CN116848952A

CN116848952A - 显示装置

Info

Publication number: CN116848952A
Application number: CN202280010030.3A
Authority: CN
Inventors: 冈崎健一; 江口晋吾; 安达广树
Original assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date: 2021-01-14
Filing date: 2022-01-06
Publication date: 2023-10-03

Abstract

提供一种显示品质高的显示装置。提供一种可靠性高的显示装置。提供一种功耗低的显示装置。提供一种容易实现高清晰化的显示装置。提供一种兼具有高显示品质及高清晰度的显示装置。提供一种对比度高的显示装置。本发明的一个方式是一种显示装置，包括：绝缘层；第一下部电极；第一下部电极上的第一EL层；第二下部电极；第二下部电极上的第二EL层；以及第一EL层上、第二EL层上及绝缘层上的上部电极，其中，第一EL层包括第一发光层，第二EL层包括第二发光层，第一EL层与第二EL层相邻，绝缘层包括树脂或树脂的前体，并且，绝缘层具有夹在第一EL层所包括的第一端面与第二EL层所包括的第二端面之间的区域。

Description

显示装置

技术领域

本发明的一个方式涉及一种显示装置。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。

注意，本发明的一个方式不局限于上述技术领域。作为本说明书等所公开的本发明的一个方式的技术领域的例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置、输入输出装置、这些装置的驱动方法或这些装置的制造方法。半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的所有装置。

背景技术

近年来，高清晰显示器面板被需求。作为被要求高清晰显示器面板的设备，例如有智能手机、平板终端、笔记本型计算机等。另外，电视装置、监视装置等固定式显示器装置也随着高分辨率化被要求高清晰化。作为最需求高清晰度的设备，例如有应用于虚拟现实(VR：Virtual Reality)或增强现实(AR：Augmented Reality)的设备。

此外，作为可以应用于显示器面板的显示装置，典型地可以举出液晶显示装置、具备有机EL(Electro Luminescence：电致发光)元件或发光二极管(LED：Light EmittingDiode)等发光元件的发光装置、以电泳方式等进行显示的电子纸等。

例如，有机EL元件的基本结构是在一对电极之间夹有包含发光性有机化合物的层的结构。通过对该元件施加电压，可以得到来自发光性有机化合物的发光。由于应用上述有机EL元件的显示装置不需要液晶显示装置等所需要的背光源，所以可以实现薄型、轻量、高对比度且低功耗的显示装置。例如，专利文献1公开了使用有机EL元件的显示装置的例子。

专利文献2公开了使用有机EL器件的应用于VR的显示装置。

[先行技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利申请公开第2002-324673号公报

[专利文献2]国际公开第2018/087625号

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种功耗低的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种容易实现高清晰化的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种兼具有高显示品质及高清晰度的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种对比度高的显示装置。

本发明的一个方式的目的之一是提供一种具有新颖结构的显示装置或显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高成品率地制造上述显示装置的方法。本发明的一个方式的目的之一是至少改善现有技术的问题中的至少一个。

注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。注意，本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。另外，可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽出上述以外的目的。

解决技术问题的手段

本发明的一个方式是一种显示装置，包括：绝缘层；第一下部电极；第一下部电极上的第一EL层；第二下部电极；第二下部电极上的第二EL层；以及第一EL层上、第二EL层上及绝缘层上的上部电极，其中，第一EL层包括第一发光层，第二EL层包括第二发光层，第一EL层与第二EL层相邻，绝缘层包括树脂或树脂的前体，并且，绝缘层具有夹在第一EL层所包括的第一端面与第二EL层所包括的第二端面之间的区域。

另外，在上述结构中，树脂包含选自丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂和酚醛树脂中的一个以上，并且树脂的前体优选为包含选自丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂和酚醛树脂中的一个以上的树脂的前体。

另外，在上述结构中，绝缘层优选与第一端面及第二端面接触。

另外，在上述结构中，第一EL层的顶面、第二EL层的顶面及绝缘层的顶面优选大致对齐。

另外，在上述结构中，绝缘层的顶面优选具有其高度低于第一EL层的顶面及第二EL层的顶面的区域。

另外，在上述结构中，绝缘层的顶面优选具有凹部。

另外，在上述结构中，绝缘层的顶面优选具有凸部。

另外，在上述结构中，优选的是，包括具有电子注入层或空穴注入层的公共层，其中公共层与第一EL层的顶面、第二EL层的顶面及绝缘层的顶面接触。

另外，在上述结构中，优选的是，包括具有电子注入层的公共层，其中第一EL层包括夹在第一发光层与公共层之间的第一电子传输层，第二EL层包括夹在第二发光层与公共层之间的第二电子传输层，并且公共层与第一EL层的顶面、第二EL层的顶面及绝缘层的顶面接触。

另外，在上述结构中，优选的是，包括具有电子注入层及电子传输层的公共层，其中公共层与第一EL层的顶面、第二EL层的顶面及绝缘层的顶面接触。

另外，在上述结构中，优选的是，第一发光层包含发射选自蓝色、紫色、蓝紫色、绿色、黄绿色、黄色、橙色和红色中的一个颜色的光的发光物质，并且第二发光层包含发射选自蓝色、紫色、蓝紫色、绿色、黄绿色、黄色、橙色和红色中的另一个颜色的光的发光物质。

本发明的一个方式是一种显示装置，包括：衬底上的多个像素，其中，多个像素的每一个都包括发光元件，发光元件包括像素电极、像素电极上的EL层及EL层上的公共电极，多个像素中的每个发光元件共通使用多个像素中的公共电极，在多个像素中相邻的像素的像素电极由包含无机材料的第一绝缘层及包含有机材料的第二绝缘层分离，像素电极的侧面及EL层的侧面具有接触于第一绝缘层的区域，并且第二绝缘层接触于第一绝缘层上且配置在公共电极的下方。

本发明的一个方式是一种显示装置，包括：第一像素；以及与第一像素相邻地配置的第二像素，其中，第一像素包括具有第一像素电极、第一像素电极上的第一EL层及第一EL层上的公共电极的第一发光元件，第二像素包括具有第二像素电极、第二像素电极上的第二EL层及第二EL层上的公共电极的第二发光元件，第一像素电极的侧面、第一EL层的侧面、第二像素电极的侧面及第二EL层的侧面具有与第一绝缘层接触的区域，该显示装置包括接触于第一绝缘层上且配置在公共电极的下方的第二绝缘层，第一绝缘层包含无机材料，并且，第二绝缘层包含有机材料。

本发明的一个方式是一种显示装置，包括：第一像素；以及与第一像素相邻地配置的第二像素，其中，第一像素包括具有第一像素电极、第一像素电极上的第一EL层及第一EL层上的公共电极的第一发光元件，第二像素包括具有第二像素电极、第二像素电极上的第二EL层及第二EL层上的公共电极的第二发光元件，第一像素电极的侧面、第一EL层的侧面、第二像素电极的侧面及第二EL层的侧面具有与第一绝缘层接触的区域，该显示装置包括接触于第一绝缘层上且配置在公共电极的下方的第二绝缘层，第一绝缘层包含无机材料，第二绝缘层包含有机材料，并且，第一EL层的顶面、第二EL层的顶面、第一绝缘层的顶面及第二绝缘层的顶面具有接触于公共电极的区域。

本发明的一个方式是一种显示装置，包括：第一像素；以及与第一像素相邻地配置的第二像素，其中，第一像素包括具有第一像素电极、第一像素电极上的第一EL层、第一EL层上的公共层及公共层上的公共电极的第一发光元件，第二像素包括具有第二像素电极、第二像素电极上的第二EL层、第二EL层上的公共层及公共层上的公共电极的第二发光元件，第一像素电极的侧面、第一EL层的侧面、第二像素电极的侧面及第二EL层的侧面具有与第一绝缘层接触的区域，该显示装置包括接触于第一绝缘层上且配置在公共电极的下方的第二绝缘层，第一绝缘层包含无机材料，第二绝缘层包含有机材料，并且，第一EL层的顶面、第二EL层的顶面、第一绝缘层的顶面及第二绝缘层的顶面具有接触于公共层的区域。

在上述结构中，在显示装置的截面中，第一绝缘层也可以具有与第一EL层的顶面或第二EL层的顶面相比向上方突出的区域。

另外，在上述结构中，在显示装置的截面中，第一EL层或第二EL层也可以具有与第一绝缘层的顶面相比向上方突出的区域。

另外，在上述结构中，在显示装置的截面中，第二绝缘层的顶面也可以具有凹曲面形状。

另外，在上述结构中，在显示装置的截面中，第二绝缘层的顶面也可以具有凸曲面形状。

发明效果

根据本发明的一个方式，可以提供一种显示品质高的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种功耗低的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种容易实现高清晰化的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种兼具有高显示品质及高清晰度的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种对比度高的显示装置。

根据本发明的一个方式，可以提供一种具有新颖结构的显示装置或显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种高成品率地制造上述显示装置的方法。根据本发明的一个方式，可以至少改善现有技术的问题中的至少一个。

注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。注意，本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。另外，可以从说明书、附图、权利要求书等的记载抽出上述以外的效果。

附图简要说明

图1A至图1C是示出显示装置的结构例子的图。

图2A及图2B是示出显示装置的结构例子的图。

图3A至图3F是示出显示装置的制造方法例子的图。

图4A至图4E是示出显示装置的制造方法例子及显示装置的结构例子的图。

图5A至图5E是示出显示装置的制造方法例子及显示装置的结构例子的图。

图6A至图6C是示出显示装置的制造方法例子的图。图6D是示出显示装置的结构例子的图。

图7A及图7B是示出显示装置的结构例子的图。

图8A及图8B是示出显示装置的制造方法例子的图。图8C是示出显示装置的结构例子的图。

图9A及图9B是示出显示装置的结构例子的图。

图10A及图10B是示出显示装置的结构例子的图。

图11A及图11B是示出显示装置的结构例子的图。

图12A及图12B是示出显示装置的结构例子的图。

图13A至图13F是示出显示装置的制造方法例子的图。

图14A至图14F是示出显示装置的制造方法例子的图。

图15A至图15F是示出显示装置的制造方法例子及显示装置的结构例子的图。

图16A及图16B是示出显示装置的结构例子的图。

图17A至图17C是示出显示装置的结构例子的图。

图18A至图18C是示出显示装置的结构例子的图。

图19A至图19D是示出显示装置的结构例子的图。

图20A及图20B是示出显示装置的结构例子的图。

图21是示出显示装置的一个例子的立体图。

图22是示出显示装置的一个例子的截面图。

图23是示出显示装置的一个例子的截面图。

图24是示出显示装置的一个例子的截面图。

图25是示出显示装置的一个例子的截面图。

图26A是示出显示装置的一个例子的截面图。图26B是示出晶体管的一个例子的截面图。

图27是示出显示装置的一个例子的截面图。

图28A及图28B是示出显示模块的一个例子的立体图。

图29是示出显示装置的一个例子的截面图。

图30是示出显示装置的一个例子的截面图。

图31是示出显示装置的一个例子的截面图。

图32是示出显示装置的一个例子的截面图。

图33是示出显示装置的一个例子的截面图。

图34是示出显示装置的一个例子的截面图。

图35A至图35D是示出发光元件的结构例子的图。

图36A及图36B是示出电子设备的一个例子的图。

图37A至图37D是示出电子设备的一个例子的图。

图38A至图38F是示出电子设备的一个例子的图。

图39A至图39F是示出电子设备的一个例子的图。

实施发明的方式

下面，参照附图对实施方式进行说明。注意，实施方式可以以多个不同方式来实施，所属技术领域的普通技术人员可以很容易地理解一个事实，就是其方式和详细内容可以被变换为各种各样的形式而不脱离本发明的宗旨及其范围。因此，本发明不应该被解释为仅限定在下面的实施方式所记载的内容中。

注意，在下面说明的发明结构中，在不同的附图中共同使用相同的附图标记来表示相同的部分或具有相同功能的部分，而省略反复说明。此外，当表示具有相同功能的部分时有时使用相同的阴影线，而不特别附加附图标记。

注意，在本说明书所说明的各个附图中，有时为了明确起见，夸大表示各构成要素的大小、层的厚度、区域。因此，本发明并不局限于附图中的尺寸。

在本说明书等中使用的“第一”、“第二”等序数词是为了避免构成要素的混淆而附记的，而不是为了在数目方面上进行限定的。

在本说明书等中，“膜”和“层”可以相互调换。例如，有时可以将“导电层”或“绝缘层”分别变换为“导电膜”或“绝缘膜”。

注意，在本说明书中，EL层是指设置在发光元件的一对电极之间且至少包括发光物质的层(也称为发光层)或包括发光层的叠层体。

在本说明书等中，显示装置的一个方式的显示面板是指能够在显示面显示(输出)图像等的面板。因此，显示面板是输出装置的一个方式。

在本说明书等中，有时将在显示面板的衬底上安装有例如FPC(Flexible PrintedCircuit：柔性印刷电路)或TCP(Tape Carrier Package：载带封装)等连接器的结构或在衬底上以COG(Chip On Glass：玻璃覆晶封装)方式等直接安装IC的结构称为显示面板模块或显示模块，或者也简单地称为显示面板等。

本发明的一个方式的发光元件也可以包括包含空穴注入性高的物质、空穴传输性高的物质、电子传输性高的物质、电子注入性高的物质、双极性的物质等的层。

另外，上述发光层以及包含空穴注入性高的物质、空穴传输性高的物质、电子传输性高的物质及电子注入性高的物质、双极性物质等的层可以分别包含量子点等的无机化合物或高分子化合物(低聚物、枝状聚合物或聚合物等)。例如，通过将量子点用于发光层，也可以将其用作发光材料。

作为量子点材料，可以使用胶状量子点材料、合金型量子点材料、核壳(CoreShell)型量子点材料、核型量子点材料等。另外，也可以使用包含第12族和第16族、第13族和第15族、第14族和第16族的元素组的材料。或者，可以使用包含镉、硒、锌、硫、磷、铟、碲、铅、镓、砷、铝等元素的量子点材料。

在本说明书等中，有时将使用金属掩模或FMM(FineMetalMask，高清晰金属掩模)制造的器件称为具有MM(MetalMask)结构的器件。此外，在本说明书等中，有时将不使用金属掩模或FMM制造的器件称为具有MML(Metal Mask Less)结构的器件。

此外，在本说明书等中，有时将在各颜色的发光器件(这里为蓝色(B)、绿色(G)及红色(R))中分别形成发光层或分别涂布发光层的结构称为SBS(Side By Side)结构。另外，在本说明书等中，有时将可发射白色光的发光器件称为白色发光器件。白色发光器件通过与着色层(例如，滤色片)组合可以实现以全彩色显示的显示装置。

另外，发光器件大致可以分为单结构和串联结构。单结构的器件优选具有如下结构：在一对电极间包括一个发光单元，而且该发光单元包括一个以上的发光层。为了得到白色发光，以两个以上的发光层的各发光处于补色关系的方式选择发光层即可。例如，通过使第一发光层的发光颜色与第二发光层的发光颜色处于补色关系，可以得到在发光器件整体上以白色发光的结构。此外，包括三个以上的发光层的发光器件也是同样的。

串联结构的器件优选具有如下结构：在一对电极间包括两个以上的多个发光单元，而且各发光单元包括一个以上的发光层。为了得到白色发光，采用组合从多个发光单元的发光层发射的光来得到白色发光的结构即可。注意，得到白色发光的结构与单结构中的结构同样。此外，在串联结构的器件中，优选在多个发光单元间设置电荷产生层等中间层。

另外，在对上述白色发光器件(单结构或串联结构)和SBS结构的发光器件进行比较的情况下，可以使SBS结构的发光器件的功耗比白色发光器件低。想要降低功耗的器件优选采用SBS结构的发光器件。另一方面，白色发光器件的制造程序比SBS结构的发光器件简单，由此可以降低制造成本或者提高制造成品率，所以是优选的。

(实施方式1)

在本实施方式中，说明本发明的一个方式的显示装置的结构例子及显示装置的制造方法例子。

本发明的一个方式是包括发光元件(也称为发光器件)的显示装置。显示装置包括发射不同颜色的光的至少两个发光元件。发光元件各自包括一对电极及该一对电极间的EL层。作为发光元件，可以使用有机EL元件、无机EL元件等的电致发光元件。除此之外，也可以使用发光二极管(LED)。本发明的一个方式的发光元件优选使用有机EL元件(有机电致发光元件)。发射不同颜色的两个以上的发光元件各自包括包含不同材料的EL层。例如，通过包括分别发射红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)的光的三种发光元件，可以实现全彩色显示装置。

在此，已知当在不同颜色的发光元件间分别制造EL层时，利用使用金属掩模等荫罩的蒸镀法。然而，该方法不容易实现高清晰化及高开口率化，因为因金属掩模的精度、金属掩模与衬底的错位、金属掩模的挠曲、以及蒸气的散射等所导致的沉积的膜的轮廓变大等各种影响而岛状有机膜的形状及位置不同于设计。另外，在进行蒸镀时有时产生起因于附着于金属掩模的材料的垃圾。这种垃圾有可能导致发光元件的图案不良。另外，有可能发生起因于垃圾的短路。另外，需要附着于金属掩模的材料的清洗工序。因此，通过采用Pentile排列等特殊像素排列方式等而模拟地提高清晰度(也称为像素密度)。

本发明的一个方式不使用金属掩模等的荫罩将EL层加工为微细图案。因此，可以实现目前难以实现的具有高清晰度和高开口率的显示装置。另外，由于可以分别制造EL层，所以可以实现非常鲜明且对比度高的显示品质高的显示装置。

在此，为了简化起见，说明分别制造两个颜色的发光元件的EL层的情况。首先，覆盖像素电极层叠形成第一EL膜及第一牺牲膜。接着，在第一牺牲膜上形成抗蚀剂掩模。接着，使用抗蚀剂掩模对第一牺牲膜的一部分及第一EL膜的一部分进行蚀刻来形成第一EL层及第一EL层上的第一牺牲层。

接下来，层叠形成第二EL膜及第二牺牲膜。接着，使用抗蚀剂掩模对第二牺牲膜的一部分及第二EL膜的一部分进行蚀刻来形成第二EL层及第二EL层上的第二牺牲层。接着，将第一牺牲层及第二牺牲层作为掩模对像素电极进行加工而形成与第一EL层重叠的第一像素电极及与第二EL层重叠的第二像素电极。通过上述步骤可以分别形成第一EL层及第二EL层。最后，去除第一牺牲层及第二牺牲层而形成公共电极，由此可以分别形成两个颜色的发光元件。

另外，通过反复进行上述工序可以分别形成三个颜色以上的发光元件的EL层，由此可以实现包括三个或四个以上的颜色的发光元件的显示装置。

在EL层的端部，因设置有像素电极及EL层的区域与没有设置像素电极及EL层的区域而产生台阶。当在EL层上形成公共电极时，有可能因EL层的端部的台阶而公共电极的覆盖性降低，而公共电极被切断。另外，也有可能公共电极变薄而电阻上升。

另外，在像素电极的端部与EL层的端部大致对齐的情况以及像素电极的端部位于EL层的端部的外侧的情况下，当在EL层上形成公共电极时有时公共电极与像素电极短路。

在本发明的一个方式中，通过在第一EL层与第二EL层间设置绝缘层可以减小设置公共电极的面的凹凸。因此，可以提高第一EL层的端部及第二EL层的端部的公共电极的覆盖性而可以实现公共电极的良好导电性。另外，可以抑制公共电极与像素电极的短路。

另外，在本发明的一个方式中，可以使用抗蚀剂掩模形成牺牲层而使用所形成的牺牲层对EL层及像素电极进行加工，所以可以在对像素电极及EL层进行加工时不使用不同抗蚀剂掩模而形成发光元件。因此，可以不设置像素电极及EL层的端部位置的余地而可以形成发光元件。通过减小位置的余地而可以使发光区域更大，所以可以提高发光元件的开口率。另外，通过减小位置的余地可以缩小像素尺寸，由此可以实现显示装置的高清晰化。另外，可以减少使用抗蚀剂掩模的次数，所以可以简化工序而可以降低成本且提高成品率。

在不同颜色的EL层彼此相邻时，例如在使用金属掩模的形成方法中将彼此相邻的EL层的间隔设为小于10μm是困难的，但是在上述方法中可以减少到3μm以下、2μm以下或1μm以下。例如，通过使用LSI用曝光装置，也可以将间隔减少到500nm以下、200nm以下、100nm以下、甚至为50nm以下。由此，可以大幅度地减小有可能存在于两个发光元件间的非光发光区域的面积，而可以使开口率接近于100％。例如，也可以实现50％以上、60％以上、70％以上、80％以上、甚至为90％以上且低于100％的开口率。

另外，关于EL层本身的图案也与使用金属掩模的情况相比显著地减少。另外，例如在使用金属掩模分别形成EL层的情况下，图案的中央及端部的厚度不同，所以相对于图案整体的面积的能够作为发光区域使用的有效面积变小。另一方面，在上述制造方法中通过对沉积为均匀厚度的膜进行加工来形成图案，所以可以使图案的厚度均匀，即使采用微细图案也可以将其几乎所有区域用作发光区域。因此，通过上述制造方法，可以兼具有高清晰度和高开口率。

如此，通过上述制造方法可以实现集成地配置有微细发光元件的显示装置，而例如无需Pentile方式等特殊像素排列方式模拟地提高清晰度，所以可以实现采用将R、G、B都在一个方向上排列的所谓的条纹排列且具有500ppi以上、1000ppi以上、或者2000ppi以上、甚至为3000ppi以上、甚至为5000ppi以上的清晰度的显示装置。

以下，参照附图说明本发明的一个方式的显示装置的更具体的结构例子及制造方法例子。

＜包括绝缘层131的结构＞

以下，参照图1A至图1C、图2A及图2B、图10A及图10B等说明本发明的一个方式的显示装置的结构例子。

[结构例子1]

图1A示出本发明的一个方式的显示装置100的俯视示意图。显示装置100包括多个发射红色的发光元件110R、多个发射绿色的发光元件110G及多个发射蓝色的发光元件110B。在图1A中，为了简单地区别各发光元件而对各发光元件的发光区域内附上R、G、B的符号。

发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B都以矩阵状排列。图1A示出同一颜色的发光元件在一个方向上排列的所谓条纹排列。注意，发光元件的排列方法不局限于此，既可以采用三角状排列、之字形状等的排列方法，又可以采用Pentile排列。

作为发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B，优选使用OLED(OrganicLight Emitting Diode：有机发光二极管)或QLED(Quantum-dotLightEmittingDiode：量子点发光二极管)等EL元件。作为EL元件所包含的发光物质，可以举出发射荧光的物质(荧光材料)、发射磷光的物质(磷光材料)、无机化合物(量子点材料等)、呈现热活化延迟荧光的物质(热活性化延迟荧光(Thermally activated delayed fluorescence：TADF)材料)等。

图1B是对应于图1A中的点划线A1-A2的截面示意图，图1C是对应于点划线B1-B2的截面示意图。

发光装置100包括衬底上的发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B。图1B示出发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B的截面。发光元件110R包括像素电极111R、EL层112R及公共电极113。发光元件110G包括像素电极111G、EL层112G及公共电极113。发光元件110B包括像素电极111B、EL层112B及公共电极113。

发光元件110R在像素电极111R与公共电极113之间包括EL层112R。EL层112R至少包含发射在红色的波长区域具有强度的光的发光性的有机化合物。发光元件110G在像素电极111G与公共电极113之间包括EL层112G。EL层112G至少包含发射在绿色的波长区域具有强度的光的发光性的有机化合物。发光元件110B在像素电极111B与公共电极113之间包括EL层112B。EL层112B至少包含发射在蓝色的波长区域具有强度的光的发光性的有机化合物。

EL层112R、EL层112G及EL层112B都包括具有发光性的有机化合物的层(发光层)。另外，发光层除了发光物质(客体材料)以外还可以包含一种或多种化合物(主体材料、辅助材料)。作为主体材料、辅助材料，使用一种或多种能隙比发光物质(客体材料)大的物质。作为主体材料和辅助材料，优选组合使用形成激基复合物的化合物。为了高效地形成激基复合物，特别优选组合容易接收空穴的化合物(空穴传输性材料)与容易接收电子的化合物(电子传输性材料)。

作为发光元件可以使用低分子类化合物或高分子类化合物，也可以包含无机化合物(量子点材料等)。

EL层112R、EL层112G及EL层112B除了发光层以外也可以包括电子注入层、电子传输层、空穴注入层和空穴传输层中的一个以上。

像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B都设置在每个发光元件中。另外，公共电极113作为各发光元件共通使用的连续的层设置。作为各像素电极和公共电极113中的任一方使用对可见光具有透光性的导电膜且另一方使用具有反射性的导电膜。通过使各像素电极具有透光性且使公共电极113具有反射性可以实现底面发射型(底部发射型)的显示装置，与此相反，通过使各像素电极具有反射性且使公共电极113具有透光性可以实现顶面发射型(顶部发射结构)的显示装置。另外，通过使各像素电极和公共电极113的双方具有透光性，也可以实现双面发射型(双面发射结构)的显示装置。

另外，以下在说明发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B之间共通的内容时有时省略附上符号的记号而记为发光元件110进行说明。另外，同样地，像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B有时被记为像素电极111进行说明。另外，同样地，EL层112R、EL层112G及EL层112B也有时记为EL层112进行说明。其他层也是同样的。

彼此相邻的发光元件110之间设置有绝缘层131。绝缘层131位于发光元件110所包括的各EL层112之间。另外，绝缘层131上设置有公共电极113。

绝缘层131例如设置在发射不同颜色的两个EL层112之间。或者，绝缘层131例如设置在发射相同颜色的两个EL层112之间。或者，也可以采用绝缘层131设置在发射不同颜色的两个EL层112之间而不设置在发射相同颜色的两个EL层112之间的结构。

在俯视时，绝缘层131例如设置在两个EL层112之间。

EL层112R、EL层112G及EL层112B都优选具有接触于像素电极的顶面的区域及接触于绝缘层131的侧面的区域。EL层112R、EL层112G及EL层112B的端部优选接触于绝缘层131的侧面。

通过在发射不同颜色的发光元件之间设置绝缘层131，可以抑制EL层112R、EL层112G及EL层112G彼此接触。由此，可以适合防止电流通过相邻的两个EL层流过而产生非意图的发光。由此，可以提高对比度而可以实现显示品质高的显示装置。

绝缘层131的顶面优选与EL层112的顶面大致对齐。另外，绝缘层131的顶面例如具有平坦形状。

另外，有时绝缘层131的顶面高于EL层112的顶面(后述的图6C等)。另外，有时绝缘层131的顶面低于EL层112的顶面(后述的图7A等)。

另外，有时绝缘层131的顶面具有凹部(后述的图8B等)。另外，有时绝缘层131的顶面具有凸部(后述的图9A等)。

绝缘层131的顶面与EL层112的顶面的高度之差例如优选为绝缘层131的厚度的0.5倍以下，更优选为绝缘层131的厚度的0.3倍以下。另外，例如以EL层112的顶面高于绝缘层131的顶面的方式设置绝缘层131即可。另外，例如以绝缘层的顶面高于EL层112所包括的发光层的顶面的方式设置绝缘层131即可。另外，绝缘层131的厚度例如大致相等于从像素电极111的底面到EL层112的顶面的厚度。另外，绝缘层131的厚度例如优选为从像素电极111的底面到EL层112的顶面的厚度的0.3倍以上、0.5倍以上或0.7倍以上。

作为绝缘层131，可以使用丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂、酚醛树脂及上述树脂的前体等。

另外，公共电极113上以覆盖发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B的方式设置有保护层121。保护层121具有防止水等的杂质从上方扩散到各发光元件的功能。

保护层121例如可以具有至少包括无机绝缘膜的单层结构或叠层结构。作为无机绝缘膜，例如可以使用氧化硅膜、氧氮化硅膜、氮氧化硅膜、氮化硅膜、氧化铝膜、氧氮化铝膜、氧化铪膜等的氧氧化物膜或氮化物膜。或者，作为保护层121也可以使用铟镓氧化物、铟镓锌氧化物等的半导体材料。

另外，作为保护层121也可以使用无机绝缘膜与有机绝缘膜的叠层膜。例如，优选在一对无机绝缘膜之间夹持有机绝缘膜。并且，有机绝缘膜优选被用作平坦化膜。由此，可以使有机绝缘膜的顶面平坦，所以有机绝缘膜上的无机绝缘膜的覆盖性得到提高，由此可以提高阻挡性。另外，保护层121的顶面变平坦，所以当在保护层121的上方设置结构物(例如，滤色片、触摸传感器的电极或透镜阵列等)时可以减少起因于下方的结构的凹凸形状的影响，所以是优选的。

[结构例子2]

图2A及图2B所示的显示装置100A与图1B及图1C所示的显示装置100不同之处主要在于包括公共层114。图2A是对应于图1A中的点划线A1-A2的截面示意图，图2B是对应于点划线B1-B2的截面示意图。

与公共电极113同样，公共层114横跨设置在多个发光元件中。公共层114覆盖EL层112R、EL层112G及EL层112B。通过包括公共层114可以简化制造工序，所以可以降低制造成本。公共层114及公共电极113可以在其制造工序中不进行蚀刻等工序而连续地形成。因此，可以使公共层114与公共电极的界面清洁而可以在发光元件中得到良好的特性。

公共层114优选接触于EL层112R、EL层112G和EL层112B的顶面中的一个以上。

EL层112R、EL层112G及EL层112B例如优选至少包括包含发射一个颜色的发光材料的发光层。另外，公共层114例如优选为包括电子注入层、电子传输层、空穴注入层和空穴传输层中的一个以上的层。在将像素电极用作阳极且将公共电极用作阴极的发光元件中，作为公共层114可以采用包括电子注入层的结构或者包括电子注入层及电子传输层的两个的结构。

[结构例子3]

在各发光元件中，通过使用微腔结构(微小谐振器结构)使光程长不同，可以加强特定波长的光。由此，可以实现色纯度得到提高的显示装置。

例如，在各发光元件中，通过使EL层112的厚度不同可以实现微腔结构。例如，可以采用如下结构：使发射波长最长的光的发光元件110R的EL层112R的厚度最厚且使发射波长最短的光的发光元件110B的EL层112B的厚度最薄。另外，不局限于此，可以考虑各发光元件所发射的光的波长、构成发光元件的层的光学特性及发光元件的电特性等调整各EL层的厚度。

另外，例如可以作为光学调整层使用对可见光具有透光性的层按每个发光元件使光程长不同。例如，在像素电极111与EL层112之间设置光学调整层即可。作为光学调整层，例如可以使用对可见光具有透光性的导电材料。例如，可以使用氧化铟、铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化锌、包含镓的氧化锌、包含硅的铟锡氧化物、包含硅的铟锌氧化物等导电性氧化物。

各光学调整层可以在沉积成为像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B的膜之后且形成后述的图13A所示的EL膜112Rf等之前形成。通过使各光学调整层的厚度不同，可以在各发光元件中使光程长不同。各光学调整层既可以使用各厚度不同的导电膜，又可以按光学调整层的厚度薄的顺序依次采用单层结构、两层结构、三层结构等。

或者，也可以组合光学调整层以及其厚度根据颜色不同的EL层而使用。

例如，也可以以各发光元件的光学调整层和EL层的膜厚度的总和大致相等的方式调整光学调整层及EL层的膜厚度。在此情况下，可以进一步使公共电极113的形成表面平坦化。

在图10A所示的显示装置100B中，发光元件110R在像素电极111R与EL层112R之间包括光学调整层115R。另外，发光元件110G在像素电极111G与EL层112G之间包括光学调整层115G。另外，发光元件110B在像素电极111B与EL层112B之间包括光学调整层115B。

图10B所示的显示装置100C与图10A所示的显示装置100B不同之处主要在于：在发光元件的结构中，在EL层112与公共电极113之间包括公共层114。

[制造方法例子1]

以下，参照附图说明本发明的一个方式的显示装置的制造方法的一个例子。在此，以上述结构例子所示的显示装置100A为例进行说明。图3A至图4E是以下示出的显示装置的制造方法的各工序中的截面示意图。

构成显示装置的薄膜(绝缘膜、半导体膜、导电膜等)可以利用溅射法、化学气相沉积(CVD：ChemicalVaporDeposition)法、真空蒸镀法、脉冲激光沉积(PLD：PulsedLaserDeposition)法、原子层沉积(ALD：Atomic LayerDeposition)法等形成。作为CVD法有等离子体增强化学气相沉积(PECVD：Plasma Enhanced CVD)法或热CVD法等。此外，作为热CVD法之一，有有机金属化学气相沉积(MOCVD：Metal Organic CVD)法。

此外，构成显示装置的薄膜(绝缘膜、半导体膜、导电膜等)可以利用旋涂法、浸渍法、喷涂法、喷墨法、分配器法、丝网印刷法、胶版印刷法、刮刀(doctorknife)法、狭缝式涂布法、辊涂法、帘式涂布法、刮刀式涂布法等方法形成。

此外，当对构成显示装置的薄膜进行加工时，可以利用光刻法等进行加工。除了上述方法以外，还可以利用纳米压印法、喷砂法、剥离法等对薄膜进行加工。此外，可以通过利用金属掩模等遮蔽掩模的成膜方法直接形成岛状的薄膜。

光刻法典型地有如下两种方法。一个是在要进行加工的薄膜上形成抗蚀剂掩模，通过蚀刻等对该薄膜进行加工，并去除抗蚀剂掩模的方法。另一个是在沉积感光性薄膜之后，进行曝光及显影来将该薄膜加工为所希望的形状的方法。

在光刻法中，作为用于曝光的光，例如可以使用i线(波长365nm)、g线(波长436nm)、h线(波长405nm)或将这些光混合了的光。另外，还可以使用紫外光、KrF激光或ArF激光等。此外，也可以利用液浸曝光技术进行曝光。此外，作为用于曝光的光，也可以使用极紫外(EUV：Extreme Ultra-violet)光或X射线。此外，也可以使用电子束代替用于曝光的光。当使用极紫外光、X射线或电子束时，可以进行极其精细的加工，所以是优选的。另外，在通过电子束等的扫描进行曝光时，不需要光掩模。

作为薄膜的蚀刻方法，可以利用干蚀刻法、湿蚀刻法及喷砂法等。

〔衬底101的准备〕

作为衬底101，可以使用至少具有能够承受后面的热处理程度的耐热性的衬底。在使用绝缘衬底作为衬底101的情况下，可以使用玻璃衬底、石英衬底、蓝宝石衬底、陶瓷衬底、有机树脂衬底等。此外，还可以使用以硅或碳化硅等为材料的单晶半导体衬底或多晶半导体衬底、以硅锗等为材料的化合物半导体衬底、SOI衬底等半导体衬底。

尤其是，衬底101优选使用在上述半导体衬底或绝缘衬底上形成有包括晶体管等半导体元件的半导体电路的衬底。该半导体电路优选例如构成像素电路、栅极线驱动电路(栅极驱动器)、源极线驱动电路(栅极驱动器)等。除此以外，还可以构成运算电路、存储电路等。

接着，在衬底101上沉积成为像素电极111的导电膜111f。

在作为像素电极使用对可见光具有反射性的导电膜时，优选尽量在可见光的波长区域整体使用反射率高的材料(例如，银或铝等)。由此，不仅可以提高发光元件的光提取效率，而且可以提高颜色再现性。

〔EL膜112Rf的形成〕

接着，在导电膜111f上沉积后面成为EL层112R的EL膜112Rf。

EL膜112Rf至少包括包含发光性的化合物的膜。除此之外，也可以层叠有被用作电子注入层、电子传输层、电荷产生层、空穴传输层或空穴注入层的膜中的一个以上。EL膜112Rf例如可以通过蒸镀法、溅射法或喷墨法等形成。另外，不局限于此，可以适当地使用上述成膜方法。

〔牺牲膜144a的形成〕

接着，以覆盖EL膜112Rf的方式形成牺牲膜144a。

在形成牺牲膜144a时例如可以使用溅射法、ALD法(热ALD法、PEALD法)或真空蒸镀法。优选使用对EL层的损伤少的形成方法，与溅射法相比，优选使用ALD法或真空蒸镀法形成第一牺牲膜144a。另外，作为牺牲膜144a尤其优选使用氧化铝，此时可以降低制造成本。另外，与溅射法相比，ALD法可以以对基底带来的沉积损伤较少的方式形成。

牺牲膜144a可以使用对于EL膜112Rf等各EL膜的蚀刻处理的耐性高的膜，即蚀刻选择比较大的膜。另外，牺牲膜144a可以使用与后述的保护膜146a等保护膜的蚀刻选择比较大的膜。并且，牺牲膜144a可以使用能够通过对各EL膜带来的损伤少的湿蚀刻法去除的膜。在使用湿蚀刻法时，例如优选使用显影液、四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液、稀氢氟酸、草酸、磷酸、乙酸、硝酸或它们的混合液体的药液等。

作为牺牲膜144a，例如可以使用金属膜、合金膜、金属氧化物膜、半导体膜、无机绝缘膜等的无机膜。

作为牺牲膜144a，例如可以使用金、银、铂、镁、镍、钨、铬、钼、铁、钴、铜、钯、钛、铝、钇、锆及钽等的金属材料或者包含该金属材料的合金材料。尤其是，优选使用铝或银等低熔点材料。

另外，作为牺牲膜144a可以使用铟镓锌氧化物(In-Ga-Zn氧化物，也记为IGZO)等金属氧化物。另外，可以使用氧化铟、铟锌氧化物(In-Zn氧化物)、铟锡氧化物(In-Sn氧化物)、铟钛氧化物(In-Ti氧化物)、铟锡锌氧化物(In-Sn-Zn氧化物)、铟钛锌氧化物(In-Ti-Zn氧化物)、铟镓锡锌氧化物(In-Ga-Sn-Zn氧化物)等。或者，也可以使用包含硅的铟锡氧化物等。

另外，在使用元素M(M为选自铝、硅、硼、钇、铜、钒、铍、钛、铁、镍、锗、锆、钼、镧、铈、钕、铪、钽、钨和镁中的一种或多种)代替上述镓时也可以使用上述材料。尤其是，M优选为选自镓、铝和钇中的一种或多种。

另外，作为牺牲膜144a可以使用氧化铝、氧化铪、氧化硅等的无机绝缘材料。尤其是，作为牺牲膜144a优选使用ALD法形成氧化铝膜，此时可以减少对基底(尤其是，EL层等)带来的损伤。

另外，作为牺牲膜144a也可以采用单层结构或两层以上的叠层结构。作为该叠层结构，典型的可以举出：通过溅射法形成的In-Ga-Zn氧化物与通过溅射法形成的氮化硅膜的两层结构；通过溅射法形成的In-Ga-Zn氧化物与通过ALD法形成的氧化铝的两层结构；或者通过ALD法形成的氧化铝与通过溅射法形成的In-Ga-Zn氧化物的两层结构等。

另外，也可以采用在通过ALD法或溅射法沉积牺牲膜144a时进行加热的结构。在采用该结构时，沉积牺牲膜144a时的衬底温度优选为基底材料(在此，EL膜112Rf)不被劣化的范围，设为室温以上且200℃以下，优选为50℃以上且150℃以下，更优选为70℃以上且100℃以下，典型地设定为80℃附近的温度即可。通过采用上述结构，可以提高基底材料与牺牲膜144a的密接性。

注意，并不需要形成牺牲膜144a，也可以以接触于EL膜112Rf上的方式形成保护膜146a。发射其他颜色的像素也是同样的。

〔保护膜146a的形成〕

接着，在牺牲膜144a上形成保护膜146a。

保护膜146a是用作后面蚀刻牺牲膜144a时的硬掩模的膜。另外，当在后面对保护膜146a进行加工时，牺牲膜144a被露出。因此，作为牺牲膜144a和保护膜146a的组合，选择它们之间的蚀刻选择比较大的膜的组合。因此，可以根据牺牲膜144a的蚀刻条件及保护膜146a的蚀刻条件选择可用作保护膜146a的膜。

例如，当在保护膜146a的蚀刻中使用包含氟的气体(也称为氟类气体)的干蚀刻时，可以将硅、氮化硅、氧化硅、钨、钛、钼、钽、氮化钽、包含钼及铌的合金或包含钼及钨的合金等用于保护膜146a。在此，作为相对于上述使用氟类气体的干蚀刻的蚀刻选择比较大(即，可以使蚀刻速率较慢)的膜，可以举出IGZO、ITO等的金属氧化物膜等，可以将上述膜用于牺牲膜144a。

另外，不局限于此，保护膜146a也可以根据牺牲膜144a的蚀刻条件及保护膜146a的蚀刻条件从各种材料中选择。例如，也可以从可用于上述牺牲膜144a的膜中选择。

另外，作为保护膜146a，例如可以使用氮化物膜。具体而言，也可以使用氮化硅、氮化铝、氮化铪、氮化钛、氮化钽、氮化钨、氮化镓、氮化锗等的氮化物。

另外，作为保护膜146a也可以使用可用于EL膜112Rf等的有机膜。例如，可以将与用于EL膜112Rf、EL膜112Gf或EL膜112Bf的有机膜相同的膜用于保护膜146a。通过使用这种有机膜，可以与EL膜112Rf等共通使用沉积装置，所以是优选的。

〔抗蚀剂掩模143a的形成〕

接着，在保护膜146a上形成抗蚀剂掩模143a(图3A)。

抗蚀剂掩模143a可以使用正型抗蚀剂材料或负型抗蚀剂材料等包含感光性树脂的抗蚀剂材料。

在此，当不包括保护膜146a在牺牲膜144a上形成抗蚀剂掩模143a时，在牺牲膜144a存在有针孔等的缺陷时有可能因抗蚀剂材料的溶剂而EL膜112Rf被溶解。通过使用保护膜146a，可以防止上述不良的发生。

〔保护膜146a的蚀刻〕

接着，通过蚀刻去除保护膜146a的不被抗蚀剂掩模143a覆盖的一部分而形成岛状或带状的保护层147a。

在蚀刻保护膜146a时，优选采用选择比高的蚀刻条件以便防止牺牲膜144a通过该蚀刻被去除。保护膜146a的蚀刻可以通过湿蚀刻或干蚀刻进行，通过使用干蚀刻可以抑制保护膜146a的图案缩小。

〔抗蚀剂掩模143a的去除〕

接着，去除抗蚀剂掩模143a。

抗蚀剂掩模143a的去除可以通过湿蚀刻或干蚀刻进行。尤其是，优选通过将氧气体用于蚀刻气体的干蚀刻(也称为等离子体灰化)去除抗蚀剂掩模143a。

此时，在去除抗蚀剂掩模143a时EL膜112Rf被牺牲膜144a覆盖，所以EL膜112Rf受到的影响得到抑制。尤其是，在EL膜112Rf暴露于氧时有时对电特性带来负面影响，所以在进行等离子体灰化等使用氧气体的蚀刻时这是优选的。

〔牺牲膜144a的蚀刻〕

接着，将保护层147a作为掩模去除牺牲膜144a的不被保护层147a覆盖的一部分而形成岛状或带状的牺牲层145a。

牺牲膜144a的蚀刻可以通过湿蚀刻或干蚀刻进行，在使用干蚀刻法时可以抑制图案的缩小，所以是优选的。

〔EL膜112Rf的蚀刻〕

接着，通过蚀刻去除不被牺牲层145a覆盖的EL膜112Rf的一部分而形成岛状或带状的EL层112R(图3B)。

在蚀刻EL膜112Rf时优选利用使用不包含氧作为主要成分的蚀刻气体的干蚀刻。由此，可以抑制EL膜112Rf的变质而实现可靠性高的显示装置。作为不包含氧作为主要成分的蚀刻气体例如可以举出CF₄、C₄F₈、SF₆、CHF₃、Cl₂、H₂O、BCl₃或He等的稀有气体。另外，可以将上述气体及不包含氧的稀释气体的混合气体用作蚀刻气体。在此，也可以在蚀刻EL膜112Rf时去除保护层147a。

〔EL层112G、EL层112B的形成〕

接着，在牺牲层145a、保护层147a及被露出的导电膜111f上沉积成为EL层112G的EL膜112Gf。关于EL膜112Gf，可以参照EL膜112Rf的记载。

接着，在EL膜112Gf上沉积牺牲膜144b且在牺牲膜144b上沉积保护膜146b。关于牺牲膜144b，可以参照牺牲膜144a的记载。关于保护膜146b，可以参照保护膜146a的记载。

接着，在保护膜146b上形成抗蚀剂掩模143b(图3C)。

接着，使用抗蚀剂掩模143b蚀刻保护膜146b而形成保护层147b。然后，去除抗蚀剂掩模143b。

接着，使用保护层147b作为掩模分别蚀刻牺牲膜144b及EL膜112Gf而形成牺牲层145b及EL层112G(图3D)。

接着，在牺牲层145a、牺牲层145b、保护层147a、保护层147b及被露出的导电膜111f上沉积成为EL层112B的EL膜112Bf。关于EL膜112Bf，可以参照EL膜112Rf的记载。

接着，在EL膜112Bf上沉积牺牲膜144c且在牺牲膜144c上沉积保护膜146c。关于牺牲膜144c，可以参照牺牲膜144a的记载。关于保护膜146c，可以参照保护膜146a的记载。

接着，在保护膜146c上形成抗蚀剂掩模143c(图3E)。

接着，使用抗蚀剂掩模143c蚀刻保护膜146c而形成保护层147c。然后，去除抗蚀剂掩模143c。

接着，将保护层147c作为掩模分别蚀刻牺牲膜144c及EL膜112Bf而形成牺牲层145c及EL层112B(图3F)。

〔像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B的形成〕

接着，蚀刻导电膜111f的不被EL层112R、EL层112G、EL层112B、牺牲层145a、牺牲层145b、牺牲层145c、保护层147a、保护层147b及保护层147c覆盖的一部分而形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B(图4A)。

导电膜111f的蚀刻可以通过湿蚀刻或干蚀刻进行。在此，通过作为蚀刻导电膜111f的条件利用不包含氧作为主要成分的蚀刻气体的干蚀刻，可以减少对EL层112带来的损伤。另外，如后面的图5A至图5E所示，通过预先形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B，有时可以减少对EL层112带来的损伤。

〔绝缘层131的形成〕

接着，形成成为绝缘层131的绝缘膜131f(图4B)。绝缘膜131f以覆盖保护层147、牺牲层145、EL层112、像素电极111的方式设置。绝缘膜131f优选为平坦化膜。

作为绝缘膜131f优选使用树脂。绝缘膜131f例如为有机绝缘膜。

作为可用于绝缘膜131f的材料，可以举出丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂、酚醛树脂及上述树脂的前体等。

接着，蚀刻绝缘膜131f而使保护层147的顶面露出(图4C)。绝缘膜131f的蚀刻对绝缘膜131f的顶面大致均匀地进行。如此那样均匀地蚀刻而平坦化的处理也被称为回蚀。

绝缘膜131f的蚀刻可以使用干蚀刻法、湿蚀刻法。另外，也可以通过使用氧等离子体的灰化等进行绝缘膜131f的蚀刻。使用氧等离子体的灰化可以具有如下优点：控制性高；面内均匀性良好而适合用于使用大型衬底的处理；等，所以可以适合用于绝缘膜131f的一部分的去除。另外，作为绝缘膜131f的蚀刻，也可以使用化学机械抛光(CMP：ChemicalMechanical Poliching)。

另外，在蚀刻绝缘膜131f时优选抑制通过蚀刻而对EL层112带来的损伤。因此，例如优选以EL层112的侧面的露出少的方式蚀刻绝缘膜131f。

另外，通过以在EL层112上设置牺牲层145的状态蚀刻绝缘膜131f，可以抑制通过蚀刻而对EL层112的顶面带来的损伤。

如图4C所示，以绝缘层131的顶面与EL层112的顶面大致对齐的方式进行绝缘膜131f的蚀刻，即可。通过以绝缘层131的顶面与EL层的顶面大致对齐的方式设置绝缘层131，可以在后述的图4E所示的公共电极113的形成中减少设置公共电极113的面的凹凸，由此可以提高覆盖性。

图4C示出以保护层147的顶面及侧面以及牺牲层145的侧面露出的方式形成绝缘层131的例子。

有时根据被形成面的凹凸及形成在被形成面的图案的密度而绝缘膜131f表面的平坦性变化。另外，有时根据作为绝缘膜131f使用的材料的粘度等而绝缘膜131f的平坦性变化。

例如，多个EL层112间的区域的绝缘膜131f的厚度比EL层112上的区域的薄。在此情况下，例如通过进行绝缘膜131f的回蚀，有时绝缘层131的顶面的高度低于保护层147的顶面的高度或牺牲层145的顶面的高度。

另外，绝缘膜131f有时在多个EL层112之间的区域中具有凹形形状或膨胀形状等。

图4C示出以绝缘层131的顶面与EL层的顶面大致对齐的方式设置绝缘层131的例子，但是如后面的图6A至图6D等详细地说明，也可以以绝缘层131的顶面高于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131。或者，如后面的图7A及图7B等详细地说明，也可以以绝缘层131的顶面低于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131。

另外，如后面的图8A至图8C等详细地说明，绝缘层131的顶面的形状也可以具有凹部。另外，如后面的图9A及图9B等详细地说明，绝缘层131的顶面的形状也可以具有凸部。

另外，绝缘层131的顶面的形状及高度有时因后述的图4D所示的保护层及牺牲层的去除而变化。

〔保护层及牺牲层的去除〕

接着，去除保护层147a、保护层147b、保护层147c、牺牲层145a、牺牲层145b及牺牲层145c而使EL层112R、EL层112G及EL层112B的顶面露出(图4D)。

在图4D中，以绝缘层131的顶面的高度与EL层112的顶面的高度大致对齐的方式设置绝缘层131的例子。在图4D中，EL层112的顶面被露出且EL层112的侧面被绝缘层131覆盖。通过由绝缘层131覆盖EL层112的侧面，可以减少保护层147的蚀刻时的对EL层带来的损伤。

保护层147a、保护层147b及保护层147c可以通过湿蚀刻或干蚀刻去除。

牺牲层145a、牺牲层145b及牺牲层145c可以通过湿蚀刻或干蚀刻去除。此时，优选使用尽量不对EL层112R、EL层112G及EL层112B带来损伤的方法。尤其是，优选利用湿蚀刻法。例如，可以利用使用四甲基氢氧化铵(TMAH)水溶液、稀氢氟酸、草酸、磷酸、乙酸、硝酸或它们的混合液体的湿蚀刻。通过采用上述湿蚀刻的条件，例如可以减少对绝缘层带来的损伤。

通过上述步骤，可以分别形成EL层112R、EL层112G及EL层112B。

〔公共电极113的形成〕

接着，以覆盖EL层112R、EL层112G及EL层112B的方式形成公共电极113。公共电极113例如可以通过溅射法或真空蒸镀法等形成。

通过上述工序，可以制造发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B。

〔保护层121的形成〕

接着，在公共电极113上形成保护层121(图4E)。在沉积用于保护层121的无机绝缘膜时优选利用溅射法、PECVD法或ALD法。尤其是，ALD法是台阶覆盖性良好且不容易产生针孔等的缺陷，所以是优选的。另外，由于可以在所希望的区域上均匀地形成膜，所以在沉积有机绝缘膜时优选使用喷墨法。

通过上述工序，可以制造图1B及图1C所示的显示装置100。

通过使用上述制造方法可以减少向EL层112R、EL层112G及EL层112B的工艺损伤，所以可以实现可靠性非常高的显示装置。

〔公共层114的形成〕

另外，通过在公共电极113的形成之前以覆盖EL层112R、EL层112G及EL层112B的方式形成公共层114而之后形成公共电极113，可以制造图2A及图2B所示的显示装置100A。

[结构例子1的变形例子]

另外，也可以在形成EL膜112Rf之前形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B。

首先，如图5A所示，形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B。然后，如图3A至图3F所示，使用抗蚀剂掩模等形成对应于各发光元件110的EL层112、牺牲层145及保护层147(图5B)。然后，形成绝缘层131(图5C)，去除牺牲层145及保护层147(图5D)，形成公共电极113及保护层121，由此得到图5E所示的显示装置100。

在图5E所示的各发光元件110中，像素电极111的端部位于EL层112的端部的外侧。另外，像素电极111的顶面的端部及其附近被绝缘层131覆盖。

[结构例子3]

另外，也可以以绝缘层131的顶面高于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131。

图6A所示的结构与图4C所示的结构不同之处在于：以绝缘层131的顶面高于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131。

去除图6A所示的结构中的保护层147及牺牲层145来得到图6B所示的结构。在图6B中，以绝缘层131的顶面高于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131，绝缘层131的侧面的一部分被露出。有时通过去除保护层147及牺牲层145而绝缘层131的一部分被蚀刻，由此绝缘层131的形状变化。例如，有时绝缘层131的厚度变薄。另外，例如有时绝缘层131的顶面与侧面所形成的角部变圆。另外，例如有时绝缘层131的顶面变为凸状、凹状等的形状。在绝缘层131的顶面与侧面所形成的角部变圆时，有时公共电极113或公共层114的覆盖性得到提高。

在图6B所示的工序中，形成公共电极113及保护层121来得到图6C所示的显示装置100。另外，在图6B所示的工序中，形成公共层114、公共电极113及保护层121来得到图6D所示的显示装置100A。

通过使绝缘层131的顶面高于EL层112的顶面，可以由绝缘层131覆盖EL层112的侧面。因此，可以减少去除保护层147时的对EL层112带来的损伤。

[结构例子4]

另外，以绝缘层131的顶面低于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131，来得到图7A所示的显示装置100及图7B所示的显示装置100A。

通过以绝缘层131的顶面低于EL层112的顶面的方式设置绝缘层131，有时公共电极113或公共层114的向EL层112的顶面的覆盖性得到提高。

[结构例子5]

绝缘层131的顶面有时具有凹部。

图8A示出进行绝缘膜131f的回蚀后的结构。如图8A所示，通过回蚀形成的绝缘层131的顶面的形状有时具有凹部。绝缘层131的顶面的形状例如具有平缓的凹形。

在图8A的结构中，形成公共电极113及保护层121来得到图8B所示的显示装置100。或者，在图8A的结构中，形成公共层114、公共电极113及保护层121来得到图8C所示的显示装置100A。

[结构例子6]

另外，绝缘层131的顶面的形状有时具有凸部。图9A及图9B所示的绝缘层131的顶面的形状具有向上方突出的平缓的曲面。

在图9A所示的显示装置100中，EL层112及设置在多个EL层之间且其顶面形状具有凸部的绝缘层131上设置有公共电极113。在图9B所示的显示装置100中，EL层112及设置在多个EL层之间且其顶面形状具有凸部的绝缘层131上设置有公共层114。

＜包括绝缘层131及绝缘层130的结构＞

以下，使用图11A及图11B、图12A及图12B、图20A及图20B等说明本发明的一个方式的显示装置的结构例子。

[结构例子1-2]

以下，说明在显示装置100中作为设置在彼此相邻的发光元件之间的绝缘层除了上述绝缘层131以外还包括绝缘层130的结构。

图11A所示的显示装置100与图1B等不同之处在于包括绝缘层130。图11A是对应于图1A中的点划线A1-A2的截面示意图，图11B是对应于点划线B1-B2的截面示意图。

图11A示出发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B的截面。发光元件110R包括像素电极111R、EL层112R及公共电极113。发光元件110G包括像素电极111G、EL层112G及公共电极113。发光元件110B包括像素电极111B、EL层112B及公共电极113。

发光元件110R在像素电极111R与公共电极113之间包括EL层112R。发光元件110G在像素电极111G与公共电极113之间包括EL层112G。发光元件110B在像素电极111B与公共电极113之间包括EL层112B。

以填埋像素电极111与EL层112的叠层和相邻的像素电极111与EL层112的叠层的间隙的方式设置有绝缘层130及绝缘层131。绝缘层130以接触于发光元件110所包括的各像素电极111的侧面及EL层112的侧面的方式设置。另外，在截面中，在绝缘层130上以填充绝缘层130的凹部的方式与绝缘层130接触地设置绝缘层131。

在图1A中，绝缘层130及绝缘层131配置在相邻像素间的像素电极111及/或EL层112之间以便在俯视时具有网状(也可以说格子状或矩阵状)的形状。

如图11B所示，通过在发射不同颜色的发光元件之间设置绝缘层130及绝缘层131，可以抑制EL层112R、EL层112G及EL层112B彼此接触。由此，可以适合防止电流通过相邻的两个EL层流过而产生非意图的发光。由此，可以提高对比度而可以实现显示品质高的显示装置。

另外，也可以在相邻的发射相同颜色的像素之间不设置绝缘层130及绝缘层131而只在发射不同颜色的像素之间形成绝缘层130及绝缘层131。在此情况下，可以以在俯视时具有条纹形状的方式配置绝缘层130及绝缘层131。通过将绝缘层130及绝缘层131配置为条纹形状，与配置为格子状的情况相比，不需要用来形成绝缘层130及绝缘层131的空间，所以可以提高开口率。在将绝缘层130及绝缘层131配置为条纹形状时，相邻的相同颜色的EL层也可以被加工为带状以便在列方向上连续。

公共电极113以接触于EL层112的顶面、绝缘层130的顶面、绝缘层131的顶面的方式设置。在相邻的发光元件之间，像素电极111及EL层112的端部产生起因于设置有像素电极111及EL层112的区域和不设置有像素电极111及EL层112的区域的台阶。本发明的一个方式的显示装置通过包括绝缘层130及绝缘层131而使该台阶平坦化，与在相邻的发光元件之间公共电极113与衬底101接触的情况相比，可以提高公共电极的覆盖性，所以可以抑制因断开而发生的连接不良。或者，可以抑制因台阶而公共电极113局部性地被薄膜化而电阻上升。

另外，在像素电极111的端部与EL层112的端部大致对齐时，当在EL层112上形成公共电极113时有时公共电极113与像素电极111短路。在本发明的一个方式中，通过在相邻地配置的EL层112之间设置绝缘层130及绝缘层131可以减少公共电极113的形成面的凹凸，所以可以提高EL层112的端部的公共电极113的覆盖性，由此可以实现公共电极113的良好导电性。另外，可以抑制公共电极113与像素电极111的短路。

为了提高公共电极113的形成面的平坦性，绝缘层130的顶面、绝缘层131的顶面优选与EL层112的顶面大致对齐。另外，绝缘层131的顶面优选具有平坦形状。注意，绝缘层130的顶面、绝缘层131的顶面及EL层112的顶面并不需要对齐。

绝缘层130具有与EL层112的侧面接触的区域且被用作EL层112的保护绝缘层。通过设置绝缘层130，可以抑制氧、水分或它们的构成元素从EL层112的侧面向内部进入，由此可以实现可靠性高的显示装置。

在截面中，在与EL层112的侧面接触的区域中的绝缘层130的宽度大时，有时EL层112的间隔变大而开口率降低。另外，在绝缘层130的宽度小时，有时抑制氧、水分或它们的构成元素从EL层112的侧面向内部进入的效果减少。与EL层112的侧面接触的区域的绝缘层130的宽度优选为3nm以上且200nm以下，更优选为3nm以上且150nm以下，进一步优选为5nm以上且150nm以下，更进一步优选为5nm以上且100nm以下，还进一步优选为10nm以上且100nm以下，最进一步优选为10nm以上且50nm以下。通过将绝缘层130的宽度设定为上述范围内，可以实现具有高开口率和高可靠性的显示装置。

绝缘层130可以为包含无机材料的绝缘层。例如，作为绝缘层130可以使用氧化铝、氧化镁、氧化铪、氧化镓、铟镓锌氧化物、氧化硅、氧氮化硅、氮化硅或氮氧化硅等的单层或叠层。

注意，在本说明书中，“氧氮化物”是指在其组成中氧含量多于氮含量的材料，而“氮氧化物”是指在其组成中氮含量多于氧含量的材料。例如，在记载为“氧氮化硅”时指在其组成中氧含量多于氮含量的材料，而在记载为“氮氧化硅”时指在其组成中氮含量多于氧含量的材料。

绝缘层130可以通过溅射法、化学气相沉积(CVD：ChemicalVapor Deposition)法、分子束外延(MBE：MolecularBeamEpitaxy)法、脉冲激光沉积(PLD：Pulsed LaserDeposition)法、原子层沉积(ALD：Atomic Layer Deposition)法等形成。另外，绝缘层130可以适合使用覆盖性良好的ALD法形成。

设置在绝缘层130上的绝缘层131具有使形成在相邻的发光元件之间的绝缘层130的凹部平坦化的功能。换言之，通过包括绝缘层131，发挥提高公共电极113的形成面的平坦性的效果。作为绝缘层131，可以适合使用包含有机材料的绝缘层。例如，作为绝缘层131可以使用丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂、酚醛树脂及上述树脂的前体等。

绝缘层131的顶面与EL层112的顶面的高度之差例如优选为绝缘层131的厚度的0.5倍以下，更优选为绝缘层131的厚度的0.3倍以下。另外，例如以EL层112的顶面高于绝缘层131的顶面的方式设置绝缘层131。另外，例如以绝缘层131的顶面高于EL层112所包括的发光层的顶面的方式设置绝缘层131即可。另外，绝缘层131的厚度例如优选为从像素电极111的底面到EL层112的顶面的厚度的0.3倍以上、0.5倍以上或0.7倍以上。

另外，公共电极113上以覆盖发光元件110R、发光元件110G及发光元件110B的方式设置有保护层121。

[结构例子2-2]

图12A及图12B所示的显示装置100A与图11A及图11B所示的显示装置100不同之处主要在于包括公共层114。图12A是对应于图1A中的点划线A1-A2的截面示意图，图12B是对应于点划线B1-B2的截面示意图。

另外，图12A及图12B所示的显示装置100A与图2A及图2B等不同之处在于包括绝缘层130。

[结构例子3-2]

图20A所示的显示装置100B与图10A所示的显示装置100B不同之处主要在于：包括绝缘层130；等。另外，图20B所示的显示装置100C与图10B所示的显示装置100C不同之处主要在于：包括绝缘层130；等。

在图20A所示的显示装置100B中，发光元件110R在像素电极111R与EL层112R之间包括光学调整层115R。另外，发光元件110G在像素电极111G与EL层112G之间包括光学调整层115G。另外，发光元件110B在像素电极111B与EL层112B之间包括光学调整层115B。

图20B所示的显示装置100C与图20A所示的显示装置100B不同之处主要在于：在EL层112与公共电极113之间包括公共层114；以及由于有公共层114而上述显示装置的发光元件的结构彼此不同。

如图20A及图20B所示，通过采用包括光学调整层115且使用绝缘层130及绝缘层131填埋发光元件之间的间隙的结构，可以实现色纯度高且高可靠性化了的显示装置。

上述本实施方式的显示装置不进行使用金属掩模的EL层的沉积，所以可以实现显示装置的大型化、高分辨率化或高清晰化。

另外，本实施方式的显示装置具有使用具有叠层结构的绝缘层填充相邻的EL层之间或像素电极与EL层之间的间隙的结构，所以可以提高公共电极的形成表面的平坦性，由此可以抑制公共电极的断开或薄膜区域的局部性的形成。因此，可以提高显示装置的可靠性。

尤其是，通过作为具有叠层结构的绝缘层之一使用包含有机材料的绝缘层，可以有效地使公共电极或公共层的形成表面平坦化。另外，作为具有叠层结构的绝缘层之一以与EL层的侧面接触的方式设置包含无机材料的绝缘层，可以防止杂质混入EL层而实现显示装置的高可靠性化。

通过使用上述本发明的一个方式的显示装置的结构及制造方法，可以实现安装有微细、高亮度、高可靠性的有机EL元件的显示装置。

[制造方法例子2]

以下，以图11A及图11B所示的显示装置100为例进行说明。图13A至图14F是以下例示出的显示装置的制造方法的各工序中的截面示意图。

〔衬底101的准备〕

首先，准备衬底101。关于衬底101，可以参照上述制造方法1的记载。

接着，在衬底101上沉积成为像素电极111的导电膜111f。

〔EL膜112Rf的形成〕

接着，在导电膜111f上沉积后面成为EL层112R的EL膜112Rf。关于EL膜112Rf，可以参照上述制造方法1的记载。

〔牺牲膜144a的形成〕

接着，以覆盖EL膜112Rf的方式形成牺牲膜144a。关于牺牲膜144a，可以参照上述制造方法1的记载。

〔保护膜146a的形成〕

接着，在牺牲膜144a上形成保护膜146a。关于保护膜146a，可以参照上述制造方法1的记载。

〔抗蚀剂掩模143a的形成〕

接着，在保护膜146a上形成抗蚀剂掩模143a(图13A)。关于抗蚀剂掩模143a，可以参照上述制造方法1的记载。

〔保护膜146a的蚀刻〕

〔抗蚀剂掩模143a的去除〕

接着，去除抗蚀剂掩模143a。

〔牺牲膜144a的蚀刻〕

〔EL膜112Rf的蚀刻〕

接着，通过蚀刻去除不被牺牲层145a覆盖的EL膜112Rf的一部分而形成岛状或带状的EL层112R(图13B)。

〔EL层112G、EL层112B的形成〕

接着，在牺牲层145a及被露出的导电膜111f上沉积成为EL层112G的EL膜112Gf。关于EL膜112Gf，可以参照EL膜112Rf的记载。

接着，在保护膜146b上形成抗蚀剂掩模143b(图13C)。

接着，使用保护层147b作为掩模分别蚀刻牺牲膜144b及EL膜112Gf而形成牺牲层145b及EL层112G(图13D)。

接着，在牺牲层145a、牺牲层145b及被露出的导电膜111f上沉积成为EL层112B的EL膜112Bf。关于EL膜112Bf，可以参照EL膜112Rf的记载。

接着，在保护膜146c上形成抗蚀剂掩模143c(图13E)。

接着，使用保护层147c作为掩模分别蚀刻牺牲膜144c及EL膜112Bf而形成牺牲层145c及EL层112B(图13F)。

〔像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B的形成〕

接着，蚀刻导电膜111f的不被EL层112R、EL层112G、EL层112B、牺牲层145a、牺牲层145b、牺牲层145c、保护层147a、保护层147b及保护层147c覆盖的一部分而形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B(图14A)。

导电膜111f的蚀刻可以通过湿蚀刻或干蚀刻进行。在此，作为蚀刻导电膜111f的条件，通过利用不包含氧作为主要成分的蚀刻气体的干蚀刻，可以减少对EL层112带来的损伤。

〔绝缘层130的形成〕

接着，形成成为绝缘层130的绝缘膜130f(图14B)。绝缘膜130f优选使用包含无机材料的膜。例如，作为绝缘膜130f可以使用氧化铝、氧化镁、氧化铪、氧化镓、铟镓锌氧化物、氧化硅、氧氮化硅、氮化硅或氮氧化硅等的单层或叠层。

绝缘膜130f可以通过溅射法、化学气相沉积(CVD)法、分子束外延(MBE)法、脉冲激光沉积(PLD)法、原子层沉积(ALD)法等形成。绝缘膜130f可以适合使用覆盖性良好的ALD法形成。

〔绝缘层131的形成〕

接着，形成成为绝缘层131的绝缘膜131f(图14C)。绝缘膜131f以覆盖保护层147、牺牲层145、EL层112、像素电极111的方式设置。绝缘膜131f优选为平坦化膜。

作为绝缘膜131f，优选使用包含有机材料的绝缘膜，作为有机材料优选使用树脂。

接着，蚀刻绝缘膜130f及绝缘膜131f而使保护层147的顶面露出(图14D)。由此，形成覆盖EL层112R、EL层112G及EL层112B的侧面的绝缘层130及绝缘层131。绝缘膜130f及绝缘膜131f的蚀刻对绝缘膜130f及绝缘膜131f的顶面大致均匀地进行。如此那样均匀地蚀刻而平坦化的处理也被称为回蚀。

绝缘膜130f及绝缘膜131f的蚀刻可以使用干蚀刻法、湿蚀刻法。另外，也可以通过使用氧等离子体的灰化等进行绝缘膜130f及绝缘膜131f的蚀刻。使用氧等离子体的灰化可以具有如下优点：控制性高而面内均匀性良好；适合用于使用大型衬底的处理；等，所以可以适合用于绝缘膜130f及绝缘膜131f的一部分的去除。另外，作为绝缘膜130f及绝缘膜131f的蚀刻，也可以使用化学机械抛光(CMP：Chemical Mechanical Poliching)。

另外，在蚀刻绝缘膜130f及绝缘膜131f时优选抑制通过蚀刻而对EL层112带来的损伤。因此，例如优选以EL层112的侧面的露出少的方式蚀刻绝缘膜130f及绝缘膜131f。另外，以在EL层112上设置牺牲层145及/或保护层147的状态蚀刻绝缘膜130f及绝缘膜131f，可以抑制通过蚀刻而对EL层112的顶面带来的损伤。

在形成绝缘层130及绝缘层131时，可以根据蚀刻量而调整绝缘层130的顶面的高度及/或绝缘层131的顶面的高度。在此，优选以绝缘层130覆盖EL层112的侧面的方式调整蚀刻量。尤其是，优选以绝缘层130覆盖EL层112所包括的发光层的侧面的方式调整蚀刻量。

如图14D所示，在本实施方式中，以绝缘层130的顶面及绝缘层131的顶面与EL层112的顶面大致对齐的方式进行蚀刻。另外，示出以保护层147的顶面及侧面以及牺牲层145的侧面被露出的方式形成绝缘层130及绝缘层131的例子。在绝缘层130的顶面及绝缘层131的顶面与EL层的顶面大致对齐时，在后述的图14F所示的公共电极113的形成中，可以减少设置公共电极113的面的凹凸，由此可以提高覆盖性。

另外，有时根据被形成面的凹凸及形成在被形成面的图案的密度而包含有机材料的绝缘膜131f表面的平坦性变化。另外，有时根据作为绝缘膜131f使用的材料的粘度等而绝缘膜131f的平坦性变化。例如，有时与在EL层112上并重叠于EL层112的区域的绝缘膜131f的膜厚度相比，不重叠于EL层112的区域的绝缘膜131f的膜厚度变小。在此情况下，例如在进行绝缘膜131f的回蚀时，有时绝缘层131的顶面的高度低于保护层147的顶面的高度或牺牲层145的顶面的高度。

另外，绝缘膜131f有时在多个EL层112之间的区域中具有凹曲面的形状(凹形形状)或凸曲面的形状(膨胀形状)等。

〔保护层及牺牲层的去除〕

接着，去除保护层147a、保护层147b、保护层147c、牺牲层145a、牺牲层145b及牺牲层145c而使EL层112R、EL层112G及EL层112B的顶面露出(图14E)。

在图14E中，以绝缘层130的顶面的高度与EL层112的顶面的高度大致对齐的方式设置绝缘层130的例子。在图14E中，EL层112的顶面被露出且EL层112的侧面被绝缘层130覆盖。通过由绝缘层130覆盖EL层112的侧面，可以防止EL层的水分导致的劣化，并且可以减少保护层147的蚀刻时的对EL层带来的损伤。

另外，有时绝缘层130及/或绝缘层131的顶面的形状或高度根据保护层及牺牲层的去除工序而变化。

注意，图14C至图14E示出对绝缘膜130f及绝缘膜131f进行回蚀之后去除保护层及牺牲层的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。例如，也可以通过剥离法等去除牺牲层145及保护层147以及与保护层147重叠的区域的绝缘膜130f及绝缘膜131f而形成绝缘层130及绝缘层131。

通过上述步骤，可以分别形成EL层112R、EL层112G及EL层112B。

已知当在不同颜色的发光元件间分别制造EL层时，利用使用金属掩模等荫罩的蒸镀法。然而，该方法不容易实现高清晰化及高开口率化，因为因金属掩模的精度、金属掩模与衬底的错位、金属掩模的弯曲及蒸气的散射等而沉积的膜的轮廓扩大等各种影响而岛状有机膜的形状及位置不同于设计。另外，在进行蒸镀时有时起因于附着于金属掩模的材料而产生垃圾。这种垃圾有可能导致发光元件的图案不良。另外，有可能发生起因于垃圾的短路。另外，需要附着于金属掩模的材料的清洗工序。由此，通过采用PenTile排列等特殊像素排列方式等而模拟地提高清晰度(也称为像素密度)。

本发明的一个方式不使用金属掩模等的荫罩将EL层加工为微细图案。因此，可以实现从来难以实现的具有高清晰度和高开口率的显示装置。另外，由于可以分别制造EL层，所以可以实现非常鲜明且对比度高的显示品质高的显示装置。

注意，在本实施方式中示出作为配置在像素内的发光元件使用包括三个不同颜色的EL层中的任一个的发光元件的例子，但是本发明的实施方式不局限于此，既可以由发射两个不同颜色的发光元件构成像素，又可以由三个颜色以上的发光元件构成像素。

〔公共电极113的形成〕

〔保护层121的形成〕

接着，在公共电极113上形成保护层121(图14F)。在沉积用于保护层121的无机绝缘膜时优选利用溅射法、PECVD法或ALD法。尤其是，ALD法是台阶覆盖性良好且不容易产生针孔等的缺陷，所以是优选的。另外，由于可以在所希望的区域均匀地形成膜，所以在沉积有机绝缘膜时优选使用喷墨法。

通过上述工序，可以制造图11A及图11B所示的显示装置100。

〔公共层114的形成〕

另外，通过在公共电极113的形成之前以覆盖EL层112R、EL层112G及EL层112B的方式形成公共层114而之后形成公共电极113，可以制造图12A及图12B所示的显示装置100A。

在本实施方式所示的显示装置的制造方法中，可以使用抗蚀剂掩模形成牺牲层而使用所形成的牺牲层加工EL层及像素电极，所以可以在加工像素电极及EL层时不使用不同抗蚀剂掩模而形成发光元件。因此，可以不设置像素电极及EL层的端部位置的余地而可以形成发光元件。通过减小位置的余地而可以扩大发光区域，所以可以提高发光元件的开口率。另外，通过减小位置的余地可以缩小像素尺寸，由此可以实现显示装置的高清晰化。另外，可以减少使用抗蚀剂掩模的次数，所以可以简化工序而可以降低成本且提高成品率。

另外，关于EL层本身的图案也与使用金属掩模的情况相比显著地减少。另外，例如在使用金属掩模分别形成EL层的情况下，图案的中央及端部的厚度不同，所以相对于图案整体的面积的能够作为发光区域使用的有效面积变小。另一方面，在上述制造方法中通过进行沉积为均匀厚度的膜进行加工来形成图案，所以可以使图案的厚度均匀，即使采用微细图案也可以使其几乎所有区域用作发光区域。因此，通过上述制造方法，可以兼具有高清晰度和高开口率。

[结构例子7]

在上述图13A至图14F所示的制造方法中，示出通过在形成EL层112之后蚀刻不被EL层112覆盖的区域的导电膜111f来形成其端部与EL层112的端部大致对齐的像素电极111的方法，但是本发明的实施方式不局限于此。使用图15A至图15F说明在形成EL膜112Rf之前形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B时的结构例子2及其制造方法。

首先，如图15A所示，形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B。然后，如图13A至图13F所示，使用抗蚀剂掩模等形成对应于各发光元件110的EL层112、牺牲层145及保护层147(图15B)。然后，形成绝缘膜130f及绝缘膜131f(图15C)。

接着，如图15D所示，对绝缘膜130f及绝缘膜131f进行回蚀，然后去除牺牲层145及保护层147(图15E)来得到图15F所示的显示装置100。

在图15F所示的各发光元件110中，像素电极111的端部位于EL层112的端部的外侧。另外，在像素电极111的顶面的端部及其附近被绝缘层131覆盖。

在图15A至图15F所示的结构例子中，通过预先形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B的图案，有时与在形成EL层112之后形成导电膜的图案的情况相比可以减少对EL层112带来的损伤。另一方面，如结构例子1所示，通过使EL层112的端部与像素电极111的端部对齐可以减小相邻的发光元件之间的宽度，所以可以提高开口率。另外，可以减少用来形成像素电极111的掩模，所以可以提高显示装置的制造成品率而降低成本。

[结构例子8]

图16A示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图16A示出绝缘层131的顶面具有比EL层112的顶面更靠近衬底101(也可以说低于EL层112的顶面)的区域的方式。

图16A示出通过回蚀形成的绝缘层131的顶面具有凹曲面形状且在截面中其端部与绝缘层130及/或EL层112的顶面对齐的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。绝缘层131的顶面也可以具有大致平坦的形状并位于比EL层112的顶面更靠近衬底101侧。或者，绝缘层131的端部也可以与绝缘层130的侧面接触。

通过以绝缘层131的顶面比EL层112的顶面更靠近衬底101侧的方式设置绝缘层131，有时公共电极113的向EL层112的顶面的覆盖性得到提高。

[结构例子9]

图16B示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图16B示出绝缘层131的顶面具有比EL层112的顶面突出的区域的方式。

图16B示出绝缘层131的顶面具有凸曲面形状且在截面中其端部与绝缘层130及/或EL层112的顶面对齐的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。绝缘层131的顶面也可以具有大致平坦的形状并位于比EL层112的顶面突出。

通过以绝缘层131的顶面比EL层112的顶面更靠近衬底101侧的方式设置绝缘层131，公共电极113具有与绝缘层131的侧面的一部分接触的区域。另外，有时通过去除保护层147及牺牲层145而绝缘层131的一部分被蚀刻，由此绝缘层131的形状变化。例如，有时绝缘层131的厚度变薄。另外，例如有时绝缘层131的顶面与侧面所形成的角部变圆。在绝缘层131的顶面与侧面所形成的角部变圆时，有时公共电极113的覆盖性得到提高。

如结构例子4所示，通过使绝缘层131的顶面比EL层112的顶面突出可以还使用绝缘层131保护EL层112侧面，由此可以减少保护层147的去除对EL层112带来的损伤。

[结构例子10]

图17A示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图17A示出绝缘层130的顶面具有比EL层112的顶面更靠近衬底101(也可以说低于EL层112的顶面)的区域的方式。

绝缘层131优选至少与包括在EL层112中的发光层的侧面接触。通过使绝缘层131覆盖发光层的侧面，可以抑制氧、水分或它们的构成元素从发光层的侧面向内部进入，由此可以实现可靠性高的显示装置。

[结构例子11]

图17B示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图17B示出绝缘层130的顶面具有比EL层112的顶面更靠近衬底101的区域且绝缘层131的顶面比绝缘层130的顶面更靠近衬底101的区域的方式。

注意，图17B示出通过回蚀形成的绝缘层131的顶面具有凹曲面形状的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。绝缘层131的顶面也可以具有大致平坦的形状并位于比绝缘层130的顶面更靠近衬底101侧的结构。

通过使绝缘层130及绝缘层131的顶面逐渐地比EL层112的顶面更靠近衬底101侧，有时公共电极113的向EL层112的顶面的覆盖性得到提高。

[结构例子12]

图17C示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图17C示出绝缘层130的顶面具有比EL层112的顶面更靠近衬底101的区域且绝缘层131的顶面比绝缘层130的顶面突出的区域的方式。在该突出的区域中，绝缘层131的侧面与公共电极113接触。

图17C示出绝缘层131的顶面具有凸曲面形状的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。绝缘层131的顶面也可以具有大致平坦的形状且该顶面位于比绝缘层130的顶面突出。

通过使绝缘层131的顶面比绝缘层130的顶面突出可以使用绝缘层131保护不被绝缘层130覆盖的区域的EL层112的侧面，由此可以减少保护层147的去除对EL层112带来的损伤。

[结构例子13]

图18A示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图18A示出绝缘层130的顶面及绝缘层131的顶面具有比EL层112的顶面突出的区域的方式。在该突出的区域中，绝缘层130的侧面与公共电极113接触。

如图18A所示，通过使绝缘层130的顶面比EL层112的顶面突出，可以使用绝缘层130更确实地保护EL层112的侧面，由此可以提高显示装置的可靠性。另外，通过与绝缘层130的顶面同样使绝缘层131的顶面比EL层112的顶面突出，可以提高公共电极113的形成面的平坦性，所以可以提高公共电极113的覆盖性。

[结构例子14]

图18B示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图18B所示的结构例子与上述结构例子13不同之处在于绝缘层131的顶面具有比绝缘层130的顶面更靠近衬底101的区域，除了这一点以外与上述结构例子13相同。

注意，图18B示出通过回蚀形成的绝缘层131的顶面具有凹曲面形状的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。绝缘层131的顶面也可以具有大致平坦的形状且该顶面位于比绝缘层130的顶面更靠近衬底101侧的结构。

[结构例子15]

图18C示出本实施方式的显示装置100的其他结构例子。图18C所示的结构例子与上述结构例子13不同之处在于绝缘层131的顶面具有比绝缘层130的顶面突出的区域，除了这一点以外与上述结构例子13相同。另外，在绝缘层131的顶面比绝缘层130的顶面突出的区域中，绝缘层131的侧面与公共电极113接触。

注意，图18C示出绝缘层131的顶面具有凸曲面形状的例子，但是本发明的实施方式不局限于此。绝缘层131的顶面也可以具有大致平坦的形状且该顶面位于比绝缘层130的顶面突出的结构。

通过使绝缘层130及绝缘层131的顶面逐渐地向从EL层112的顶面远离衬底101的方向突出，有时公共电极113的向EL层112的顶面的覆盖性得到提高。

[结构例子16]

图19A至图19D示出本实施方式的其他结构例子及其制造方法。图19示出在形成像素电极111时衬底101的一部分被蚀刻而形成槽部的例子。

首先，如图19A所示，形成像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B。根据像素电极111的蚀刻条件，有时不被像素电极111覆盖的区域的衬底101的一部分被蚀刻而形成槽部160。另外，在作为衬底101使用形成有包括晶体管等半导体元件的半导体电路的衬底时，槽部160至少在后面与绝缘层130接触的最上层的绝缘层或导电层上形成。

然后，形成覆盖EL层112、牺牲层145及保护层147的绝缘膜130f以及绝缘膜130f上的绝缘膜131f(图19B)。

接着，如图19C所示，对绝缘膜130f及绝缘膜131f进行回蚀，然后去除牺牲层145及保护层147形成公共电极113及保护层121，来得到图19D所示的显示装置100。

在图19A至图19D所示的结构例子中，通过提高像素电极111R、像素电极111G及像素电极111B的绝缘分离的可靠性且使用绝缘层131使起因于槽部160的凹凸平坦化，可以以良好覆盖性形成公共电极113。另一方面，通过采用结构例子1至10那样的不具有槽部160的结构，可以缩短像素电极111的形成工序中的节拍时间，由此可以提高显示装置的制造成品率。

本实施方式的至少一部分可以与本说明书所记载的其他实施方式适当地组合而实施。

(实施方式2)

在本实施方式中，说明本发明的一个方式的显示装置的结构例子。

本实施方式的显示装置可以为高分辨率的显示装置或大型显示装置。因此，例如可以将本实施方式的显示装置用作如下装置的显示部：具有较大的屏幕的电子设备诸如电视装置、台式或笔记本型个人计算机、用于计算机等的显示器、数字标牌、弹珠机等大型游戏机等；数码相机；数字视频摄像机；数码相框；移动电话机；便携式游戏机；智能手机；手表型终端；平板终端；便携式信息终端；声音再现装置。

[显示装置400A]

图21示出发光装置400A的立体图，图22示出发光装置400A的截面图。

显示装置400A具有贴合衬底452与衬底451的结构。在图21中，以虚线表示衬底452。

显示装置400A包括显示部462、电路464及布线465等。图21示出显示装置400A中安装有IC473及FPC472的例子。因此，也可以将图21所示的结构称为包括显示装置400A、IC(集成电路)及FPC的显示模块。

作为电路464，例如可以使用扫描线驱动电路。

布线465具有对显示部462及电路464供应信号及电力的功能。该信号及电力从外部经由FPC472或者从IC473输入到布线465。

图21示出通过COG(Chip OnGlass：玻璃覆晶封装)方式或COF(Chip on Film：薄膜覆晶封装)方式等在衬底451上设置IC473的例子。作为IC473，例如可以使用包括扫描线驱动电路或信号线驱动电路等的IC。注意，显示装置400A及显示模块不一定必须设置有IC。此外，也可以将IC利用COF方式等安装于FPC。

图22示出显示装置400A的包括FPC472的区域的一部分、电路464的一部分、显示部462的一部分及包括端部的区域的一部分的截面的一个例子。

图22所示的显示装置400A在衬底451与衬底452之间包括晶体管201、晶体管205、发射红色光的发光元件430a、发射绿色光的发光元件430b以及发射蓝色光的发光元件430c等。

发光元件430a、发光元件430b及发光元件430c可以使用在实施方式1中例示出的发光元件。

在此，当显示装置的像素包括具有发射彼此不同的颜色的发光元件的三个子像素时，作为该三个子像素可以举出R、G、B这三个颜色的子像素、黄色(Y)、青色(C)及品红色(M)这三个颜色的子像素等。当包括四个上述子像素时，作为该四个子像素可以举出R、G、B及白色(W)这四个颜色的子像素、R、G、B及Y这四个颜色的子像素等。

保护层416与衬底452由粘合层442粘合。作为对发光元件的密封，可以采用固体密封结构或中空密封结构等。在图22中，由衬底452、粘合层442及衬底451围绕的空间443填充有惰性气体(氮或氩等)，采用中空密封结构。粘合层442也可以与发光元件重叠。此外，由衬底452、粘合层442及衬底451围绕的空间443也可以填充有与粘合层442不同的树脂。

像素电极411a、像素电极411b、像素电极411c都通过设置在绝缘层214中的开口与晶体管205所包括的导电层222b连接。像素电极包含反射可见光的材料，对置电极包含透过可见光的材料。

发光元件430a与发光元件430b之间以及发光元件430b与发光元件430c之间设置有绝缘层421。作为绝缘层421，例如可以使用上述实施方式所示的绝缘层131。

发光元件将光发射到衬底452一侧。衬底452优选使用对可见光的透过性高的材料。

晶体管201及晶体管205都设置在衬底451上。这些晶体管可以使用同一材料及同一工序形成。

在衬底451上依次设置有绝缘层211、绝缘层213、绝缘层215及绝缘层214。绝缘层211的一部分用作各晶体管的栅极绝缘层。绝缘层213的一部分用作各晶体管的栅极绝缘层。绝缘层215以覆盖晶体管的方式设置。绝缘层214以覆盖晶体管的方式设置，并被用作平坦化层。此外，对栅极绝缘层的个数及覆盖晶体管的绝缘层的个数没有特别的限制，既可以为一个，又可以为两个以上。

优选的是，将水及氢等杂质不容易扩散的材料用于覆盖晶体管的绝缘层中的至少一个。由此，可以将绝缘层用作阻挡层。通过采用这种结构，可以有效地抑制杂质从外部扩散到晶体管中，从而可以提高显示装置的可靠性。

作为绝缘层211、绝缘层213及绝缘层215优选使用无机绝缘膜。作为无机绝缘膜，例如可以使用氮化硅膜、氧氮化硅膜、氧化硅膜、氮氧化硅膜、氧化铝膜、氮化铝膜等。此外，也可以使用氧化铪膜、氧化钇膜、氧化锆膜、氧化镓膜、氧化钽膜、氧化镁膜、氧化镧膜、氧化铈膜及氧化钕膜等。此外，也可以层叠上述绝缘膜中的两个以上。

这里，有机绝缘膜的阻挡性在很多情况下低于无机绝缘膜。因此，有机绝缘膜优选在显示装置400A的端部附近包括开口。由此，可以抑制杂质从显示装置400A的端部通过有机绝缘膜进入。此外，也可以以其端部位于显示装置400A的端部的内侧的方式形成有机绝缘膜，以使有机绝缘膜不暴露于显示装置400A的端部。

用作平坦化层的绝缘层214优选使用有机绝缘膜。作为能够用于有机绝缘膜的材料，例如可以使用丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂、酚醛树脂及上述树脂的前体等。

在图22所示的区域228中，在绝缘层214中形成有开口。由此，即使在使用有机绝缘膜作为绝缘层214的情况下，也可以抑制杂质从外部通过绝缘层214进入显示部462。由此，可以提高显示装置400A的可靠性。

另外，如图23所示，也可以在设置在绝缘层214中的开口部形成像素电极411a、411b及411c，然后以填充覆盖开口部的凹部的方式设置层414。通过设置层414，可以减少光学调整层415a、光学调整层415b、光学调整层415c、EL层416a、EL层416b及EL层416c的被形成面的凹凸而可以提高覆盖性。

层414优选为绝缘层。或者，层414也可以为导电层。

晶体管201及晶体管205包括：用作栅极的导电层221；用作栅极绝缘层的绝缘层211；用作源极及漏极的导电层222a及导电层222b；半导体层231；用作栅极绝缘层的绝缘层213；以及用作栅极的导电层223。在此，通过对同一导电膜进行加工而得到的多个层由相同的阴影线表示。绝缘层211位于导电层221与半导体层231之间。绝缘层213位于导电层223与半导体层231之间。

对本实施方式的显示装置所包括的晶体管结构没有特别的限制。例如，可以采用平面型晶体管、交错型晶体管或反交错型晶体管等。此外，晶体管都可以具有顶栅结构或底栅结构。或者，也可以在形成沟道的半导体层上下设置有栅极。

作为晶体管201及晶体管205，采用两个栅极夹持形成沟道的半导体层的结构。此外，也可以连接两个栅极，并通过对该两个栅极供应同一信号，来驱动晶体管。或者，通过对两个栅极中的一个施加用来控制阈值电压的电位，对另一个施加用来进行驱动的电位，可以控制晶体管的阈值电压。

对用于晶体管的半导体材料的结晶性也没有特别的限制，可以使用非晶半导体、具有结晶性的半导体(微晶半导体、多晶半导体、单晶半导体或其一部分具有结晶区域的半导体)。当使用具有结晶性的半导体时可以抑制晶体管的特性劣化，所以是优选的。

晶体管的半导体层优选使用金属氧化物(氧化物半导体)。就是说，本实施方式的显示装置优选使用在沟道形成区中包含金属氧化物的晶体管(以下，OS晶体管)。此外，晶体管的半导体层也可以包含硅。作为硅，可以举出非晶硅、结晶硅(低温多晶硅、单晶硅等)等。

例如，半导体层优选包含铟、M(M为选自镓、铝、硅、硼、钇、锡、铜、钒、铍、钛、铁、镍、锗、锆、钼、镧、铈、钕、铪、钽、钨或镁中的一种或多种)和锌。尤其是，M优选为选自铝、镓、钇或锡中的一种或多种。

尤其是，作为半导体层，优选使用包含铟(In)、镓(Ga)及锌(Zn)的氧化物(IGZO)。

在半导体层使用In-M-Zn氧化物时，该In-M-Zn氧化物中的In的原子数比优选为M的原子数比以上。作为这种In-M-Zn氧化物的金属元素的原子数比，可以举出In：M：Zn＝1：1：1或其附近的组成、In：M：Zn＝1：1：1.2或其附近的组成、In：M：Zn＝2：1：3或其附近的组成、In：M：Zn＝3：1：2或其附近的组成、In：M：Zn＝4：2：3或其附近的组成、In：M：Zn＝4：2：4.1或其附近的组成、In：M：Zn＝5：1：3或其附近的组成、In：M：Zn＝5：1：6或其附近的组成、In：M：Zn＝5：1：7或其附近的组成、In：M：Zn＝5：1：8或其附近的组成、In：M：Zn＝6：1：6或其附近的组成、In：M：Zn＝5：2：5或其附近的组成等。此外，附近的组成包括所希望的原子数比的±30％的范围。

当记载为原子数比为In：Ga：Zn＝4：2：3或其附近的组成时包括如下情况：In的原子数比为4时，Ga的原子数比为1以上且3以下，Zn的原子数比为2以上且4以下。此外，当记载为原子数比为In：Ga：Zn＝5：1：6或其附近的组成时包括如下情况：In的原子数比为5时，Ga的原子数比大于0.1且为2以下，Zn的原子数比为5以上且7以下。此外，当记载为原子数比为In：Ga：Zn＝1：1：1或其附近的组成时包括如下情况：In的原子数比为1时，Ga的原子数比大于0.1且为2以下，Zn的原子数比大于0.1且为2以下。

电路464所包括的晶体管和显示部462所包括的晶体管既可以具有相同的结构，又可以具有不同的结构。电路464所包括的多个晶体管既可以具有相同的结构，又可以具有两种以上的不同结构。与此同样，显示部462所包括的多个晶体管既可以具有相同的结构，又可以具有两种以上的不同结构。

在衬底451的不与衬底452重叠的区域中设置有连接部204。在连接部204中，布线465通过导电层466及连接层242与FPC472电连接。导电层466具有加工与像素电极相同的导电膜而得到的导电膜和加工与光学调整层相同的导电膜而得到的导电膜的叠层结构。在连接部204的顶面上露出导电层466。因此，通过连接层242可以使连接部204与FPC472电连接。

优选在衬底452的衬底451一侧的面设置遮光层417。此外，可以在衬底452的外侧配置各种光学构件。作为光学构件，可以使用偏振片、相位差板、光扩散层(扩散薄膜等)、防反射层及聚光薄膜(condensing film)等。此外，在衬底452的外侧也可以配置抑制尘埃的附着的抗静电膜、不容易被弄脏的具有拒水性的膜、抑制使用时的损伤的硬涂膜、冲击吸收层等。

通过形成覆盖发光元件的保护层416，可以抑制水等杂质进入发光元件，由此可以提高发光元件的可靠性。

在显示装置400A的端部附近的区域228中，优选绝缘层215与保护层416通过绝缘层214的开口彼此接触。尤其是，特别优选绝缘层215含有的无机绝缘膜与保护层416含有的无机绝缘膜彼此接触。由此，可以抑制杂质从外部通过有机绝缘膜进入显示部462。因此，可以提高显示装置400A的可靠性。

衬底451及衬底452可以使用玻璃、石英、陶瓷、蓝宝石、树脂、金属、合金以及半导体等。从发光元件提取光一侧的衬底使用使该光透过的材料。通过将具有柔性的材料用于衬底451及衬底452，可以提高显示装置的柔性。作为衬底451或衬底452，可以使用偏振片。

作为衬底451及衬底452，可以使用如下材料：聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)等聚酯树脂、聚丙烯腈树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、聚甲基丙烯酸甲酯树脂、聚碳酸酯(PC)树脂、聚醚砜(PES)树脂、聚酰胺树脂(尼龙、芳族聚酰胺等)、聚硅氧烷树脂、环烯烃树脂、聚苯乙烯树脂、聚酰胺-酰亚胺树脂、聚氨酯树脂、聚氯乙烯树脂、聚偏二氯乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚四氟乙烯(PTFE)树脂、ABS树脂以及纤维素纳米纤维等。此外，也可以作为衬底451和衬底452中的一方或双方使用其厚度为具有柔性程度的玻璃。

在将圆偏振片重叠于显示装置的情况下，优选将光学各向同性高的衬底用作显示装置所包括的衬底。光学各向同性高的衬底的双折射较低(也可以说双折射量较少)。

光学各向同性高的衬底的相位差值(retardation value)的绝对值优选为30nm以下，更优选为20nm以下，进一步优选为10nm以下。

作为光学各向同性高的薄膜，可以举出三乙酸纤维素(也被称为TAC：Cellulosetriacetate)薄膜、环烯烃聚合物(COP)薄膜、环烯烃共聚物(COC)薄膜及丙烯酸薄膜等。

当作为衬底使用薄膜时，有可能因薄膜的吸水而发生显示面板出现皱纹等形状变化。因此，作为衬底优选使用吸水率低的薄膜。例如，优选使用吸水率为1％以下的薄膜，更优选使用吸水率为0.1％以下的薄膜，进一步优选为使用吸水率为0.01％以下的薄膜。

作为粘合层，可以使用紫外线固化粘合剂等光固化粘合剂、反应固化粘合剂、热固化粘合剂、厌氧粘合剂等各种固化粘合剂。作为这些粘合剂，可以举出环氧树脂、丙烯酸树脂、硅酮树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂、酰亚胺树脂、PVC(聚氯乙烯)树脂、PVB(聚乙烯醇缩丁醛)树脂、EVA(乙烯-乙酸乙烯酯)树脂等。尤其是，优选使用环氧树脂等透湿性低的材料。此外，也可以使用两液混合型树脂。此外，也可以使用粘合薄片等。

作为连接层242，可以使用各向异性导电膜(ACF：Anisotropic ConductiveFilm)、各向异性导电膏(ACP：Anisotropic Conductive Paste)等。

作为可用于晶体管的栅极、源极及漏极和构成显示装置的各种布线及电极等导电层的材料，可以举出铝、钛、铬、镍、铜、钇、锆、钼、银、钽或钨等金属或者以上述金属为主要成分的合金等。可以使用包含这些材料的膜的单层或叠层。

此外，作为具有透光性的导电材料，可以使用氧化铟、铟锡氧化物、铟锌氧化物、氧化锌、包含镓的氧化锌等导电氧化物或石墨烯。或者，可以使用金、银、铂、镁、镍、钨、铬、钼、铁、钴、铜、钯或钛等金属材料或包含该金属材料的合金材料。或者，还可以使用该金属材料的氮化物(例如，氮化钛)等。此外，当使用金属材料或合金材料(或者它们的氮化物)时，优选将其形成得薄到具有透光性。此外，可以使用上述材料的叠层膜作为导电层。例如，通过使用银和镁的合金与铟锡氧化物的叠层膜等，可以提高导电性，所以是优选的。上述材料也可以用于构成显示装置的各种布线及电极等的导电层及发光元件所包括的导电层(被用作像素电极或公共电极的导电层)。

作为可用于各绝缘层的绝缘材料，例如可以举出丙烯酸树脂或环氧树脂等树脂、无机绝缘材料如氧化硅、氧氮化硅、氮氧化硅、氮化硅或氧化铝等。

[显示装置400A-2]

图24示出显示装置400A-2的包括FPC472的区域的一部分、电路464的一部分、显示部462的一部分及包括端部的区域的一部分的截面的一个例子。显示装置400A-2的立体图与显示装置400A(图21)相同。另外，有时省略与显示装置400A同样的部分的说明。

图24所示的显示装置400A-2与图22不同之处在于：作为设置在发光元件430a与发光元件430b之间以及设置在发光元件430b与发光元件430c之间的绝缘层包括绝缘层421a及绝缘层421b代替绝缘层421。

图24所示的显示装置400A-2在衬底451与衬底452之间包括晶体管201、晶体管205、发射红色光的发光元件430a、发射绿色光的发光元件430b以及发射蓝色光的发光元件430c等。

保护层416与衬底452通过粘合层442贴合。

像素电极411a、411b、411c都通过设置在绝缘层214中的开口与晶体管205所包括的导电层222b连接。像素电极包含反射可见光的材料，对置电极包含透过可见光的材料。

发光元件430a与发光元件430b之间以及发光元件430b与发光元件430c之间设置有绝缘层421a及绝缘层421b。作为绝缘层421a及绝缘层421b，例如分别可以使用上述实施方式的图11A、图12A等所示的绝缘层130、以填充绝缘层130的凹部的方式设置的绝缘层131。

发光元件将光发射到衬底452一侧。

晶体管201及晶体管205都设置在衬底451上。

衬底451上依次设置有绝缘层211、绝缘层213、绝缘层215及绝缘层214。

在图24所示的区域228中，绝缘层214形成有开口。

另外，如图25所示，也可以在设置在绝缘层214中的开口部形成像素电极411a、411b及411c，然后以填埋覆盖开口部的凹部的方式设置层414。通过设置层414，可以减少光学调整层415a、415b、415c、EL层416a、416b及416c的被形成面的凹凸而可以提高覆盖性。注意，在图25中有时省略说明与显示装置400A同样的部分。

[显示装置400B]

图26A是显示装置400B的截面图。显示装置400B的立体图与显示装置400A(图21)同样。图26A示出分别切断显示装置400B的包括FPC472的区域的一部分、电路464的一部分以及显示部462的一部分时的截面的一个例子。图26A尤其示出切断显示部462中的包括发射绿色光的发光元件430b及发射蓝色光的发光元件430c的区域时的截面的一个例子。注意，有时省略说明与显示装置400A同样的部分。

图26A所示的显示装置400B在衬底453与衬底454之间包括晶体管202、晶体管210、发光元件430b及发光元件430c等。

衬底454和保护层416通过粘合层442贴合。粘合层442分别与发光元件430b及发光元件430c重叠，显示装置400B采用固体密封结构。

衬底453和绝缘层212被粘合层455贴合。

显示装置400B的制造方法为如下：首先，使用粘合层442将设置有绝缘层212、各晶体管、各发光器件等的制造衬底与设置有遮光层417的衬底454贴合在一起；然后，在剥离制造衬底而被露出的面贴合衬底453，来将形成在制造衬底上的各构成要素转置到衬底453。衬底453和衬底454优选具有柔性。由此，可以提高显示装置400B的柔性。

作为绝缘层212，可以使用可以用于绝缘层211、绝缘层213及绝缘层215的无机绝缘膜。

像素电极通过设置在绝缘层214中的开口电连接到晶体管210所包括的导电层222b。导电层222b通过设置在绝缘层215及绝缘层225中的开口连接到低电阻区域231n。晶体管210具有控制发光元件的驱动的功能。

发光元件430b与发光元件430c之间设置有绝缘层421。

发光元件430b、430c将光发射到衬底454一侧。衬底454优选使用对可见光的透过性高的材料。

衬底453的不与衬底454重叠的区域中设置有连接部204。在连接部204中，布线465通过导电层466及连接层242与FPC472电连接。导电层466可以通过对与像素电极相同的导电膜进行加工来获得。因此，通过连接层242可以使连接部204与FPC472电连接。

晶体管202及晶体管210包括：用作栅极的导电层221；用作栅极绝缘层的绝缘层211；包含沟道形成区域231i及一对低电阻区域231n的半导体层；与一对低电阻区域231n中的一个连接的导电层222a；与一对低电阻区域231n中的另一个连接的导电层222b；用作栅极绝缘层的绝缘层225；用作栅极的导电层223；以及覆盖导电层223的绝缘层215。绝缘层211位于导电层221与沟道形成区域231i之间。绝缘层225位于导电层223与沟道形成区域231i之间。

导电层222a及导电层222b通过设置在绝缘层215中的开口与低电阻区域231n连接。导电层222a及导电层222b中的一个用作源极，另一个用作漏极。

图26A示出绝缘层225覆盖半导体层的顶面及侧面的例子。导电层222a及导电层222b通过设置在绝缘层225及绝缘层215中的开口与低电阻区域231n连接。

另一方面，在图26B所示的晶体管209中，绝缘层225与半导体层231的沟道形成区域231i重叠而不与低电阻区域231n重叠。例如，通过以导电层223为掩模加工绝缘层225，可以形成图26B所示的结构。在图26B中，绝缘层215覆盖绝缘层225及导电层223，并且导电层222a及导电层222b分别通过绝缘层215的开口与低电阻区域231n连接。再者，还可以设置有覆盖晶体管的绝缘层218。

另外，也可以使用图26B所示的晶体管209代替晶体管210及晶体管202。

[显示装置400B-2]

图27是显示装置400B-2的截面图。显示装置400B-2的立体图与显示装置400A(图21)同样。图27示出分别切断显示装置400B-2的包括FPC472的区域的一部分、电路464的一部分及显示部462的一部分时的截面的一个例子。图27尤其示出切断显示部462中的包括发射绿色光的发光元件430b及发射蓝色光的发光元件430c的区域时的截面的一个例子。

图27所示的显示装置400B-2与图22不同之处在于：作为设置在发光元件430b与发光元件430c之间的绝缘层包括绝缘层421a及绝缘层421b代替绝缘层421。另外，有时省略说明与显示装置400B同样的部分。

图27所示的显示装置400B-2在衬底453与衬底454之间包括晶体管202、晶体管210、发光元件430b及发光元件430c等。

此外，衬底454和保护层416通过粘合层442贴合。粘合层442分别与发光元件430b及发光元件430c重叠，显示装置400B采用固体密封结构。

衬底453和绝缘层212被粘合层455贴合。

显示装置400B-2的制造方法为如下：首先，使用粘合层442将设置有绝缘层212、各晶体管、各发光器件等的制造衬底与设置有遮光层417的衬底454贴合在一起；然后，在剥离制造衬底而被露出的面贴合衬底453，来将形成在制造衬底上的各构成要素转置到衬底453。衬底453和衬底454优选具有柔性。由此，可以提高显示装置400B的柔性。

发光元件430b与发光元件430c之间设置有绝缘层421a及绝缘层421b。

衬底453与衬底454不重叠的区域中设置有连接部204。在连接部204中，布线465通过导电层466及连接层242与FPC472电连接。

本实施方式所示的结构例子及对应该结构例子的附图等的至少一部分可以与其他结构例子或附图等适当地组合。

(实施方式3)

在本实施方式中，说明与上述不同的显示装置的结构例子。

本实施方式的显示装置可以为高清晰的显示装置。因此，例如可以将本实施方式的显示装置用作手表型或手镯型等信息终端设备(可穿戴设备)以及头戴显示器等VR用设备、眼镜型AR用设备等可戴在头上的可穿戴设备的显示部。

[显示模块]

图28A是显示模块280的立体图。显示模块280包括显示装置400C及FPC290。注意，显示模块280所包括的显示装置不局限于显示装置400C，也可以是将在后面说明的显示装置400D或显示装置400E。

显示模块280包括衬底291及衬底292。显示模块280包括显示部281。显示部281是显示模块280中的图像显示区域，并可以看到来自设置在下述像素部284中的各像素的光。

图28B是衬底291一侧的结构的立体示意图。衬底291上层叠有电路部282、电路部282上的像素电路部283及该像素电路部283上的像素部284。此外，衬底291的不与像素部284重叠的部分上设置有用来连接到FPC290的端子部285。端子部285与电路部282通过由多个布线构成的布线部286电连接。

像素部284包括周期性地排列的多个像素284a。在图28B的右侧示出一个像素284a的放大图。像素284a包括发光颜色彼此不同的发光元件430a、430b、430c。多个发光元件也可以配置为图28B所示那样的条纹排列。通过采用条纹排列可以将本发明的一个方式的发光元件高密度地排列在像素电路中，所以可以提供一种高清晰度的显示装置。另外，也可以采用三角状排列、Pentile排列等各种排列方法。

像素电路部283包括周期性地排列的多个像素电路283a。

一个像素电路283a控制一个像素284a所包括的三个发光元件的发光。一个像素电路283a可以由三个控制一个发光元件的发光的电路构成。例如，像素电路283a可以采用对于一个发光元件至少具有一个选择晶体管、一个电流控制用晶体管(驱动晶体管)和电容器的结构。此时，选择晶体管的栅极被输入栅极信号，源极或漏极中的一方被输入源极信号。由此，实现有源矩阵型显示装置。

电路部282包括用于驱动像素电路部283的各像素电路283a的电路。例如，优选包括栅极线驱动电路和源极线驱动电路中的一方或双方。此外，还可以具有运算电路、存储电路和电源电路等中的至少一个。

FPC290用作从外部向电路部282供给视频信号或电源电位等的布线。此外，也可以在FPC290上安装IC。

显示模块280可以采用像素部284的下侧层叠有像素电路部283和电路部282中的一方或双方的结构，所以可以使显示部281具有极高的开口率(有效显示面积比)。例如，显示部281的开口率可以为40％以上且低于100％，优选为50％以上且95％以下，更优选为60％以上且95％以下。此外，能够极高密度地配置像素284a，由此可以使显示部281具有极高的清晰度。例如，显示部281优选以20000ppi以下或30000ppi以下且2000ppi以上、更优选为3000ppi以上、进一步优选为5000ppi以上、更进一步优选为6000ppi以上的清晰度配置像素284a。

这种高清晰的显示模块280适合用于头戴式显示器等VR用设备或眼镜型AR用设备。例如，因为显示模块280具有极高清晰度的显示部281，所以在透过透镜观看显示模块280的显示部的结构中，即使用透镜放大显示部也使用者看不到像素，由此可以实现具有高度沉浸感的显示。此外，显示模块280还可以应用于具有相对较小型的显示部的电子设备。例如，适合用于手表型设备等可穿戴式电子设备的显示部。

[显示装置400C]

图29所示的显示装置400C包括衬底301、发光元件430a、430b、430c、电容器240及晶体管310。

衬底301相当于图28A及图28B中的衬底291。从衬底301到绝缘层255的叠层结构相当于实施方式1中的衬底。

晶体管310是在衬底301中具有沟道形成区域的晶体管。作为衬底301，例如可以使用如单晶硅衬底等半导体衬底。晶体管310包括衬底301的一部分、导电层311、低电阻区域312、绝缘层313及绝缘层314。导电层311被用作栅电极。绝缘层313位于衬底301与导电层311之间，并被用作栅极绝缘层。低电阻区域312是衬底301中掺杂有杂质的区域，并被用作源极和漏极中的一个。绝缘层314覆盖导电层311的侧面，并被用作绝缘层。

此外，在相邻的两个晶体管310之间，以嵌入衬底301的方式设置有元件分离层315。

此外，以覆盖晶体管310的方式设置有绝缘层261，并绝缘层261上设置有电容器240。

电容器240包括导电层241、导电层245及位于它们之间的绝缘层243。导电层241用作电容器240中的一个电极，导电层245用作电容器240中的另一个电极，并且绝缘层243用作电容器240的介电质。

导电层241设置在绝缘层261上，并嵌入绝缘层254中。导电层241通过嵌入绝缘层261中的插头271与晶体管310的源极和漏极中的一个电连接。绝缘层243覆盖导电层241而设置。导电层245设置在隔着绝缘层243与导电层241重叠的区域中。

以覆盖电容器240的方式设置有绝缘层255，绝缘层255上设置有发光元件430a、430b、430c等。发光元件430a、430b、430c上设置有保护层416，衬底420隔着树脂层419贴合于保护层416的顶面。衬底420相当于图28A中的衬底292。

发光元件的像素电极通过嵌入绝缘层255中的插头256、嵌入绝缘层254中的导电层241及嵌入绝缘层261中的插头271电连接于晶体管310的源极和漏极中的一个。

发光元件430a、发光元件430b、发光元件430c及发光元件之间的绝缘层可以采用实施方式1所示的结构。在此，示出采用图1B所示的结构的例子，但是可采用的结构不局限于此。

[显示装置400C-2]

图30所示的显示装置400C-2与图29所示的显示装置400C不同之处在于：作为发光元件之间的绝缘层采用实施方式1所示的包括绝缘层130的结构；等。图30示出发光元件430a、发光元件430b、发光元件430c及发光元件之间的绝缘层采用图10A所示的结构。

图30所示的显示装置400C-2包括衬底301、发光元件430a、430b、430c、电容器240及晶体管310。

[显示装置400D]

图31所示的显示装置400D的与显示装置400C主要不同之处是晶体管的结构。注意，有时省略与显示装置400C同样的部分的说明。

晶体管320是在形成沟道的半导体层中使用金属氧化物(也称为氧化物半导体)的晶体管。

晶体管320包括半导体层321、绝缘层323、导电层324、一对导电层325、绝缘层326及导电层327。

衬底331相当于图28A及图28B中的衬底291。从衬底331到绝缘层255的叠层结构相当于实施方式2中的包括晶体管的层401。作为衬底331可以使用绝缘衬底或半导体衬底。

在衬底331上设置有绝缘层332。绝缘层332用作阻挡层，该阻挡层防止水或氢等杂质从衬底331扩散到晶体管320且防止氧从半导体层321向绝缘层332一侧脱离。作为绝缘层332，例如可以使用与氧化硅膜相比氢或氧不容易扩散的膜诸如氧化铝膜、氧化铪膜、氮化硅膜等。

在绝缘层332上设置有导电层327，并以覆盖导电层327的方式设置有绝缘层326。导电层327用作晶体管320的第一栅电极，绝缘层326的一部分用作第一栅极绝缘层。绝缘层326中的至少接触半导体层321的部分优选使用氧化硅膜等氧化物绝缘膜。绝缘层326的顶面优选被平坦化。

半导体层321设置在绝缘层326上。半导体层321优选含有具有半导体特性的金属氧化物(也称为氧化物半导体)膜。关于可以用于半导体层321的材料将在后面详细描述。

一对导电层325接触于半导体层321上并用作源电极及漏电极。

另外，以覆盖一对导电层325的顶面及侧面以及半导体层321的侧面等的方式设置有绝缘层328，绝缘层328上设置有绝缘层264。绝缘层328被用作阻挡层，该阻挡层防止水或氢等杂质从绝缘层264等扩散到半导体层321以及氧从半导体层321脱离。作为绝缘层328，可以使用与上述绝缘层332同样的绝缘膜。

绝缘层328及绝缘层264中设置有到达半导体层321的开口。该开口内部嵌入有接触于绝缘层264、绝缘层328及导电层325的侧面以及半导体层321的顶面的绝缘层323、以及导电层324。导电层324被用作第二栅电极，绝缘层323被用作第二栅极绝缘层。

导电层324的顶面、绝缘层323的顶面及绝缘层264的顶面被进行平坦化处理以它们的高度都大致一致，并以覆盖它们的方式设置有绝缘层329及绝缘层265。

绝缘层264及绝缘层265被用作层间绝缘层。绝缘层329被用作阻挡层，该阻挡层防止水或氢等杂质从绝缘层265等扩散到晶体管320。绝缘层329可以使用与上述绝缘层328及绝缘层332同样的绝缘膜。

与一对导电层325中的一方电连接的插头274嵌入绝缘层265、绝缘层329及绝缘层264。在此，插头274优选具有覆盖绝缘层265、绝缘层329、绝缘层264及绝缘层328各自的开口的侧面及导电层325的顶面的一部分的导电层274a以及与导电层274a的顶面接触的导电层274b。此时，作为导电层274a，优选使用不容易扩散氢及氧的导电材料。

显示装置400D中的从绝缘层254到衬底420的结构是与显示装置400C同样的。

[显示装置400D-2]

图32所示的显示装置400D-2的与显示装置400C-2主要不同之处是晶体管的结构。另外，图32所示的显示装置400D-2采用实施方式1所示的包括绝缘层130的结构，这也是与图28所示的显示装置400D不同之处。注意，有时省略与显示装置400C、显示装置400C-2、400D同样的部分的说明。

此外，衬底331上设置有绝缘层332。

半导体层321设置在绝缘层326上。半导体层321优选含有具有半导体特性的金属氧化物(也称为氧化物半导体)膜。

一对导电层325接触于半导体层321上并用作源电极及漏电极。

此外，以覆盖一对导电层325的顶面及侧面以及半导体层321的侧面等的方式设置有绝缘层328，并绝缘层328上设置有绝缘层264。

与一对导电层325中的一方电连接的插头274嵌入绝缘层265、绝缘层329及绝缘层264。

显示装置400D-2中的从绝缘层254到衬底420的结构是与显示装置400C-2同样的。

[显示装置400E]

在图33所示的显示装置400E中，层叠有沟道形成于衬底301的晶体管310及形成沟道的半导体层含有金属氧化物的晶体管320。注意，有时省略与显示装置400C、400D同样的部分的说明。

以覆盖晶体管310的方式设置有绝缘层261，并且绝缘层261上设置有导电层251。此外，以覆盖导电层251的方式设置有绝缘层262，并且绝缘层262上设置有导电层252。导电层251及导电层252都被用作布线。此外，以覆盖导电层252的方式设置有绝缘层263及绝缘层332，并且绝缘层332上设置有晶体管320。此外，以覆盖晶体管320的方式设置有绝缘层265，并在绝缘层265上设置有电容器240。电容器240与晶体管320通过插头274电连接。

晶体管320可以用作构成像素电路的晶体管。此外，晶体管310可以用作构成像素电路的晶体管或构成用来驱动该像素电路的驱动电路(栅极线驱动电路、源极线驱动电路)的晶体管。此外，晶体管310及晶体管320可以用作构成运算电路或存储电路等各种电路的晶体管。

借助于这种结构，在发光元件正下不但可以形成像素电路还可以形成驱动电路等，因此与在显示区域的周围设置驱动电路的情况相比，可以使显示装置小型化。

[显示装置400E-2]

在图34所示的显示装置400E-2中，层叠有沟道形成于衬底301的晶体管310及形成沟道的半导体层含有金属氧化物的晶体管320。图34所示的显示装置400E-2与图33所示的显示装置400E不同之处是包括实施方式1所示的绝缘层130。注意，有时省略与显示装置400C、400D、400C-2、400D-2、400E同样的部分的说明。

(实施方式4)

在本实施方式中，对能用于本发明的一个方式的显示装置的发光元件(也称为发光器件)进行说明。

<发光元件的结构例子>

如图35A所示，发光元件在一对电极(下部电极672、上部电极688)间包括EL层686。EL层686可以由层4420、发光层4411、层4430等的多个层构成。层4420例如可以包括含有电子注入性高的物质的层(电子注入层)及含有电子传输性高的物质的层(电子传输层)等。发光层4411例如包含发光性化合物。层4430例如可以包括含有空穴注入性高的物质的层(空穴注入层)及含有空穴传输性高的物质的层(空穴传输层)。

包括设置在一对电极间的层4420、发光层4411及层4430的结构可以被用作单一的发光单元，在本说明书中将图35A的结构称为单结构。

另外，图35B示出图35A所示的发光元件所包括的EL层686的变形例子。具体而言，图35B所示的发光元件包括下部电极672上的层4430-1、层4430-1上的层4430-2、层4430-2上的发光层4411、发光层4411上的层4420-1、层4420-1上的层4420-2以及层4420-2上的上部电极688。例如，在下部电极672被用作阳极且上部电极688被用作阴极时，层4430-1被用作空穴注入层，层4430-2被用作空穴传输层，层4420-1被用作电子传输层，并且层4420-2被用作电子注入层。或者，在下部电极672被用作阴极且上部电极688被用作阳极时，层4430-1被用作电子注入层，层4430-2被用作电子传输层，层4420-1被用作空穴传输层，并且层4420-2被用作空穴注入层。通过采用上述层结构，可以将载流子高效地注入到发光层4411，由此可以提高发光层4411内的载流子的再结合的效率。

此外，如图35C所示，层4420与层4430之间设置有多个发光层(发光层4411、发光层4412、发光层4413)的结构也是单结构的变形例子。

如图35D所示，多个发光单元(EL层686a、EL层686b)隔着中间层(电荷产生层)4440串联连接的结构在本说明书中被称为串联结构。在本说明书等中，图35D所示的结构被称为串联结构，但是不局限于此，例如，串联结构也可以被称为叠层结构。通过采用串联结构，可以实现能够以高亮度发光的发光元件。

另外，在图35C及图35D中，层4420及层4430也可以具有图35B所示那样的两层以上的叠层结构。

另外，在对上述单结构、串联结构和SBS结构进行比较的情况下，按SBS结构、串联结构及单结构的顺序可以降低功耗。在想要降低功耗时优选采用SBS结构。另一方面，单结构及串联结构的制造程序比SBS结构简单，由此可以降低制造成本或者提高制造成品率，所以是优选的。

发光元件的发光颜色根据构成EL层686的材料而可以为红色、绿色、蓝色、青色、品红色、黄色或白色等。此外，当发光元件具有微腔结构时，可以进一步提高颜色纯度。

白色发光元件优选具有发光层包含两种以上的发光物质的结构。为了得到白色发光，选择各发光处于补色关系的两种以上的发光物质即可。例如，通过使第一发光层的发光颜色与第二发光层的发光颜色处于补色关系，可以得到在发光元件整体上以白色发光的发光元件。此外，包括三个以上的发光层的发光元件也是同样的。

发光层优选包含每个发光呈现红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)、黄色(Y)、橙色(O)等的两种以上的发光物质。另外，也可以包含呈现紫色、蓝紫色、黄绿色、近红外等发光的发光物质。或者，优选包含每个发光包含红色、绿色、蓝色中的两种以上的光谱成分的两种以上的发光物质。

(实施方式5)

在本实施方式中，说明可用于上述实施方式中说明的OS晶体管的金属氧化物(称为氧化物半导体)。

金属氧化物优选至少包含铟或锌。尤其优选包含铟及锌。此外，除此之外，优选还包含铝、镓、钇或锡等。此外，也可以包含选自硼、硅、钛、铁、镍、锗、锆、钼、镧、铈、钕、铪、钽、钨、镁及钴等中的一种或多种。

此外，金属氧化物可以通过溅射法、有机金属化学气相沉积(MOCVD：MetalOrganic Chemical VaporDeposition)法等CVD法及ALD法等形成。

<结晶结构的分类>

作为氧化物半导体的结晶结构，可以举出非晶(包括completely amorphous)、CAAC(c-axis-aligned crystalline)、nc(nanocrystalline)、CAC(cloud-alignedcomposite)、单晶(single crystal)及多晶(poly crystal)等。

可以使用X射线衍射(XRD：X-Ray Diffraction)谱对膜或衬底的结晶结构进行评价。例如，可以使用GIXD(Grazing-Incidence XRD)测定测得的XRD谱进行评价。此外，将GIXD法也称为薄膜法或Seemann-Bohlin法。

例如，石英玻璃衬底的XRD谱的峰形状大致为左右对称。另一方面，具有结晶结构的IGZO膜的XRD谱的峰形状不是左右对称。XRD谱的峰的形状是左右不对称说明膜中或衬底中存在结晶。换言之，除非XRD谱峰形状左右对称，否则不能说膜或衬底处于非晶状态。

此外，可以使用通过纳米束电子衍射法(NBED：Nano Beam ElectronDiffraction)观察的衍射图案(也称为纳米束电子衍射图案)对膜或衬底的结晶结构进行评价。例如，在石英玻璃衬底的衍射图案中观察到光晕图案，可以确认石英玻璃处于非晶状态。此外，以室温形成的IGZO膜的衍射图案中观察到斑点状的图案而没有观察到光晕。因此可以推测，以室温形成的IGZO膜处于既不是晶态也不是非晶态的中间态，不能得出该IGZO膜是非晶态的结论。

<<氧化物半导体的结构>>

此外，在注目于氧化物半导体的结构的情况下，有时氧化物半导体的分类与上述分类不同。例如，氧化物半导体可以分类为单晶氧化物半导体和除此之外的非单晶氧化物半导体。作为非单晶氧化物半导体，例如可以举出上述CAAC-OS及nc-OS。此外，在非单晶氧化物半导体中包含多晶氧化物半导体、a-like OS(amorphous-like oxidesemiconductor)及非晶氧化物半导体等。

在此，对上述CAAC-OS、nc-OS及a-like OS的详细内容进行说明。

[CAAC-OS]

CAAC-OS是包括多个结晶区域的氧化物半导体，该多个结晶区域的c轴取向于特定的方向。此外，特定的方向是指CAAC-OS膜的厚度方向、CAAC-OS膜的被形成面的法线方向、或者CAAC-OS膜的表面的法线方向。此外，结晶区域是具有原子排列的周期性的区域。注意，在将原子排列看作晶格排列时结晶区域也是晶格排列一致的区域。再者，CAAC-OS具有在a-b面方向上多个结晶区域连接的区域，有时该区域具有畸变。此外，畸变是指在多个结晶区域连接的区域中，晶格排列一致的区域和其他晶格排列一致的区域之间的晶格排列的方向变化的部分。换言之，CAAC-OS是指c轴取向并在a-b面方向上没有明显的取向的氧化物半导体。

此外，上述多个结晶区域的每一个由一个或多个微小结晶(最大径小于10nm的结晶)构成。在结晶区域由一个微小结晶构成的情况下，该结晶区域的最大径小于10nm。此外，结晶区域由多个微小结晶构成的情况下，有时该结晶区域的尺寸为几十nm左右。

此外，在In-M-Zn氧化物(元素M为选自铝、镓、钇、锡及钛等中的一种或多种)中，CAAC-OS有具有层叠有含有铟(In)及氧的层(以下，In层)、含有元素M、锌(Zn)及氧的层(以下，(M，Zn)层)的层状结晶结构(也称为层状结构)的趋势。此外，铟和元素M可以彼此置换。因此，有时(M，Zn)层包含铟。此外，有时In层包含元素M。注意，有时In层包含Zn。该层状结构例如在高分辨率TEM(Transmission Electron Microscope)图像中被观察作为晶格像。

例如，当对CAAC-OS膜使用XRD装置进行结构分析时，在使用θ/2θ扫描的Out-of-plane XRD测量中，在2θ＝31°或其附近检测出表示c轴取向的峰。注意，表示c轴取向的峰的位置(2θ值)有时根据构成CAAC-OS的金属元素的种类、组成等变动。

此外，例如，在CAAC-OS膜的电子衍射图案中观察到多个亮点(斑点)。此外，在以透过样品的入射电子束的斑点(也称为直接斑点)为对称中心时，某一个斑点和其他斑点被观察在点对称的位置。

在从上述特定的方向观察结晶区域的情况下，虽然该结晶区域中的晶格排列基本上是六方晶格，但是单位晶格并不局限于正六角形，有是非正六角形的情况。此外，在上述畸变中，有时具有五角形、七角形等晶格排列。此外，在CAAC-OS的畸变附近观察不到明确的晶界(grain boundary)。也就是说，晶格排列的畸变抑制晶界的形成。这可能是由于CAAC-OS因为a-b面方向上的氧原子的排列的低密度或者因金属原子被取代而使原子间的键合距离产生变化等而能够包容畸变。

此外，确认到明确的晶界的结晶结构被称为所谓的多晶(polycrystal)。晶界成为复合中心而载流子被俘获，因而有可能导致晶体管的通态电流的降低、场效应迁移率的降低等。因此，确认不到明确的晶界的CAAC-OS是对晶体管的半导体层提供具有优异的结晶结构的结晶性氧化物之一。注意，为了构成CAAC-OS，优选为包含Zn的结构。例如，与In氧化物相比，In-Zn氧化物及In-Ga-Zn氧化物能够进一步抑制晶界的发生，所以是优选的。

CAAC-OS是结晶性高且确认不到明确的晶界的氧化物半导体。因此，可以说在CAAC-OS中，不容易发生起因于晶界的电子迁移率的降低。此外，氧化物半导体的结晶性有时因杂质的混入以及缺陷的生成等而降低，因此可以说CAAC-OS是杂质及缺陷(氧空位等)少的氧化物半导体。因此，包含CAAC-OS的氧化物半导体的物理性质稳定。因此，包含CAAC-OS的氧化物半导体具有高耐热性及高可靠性。此外，CAAC-OS对制造工序中的高温度(所谓热积存；thermalbudget)也很稳定。由此，通过在OS晶体管中使用CAAC-OS，可以扩大制造工序的自由度。

[nc-OS]

在nc-OS中，微小的区域(例如1nm以上且10nm以下的区域，特别是1nm以上且3nm以下的区域)中的原子排列具有周期性。换言之，nc-OS具有微小的结晶。此外，例如，该微小的结晶的尺寸为1nm以上且10nm以下，尤其为1nm以上且3nm以下，将该微小的结晶称为纳米晶。此外，nc-OS在不同的纳米晶之间观察不到结晶取向的规律性。因此，在膜整体中观察不到取向性。所以，有时nc-OS在某些分析方法中与a-like OS或非晶氧化物半导体没有差别。例如，在对nc-OS膜使用XRD装置进行结构分析时，在使用θ/2θ扫描的Out-of-plane XRD测量中，不检测出表示结晶性的峰。此外，在对nc-OS膜进行使用其束径比纳米晶大(例如，50nm以上)的电子束的电子衍射(也称为选区电子衍射)时，观察到类似光晕图案的衍射图案。另一方面，在对nc-OS膜进行使用其束径近于或小于纳米晶的尺寸(例如1nm以上且30nm以下)的电子束的电子衍射(也称为纳米束电子衍射)的情况下，有时得到在以直接斑点为中心的环状区域内观察到多个斑点的电子衍射图案。

[a-like OS]

a-like OS是具有介于nc-OS与非晶氧化物半导体之间的结构的氧化物半导体。a-likeOS包含空洞或低密度区域。也就是说，a-likeOS的结晶性比nc-OS及CAAC-OS的结晶性低。此外，a-like OS的膜中的氢浓度比nc-OS及CAAC-OS的膜中的氢浓度高。

<<氧化物半导体的构成>>

接着，说明上述CAC-OS的详细内容。此外，CAC-OS与材料构成有关。

[CAC-OS]

CAC-OS例如是指包含在金属氧化物中的元素不均匀地分布的构成，其中包含不均匀地分布的元素的材料的尺寸为0.5nm以上且10nm以下，优选为1nm以上且3nm以下或近似的尺寸。注意，在下面也将在金属氧化物中一个或多个金属元素不均匀地分布且包含该金属元素的区域混合的状态称为马赛克状或补丁(patch)状，该区域的尺寸为0.5nm以上且10nm以下，优选为1nm以上且3nm以下或近似的尺寸。

再者，CAC-OS是指其材料分开为第一区域与第二区域而成为马赛克状且该第一区域分布于膜中的结构(下面也称为云状)。就是说，CAC-OS是指具有该第一区域和该第二区域混合的结构的复合金属氧化物。

在此，将相对于构成In-Ga-Zn氧化物的CAC-OS的金属元素的In、Ga及Zn的原子数比的每一个记为[In]、[Ga]及[Zn]。例如，在In-Ga-Zn氧化物的CAC-OS中，第一区域是其[In]大于CAC-OS膜的组成中的[In]的区域。此外，第二区域是其[Ga]大于CAC-OS膜的组成中的[Ga]的区域。此外，例如，第一区域是其[In]大于第二区域中的[In]且其[Ga]小于第二区域中的[Ga]的区域。此外，第二区域是其[Ga]大于第一区域中的[Ga]且其[In]小于第一区域中的[In]的区域。

具体而言，上述第一区域是以铟氧化物或铟锌氧化物等为主要成分的区域。此外，上述第二区域是以镓氧化物或镓锌氧化物等为主要成分的区域。换言之，可以将上述第一区域称为以In为主要成分的区域。此外，可以将上述第二区域称为以Ga为主要成分的区域。

注意，有时观察不到上述第一区域和上述第二区域的明确的边界。

此外，In-Ga-Zn氧化物中的CAC-OS是指如下构成：在包含In、Ga、Zn及O的材料构成中，部分主要成分为Ga的区域与部分主要成分为In的区域无规律地以马赛克状存在。因此，可推测，CAC-OS具有金属元素不均匀地分布的结构。

CAC-OS例如可以通过在对衬底不进行加热的条件下利用溅射法来形成。在利用溅射法形成CAC-OS的情况下，作为沉积气体，可以使用选自惰性气体(典型的是氩)、氧气体和氮气体中的任一种或多种。此外，沉积时的沉积气体的总流量中的氧气体的流量比越低越好，例如，优选使沉积时的沉积气体的总流量中的氧气体的流量比为0％以上且低于30％，更优选为0％以上且10％以下。

例如，在In-Ga-Zn氧化物的CAC-OS中，根据通过能量分散型X射线分析法(EDX：Energy Dispersive X-ray spectroscopy)取得的EDX面分析(EDX-mapping)图像，可确认到具有以In为主要成分的区域(第一区域)及以Ga为主要成分的区域(第二区域)不均匀地分布而混合的结构。

在此，第一区域是具有比第二区域高的导电性的区域。就是说，当载流子流过第一区域时，呈现作为金属氧化物的导电性。因此，当第一区域以云状分布在金属氧化物中时，可以实现高场效应迁移率(μ)。

另一方面，第二区域是具有比第一区域高的绝缘性的区域。就是说，当第二区域分布在金属氧化物中时，可以抑制泄漏电流。

在将CAC-OS用于晶体管的情况下，通过起因于第一区域的导电性和起因于第二区域的绝缘性的互补作用，可以使CAC-OS具有开关功能(控制开启/关闭的功能)。换言之，在CAC-OS的材料的一部分中具有导电性的功能且在另一部分中具有绝缘性的功能，在材料的整体中具有半导体的功能。通过使导电性的功能和绝缘性的功能分离，可以最大限度地提高各功能。因此，通过将CAC-OS用于晶体管，可以实现大通态电流(I_on)、高场效应迁移率(μ)及良好的开关工作。

此外，使用CAC-OS的晶体管具有高可靠性。因此，CAC-OS最适合于显示装置等各种半导体装置。

氧化物半导体具有各种结构及各种特性。本发明的一个方式的氧化物半导体也可以包括非晶氧化物半导体、多晶氧化物半导体、a-likeOS、CAC-OS、nc-OS、CAAC-OS中的两种以上。

<具有氧化物半导体的晶体管>

接着，说明将上述氧化物半导体用于晶体管的情况。

通过将上述氧化物半导体用于晶体管，可以实现场效应迁移率高的晶体管。此外，可以实现可靠性高的晶体管。

优选将载流子浓度低的氧化物半导体用于晶体管。例如，氧化物半导体中的载流子浓度为1×10¹⁷cm^-3以下，优选为1×10¹⁵cm^-3以下，更优选为1×10¹³cm^-3以下，进一步优选为1×10¹¹cm^-3以下，更进一步优选低于1×10¹⁰cm^-3，且为1×10^-9cm^-3以上。在以降低氧化物半导体膜的载流子浓度为目的的情况下，可以降低氧化物半导体膜中的杂质浓度以降低缺陷态密度。在本说明书等中，将杂质浓度低且缺陷态密度低的状态称为高纯度本征或实质上高纯度本征。此外，有时将载流子浓度低的氧化物半导体称为高纯度本征或实质上高纯度本征的氧化物半导体。

因为高纯度本征或实质上高纯度本征的氧化物半导体膜具有较低的缺陷态密度，所以有可能具有较低的陷阱态密度。

此外，被氧化物半导体的陷阱态俘获的电荷到消失需要较长的时间，有时像固定电荷那样动作。因此，有时在陷阱态密度高的氧化物半导体中形成沟道形成区域的晶体管的电特性不稳定。

因此，为了使晶体管的电特性稳定，降低氧化物半导体中的杂质浓度是有效的。为了降低氧化物半导体中的杂质浓度，优选还降低附近膜中的杂质浓度。作为杂质有氢、氮、碱金属、碱土金属、铁、镍、硅等。

<杂质>

在此，说明氧化物半导体中的各杂质的影响。

在氧化物半导体包含第14族元素之一的硅或碳时，在氧化物半导体中形成缺陷态。因此，将氧化物半导体中或与氧化物半导体的界面附近的硅或碳的浓度(通过二次离子质谱(SIMS：Secondary Ion Mass Spectrometry)测得的浓度)设定为2×10¹⁸atoms/cm³以下，优选为2×10¹⁷atoms/cm³以下。

此外，当氧化物半导体包含碱金属或碱土金属时，有时形成缺陷态而形成载流子。因此，使用包含碱金属或碱土金属的氧化物半导体的晶体管容易具有常开启特性。因此，使通过SIMS测得的氧化物半导体中的碱金属或碱土金属的浓度为1×10¹⁸atoms/cm³以下，优选为2×10¹⁶atoms/cm³以下。

当氧化物半导体包含氮时，容易产生作为载流子的电子，使载流子浓度增高，而n型化。其结果是，在将包含氮的氧化物半导体用于半导体的晶体管容易具有常开启特性。或者，在氧化物半导体包含氮时，有时形成陷阱态。其结果，有时晶体管的电特性不稳定。因此，将利用SIMS测得的氧化物半导体中的氮浓度设定为低于5×10¹⁹atoms/cm³，优选为5×10¹⁸atoms/cm³以下，更优选为1×10¹⁸atoms/cm³以下，进一步优选为5×10¹⁷atoms/cm³以下。

包含在氧化物半导体中的氢与键合于金属原子的氧起反应生成水，因此有时形成氧空位。当氢进入该氧空位时，有时产生作为载流子的电子。此外，有时由于氢的一部分与键合于金属原子的氧键合，产生作为载流子的电子。因此，使用包含氢的氧化物半导体的晶体管容易具有常开启特性。由此，优选尽可能地减少氧化物半导体中的氢。具体而言，在氧化物半导体中，将利用SIMS测得的氢浓度设定为低于1×10²⁰atoms/cm³，优选低于1×10¹⁹atoms/cm³，更优选低于5×10¹⁸atoms/cm³，进一步优选低于1×10¹⁸atoms/cm³。

通过将杂质被充分降低的氧化物半导体用于晶体管的沟道形成区域，可以使晶体管具有稳定的电特性。

本实施方式的至少一部分可以与本说明书中记载的其他实施方式适当地组合而实施。

(实施方式6)

在本实施方式中，使用图36A至图39F说明本发明的一个方式的电子设备。

本实施方式的电子设备包括本发明的一个方式的显示装置。本发明的一个方式的显示装置容易实现高清晰化、高分辨率化、大型化。因此，可以将本发明的一个方式的显示装置用于各种各样的电子设备的显示部。

另外，本发明的一个方式的显示装置可以以低成本制造，由此可以降低电子设备的制造成本。

作为电子设备，例如除了电视装置、台式或笔记本型个人计算机、用于计算机等的显示器、数字标牌、弹珠机等大型游戏机等具有较大的屏幕的电子设备以外，还可以举出数码相机、数码摄像机、数码相框、移动电话机、便携式游戏机、便携式信息终端、声音再现装置等。

特别是，因为本发明的一个方式的显示装置可以提高清晰度，所以可以适当地用于包括较小的显示部的电子设备。作为这种电子设备，例如可以举出手表型、手镯型等的信息终端设备(可穿戴设备)、可戴在头上的可穿戴设备等诸如头戴显示器等VR用设备、眼镜型AR用设备等。另外，作为可穿戴设备还可以举出SR用设备以及MR用设备。

本发明的一个方式的显示装置优选具有极高的分辨率诸如HD(像素数为1280×720)、FHD(像素数为1920×1080)、WQHD(像素数为2560×1440)、WQXGA(像素数为2560×1600)、4K2K(像素数为3840×2160)、8K4K(像素数为7680×4320)等。尤其优选具有4K2K、8K4K或更高的分辨率。另外，本发明的一个方式的显示装置中的像素密度(清晰度)优选为300ppi以上，更优选为500ppi以上，进一步优选为1000ppi以上，更进一步优选为2000ppi以上，还进一步优选为3000ppi以上，还进一步优选为5000ppi以上，还进一步优选为7000ppi以上。通过使用上述的具有高分辨率或高清晰度的显示装置，在便携式或家用等的个人用途的电子设备中可以进一步提高真实感、纵深感等。

可以将本实施方式的电子设备沿着房屋或高楼的内壁或外壁、汽车的内部装饰或外部装饰的曲面组装。

本实施方式的电子设备也可以包括天线。通过由天线接收信号，可以在显示部上显示影像及信息等。另外，在电子设备包括天线及二次电池时，可以用天线进行非接触电力传送。

本实施方式的电子设备也可以包括传感器(该传感器具有测量如下因素的功能：力、位移、位置、速度、加速度、角速度、转速、距离、光、液、磁、温度、化学物质、声音、时间、硬度、电场、电流、电压、电力、辐射线、流量、湿度、倾斜度、振动、气味或红外线)。

本实施方式的电子设备可以具有各种功能。例如，可以具有如下功能：将各种信息(静态图像、动态图像、文字图像等)显示在显示部上的功能；触摸面板的功能；显示日历、日期或时间等的功能；执行各种软件(程序)的功能；进行无线通信的功能；读出储存在存储介质中的程序或数据的功能；等。

图36A所示的电子设备6500是可以被用作智能手机的便携式信息终端设备。

电子设备6500包括框体6501、显示部6502、电源按钮6503、按钮6504、扬声器6505、麦克风6506、照相机6507及光源6508等。显示部6502具有触摸面板功能。

显示部6502可以使用本发明的一个方式的显示装置。

图36B是包括框体6501的麦克风6506一侧的端部的截面示意图。

框体6501的显示面一侧设置有具有透光性的保护构件6510，被框体6501及保护构件6510包围的空间内设置有显示面板6511、光学构件6512、触摸传感器面板6513、印刷电路板6517、电池6518等。

显示面板6511、光学构件6512及触摸传感器面板6513使用粘合层(未图示)固定到保护构件6510。

在显示部6502的外侧的区域中，显示面板6511的一部分叠回，且该叠回部分连接有FPC6515。FPC6515安装有IC6516。FPC6515与设置于印刷电路板6517的端子连接。

显示面板6511可以使用本发明的一个方式的柔性显示器(具有柔性的显示装置)。由此，可以实现极轻量的电子设备。此外，由于显示面板6511极薄，所以可以在抑制电子设备的厚度的情况下安装大容量的电池6518。此外，通过折叠显示面板6511的一部分以在像素部的背面设置与FPC6515的连接部，可以实现窄边框的电子设备。

图37A示出电视装置的一个例子。在电视装置7100中，框体7101中组装有显示部7000。在此示出利用支架7103支撑框体7101的结构。

可以对显示部7000应用本发明的一个方式的显示装置。

可以通过利用框体7101所具备的操作开关及另外提供的遥控操作机7111进行图37A所示的电视装置7100的操作。此外，也可以在显示部7000中具备触摸传感器，也可以通过用指头等触摸显示部7000进行电视装置7100的操作。此外，也可以在遥控操作机7111中具备显示从该遥控操作机7111输出的信息的显示部。通过利用遥控操作机7111所具备的操作键或触摸面板，可以进行频道及音量的操作，并可以对显示在显示部7000上的影像进行操作。

此外，电视装置7100具备接收机及调制解调器等。可以通过利用接收机接收一般的电视广播。再者，通过调制解调器连接到有线或无线方式的通信网络，从而进行单向(从发送者到接收者)或双向(发送者和接收者之间或接收者之间等)的信息通信。

图37B示出笔记本型个人计算机的一个例子。笔记本型个人计算机7200包括框体7211、键盘7212、指向装置7213、外部连接端口7214等。在框体7211中组装有显示部7000。

可以对显示部7000应用本发明的一个方式的显示装置。

图37C和图37D示出数字标牌的一个例子。

图37C所示的数字标牌7300包括框体7301、显示部7000及扬声器7303等。此外，还可以包括LED灯、操作键(包括电源开关或操作开关)、连接端子、各种传感器、麦克风等。

图37D示出设置于圆柱状柱子7401上的数字标牌7400。数字标牌7400包括沿着柱子7401的曲面设置的显示部7000。

在图37C和图37D中，可以对显示部7000应用包括本发明的一个方式的晶体管的显示装置。

显示部7000越大，一次能够提供的信息量越多。显示部7000越大，越容易吸引人的注意，例如可以提高广告宣传效果。

通过将触摸面板用于显示部7000，不仅可以在显示部7000上显示静态图像或动态图像，使用者还能够直觉性地进行操作，所以是优选的。此外，在用于提供线路信息或交通信息等信息的用途时，可以通过直觉性的操作提高易用性。

如图37C和图37D所示，数字标牌7300或数字标牌7400优选可以通过无线通信与使用者所携带的智能手机等信息终端设备7311或信息终端设备7411联动。例如，显示在显示部7000上的广告信息可以显示在信息终端设备7311或信息终端设备7411的屏幕上。此外，通过操作信息终端设备7311或信息终端设备7411，可以切换显示部7000的显示。

此外，可以在数字标牌7300或数字标牌7400上以信息终端设备7311或信息终端设备7411的屏幕为操作单元(控制器)执行游戏。由此，不特定多个使用者可以同时参加游戏，享受游戏的乐趣。

图38A是安装有取景器8100的照相机8000的外观图。

照相机8000包括框体8001、显示部8002、操作按钮8003、快门按钮8004等。此外，照相机8000安装有可装卸的透镜8006。在照相机8000中，透镜8006和框体也可以被形成为一体。

照相机8000通过按下快门按钮8004或者触摸用作触摸面板的显示部8002，可以进行成像。

框体8001包括具有电极的嵌入器，除了可以与取景器8100连接以外，还可以与闪光灯装置等连接。

取景器8100包括框体8101、显示部8102以及按钮8103等。

框体8101通过嵌合到照相机8000的嵌入器装到照相机8000。取景器8100可以将从照相机8000接收的影像等显示到显示部8102上。

按钮8103被用作电源按钮等。

本发明的一个方式的显示装置可以用于照相机8000的显示部8002及取景器8100的显示部8102。此外，也可以在照相机8000中内置有取景器。

图38B是头戴显示器8200的外观图。

头戴显示器8200包括安装部8201、透镜8202、主体8203、显示部8204以及电缆8205等。此外，在安装部8201中内置有电池8206。

通过电缆8205，将电力从电池8206供应到主体8203。主体8203具备无线接收器等，能够将所接收的影像信息等显示到显示部8204上。此外，主体8203具有照相机，由此可以作为输入方法利用使用者的眼球或眼睑的动作的信息。

此外，也可以对安装部8201的被使用者接触的位置设置多个电极，以检测出根据使用者的眼球的动作而流过电极的电流，由此实现识别使用者的视线的功能。此外，还可以具有根据流过该电极的电流监视使用者的脉搏的功能。安装部8201可以具有温度传感器、压力传感器、加速度传感器等各种传感器，也可以具有将使用者的生物信息显示在显示部8204上的功能或与使用者的头部的动作同步地使显示在显示部8204上的影像变化的功能等。

可以将本发明的一个方式的显示装置用于显示部8204。

图38C至图38E是头戴显示器8300的外观图。头戴显示器8300包括框体8301、显示部8302、带状固定工具8304以及一对透镜8305。

使用者可以通过透镜8305看到显示部8302上的显示。优选的是，弯曲配置显示部8302。因为使用者可以感受高真实感。此外，通过透镜8305分别看到显示在显示部8302的不同区域上的图像，从而可以进行利用视差的三维显示等。此外，本发明的一个方式不局限于设置有一个显示部8302的结构，也可以设置两个显示部8302以对使用者的一对眼睛分别配置一个显示部。

可以将本发明的一个方式的显示装置用于显示部8302。本发明的一个方式的显示装置还可以实现极高的清晰度。例如，如图38E所示，即使使用透镜8305对显示进行放大观看，像素也不容易被使用者看到。就是说，可以利用显示部8302使使用者看到现实感更高的影像。

图38F是护目镜型头戴显示器8400的外观图。头戴显示器8400包括一对框体8401、安装部8402及缓冲构件8403。一对框体8401内各自设置有显示部8404及透镜8405。通过使一对显示部8404显示互不相同的图像，可以进行利用视差的三维显示。

使用者可以通过透镜8405看到显示部8404上的显示。透镜8405具有焦点调整机构，该焦点调整机构可以根据使用者的视力调整透镜8405的位置。显示部8404优选为正方形或横向长的矩形。由此，可以提高真实感。

安装部8402优选具有塑性及弹性以可以根据使用者的脸尺寸调整并没有掉下来。另外，安装部8402的一部分优选具有被用作骨传导耳机的振动机构。由此，只要安装就可以享受影像及声音，而不需耳机、扬声器等音响设备。此外，也可以具有通过无线通信将声音数据输出到框体8401内的功能。

安装部8402及缓冲构件8403是与使用者的脸(额头、脸颊等)接触的部分。通过使缓冲构件8403与使用者的脸密接，可以防止漏光，从而可以进一步提高沉浸感。缓冲构件8403优选使用柔软的材料以在使用者装上头戴显示器8400时与使用者的脸密接。例如，可以使用橡胶、硅酮橡胶、聚氨酯、海绵等材料。另外，当作为缓冲构件8403使用用布或皮革(天然皮革或合成皮革)等覆盖海绵等的表面的构件时，在使用者的脸和缓冲构件8403之间不容易产生空隙，从而可以适当地防止漏光。另外，在使用这种材料时，不仅让使用者感觉亲肤，而且当在较冷的季节等装上的情况下不让使用者感到寒意，所以是优选的。在缓冲构件8403或安装部8402等接触于使用者的皮肤的构件采用可拆卸的结构时，容易进行清洗及交换，所以是优选的。

图39A至图39F所示的电子设备包括框体9000、显示部9001、扬声器9003、操作键9005(包括电源开关或操作开关)、连接端子9006、传感器9007(该传感器具有测量如下因素的功能：力、位移、位置、速度、加速度、角速度、转速、距离、光、液、磁、温度、化学物质、声音、时间、硬度、电场、电流、电压、电力、辐射线、流量、湿度、倾斜度、振动、气味或红外线)、麦克风9008等。

图39A至图39F所示的电子设备具有各种功能。例如，可以具有如下功能：将各种信息(静态图像、动态图像及文字图像等)显示在显示部上的功能；触摸面板的功能；显示日历、日期或时间等的功能；通过利用各种软件(程序)控制处理的功能；进行无线通信的功能；读出储存在存储介质中的程序或数据并进行处理的功能；等。注意，电子设备可具有的功能不局限于上述功能，而可以具有各种功能。电子设备可以包括多个显示部。此外，也可以在电子设备中设置照相机等而使其具有如下功能：拍摄静态图像或动态图像，且将所拍摄的图像储存在存储介质(外部存储介质或内置于照相机的存储介质)中的功能；将所拍摄的图像显示在显示部上的功能；等。

可以将本发明的一个方式的显示装置用于显示部9001。

下面，详细地说明图39A至图39F所示的电子设备。

图39A是示出便携式信息终端9101的立体图。可以将便携式信息终端9101例如用作智能手机。注意，在便携式信息终端9101中，也可以设置扬声器9003、连接端子9006、传感器9007等。此外，作为便携式信息终端9101，可以将文字及图像信息显示在其多个面上。在图39A中示出显示三个图标9050的例子。此外，可以将以虚线的矩形示出的信息9051显示在显示部9001的其他面上。作为信息9051的一个例子，可以举出提示收到电子邮件、SNS或电话等的信息；电子邮件、SNS等的标题；电子邮件或SNS等的发送者姓名；日期；时间；电池余量；以及天线接收信号强度的显示等。或者，可以在显示有信息9051的位置上显示图标9050等。

图39B是示出便携式信息终端9102的立体图。便携式信息终端9102具有将信息显示在显示部9001的三个以上的面上的功能。在此，示出信息9052、信息9053、信息9054分别显示于不同的面上的例子。例如，在将便携式信息终端9102放在上衣口袋里的状态下，使用者能够确认显示在从便携式信息终端9102的上方看到的位置上的信息9053。使用者可以确认到该显示而无需从口袋里拿出便携式信息终端9102，由此能够判断是否接电话。

图39C是示出手表型便携式信息终端9200的立体图。可以将便携式信息终端9200例如用作智能手表(注册商标)。此外，显示部9001的显示面弯曲，可沿着其弯曲的显示面进行显示。此外，便携式信息终端9200例如通过与可进行无线通信的耳麦相互通信可以进行免提通话。此外，通过利用连接端子9006，便携式信息终端9200可以与其他信息终端进行数据传输及充电。充电也可以通过无线供电进行。

图39D至图39F是示出可以折叠的便携式信息终端9201的立体图。此外，图39D是将便携式信息终端9201展开的状态的立体图、图39F是折叠的状态的立体图、图39E是从图39D的状态和图39F的状态中的一个转换成另一个时中途的状态的立体图。便携式信息终端9201在折叠状态下可携带性好，而在展开状态下因为具有无缝拼接较大的显示区域所以显示的浏览性强。便携式信息终端9201所包括的显示部9001被由铰链9055连结的三个框体9000支撑。显示部9001例如可以在曲率半径0.1mm以上且150mm以下的范围弯曲。

[符号说明]

100：显示装置、100A：显示装置、100B：显示装置、100C：显示装置、101：衬底、110：发光元件、110B：发光元件、110G：发光元件、110R：发光元件、111：像素电极、111B：像素电极、111f：导电膜、111G：像素电极、111R：像素电极、112：EL层、112B：EL层、112Bf：EL膜、112G：EL层、112Gf：EL膜、112R：EL层、112Rf：EL膜、113：公共电极、114：公共层、115：光学调整层、115B：光学调整层、115G：光学调整层、115R：光学调整层、121：保护层、130：绝缘层、130f：绝缘膜、131：绝缘层、131f：绝缘膜、143a：抗蚀剂掩模、143b：抗蚀剂掩模、143c：抗蚀剂掩模、144a：牺牲膜、144b：牺牲膜、144c：牺牲膜、145：牺牲层、145a：牺牲层、145b：牺牲层、145c：牺牲层、146a：保护膜、146b：保护膜、146c：保护膜、147：保护层、147a：保护层、147b：保护层、147c：保护层、201：晶体管、202：晶体管、204：连接部、205：晶体管、209：晶体管、210：晶体管、211：绝缘层、212：绝缘层、213：绝缘层、214：绝缘层、215：绝缘层、218：绝缘层、221：导电层、222a：导电层、222b：导电层、223：导电层、225：绝缘层、228：区域、231：半导体层、231i：沟道形成区域、231n：低电阻区域、240：电容器、241：导电层、242：连接层、243：绝缘层、245：导电层、251：导电层、252：导电层、254：绝缘层、255：绝缘层、256：插头、261：绝缘层、262：绝缘层、263：绝缘层、264：绝缘层、265：绝缘层、271：插头、274：插头、274a：导电层、274b：导电层、280：显示模块、281：显示部、282：电路部、283：像素电路部、283a：像素电路、284：像素部、284a：像素、285：端子部、286：布线部、290：FPC、291：衬底、292：衬底、301：衬底、310：晶体管、311：导电层、312：低电阻区域、313：绝缘层、314：绝缘层、315：元件分离层、320：晶体管、321：半导体层、323：绝缘层、324：导电层、325：导电层、326：绝缘层、327：导电层、328：绝缘层、329：绝缘层、331：衬底、332：绝缘层、400A：显示装置、400A-2：显示装置、400B：显示装置、400B-2：显示装置、400C：显示装置、400C-2：显示装置、400D：显示装置、400D-2：显示装置、400E：显示装置、400E-2：显示装置、401：层、411a：像素电极、411b：像素电极、411c：像素电极、414：层、415a：光学调整层、415b：光学调整层、415c：光学调整层、416：保护层、416a：EL层、416b：EL层、416c：EL层、417：遮光层、419：树脂层、420：衬底、421：绝缘层、421a：绝缘层、421b：绝缘层、430a：发光元件、430b：发光元件、430c：发光元件、442：粘合层、443：空间、451：衬底、452：衬底、453：衬底、454：衬底、455：粘合层、462：显示部、464：电路、465：布线、466：导电层、472：FPC、473：IC、672：电极、686：EL层、686a：EL层、686b：EL层、688：电极、4411：发光层、4412：发光层、4413：发光层、4420：层、4420-1：层、4420-2：层、4430：层、4430-1：层、4430-2：层、6500：电子设备、6501：框体、6502：显示部、6503：电源按钮、6504：按钮、6505：扬声器、6506：麦克风、6507：照相机、6508：光源、6510：保护构件、6511：显示面板、6512：光学构件、6513：触摸传感器面板、6515：FPC、6516：IC、6517：印刷电路板、6518：电池、7000：显示部、7100：电视装置、7101：框体、7103：支架、7111：遥控操作机、7200：笔记本型个人计算机、7211：框体、7212：键盘、7213：指向装置、7214：外部连接端口、7300：数字标牌、7301：框体、7303：扬声器、7311：信息终端设备、7400：数字标牌、7401：柱子、7411：信息终端设备、8000：照相机、8001：框体、8002：显示部、8003：操作按钮、8004：快门按钮、8006：透镜、8100：取景器、8101：框体、8102：显示部、8103：按钮、8200：头戴显示器、8201：安装部、8202：透镜、8203：主体、8204：显示部、8205：电缆、8206：电池、8300：头戴显示器、8301：框体、8302：显示部、8304：固定工具、8305：透镜、8400：头戴显示器、8401：框体、8402：安装部、8403：缓冲构件、8404：显示部、8405：透镜、9000：框体、9001：显示部、9003：扬声器、9005：操作键、9006：连接端子、9007：传感器、9008：麦克风、9050：图标、9051：信息、9052：信息、9053：信息、9054：信息、9055：铰链、9101：便携式信息终端、9102：便携式信息终端、9200：便携式信息终端、9201：便携式信息终端。

Claims

1.一种显示装置，包括：

绝缘层；

第一下部电极；

所述第一下部电极上的第一EL层；

第二下部电极；

所述第二下部电极上的第二EL层；以及

所述第一EL层上、所述第二EL层上及所述绝缘层上的上部电极，

其中，所述第一EL层包括第一发光层，

所述第二EL层包括第二发光层，

所述第一EL层与所述第二EL层相邻，

所述绝缘层包括树脂或所述树脂的前体，

并且，所述绝缘层具有夹在所述第一EL层所包括的第一端面与所述第二EL层所包括的第二端面之间的区域。

2.根据权利要求1所述的显示装置，

其中所述树脂包含选自丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂和酚醛树脂中的一个以上，

并且所述树脂的前体为包含选自丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、环氧树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺酰胺树脂、硅氧烷树脂、苯并环丁烯类树脂和酚醛树脂中的一个以上的树脂的前体。

3.根据权利要求1或2所述的显示装置，

其中所述绝缘层与所述第一端面及所述第二端面接触。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的显示装置，

其中所述第一EL层的顶面、所述第二EL层的顶面及所述绝缘层的顶面对齐。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的显示装置，

其中所述绝缘层的顶面具有其高度低于所述第一EL层的顶面及所述第二EL层的顶面的区域。

6.根据权利要求5所述的显示装置，

其中所述绝缘层的顶面具有凹部。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的显示装置，

其中所述绝缘层的顶面具有凸部。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的显示装置，还包括具有电子注入层或空穴注入层的公共层，

其中所述公共层与所述第一EL层的顶面、所述第二EL层的顶面及所述绝缘层的顶面接触。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的显示装置，还包括具有电子注入层的公共层，

其中所述第一EL层包括夹在所述第一发光层与所述公共层之间的第一电子传输层，

所述第二EL层包括夹在所述第二发光层与所述公共层之间的第二电子传输层，

并且所述公共层与所述第一EL层的顶面、所述第二EL层的顶面及所述绝缘层的顶面接触。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的显示装置，还包括具有电子注入层及电子传输层的公共层，

11.根据权利要求1至10中任一项所述的显示装置，

其中所述第一发光层包含发射选自蓝色、紫色、蓝紫色、绿色、黄绿色、黄色、橙色和红色中的第一颜色的光的发光物质，

并且所述第二发光层包含发射选自蓝色、紫色、蓝紫色、绿色、黄绿色、黄色、橙色和红色并与所述第一颜色不同的第二颜色的光的发光物质。

12.一种显示装置，包括：

衬底上的多个像素，

其中，所述多个像素的每一个都包括发光元件，

所述发光元件包括像素电极、所述像素电极上的EL层及所述EL层上的公共电极，

所述多个像素中的每个发光元件共通使用所述多个像素中的所述公共电极，

在所述多个像素中相邻的像素的所述像素电极由包含无机材料的第一绝缘层及包含有机材料的第二绝缘层分离，

所述像素电极的侧面及所述EL层的侧面具有接触于所述第一绝缘层的区域，

并且，所述第二绝缘层接触于所述第一绝缘层上且配置在所述公共电极的下方。

13.一种显示装置，包括：

第一像素；以及

与所述第一像素相邻地配置的第二像素，

其中，所述第一像素包括具有第一像素电极、所述第一像素电极上的第一EL层及所述第一EL层上的公共电极的第一发光元件，

所述第二像素包括具有第二像素电极、所述第二像素电极上的第二EL层及所述第二EL层上的所述公共电极的第二发光元件，

所述第一像素电极的侧面、所述第一EL层的侧面、所述第二像素电极的侧面及所述第二EL层的侧面具有与第一绝缘层接触的区域，

所述显示装置包括接触于所述第一绝缘层上且配置在所述公共电极的下方的第二绝缘层，

所述第一绝缘层包含无机材料，

并且，所述第二绝缘层包含有机材料。

14.一种显示装置，包括：

第一像素；以及

与所述第一像素相邻地配置的第二像素，

所述第一绝缘层包含无机材料，

所述第二绝缘层包含有机材料，

并且，所述第一EL层的顶面、所述第二EL层的顶面、所述第一绝缘层的顶面及所述第二绝缘层的顶面具有接触于所述公共电极的区域。

15.一种显示装置，包括：

第一像素；以及

与所述第一像素相邻地配置的第二像素，

其中，所述第一像素包括具有第一像素电极、所述第一像素电极上的第一EL层、所述第一EL层上的公共层及所述公共层上的公共电极的第一发光元件，

所述第二像素包括具有第二像素电极、所述第二像素电极上的第二EL层、所述第二EL层上的所述公共层及所述公共层上的公共电极的第二发光元件，

所述第一绝缘层包含无机材料，

所述第二绝缘层包含有机材料，

并且，所述第一EL层的顶面、所述第二EL层的顶面、所述第一绝缘层的顶面及所述第二绝缘层的顶面具有接触于所述公共层的区域。

16.根据权利要求13至15中任一项所述的显示装置，

其中在所述显示装置的截面中，所述第一绝缘层具有与所述第一EL层的顶面或所述第二EL层的顶面相比向上方突出的区域。

17.根据权利要求13至15中任一项所述的显示装置，

其中在所述显示装置的截面中，所述第一EL层或所述第二EL层具有与所述第一绝缘层的顶面相比向上方突出的区域。

18.根据权利要求12至15中任一项所述的显示装置，

其中在所述显示装置的截面中，所述第二绝缘层的顶面具有凹曲面形状。

19.根据权利要求12至15中任一项所述的显示装置，

其中在所述显示装置的截面中，所述第二绝缘层的顶面具有凸曲面形状。