿轮；368、第二锥形齿轮；369、第三同步轮；37、往复组件；371、旋转轴；372、摆动杆；373、第一连接杆；374、第二连接杆；375、第一转动轴；376、第二转动轴；377、蜗杆；378、蜗轮；38、刮粉组件；381、刮板；382、第三转动轴；383、连接板；384、限位块；385、限位板；386、活动板；4、回收机构；41、收纳箱；42、封板；43、把手；44、铰链；45、第一进料板；46、变径管；47、第二进料板。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施条例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例
参照图1-9所示：三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，包括反应罐2和收集机构3，反应罐2的外侧壁固定连接有通气管1，收集机构3包括排气管31，排气管31的一端与反应罐2的外侧壁固定连接，排气管31的内部设置有起电组件32，起电组件32的外侧设置有吸附组件35，起电组件32的顶端上方设置有缩口组件33，吸附组件35的顶端上方设置导向块34；
起电组件32包括两个传动辊323，两个传动辊323之间传动连接有摩擦带321，传动辊323的两端均固定连接有旋转棒322，旋转棒322与排气管31的内侧壁转动连接，吸附组件35包括摩擦片352，摩擦带321的外侧壁与摩擦片352的内侧壁滑动连接，摩擦片352外侧壁固定连接有吸附板351，吸附板351的底端与排气管31的内底壁固定连接，吸附板351的底面与排气管31的内底壁固定连接有支撑板353；
排气管31的底端固定连接有回收机构4，回收机构4包括收纳箱41，收纳箱41的顶端连接有第一进料板45，第一进料板45的底端下方设置有第二进料板47，第一进料板45与第二进料板47之间固定连接有变径管46，支撑板353的两外侧均设置有往复组件37，吸附板351的顶面设置有刮粉组件38，支撑板353与旋转棒322之间设置有传动组件36。
本实施例中，在合成三氯氢硅过程中，将硅粉经过蒸汽加热干燥后，压入到反应罐2的内部，在通气管1内部通入氯化氢气体，并将反应罐2的内部加热，以在反应罐2的内部形成流化床的反应条件，使硅粉与氯化氢气体更加充分反应，通气管1和收集机构3之间形成的气体通道，使充入反应罐2内部的气体能源源不断地进行补充，提供流化床反应的稳定条件，其中，部分粒径较小的硅灰被排出尾气带出反应罐2；
在排气管31的内部安装两个呈现相互缩口的导向块34和缩口组件33，尾气在排气管31排出时，气体的流速会受到排气管31的有效流通量的影响，在流通量大的位置，尾气的流速慢，在流通量小的位置，尾气的流速快，在导向块34和缩口组件33缩口处，尾气的流速达到最大，与物体的外侧产生的阻力也就越大；
通过增加位于摩擦带321表面的气体流速，使得气流带动摩擦带321移动，并且在摩擦带321的表面设置有多组倒三角形结构，来增加风力对摩擦带321的作用，使摩擦带321更加容易在较弱的风力下转动，以至于摩擦带321在两个传动辊323的导向下转动，可持续不断对摩擦片352产生摩擦，摩擦片352和摩擦带321为容易产生静电电荷的两种介质，且摩擦带321为柔性材料，如丝绸、羊毛织布等，摩擦片352为刚性材料，如玻璃、树脂玻璃棒等，摩擦带321通过导体将自身产生的电荷与外界环境中和；
摩擦片352和吸附板351为同一种材料，并通过绝缘的支撑板353连接，使吸附板351表面始终附带有带电粒子，从而不断产生静电感应，将吸附板351上方流通气体中附带的硅灰吸附，并通过倾斜的坡面向收纳箱41内部收集，在收纳箱41的顶端设置具有缩口结构的夹层板，使收集在收纳箱41内部的硅灰只能单向通行，避免气流将收纳箱41的内部硅灰带出，提升了硅灰的回收利用率，不但节约了原料，而且还避免了排气管31堵塞的问题，大大降低了设备的故障率。
实施例
图2-4所示，缩口组件33包括调节板331，调节板331的顶端固定连接有第一定位轨334，第一定位轨334的内侧壁滑动连接由定位杆333，排气管31的顶端固定连接有第二定位轨335，第二定位轨335的内侧壁滑动连接有滑动块336。定位杆333的顶端与滑动块336固定连接，滑动块336的顶端活动插接有插销337，调节板331的一端与排气管31的内侧壁转动连接，调节板331的另一端转动连接有活动挡板332，活动挡板332的顶端与排气管31的内顶壁滑动连接。
本实施例中，缩口组件33为夹角可以调节的缩口形结构，其起到的作用为，根据反应罐2内部反应产生的硅灰规格不同，及时调节排气管31内部指定位置的气体流速，以此来达到调节摩擦带321转速的效果，从而使吸附板351表面的带电量不同，以用于将更轻或是更重的硅灰吸附再回收；
具体操作时，沿着第二定位轨335的表面移动滑动块336，滑动块336带动下方的定位杆333移动，调节板331的一端与排气管31固定，调节板331的另一端角度可调节，定位杆333越靠近转动轴一端，定位杆333将调节板331撑开的角度就越大，缩口组件33与导向块34产生从通道缩口就越小，吸附板351产生的静电吸附力就越大，最后将插销337与滑动块336之间插接定位，使定位杆333的位置保持固定，对大颗粒的硅灰回收；
反之，定位杆333越远离转动轴一端，调节板331的夹角越小，缩口组件33与导向块34产生从通道缩口就越大，吸附板351表面产生的静电粒子相对较少，适用于对小颗粒的硅灰回收利用。
实施例
根据图6-8所示，往复组件37包括旋转轴371，旋转轴371与支撑板353之间转动连接，旋转轴371的一端固定连接有摆动杆372，支撑板353的侧壁中心位置处转动连接有第二转动轴376，第二转动轴376的两端均转动连接有第一连接杆373。第一连接杆373的一端与摆动杆372活动连接，摆动杆372的顶端活动连接有第二连接杆374，第二连接杆374的侧壁转动连接有第一转动轴375，第二转动轴376的外侧壁中心位置处固定连接有蜗杆377，蜗杆377的外侧壁啮合有蜗轮378。刮粉组件38包括两个第三转动轴382，两个第三转动轴382之间转动连接有刮板381。
本实施例中，当吸附板351的表面吸附硅灰后，小部分的硅灰沿着斜面收纳在收纳箱41内部，大部分的硅灰附着在吸附板351的表面，旋转第二转动轴376，第二转动轴376带动第一连接杆373圆周转动，第一连接杆373带动摆动杆372的连接点圆周转动，且第一连接杆373与摆动杆372的连接点在不断地滑动变化，组合成摆动杆372在往复摆动；
使摆动杆372的顶端带动第二连接杆374往复摆动，第二连接杆374带动第一转动轴375滑动，第一转动轴375带动刮板381在吸附板351的表面滑动，从而使刮板381将附着的硅灰向收纳箱41处铲出，通过第二转动轴376的周期性转动，将吸附板351表面的硅灰及时清理。
实施例
根据图6-9所示，往复组件37包括旋转轴371，旋转轴371与支撑板353之间转动连接，旋转轴371的一端固定连接有摆动杆372，支撑板353的侧壁中心位置处转动连接有第二转动轴376，第二转动轴376的两端均转动连接有第一连接杆373。第一连接杆373的一端与摆动杆372活动连接，摆动杆372的顶端活动连接有第二连接杆374，第二连接杆374的侧壁转动连接有第一转动轴375。刮粉组件38包括两个第三转动轴382，两个第三转动轴382之间转动连接有刮板381，刮板381的外侧壁固定连接有活动板386，第三转动轴382的内侧壁固定连接有两个限位板385。第三转动轴382的外侧壁固定连接有连接板383，连接板383的底端固定连接有限位块384，限位块384与吸附板351的外侧滑动连接，第一转动轴375的一端与刮板381的外侧壁固定连接
本实施例中，由于第一转动轴375直接与刮板381的外侧连接，当第一转动轴375带动刮板381由吸附板351的顶端滑动到底端时，首先第一转动轴375拉动刮板381转动，直至活动板386与下方的一个限位板385限位，然后刮板381整体才带动第三转动轴382一起向下滑动，此时刮板381的底端与吸附板351的顶面相贴合，将吸附板351表面的硅灰向下铲；
当第一转动轴375带动刮板381由吸附板351的底端滑动到顶端时，也是第一转动轴375拉动刮板381转动，直至活动板386与上方的限位板385限位，然后刮板381带动第三转动轴382一起向上滑动，在刮板381向上复位的过程中，此时刮板381的底端与吸附板351预留一定间隙，不会对已经收集的硅灰有影响。
实施例
根据图5-8所示，第一连接杆373的一端与摆动杆372活动连接，摆动杆372的顶端活动连接有第二连接杆374，第二连接杆374的侧壁转动连接有第一转动轴375，第二转动轴376的外侧壁中心位置处固定连接有蜗杆377，蜗杆377的外侧壁啮合有蜗轮378。传动组件36包括两个固定板363，两个固定板363之间转动连接有第二旋转板364，旋转棒322的外侧壁与第二旋转板364的外侧壁均固定连接有第一同步轮361，两个第一同步轮361之间传动连接有第一同步带362，第二旋转板364的外侧壁固定连接有第二同步轮365。第二同步轮365传动连接有第二同步带366，第二同步带366的内侧壁传动连接有第三同步轮369，第三同步轮369的一侧转动连接有支撑座，第三同步轮369的另一侧固定连接有第一锥形齿轮367，第一锥形齿轮367的顶端啮合有第二锥形齿轮368，第二锥形齿轮368与蜗轮378之间固定连接。收纳箱41的外侧壁固定连接有铰链44，收纳箱41通过铰链44转动连接有封板42，封板42的外侧壁固定连接有把手43。
本实施例中，气流带动传动辊323转动，从而让传动辊323带动旋转棒322转动，以至于旋转棒322带动第一同步轮361旋转，再通过第一同步带362带动另一个第一同步轮361转动，使得了第二旋转板364转动，第二旋转板364带动第二同步轮365转动，第二同步轮365带动第三同步轮369同步旋转；
第三同步轮369带动第一锥形齿轮367转动，使第二锥形齿轮368转动，第二锥形齿轮368带动下方的蜗轮378转动，并带动蜗杆377旋转，蜗杆377转动使第二转动轴376不断转动，从而为刮板381表面挂灰提供驱动力，收纳箱41收集硅灰后，根据硅灰的规格，重新配套相匹配流速的氯化氢气体，对不同的硅灰再次实施流化床反应制备三氯氢硅。
本装置的使用方法及工作原理：将硅粉经过蒸汽加热干燥，压入到反应罐2的内部，从通气管1通入氯化氢气体，对反应罐2加热，反应罐2内部产生流化床反应，使反应后尾气从排气管31排出。
然后，移动滑动块336，滑动块336带动定位杆333移动，定位杆333与调节板331连接位置改变，使调节板331的缩口改变，对缩口处的尾气流速调节。
接着，尾气产生的风力对摩擦带321的作用，使摩擦带321在两个传动辊323的导向下转动，并持续不断对摩擦片352产生摩擦，使吸附板351表面带动，将吸附板351上方流通气体中附带的硅灰吸附。
同时，气流带动传动辊323转动，使旋转棒322带动第一同步轮361转动，并让第二旋转板364转动，第二旋转板364带动第二同步轮365转动，第二同步轮365带动第三同步轮369同步旋转，以至于第一锥形齿轮367产生转动，使第二锥形齿轮368转动，第二锥形齿轮368带动下方的蜗轮378转动，并带动蜗杆377旋转。
然后，蜗杆377带动第二转动轴376转动，第二转动轴376带动第一连接杆373圆周转动，使摆动杆372往复摆动，摆动杆372的顶端带动第二连接杆374移动，第二连接杆374带动第一转动轴375滑动，第一转动轴375带动刮板381在吸附板351的表面滑动，从而使刮板381将附着的硅灰向收纳箱41处铲出。
最后，通过收纳箱41顶端的变径管46，使收集在收纳箱41内部的硅灰单向收集在收纳箱41内部，并根据硅灰的规格，重新配套相匹配流速的氯化氢气体，再次进行流化床反应制备三氯氢硅。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，包括反应罐（2）和收集机构（3），其特征在于：所述反应罐（2）的外侧壁固定连接有通气管（1），所述收集机构（3）包括排气管（31），所述排气管（31）的一端与所述反应罐（2）的外侧壁固定连接，所述排气管（31）的内部设置有起电组件（32），所述起电组件（32）的外侧设置有吸附组件（35），所述起电组件（32）的顶端上方设置有缩口组件（33），所述吸附组件（35）的顶端上方设置导向块（34）；
所述起电组件（32）包括两个传动辊（323），两个所述传动辊（323）之间传动连接有摩擦带（321），所述摩擦带（321）的表面设置有多组倒三角形结构，所述传动辊（323）的两端均固定连接有旋转棒（322），所述旋转棒（322）与所述排气管（31）的内侧壁转动连接，所述吸附组件（35）包括摩擦片（352），所述摩擦带（321）的外侧壁与所述摩擦片（352）的内侧壁滑动连接，所述摩擦片（352）外侧壁固定连接有吸附板（351），所述吸附板（351）的底端与排气管（31）的内底壁固定连接，所述吸附板（351）的底面与所述排气管（31）的内底壁固定连接有支撑板（353）；
所述排气管（31）的底端固定连接有回收机构（4），所述回收机构（4）包括收纳箱（41），所述收纳箱（41）的顶端连接有第一进料板（45），所述第一进料板（45）的底端下方设置有第二进料板（47），所述第一进料板（45）与所述第二进料板（47）之间固定连接有变径管（46），所述支撑板（353）的两外侧均设置有往复组件（37），所述吸附板（351）的顶面设置有刮粉组件（38），所述支撑板（353）与所述旋转棒（322）之间设置有传动组件（36）；
所述往复组件（37）包括旋转轴（371），所述旋转轴（371）与所述支撑板（353）之间转动连接，所述旋转轴（371）的一端固定连接有摆动杆（372），所述支撑板（353）的侧壁中心位置处转动连接有第二转动轴（376），所述第二转动轴（376）的两端均转动连接有第一连接杆（373）；
所述第一连接杆（373）的一端与所述摆动杆（372）活动连接，所述摆动杆（372）的顶端活动连接有第二连接杆（374），所述第二连接杆（374）的侧壁转动连接有第一转动轴（375），所述第二转动轴（376）的外侧壁中心位置处固定连接有蜗杆（377），所述蜗杆（377）的外侧壁啮合有蜗轮（378）；
所述刮粉组件（38）包括两个第三转动轴（382），两个所述第三转动轴（382）之间转动连接有刮板（381），所述刮板（381）的外侧壁固定连接有活动板（386），所述第三转动轴（382）的内侧壁固定连接有两个限位板（385）；
所述第三转动轴（382）的外侧壁固定连接有连接板（383），所述连接板（383）的底端固定连接有限位块（384），所述限位块（384）与所述吸附板（351）的外侧滑动连接，所述第一转动轴（375）的一端与所述刮板（381）的外侧壁固定连接；
所述传动组件（36）包括两个固定板（363），两个所述固定板（363）之间转动连接有第二旋转板（364），所述旋转棒（322）的外侧壁与所述第二旋转板（364）的外侧壁均固定连接有第一同步轮（361），两个所述第一同步轮（361）之间传动连接有第一同步带（362），所述第二旋转板（364）的外侧壁固定连接有第二同步轮（365）；
所述第二同步轮（365）传动连接有第二同步带（366），所述第二同步带（366）的内侧壁传动连接有第三同步轮（369），所述第三同步轮（369）的一侧转动连接有支撑座，所述第三同步轮（369）的另一侧固定连接有第一锥形齿轮（367），所述第一锥形齿轮（367）的顶端啮合有第二锥形齿轮（368），所述第二锥形齿轮（368）与所述蜗轮（378）之间固定连接。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，其特征在于：所述缩口组件（33）包括调节板（331），所述调节板（331）的顶端固定连接有第一定位轨（334），所述第一定位轨（334）的内侧壁滑动连接由定位杆（333），所述排气管（31）的顶端固定连接有第二定位轨（335），所述第二定位轨（335）的内侧壁滑动连接有滑动块（336）。
3.根据权利要求2所述的三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，其特征在于：所述定位杆（333）的顶端与所述滑动块（336）固定连接，所述滑动块（336）的顶端活动插接有插销（337），所述调节板（331）的一端与所述排气管（31）的内侧壁转动连接，所述调节板（331）的另一端转动连接有活动挡板（332），所述活动挡板（332）的顶端与所述排气管（31）的内顶壁滑动连接。
4.根据权利要求1所述的三氯氢硅合成硅灰回收再反应装置，其特征在于：所述收纳箱（41）的外侧壁固定连接有铰链（44），所述收纳箱（41）通过所述铰链（44）转动连接有封板（42），所述封板（42）的外侧壁固定连接有把手（43）。
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