CN116852842A - 多托盘式除泡机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种多托盘式除泡机，包括受压台板和受力扣板，相邻层受压台板之间形成安装空间，每个安装空间内皆设有下层托盘组件和至少一层上层托盘组件，上层托盘组件和下层托盘组件皆包括托盘本体、导向结构、密封圈和驱动件，上层托盘组件的托盘本体的盘面上开设有通气孔，除泡工作时下层托盘组件的托盘本体支撑于对应安装空间下方受压台板的顶面，充气密封时密封圈密封抵接相邻上方托盘本体底面或对应安装空间上方受压台板的底面。本发明提供的多托盘式除泡机，能够在相邻两层受压台板之间设置至少两层托盘组件，整个装置的高度较低，重量较轻，大幅降低了制造和运输成本。

Description

多托盘式除泡机

技术领域

本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种多托盘式除泡机。

背景技术

在显示面板的整个加工过程中，除泡是极其重要也是必不可少的一个工序。除泡是利用高温高压将显示面板贴合过程中产生的气泡消除的过程。除泡最常采用的设备即为托盘式除泡机。

现有托盘式除泡机皆为单托盘式，每层托盘的上下两侧皆设有受压台板，在托盘与上层受压台板之间设有密封圈，密封圈充气后在托盘与上层受压台板之间形成密闭的工作腔。

现有托盘式除泡机，每层托盘皆需配置两个受压台板，例如需要设置四层托盘时，则总计需配置五个受压台板，受压台板厚度较大，从而导致这种除泡机设备整体高度较高，并且重量也较重，进而导致制造和运输成本也相应较高。

发明内容

为克服现有托盘式除泡机高度较高、重量较大导致制造和运输成本相应较高的技术缺陷，本发明提供了一种多托盘式除泡机。

本发明提供的多托盘式除泡机，包括多层沿Z向间隔分布的受压台板，所有受压台板通过两组分别位于受压台板X向两侧的受力扣板固定为一体，相邻层受压台板之间形成安装空间，其特征在于，每个安装空间内皆设有下层托盘组件和至少一层上层托盘组件，所述上层托盘组件和下层托盘组件皆包括：

托盘本体，其水平布置；

导向结构，其位于所述托盘本体的X向端部，所述导向结构包括固定轨和移动件，所述固定轨沿Y向布置且外伸于所述受压台板的Y向一侧，所述固定轨相对所述受力扣板固定，所述移动件与所述托盘本体连接且仅能沿所述固定轨Y向移动；

密封圈，其设于所述托盘本体的顶面且沿所述托盘本体的边缘设置；

驱动件，其适于驱动所述托盘本体沿固定轨Y向运动；

所述上层托盘组件的托盘本体的盘面上开设有通气孔，除泡工作时所述下层托盘组件的托盘本体支撑于对应安装空间下方受压台板的顶面，充气密封时所述密封圈密封抵接相邻上方托盘本体底面或对应安装空间上方受压台板的底面。

可选的，所述下层托盘组件的托盘本体滑动连接在对应移动件上且滑动方向为Z向，所述下层托盘组件还包括：

第一限位件，其固定于对应移动件上且适于阻挡下层托盘组件的托盘本体向上运动；

复位弹性件，其压设于对应移动件与下层托盘组件的托盘本体之间且适于驱使下层托盘组件的托盘本体向上运动；

自然状态时下层托盘组件的托盘本体在所述复位弹性件的作用下抵接至所述第一限位件。

可选的，所述下层托盘组件在X向第一端设有导向结构且在X向第二端设有第一支撑结构，所述第一支撑结构包括：

第一支撑条板，其相对所述受力扣板固定设置；

第一轮组，其包括第一轮架和第一轮体，所述第一轮体转动安装在第一轮架上，所述第一轮架滑动连接在下层托盘组件的托盘本体上且滑动方向为Z向，所述第一轮架与下层托盘组件的托盘本体之间压设有驱动弹性件，所述驱动弹性件适于驱使所述第一轮体始终接触所述第一支撑条板。

可选的，所述上层托盘组件的托盘本体滑动连接在对应移动件上且滑动方向为Z向，所述上层托盘组件还包括：

第二限位件，其固定于对应移动件上且适于阻挡上层托盘组件的托盘本体向下运动；

自然状态时上层托盘组件的托盘本体在重力作用下置于所述第二限位件上。

可选的，所述上层托盘组件在X向第一端设有导向结构且在X向第二端设有第二支撑结构，所述第二支撑结构包括：

第二支撑条板，其相对所述受力扣板固定设置；

第二轮组，其包括第二轮体和第二轮架，所述第二轮体转动安装在第二轮架上，所述第二轮架固定连接在上层托盘组件的托盘本体上；

自然状态时第二轮体支撑于所述第二支撑条板上。

可选的，所有密封圈等径，所有密封圈的围绕面积从上至下依次递增，且当所有密封圈填充同等压强气体时，下方密封圈的支撑压力大于上方所有托盘本体的重力和上方所有密封圈的支撑压力之和。

可选的，所述托盘本体的顶面设有密封槽，所述密封圈置于所述密封槽内。

可选的，所述安装空间下方受压台板包括台板本体和多个支撑筋板，所述支撑筋板的板面与X向垂直，多个支撑筋板沿X向间隔分布，所述下层托盘组件的托盘本体在脱泡工作时支撑于所述支撑筋板上。

可选的，所述安装空间上方受压台板的底面为水平布置的平面。

可选的，所述驱动件为电机同步带副，所述电机同步带副包括电机、同步带和辊轮，所述同步带绕装在辊轮上，所述电机的输出轴与辊轮传动连接，所述同步带与所述移动件固定连接。

本发明提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：

本发明提供的多托盘式除泡机，在相邻两层受压台板之间设有一层下层托盘组件和至少一层上层托盘组件，除泡工作时下层托盘组件的托盘本体支撑于对应安装空间下方受压台板的顶面，能够有效避免下层托盘组件的托盘本体受高压变形；上层托盘组件的托盘本体开设有通气孔，使得上层托盘组件的托盘本体上下两侧压强相同，能够有效避免上层托盘组件的托盘本体因两侧压力差过大而导致的变形；充气密封时密封圈密封抵接相邻上方托盘本体底面或对应安装空间上方受压台板的底面，能够实现有效密封，使得所有托盘本体与对应安装空间上方受压台板的底面之间形成多层的工作腔。通过如此结构设计，使得本装置能够在相邻两层受压台板之间设置至少两层托盘组件，从而使得在相同托盘层数要求时，本装置相对现有单托盘式除泡机所设置的受压台板数更少，进而使得整个装置的高度降低，重量减轻，最终使得装置的制造和运输成本大幅降低。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1表示本发明实施例中多托盘式除泡机的整体结构示意图；

图2表示本发明实施例中受压台板和受力扣板的装配图；

图3表示本发明实施例中下层托盘组件的结构示意图；

图4表示本发明实施例中下层托盘组件的部分爆炸示意图；

图5表示图4中A处的局部放大图；

图6表示图4中B处的局部放大图；

图7表示本发明实施例中上层托盘组件的结构示意图。

图中：

1、受压台板；11、台板本体；12、支撑筋板；2、受力扣板；21、卡槽；3、安装空间；4、上层托盘组件；41、第二限位件；42、第二支撑结构；421、第二支撑条板；422、第二轮组；4221、第二轮架；4222、第二轮体；5、下层托盘组件；51、第一限位件；52、复位弹性件；521、弹簧；522、套筒；523、底部支撑件；53、第一支撑结构；531、第一支撑条板；532、第一轮组；5321、第一轮架；5322、第一轮体；533、驱动弹性件；534、底壳；535、顶壳；54、条板；6、托盘本体；61、通气孔；7、导向结构；71、固定轨；72、移动件；8、密封圈；9、驱动件；91、电机；92、同步带；93、辊轮。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面将对本发明的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在描述中，需要说明的是，术语 “第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但本发明还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。

下面结合附图对本发明的具体实施例进行详细说明。

在一个实施例中，参照图1至图7，多托盘式除泡机包括多层沿Z向间隔分布的受压台板1，所有受压台板1通过两组分别位于受压台板1X向两侧的受力扣板2固定为一体，相邻层受压台板1之间形成安装空间3，每个安装空间3内皆设有下层托盘组件5和至少一层上层托盘组件4，上层托盘组件4和下层托盘组件5皆包括托盘本体6、导向结构7、密封圈8和驱动件9，托盘本体6水平布置，导向结构7位于托盘本体6的X向两端，导向结构7包括固定轨71和移动件72，固定轨71沿Y向布置且外伸于受压台板1的Y向一侧，固定轨71相对受力扣板2固定，移动件72与托盘本体6连接且仅能沿固定轨71Y向移动，密封圈8设于托盘本体6的顶面且沿托盘本体6的边缘设置，驱动件9适于驱动托盘本体6沿固定轨71Y向运动，上层托盘组件4的托盘本体6的盘面上开设有通气孔61，除泡工作时下层托盘组件5的托盘本体6支撑于对应安装空间3下方受压台板1的顶面，充气密封时密封圈8密封抵接相邻上方托盘本体6底面或对应安装空间3上方受压台板1的底面。

需要说明的是，所述多托盘式除泡机中的“多”指至少两个。

本实施例中，参照图1，受压台板1设有两层，形成一个安装空间3。其他实施例中，受压台板1也可设置三层或更多层。

容易理解的，安装空间3的数量比受压台板1的数量少一个。

本实施例中，受压台板1与受力扣板2的连接结构如下：

参照图2，受力扣板2接触受压台板1的表面开设卡槽21，受压台板1卡接于卡槽21内，并且受力扣板2通过X向布置的螺栓与受压台板1的X向端面固定连接。通过卡槽21能够保证两个受压台板1的间距，采用螺栓进行固定，操作方便，固定牢靠。其他实施例中，受力扣板2也可采用焊接或胶粘或其他常用手段实现与受压台板1的固定。

本实施例中，参照图1，安装空间3内上层托盘组件4设有一层，形成两层托盘结构。其他实施例中，安装空间3内上层托盘组件4也可设置两层及以上，形成三层及以上托盘结构。

本实施例中，安装空间3下方受压台板1采用如下结构：

参照图1和图2，安装空间3下方受压台板1包括台板本体11和多个支撑筋板12，支撑筋板12的板面与X向垂直，多个支撑筋板12沿X向间隔分布，下层托盘组件5的托盘本体6在脱泡工作时支撑于支撑筋板12上。支撑筋板12的设置能够在下层托盘组件5的托盘本体6与安装空间3下方受压台板1之间形成安装区域，以安装固定轨71、拖链、传感器或其他零件。其他实施例中，安装空间3下方受压台板1也可仅包括台板本体11，台板本体11顶面为平面，下层托盘组件5的托盘本体6在脱泡工作时支撑于安装空间3下方受压台板1的顶面上。

进一步的，参照图3和图4，本实施例中，上层托盘组件4和下层托盘组件5的托盘本体6统一制作，即皆制作成开设有通气孔61的托盘结构，然后上层托盘组件4直接使用，下层托盘组件5采用条板54固定在托盘本体6底面将通气孔61封堵后进行使用，支撑筋板12对应条板54设置。这种结构，所有托盘本体6统一制作较为方便，并且条板54同时也能够作为加强板提高下层托盘组件5的托盘本体6的结构刚度。其他实施例中，上层托盘组件4的托盘本体6与下层托盘组件5的托盘本体6也可分别独立制作，下层托盘组件5的托盘本体6不开设通气孔61，同时取消条板54。

本实施例中，安装空间3上方受压台板1采用如下结构：

安装空间3上方受压台板1的底面为水平布置的平面。加工方便，且利于与密封圈8配合形成工作腔。其他实施例中，安装空间3上方受压台板1的底面也可仅与密封圈8配合的区域设为平面，其他部位设为波浪面或阶梯面或其他形状。

本实施例中，导向结构7采用如下结构：

参照图3，固定轨71为滑轨，移动件72为滑块，滑块滑动连接在滑轨上，仅可沿滑轨Y向直线运动。其他实施例中，固定轨71也可为导槽，移动件72也可为滚轮，滚轮嵌装在导槽内，滚轮通过滚动仅能沿导槽Y向直线移动。

本实施例中，下层托盘组件5的托盘本体6与对应移动件72采用如下连接结构：

参照图3至图5，下层托盘组件5的托盘本体6滑动连接在对应移动件72上且滑动方向为Z向，下层托盘组件5还包括第一限位件51和复位弹性件52；第一复位件固定于对应移动件72上且适于阻挡下层托盘组件5的托盘本体6向上运动；复位弹性件52压设于对应移动件72与下层托盘组件5的托盘本体6之间且适于驱使下层托盘组件5的托盘本体6向上运动；自然状态时下层托盘组件5的托盘本体6在复位弹性件52的作用下抵接至第一限位件51。

具体的，第一限位件51以及下层托盘组件5的托盘本体6与对应移动件72的滑动连接采用如下结构：参照图5，在下层托盘组件5的托盘本体6上间隙插装第一限位销，第一限位销Z向布置，第一限位销位于对应密封圈8的外侧，第一限位销的顶部设有挡头且沉于下层托盘组件5的托盘本体6的顶面内，第一限位销的底部螺纹连接于移动件72上；第一限位销的挡头作为第一限位件51用以阻挡下层托盘组件5的托盘本体6向上运动，第一限位销的本体间隙插装在下层托盘组件5的托盘本体6中以实现下层托盘组件5的托盘本体6与移动件72之间的滑动连接。作为可替换的实施方式，下层托盘组件5的托盘本体6也可通过导轨滑块副与移动件72滑动连接，第一限位件51也可以为设于导轨上端的定位凸起。

具体的，复位弹性件52采用如下结构：参照图5，复位弹性件52为弹性套筒，弹性套筒包括弹簧521、套设于弹簧521外侧的套筒522以及底部支撑件523，套筒522间隙插装在移动件72内，套筒522的顶端外伸于移动件72上方且封口，套筒522的顶端压接在托盘本体6的下方，底部支撑件523固定在移动件72的下方用以支撑弹簧521。作为可替换的实施方式，复位弹性件52也可为套装在第一限位销上且压置于托盘本体6与移动件72之间的压缩弹簧。

脱泡工作时，工作腔内的高压驱使下层托盘组件5的托盘本体6下压，直至支撑在安装空间3下方受压台板1的顶面上，能够有效避免托盘本体6变形；自然状态时，下层托盘组件5的托盘本体6在复位弹性件52的作用下复位，使得托盘本体6脱离安装空间3下方受压台板1的顶面，以避免抽拉托盘本体6时因托盘本体6与受压台板1接触导致的抽拉阻力较大。其他实施例中，下层托盘组件5的托盘本体6与对应移动件72也可采用固定连接的方式，使下层托盘组件5的托盘本体6始终接触安装空间3下方受压台板1的顶面，只是抽拉需要克服下层托盘组件5的托盘本体6与安装空间3下方受压台板1的顶面之间的摩擦力。

进一步的，参照图3、图4和图6，参照图本实施例的下层托盘组件5在X向第一端设有导向结构7且在X向第二端设有第一支撑结构53，第一支撑结构53包括第一支撑条板531和第一轮组532，第一支撑条板531相对受力扣板2固定设置；第一轮组532包括第一轮架5321和第一轮体5322，第一轮体5322转动安装在第一轮架5321上，第一轮架5321滑动连接在下层托盘组件5的托盘本体6上且滑动方向为Z向，第一轮架5321与下层托盘组件5的托盘本体6之间压设有驱动弹性件533，驱动弹性件533适于驱使第一轮体5322始终接触第一支撑条板531。

具体的，参照图6，在下层托盘组件5的托盘本体6上固定有底壳534，底壳534上通过螺栓固定连接有顶壳535，底壳534与顶壳535配合形成适于滑动连接第一轮架5321的滑道，驱动弹性件533压置于第一轮架5321与滑道的顶部之间。

本实施例的下层托盘组件5，一端采用导向结构7保证移动精度，另一端采用第一支撑结构53进一步减小抽拉的阻力；并且第一支撑结构53的第一轮体5322随第一轮架5321为Z向弹性结构，能够适应托盘本体6在Z向上的位移，从而在除泡工作和自然状态时使托盘本体6皆可得到有效支撑，保证结构稳定性。其他实施例中，下层托盘组件5也可将X向的两端皆设为导向结构7。

本实施例中，上层托盘组件4的托盘本体6与对应移动件72采用如下连接结构：

参照图7，上层托盘组件4的托盘本体6滑动连接在对应移动件72上且滑动方向为Z向，上层托盘组件4还包括第二限位件41，第二限位件41固定于对应移动件72上且适于阻挡上层托盘组件4的托盘本体6向下运动；自然状态时上层托盘组件4的托盘本体6在重力作用下置于第二限位件41上。

具体的，第二限位件41以及上层托盘组件4的托盘本体6与对应移动件72的滑动连接采用如下结构：参照图7，在上层托盘组件4的托盘本体6上间隙插装第二限位销，第二限位销Z向布置，第二限位销位于对应密封圈8的外侧，第二限位销的底部螺纹连接于移动件72上；第二限位销的本体间隙插装在上层托盘组件4的托盘本体6中以实现上层托盘组件4的托盘本体6与移动件72之间的滑动连接，移动件72与第二限位销的底部螺纹连接，所以移动件72作为第二限位件41以阻挡上层托盘组件4的托盘本体6向下运动。作为可替换的实施方式，上层托盘组件4的托盘本体6也可通过导轨滑块副与移动件72滑动连接，第二限位件41也可以为设于导轨下端的定位凸起。

由于较难控制上层托盘组件4的托盘本体6上下两侧所受力完全一致，所以本实施例将上层托盘组件4的托盘本体6设置为可向上滑动的结构，在充气密封时，只需控制下方密封圈8的支撑压力大于上方所有托盘本体6的重力和上方所有密封圈8的支撑压力之和，从而使得上层托盘组件4的托盘本体6向上运动脱离第二限位件41，以避免上层托盘组件4的导向结构7承受过大的Z向力，进而避免导向结构7因受力过大导致的结构损坏。本实施例结构在能够避免结构损坏的前提下，大幅降低了控制难度。其他实施例中，上层托盘组件4的托盘本体6与对应移动件72也可采用固定连接的方式，只是需要采用能够承受较大力的导向结构7，或者精确控制托盘本体6上下两侧的力相等。

进一步的，参照图1，所有密封圈8等径，所有密封圈8的围绕面积从上至下依次递增，且当所有密封圈8填充同等压强气体时，下方密封圈8的支撑压力大于上方所有托盘本体6的重力和上方所有密封圈8的支撑压力之和。这样在充气密封时，所有密封圈8的受力面积从上至下依次递增，压力等于压强乘以受力面积，在压强一致时，所有密封圈8提供的压力也会从上至下依次递增。如此，所有密封圈8可采用相同压力的气源，操作控制更加便捷。当然，其他实施例中，所有密封圈8的围绕面积也可皆相等，通过向不同密封圈8填充不同压强的气体来提供不同的压力。

进一步的，参照图1和图7，上层托盘组件4在X向第一端设有导向结构7且在X向第二端设有第二支撑结构42，第二支撑结构42包括第二支撑条板421和第二轮组422；第二支撑条板421相对受力扣板2固定设置；第二轮组422包括第二轮体4222和第二轮架4221，第二轮体4222转动安装在第二轮架4221上，第二轮架4221固定连接在上层托盘组件4的托盘本体6上；自然状态时第二轮体4222支撑于第二支撑条板421上。一端采用导向结构7保证移动精度，另一端采用第二支撑结构42进一步减小抽拉的阻力。其他实施例中，上层托盘组件4也可将X向的两端皆设为导向结构7。

需要注意的是，参照图1和图3，本实施例中，下层托盘组件5的固定轨71的固定板充当第二支撑结构42的第二支撑条板421，结构紧凑度高。其他实施例中，第二支撑条板421也可独立设置。

本实施例中，参照图1，托盘本体6的顶面设有密封槽，密封圈8置于密封槽内。密封槽对密封圈8具有限位作用，能够避免密封圈8脱落。其他实施例中，也可取消密封槽，在托盘本体6的顶面设置围挡，围挡围成容置密封圈8的区域，并且围挡高度较小，不会影响密封圈8与对应部件的密封抵接。

本实施例中，参照图3和图7，驱动件9为电机同步带副，电机同步带副包括电机91、同步带92和辊轮93，同步带92绕装在辊轮93上，电机91的输出轴与辊轮93传动连接，同步带92与移动件72固定连接。电机91输出轴旋转带动辊轮93转动，辊轮93转动带动同步带92动作，同步带92动作带动移动件72Y向直线移动，从而实现托盘本体6的Y向直线移动。其他实施例中，驱动件9也可采用气缸、电动推杆或其他常用直线驱动元件。

需要说明的是，本装置具有三个状态：除泡工作、充气密封和自然状态。除泡工作即在工作腔冲入高温高压气体进行除泡的状态；充气密封即向密封圈8内充气，使密封圈8膨胀，密封抵接相邻上方托盘本体6底面或对应安装空间3上方受压台板1的底面的状态；自然状态即没有充气密封的状态。

本实施例的多托盘式除泡机的工作原理如下：

S1.上层托盘组件4和下层托盘组件5同时伸出，外置的其他机构将上层托盘组件4的托盘本体6内除泡后的产品下料，并在上层托盘组件4的托盘本体6内平铺放置新的需要除泡的产品；

S2、放满产品后，上层托盘组件4的托盘本体6单独退回，等待下层组件退回；

S3.外置的其他机构将下层托盘组件5的托盘本体6内的产品取走，并放置新的需要除泡的产品；

S4.放满产品后，下层托盘组件5退回；

S5.上层托盘组件4和下层托盘组件5的密封圈8同时充气，然后腔体进气，通气孔61会使得上层托盘组件4的腔体和下层托盘组件5的腔体联通，气体压强平衡，经过一定的保压工艺时间，腔体高压气体排除，上下层的密封圈8同时排气，重复上述流程。

以上所述仅是本发明的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本发明。尽管参照前述各实施例进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离各实施例技术方案的范围，其均应涵盖权利要求书的保护范围中。

Claims (10)

1.一种多托盘式除泡机，包括多层沿Z向间隔分布的受压台板（1），所有受压台板（1）通过两组分别位于受压台板（1）X向两侧的受力扣板（2）固定为一体，相邻层受压台板（1）之间形成安装空间（3），其特征在于，每个安装空间（3）内皆设有下层托盘组件（5）和至少一层上层托盘组件（4），所述上层托盘组件（4）和下层托盘组件（5）皆包括：

托盘本体（6），其水平布置；

导向结构（7），其位于所述托盘本体（6）的X向端部，所述导向结构（7）包括固定轨（71）和移动件（72），所述固定轨（71）沿Y向布置且外伸于所述受压台板（1）的Y向一侧，所述固定轨（71）相对所述受力扣板（2）固定，所述移动件（72）与所述托盘本体（6）连接且仅能沿所述固定轨（71）Y向移动；

密封圈（8），其设于所述托盘本体（6）的顶面且沿所述托盘本体（6）的边缘设置；

驱动件（9），其适于驱动所述托盘本体（6）沿固定轨（71）Y向运动；

所述上层托盘组件（4）的托盘本体（6）的盘面上开设有通气孔（61），除泡工作时所述下层托盘组件（5）的托盘本体（6）支撑于对应安装空间（3）下方受压台板（1）的顶面，充气密封时所述密封圈（8）密封抵接相邻上方托盘本体（6）底面或对应安装空间（3）上方受压台板（1）的底面。

2.根据权利要求1所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述下层托盘组件（5）的托盘本体（6）滑动连接在对应移动件（72）上且滑动方向为Z向，所述下层托盘组件（5）还包括：

第一限位件（51），其固定于对应移动件（72）上且适于阻挡下层托盘组件（5）的托盘本体（6）向上运动；

复位弹性件（52），其压设于对应移动件（72）与下层托盘组件（5）的托盘本体（6）之间且适于驱使下层托盘组件（5）的托盘本体（6）向上运动；

自然状态时下层托盘组件（5）的托盘本体（6）在所述复位弹性件（52）的作用下抵接至所述第一限位件（51）。

3.根据权利要求2所述的多托盘式除泡机，其特征在于：所述下层托盘组件（5）在X向第一端设有导向结构（7）且在X向第二端设有第一支撑结构（53），所述第一支撑结构（53）包括：

第一支撑条板（531），其相对所述受力扣板（2）固定设置；

第一轮组（532），其包括第一轮架（5321）和第一轮体（5322），所述第一轮体（5322）转动安装在第一轮架（5321）上，所述第一轮架（5321）滑动连接在下层托盘组件（5）的托盘本体（6）上且滑动方向为Z向，所述第一轮架（5321）与下层托盘组件（5）的托盘本体（6）之间压设有驱动弹性件（533），所述驱动弹性件（533）适于驱使所述第一轮体（5322）始终接触所述第一支撑条板（531）。

4.根据权利要求1所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述上层托盘组件（4）的托盘本体（6）滑动连接在对应移动件（72）上且滑动方向为Z向，所述上层托盘组件（4）还包括：

第二限位件（41），其固定于对应移动件（72）上且适于阻挡上层托盘组件（4）的托盘本体（6）向下运动；

自然状态时上层托盘组件（4）的托盘本体（6）在重力作用下置于所述第二限位件（41）上。

5.根据权利要求4所述的多托盘式除泡机，其特征在于：所述上层托盘组件（4）在X向第一端设有导向结构（7）且在X向第二端设有第二支撑结构（42），所述第二支撑结构（42）包括：

第二支撑条板（421），其相对所述受力扣板（2）固定设置；

第二轮组（422），其包括第二轮体（4222）和第二轮架（4221），所述第二轮体（4222）转动安装在第二轮架（4221）上，所述第二轮架（4221）固定连接在上层托盘组件（4）的托盘本体（6）上；

自然状态时第二轮体（4222）支撑于所述第二支撑条板（421）上。

6.根据权利要求4所述的多托盘式除泡机，其特征在于：所有密封圈（8）等径，所有密封圈（8）的围绕面积从上至下依次递增，且当所有密封圈（8）填充同等压强气体时，下方密封圈（8）的支撑压力大于上方所有托盘本体（6）的重力和上方所有密封圈（8）的支撑压力之和。

7.根据权利要求1至6任一项所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述托盘本体（6）的顶面设有密封槽，所述密封圈（8）置于所述密封槽内。

8.根据权利要求1至6任一项所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述安装空间（3）下方受压台板（1）包括台板本体（11）和多个支撑筋板（12），所述支撑筋板（12）的板面与X向垂直，多个支撑筋板（12）沿X向间隔分布，所述下层托盘组件（5）的托盘本体（6）在脱泡工作时支撑于所述支撑筋板（12）上。

9.根据权利要求8所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述安装空间（3）上方受压台板（1）的底面为水平布置的平面。

10.根据权利要求1-6任一项所述的多托盘式除泡机，其特征在于，所述驱动件（9）为电机同步带副，所述电机同步带副包括电机（91）、同步带（92）和辊轮（93），所述同步带（92）绕装在辊轮（93）上，所述电机（91）的输出轴与辊轮（93）传动连接，所述同步带（92）与所述移动件（72）固定连接。