CN116839499B - 一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 - Google Patents
一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116839499B CN116839499B CN202211368051.0A CN202211368051A CN116839499B CN 116839499 B CN116839499 B CN 116839499B CN 202211368051 A CN202211368051 A CN 202211368051A CN 116839499 B CN116839499 B CN 116839499B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- calibration
- axis
- scanning
- coordinate system
- error
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 12
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 10
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 6
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 claims description 3
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims description 3
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2433—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种大视野微尺寸2D及3D测量标定方法，包括以下：一、理论分析；二、误差影响分析：(1)传感器(u、v、w)光轴(w)与x轴垂直度误差；(2)传感器(u、v、w)光轴(w)与y轴垂直度误差；(3)(u、v)与(x、y)与(a、b)坐标系转换——3D近似为2D可行性说明；(4)X轴方向pitch对测量影响；(5)y轴方向pitch对测量影响；三、2D标定方法设计；四、3D标定方法设计。本发明中通过理论结合实际，提出了一种用2D标定+3D标定进行误差补偿的方法，在误差容许范围内进行了近似设定，部分区域利用2D补偿替代了3D补偿，降低了标定难度，同时不失精度。从而可以实现现场快速标定，同时降低了对标定工具的要求。
Description
技术领域
本发明涉及3D测量标定领域，特别涉及一种大视野微尺寸2D及3D测量标定方法。
背景技术
XY-table为载体的3D检测，用于大视野带位移台平移拼接的高精度3D测量领域，误差来源的原因即误差分析的内容；
在XY-table为载体的3D检测中，误差主要有三个来源，具体如下所示：
1、传感器本身分辨率及线性度；
2、传感器安装误差造成的检测误差：
1)传感器光轴与XY平面垂直度；
2)传感器扫描线与扫描方向的垂直度；
3、位移轴本身重复定位精度、移动过程中的pitch、yaw误差；
上述误差1中，本文没有进行分析，其原因为是选用传感器本身的特性所决定的，不需要集成方进行分析。
原标定方法是一个纯3d的转换关系，它表征了mn两个移动轴经过uvw中间转换后对abc三个测量结果的影响。如果进行3d标定相关参数高达16+16＝32个。而且进行3d标定需要标定板在z(c)轴方向具备很高的制造精度，不易制作，标定难度高，对标定工具的要求也高，导致标定效率低下；
因而本方法基于以下事实进行简化：1)3d检测对xy方向精度要求较低；2)w轴与c轴基本平行，因而可以直接用w轴度数来近似c轴数值；3)系统z轴总行程不超过0.1mm，对ab的影响可以忽略。由此三轴-三轴的标定关系转换为mn-uv-ab(2d标定)与mn-w-c(3d标定)两组关系。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种大视野微尺寸2D及3D测量标定方法。
本发明提供了如下的技术方案：
本发明提供一种大视野微尺寸2D及3D测量标定方法，包括以下：
一、理论分析：
预定义坐标系如下：
传感器(u、v、w)坐标系，w为高度方向，u为扫描方向，v为横向点数据方向；
运动坐标系为(x、y、z)坐标系，x为扫描方向，z为xy垂向，y为横向换列扫描方向；
标定板坐标系(标定后的世界坐标系)(a、b、c)；
二、误差影响分析：
(1)传感器(u、v、w)光轴(w)与x轴垂直度误差：
即位移轴沿x移动过程中产生了沿传感器w方向分量，此过程会造成原本扫描出的平面变形成斜面，但由于本传感器为3D传感器，并采用了点云分析的方法进行最终结果求取，故此误差不会影响检测精度；但需要注意的时候此误差会造成测量量程变大，需要控制此误差在25um以内，通过平面标定板+机械调整的方法实现；
(2)传感器(u、v、w)光轴(w)与y轴垂直度误差：
即位移轴沿y移动过程中产生了沿传感器w方向分量，y移动为换列扫描产生的移动的给，此过程会造成第i列于第i+1列扫描数据之间产生断层；需要通过校准给出断层的高度差；
标定思路为：对平面标定板不同y坐标下进行扫描，得到多组平面数据，求取同一物理位置在不同数据组内的高度差，根据此高度差/y移动量得到标定参数；
(3)(u、v)与(x、y)与(a、b)坐标系转换——3D近似为2D可行性说明：
为了方便标定，在(2)中单独进行了xy对w的影响；考虑到c与w对结果的影响可简化为投影关系，假设c、w夹角θ＝1°，由此可知影响为：
1-cosθ＝0.000152；
设bump高度为200um，则引入误差为0.03um，考虑实际安装误差应当小于1°，故此处可以忽略采用abc系或者uvw系对高度的影响；
故在(u、v)与(x、y)与(a、b)层面标定，简化为2D投影标定；
标定数学模型与手眼标定eye-in-hand类似，则有公式：
Pab＝Txy2abTend2xyTuv2endPuv；
则有其中Puv表示AB……各点在图像传感器中的坐标；Tuv2end表示uv坐标系转化为末端坐标系的转换矩阵，恒定未知量；Tend2xy表示末端坐标系转化到xy坐标系的转换矩阵，需要指出的是，此处转换矩阵形式为：
且Tx，Ty即为xy读数，为已知量(但每个点会有变化)；
Txy2ab为xy坐标系到ab坐标系的转换矩阵，恒定未知量；，Pab为ab坐标系坐标为已知量；由此可知上述Pab、Tend2xy、Puv为已知量，通过选取不同点可联立方程进行未知量Txy2ab、Tuv2end的求解；
(4)X轴方向pitch对测量影响：
X轴为扫描轴，X轴pitch对测量影响如下：
实际直接造成w值的差异；
实际过程中pitch对w的影响是连续的导致平面变成波浪曲面，且具备一定复现性；
从两个方面考虑解决此影响:
(4.1)通过高精度平面标定板进行波浪标定，将波浪曲面拉平成平面；标定精度，取决于pitch再现性、标定板平面度；为减少对标定板的要求，可以对标定板不同区域进行扫描取多次数据平均值以降低误差；
(4.2)同时考虑到移动特性，x轴pitch对高度的影响应当在靠近x起始和结束的位置处更为明显；
(5)y轴方向pitch对测量影响：
影响与x类似，但考虑到实际工作过程中y轴为列切换轴，故其影响其实可能表现为(2)中一部分，故在(2)中标定结果的非线性部分即认定为ypitch对检测的影响；
三、2D标定方法设计
在整个扫描区间内，进行分散取样，尽可能覆盖尽量多且均布的采样空间；
标定板设计：4*4＝16个光刻区域，与上述采样分散且均匀的要求相一致；
在16个的区域大致进行扫描，每个区域获取3-4个点，保证标定板不发生偏动，则针对这些点Pi：
(1)图像坐标(ui，vi)通过图像处理算法得到(获取图像坐标)；
(2)扫描起始位置处的(xi，yi)作为末端坐标系原点，可以通过运动轴光栅尺脉冲数读取到；
(3)对应点在标定板的行列数即世界坐标(ai，bi)通过特征校准得到；
带入误差影响分析中步骤(3)的公式进行联立求解；
四、3D标定方法设计如下：
(1)标定板要求
高精度石英玻璃制作，磨制精度要求：(单侧)平面度不大于50nm；尺寸为100*300mm；
(2)将标定板置于设备载物台上，按照如下图方式进行多轮扫描：
2.1)每轮扫描移动方向行进100mm+长度覆盖整个标定板范围；
2.2)多轮扫描覆盖整个标定板300mm宽度方向；
2.3)多轮扫描间重叠区域约为扫描宽度的一半；
2.4)每轮扫描前记录当前移动轴坐标(mi，ni)；
(3)每一轮扫描后得到点云数据，并将点云数据的(ui，vi)根据2D标定结果转化为(ai，bi)；
(4)在(ai，bi，wi)的数据组下，拟合各轮的扫描数据平面；
(5)计算各轮扫描数据拟合平面在w方向的距离差，以第一组为0点，得到各轮的平面距离第一组平面的距离值di，则-di即为对应位置的补偿值；
(6)将各轮扫描平面的补偿值与ni进行关联，得到(ni，-di)的映射表；
(7)在实际检测过程中关于w方向补偿，通过查表—插值的方式完成特定(m，n)位置下的高度补偿。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
本发明中通过理论结合实际，提出了一种用2D标定+3D标定进行误差补偿的方法，在误差容许范围内进行了近似设定，部分区域利用2D补偿替代了3D补偿，降低了标定难度，同时不失精度。从而可以实现现场快速标定，同时降低了对标定工具的要求。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明的实施例示意图之一；
图2是本发明的实施例示意图之二；
图3是本发明的实施例示意图之三；
图4是本发明的实施例示意图之四；
图5是本发明的实施例示意图之五；
图6是本发明的实施例示意图之六；
图7是本发明的实施例示意图之七；
图8是本发明的实施例示意图之八。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。其中附图中相同的标号全部指的是相同的部件。
实施例1
如图1-8，本发明提供一种大视野微尺寸2D及3D测量标定方法，包括以下：
一、理论分析：
预定义坐标系如下：
传感器(u、v、w)坐标系，w为高度方向，u为扫描方向，v为横向点数据方向；
运动坐标系为(x、y、z)坐标系，x为扫描方向，z为xy垂向，y为横向换列扫描方向；
标定板坐标系(标定后的世界坐标系)(a、b、c)；
二、误差影响分析：
(1)传感器(u、v、w)光轴(w)与x轴垂直度误差：
即位移轴沿x移动过程中产生了沿传感器w方向分量，此过程会造成原本扫描出的平面变形成斜面，但由于本传感器为3D传感器，并采用了点云分析的方法进行最终结果求取，故此误差不会影响检测精度。但需要注意的时候此误差会造成测量量程变大，需要控制此误差在25um以内，通过平面标定板+机械调整的方法实现，如图1所示；
(2)传感器(u、v、w)光轴(w)与y轴垂直度误差：
即位移轴沿y移动过程中产生了沿传感器w方向分量，y移动为换列扫描产生的移动的给，此过程会造成第i列于第i+1列扫描数据之间产生断层。需要通过校准给出断层的高度差；如图2所示：
标定思路为：对平面标定板不同y坐标下进行扫描，得到多组平面数据，求取同一物理位置在不同数据组内的高度差，根据此高度差/y移动量得到标定参数，如图3所示；
(3)(u、v)与(x、y)与(a、b)坐标系转换——3D近似为2D可行性说明：
为了方便标定，在(2)中单独进行了xy对w的影响。考虑到c与w对结果的影响可简化为投影关系，假设c、w夹角θ＝1°，由此可知影响为：
1-cosθ＝0.000152；
设bump高度为200um，则引入误差为0.03um，考虑实际安装误差应当小于1°，故此处可以忽略采用abc系或者uvw系对高度的影响；
故在(u、v)与(x、y)与(a、b)层面标定，简化为2D投影标定；
标定数学模型与手眼标定eye-in-hand类似，则有公式：
Pab＝Txy2abTend2xyTuv2endPuv；
则有其中Puv表示AB……各点在图像传感器中的坐标；Tuv2end表示uv坐标系转化为末端坐标系的转换矩阵，恒定未知量；Tend2xy表示末端坐标系转化到xy坐标系的转换矩阵，需要指出的是，此处转换矩阵形式为：
且Tx，Ty即为xy读数，为已知量(但每个点会有变化)；
Txy2ab为xy坐标系到ab坐标系的转换矩阵，恒定未知量；，Pab为ab坐标系坐标为已知量。由此可知上述Pab、Tend2xy、Puv为已知量，通过选取不同点可联立方程进行未知量Txy2ab、Tuv2end的求解，如图4所示；
(4)X轴方向pitch对测量影响：
X轴为扫描轴，X轴pitch对测量影响如下，如图5、图6所示：
实际直接造成w值的差异；
实际过程中pitch对w的影响是连续的导致平面变成波浪曲面，且具备一定复现性；
从两个方面考虑解决此影响:
(4.1)通过高精度平面标定板进行波浪标定，将波浪曲面拉平成平面，如图7所示；标定精度，取决于pitch再现性、标定板平面度。为减少对标定板的要求，可以对标定板不同区域进行扫描取多次数据平均值以降低误差；
(4.2)同时考虑到移动特性，x轴pitch对高度的影响应当在靠近x起始和结束的位置处更为明显；
(5)y轴方向pitch对测量影响：
影响与x类似，但考虑到实际工作过程中y轴为列切换轴，故其影响其实可能表现为(2)中一部分，故在(2)中标定结果的非线性部分即认定为ypitch对检测的影响；
三、2D标定方法设计
在整个扫描区间内，进行分散取样，尽可能覆盖尽量多且均布的采样空间；
标定板设计：4*4＝16个光刻区域，与上述采样分散且均匀的要求相一致；
在16个的区域大致进行扫描，每个区域获取3-4个点，保证标定板不发生偏动，则针对这些点Pi：
(1)图像坐标(ui，vi)通过图像处理算法得到(获取图像坐标)；
(2)扫描起始位置处的(xi，yi)作为末端坐标系原点，可以通过运动轴光栅尺脉冲数读取到；
(3)对应点在标定板的行列数即世界坐标(ai，bi)通过特征校准得到；
带入误差影响分析中步骤(3)的公式进行联立求解；
四、3D标定方法设计如下：
(1)标定板要求
高精度石英玻璃制作，磨制精度要求：(单侧)平面度不大于50nm；尺寸为100*300mm；
(2)将标定板置于设备载物台上，按照如下图方式进行多轮扫描：
2.1)每轮扫描移动方向行进100mm+长度覆盖整个标定板范围；
2.2)多轮扫描覆盖整个标定板300mm宽度方向；
2.3)多轮扫描间重叠区域约为扫描宽度的一半；
2.4)每轮扫描前记录当前移动轴坐标(mi，ni)；
(3)每一轮扫描后得到点云数据，并将点云数据的(ui，vi)根据2D标定结果转化为(ai，bi)；
(4)在(ai，bi，wi)的数据组下，拟合各轮的扫描数据平面；
(5)计算各轮扫描数据拟合平面在w方向的距离差，以第一组为0点，得到各轮的平面距离第一组平面的距离值di，则-di即为对应位置的补偿值；
(6)将各轮扫描平面的补偿值与ni进行关联，得到(ni，-di)的映射表；
(7)在实际检测过程中关于w方向补偿，通过查表—插值的方式完成特定(m，n)位置下的高度补偿；
其扫描示意图如图8所示。
进一步的，本方案中各项步骤说明如下：
一从基础原理分析了大视野带位移台平移拼接的高精度3D测量的精度会受哪些条件影响；
二原理结合实际分析了安装误差、重复定位误差如何造成最终结果测量误差；
三和四中提出了一种用2D标定+3D标定进行误差补偿的方法。
本发明中通过理论结合实际，提出了一种用2D标定+3D标定进行误差补偿的方法，在误差容许范围内进行了近似设定，部分区域利用2D补偿替代了3D补偿，降低了标定难度，同时不失精度。从而可以实现现场快速标定，同时降低了对标定工具的要求。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种大视野微尺寸2D及3D测量标定方法，其特征在于，包括以下：
一、理论分析：
预定义坐标系如下：
传感器(u、v、w)坐标系，w为高度方向，u为扫描方向，v为横向点数据方向；
运动坐标系为(x、y、z)坐标系，x为扫描方向，z为xy垂向，y为横向换列扫描方向；
标定板坐标系(a、b、c)；
二、误差影响分析：
(1)传感器(u、v、w)光轴(w)与x轴垂直度误差：
即位移轴沿x移动过程中产生了沿传感器w方向分量，此过程会造成原本扫描出的平面变形成斜面，但由于所述传感器为3D传感器，并采用了点云分析的方法进行最终结果求取，故此误差不会影响检测精度；但需要注意的时候此误差会造成测量量程变大，需要控制此误差在25um以内，通过平面标定板加机械调整的方法实现；
(2)传感器(u、v、w)光轴(w)与y轴垂直度误差：
即位移轴沿y移动过程中产生了沿传感器w方向分量，y移动为换列扫描产生的移动的给，此过程会造成第i列于第i+1列扫描数据之间产生断层；需要通过校准给出断层的高度差；
标定思路为：对平面标定板不同y坐标下进行扫描，得到多组平面数据，求取同一物理位置在不同数据组内的高度差，根据此高度差除以y坐标轴移动量得到标定参数；
(3)(u、v)与(x、y)与(a、b)坐标系转换——3D近似为2D可行性说明：
为了方便标定，在(2)中单独进行了xy对w的影响；考虑到c与w对结果的影响可简化为投影关系，假设c、w夹角θ＝1°，由此可知影响为：
1-cosθ＝0.000152；
设bump高度为200um，则引入误差为0.03um，考虑实际安装误差应当小于1°，故此处可以忽略采用abc系或者uvw系对高度的影响；
故在(u、v)与(x、y)与(a、b)层面标定，简化为2D投影标定；
标定数学模型与手眼标定eye-in-hand类似，则有公式：
Pab＝Txy2abTend2xyTuv2endPuv；
则有其中Puv表示AB之间测量的各点在图像传感器中的坐标；Tuv2end表示uv坐标系转化为末端坐标系的转换矩阵，恒定未知量；Tend2xy表示末端坐标系转化到xy坐标系的转换矩阵，需要指出的是，此处转换矩阵形式为：
且Tx，Ty即为xy读数，为已知量；
Txy2ab为xy坐标系到ab坐标系的转换矩阵，为未知量，Pab为ab坐标系坐标，为已知量；由此可知上述Pab、Tend2xy、Puv为已知量，通过选取不同点可联立方程进行未知量Txy2ab、Tuv2end的求解；
(4)X轴方向pitch对测量影响：
X轴为扫描轴，X轴pitch对测量影响如下：
实际直接造成w值的差异；
实际过程中pitch对w的影响是连续的导致平面变成波浪曲面，且具备一定复现性；
从两个方面考虑解决此影响:
(4.1)通过高精度平面标定板进行波浪标定，将波浪曲面拉平成平面；标定精度，取决于pitch再现性、标定板平面度；为减少对标定板的要求，可以对标定板不同区域进行扫描取多次数据平均值以降低误差；
(4.2)同时考虑到移动特性，x轴pitch对高度的影响应当在靠近x起始和结束的位置处更为明显；
(5)y轴方向pitch对测量影响：
影响与x类似，但考虑到实际工作过程中y轴为列切换轴，故其影响其实可能表现为(2)中一部分，故在(2)中标定结果的非线性部分即认定为y轴pitch对检测的影响；
三、2D标定方法设计
在整个扫描区间内，进行分散取样，尽可能覆盖尽量多且均布的采样空间；
标定板设计：4*4＝16个光刻区域，与上述采样分散且均匀的要求相一致；
在16个的区域大致进行扫描，每个区域获取3-4个点，保证标定板不发生偏动，则针对这些点Pi：
(1)图像坐标(ui，vi)通过图像处理算法得到；
(2)扫描起始位置处的(xi，yi)作为末端坐标系原点，可以通过运动轴光栅尺脉冲数读取到；
(3)对应点在标定板的行列数即世界坐标(ai，bi)通过特征校准得到；
带入误差影响分析中步骤(3)的公式进行联立求解；
四、3D标定方法设计如下：
(1)标定板要求
高精度石英玻璃制作，磨制精度要求：单侧平面度不大于50nm；尺寸为100*300mm；
(2)将标定板置于设备载物台上，按照如下图方式进行多轮扫描：
2.1)每轮扫描移动方向行进100mm+长度覆盖整个标定板范围；
2.2)多轮扫描覆盖整个标定板300mm宽度方向；
2.3)多轮扫描间重叠区域约为扫描宽度的一半；
2.4)每轮扫描前记录当前移动轴坐标(mi，ni)；
(3)每一轮扫描后得到点云数据，并将点云数据的(ui，vi)根据2D标定结果转化为(ai，bi)；
(4)在(ai，bi，wi)的数据组下，拟合各轮的扫描数据平面；
(5)计算各轮扫描数据拟合平面在w方向的距离差，以第一组为0点，得到各轮的平面距离第一组平面的距离值di，则-di即为对应位置的补偿值；
(6)将各轮扫描平面的补偿值与ni进行关联，得到(ni，-di)的映射表；
(7)在实际检测过程中关于w方向补偿，通过查表—插值的方式完成特定(m，n)位置下的高度补偿。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211368051.0A CN116839499B (zh) | 2022-11-03 | 2022-11-03 | 一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211368051.0A CN116839499B (zh) | 2022-11-03 | 2022-11-03 | 一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN116839499A CN116839499A (zh) | 2023-10-03 |
| CN116839499B true CN116839499B (zh) | 2024-04-30 |
Family
ID=88164064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211368051.0A Active CN116839499B (zh) | 2022-11-03 | 2022-11-03 | 一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN116839499B (zh) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6731283B1 (en) * | 1997-12-31 | 2004-05-04 | Siemens Corporate Research, Inc. | C-arm calibration method utilizing aplanar transformation for 3D reconstruction in an imaging system |
| CN101334267A (zh) * | 2008-07-25 | 2008-12-31 | 西安交通大学 | 数字影像测头矢量坐标变换标定与误差修正方法及其装置 |
| CN109100741A (zh) * | 2018-06-11 | 2018-12-28 | 长安大学 | 一种基于3d激光雷达及图像数据的目标检测方法 |
| CN109300162A (zh) * | 2018-08-17 | 2019-02-01 | 浙江工业大学 | 一种基于精细化雷达扫描边缘点的多线激光雷达和相机联合标定方法 |
| CN109794938A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-24 | 南京航空航天大学 | 一种适用于曲面结构的机器人制孔误差补偿装置及其方法 |
| CN111060025A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-04-24 | 上海交通大学 | 五轴机床原位安装线激光传感器的位姿标定方法及系统 |
| CN113281723A (zh) * | 2021-05-07 | 2021-08-20 | 北京航空航天大学 | 一种基于AR tag的3D激光雷达与相机间结构参数的标定方法 |
| WO2021238617A1 (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-02 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 工业机器人绝对精度标定系统及标定方法 |
| CN115077378A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-20 | 上海中车瑞伯德智能系统股份有限公司 | 一种应用于大型工件测量的线扫激光的手眼标定方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2224204B1 (de) * | 2004-12-16 | 2021-05-26 | Werth Messtechnik GmbH | Verfahren zum Messen von Werkstückgeometrien mit einem Koordinatenmessgerät |
| CA2819956C (en) * | 2013-07-02 | 2022-07-12 | Guy Martin | High accuracy camera modelling and calibration method |
| EP2983131A1 (en) * | 2014-08-06 | 2016-02-10 | Thomson Licensing | Method and device for camera calibration |
| CN109489580B (zh) * | 2018-12-10 | 2021-09-24 | 华东理工大学 | 一种航空发动机叶片表面加工的在机点云检测及补偿方法 |
-
2022
- 2022-11-03 CN CN202211368051.0A patent/CN116839499B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6731283B1 (en) * | 1997-12-31 | 2004-05-04 | Siemens Corporate Research, Inc. | C-arm calibration method utilizing aplanar transformation for 3D reconstruction in an imaging system |
| CN101334267A (zh) * | 2008-07-25 | 2008-12-31 | 西安交通大学 | 数字影像测头矢量坐标变换标定与误差修正方法及其装置 |
| CN109100741A (zh) * | 2018-06-11 | 2018-12-28 | 长安大学 | 一种基于3d激光雷达及图像数据的目标检测方法 |
| CN109300162A (zh) * | 2018-08-17 | 2019-02-01 | 浙江工业大学 | 一种基于精细化雷达扫描边缘点的多线激光雷达和相机联合标定方法 |
| CN109794938A (zh) * | 2019-02-01 | 2019-05-24 | 南京航空航天大学 | 一种适用于曲面结构的机器人制孔误差补偿装置及其方法 |
| CN111060025A (zh) * | 2019-12-23 | 2020-04-24 | 上海交通大学 | 五轴机床原位安装线激光传感器的位姿标定方法及系统 |
| WO2021238617A1 (zh) * | 2020-05-28 | 2021-12-02 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 工业机器人绝对精度标定系统及标定方法 |
| CN113281723A (zh) * | 2021-05-07 | 2021-08-20 | 北京航空航天大学 | 一种基于AR tag的3D激光雷达与相机间结构参数的标定方法 |
| CN115077378A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-20 | 上海中车瑞伯德智能系统股份有限公司 | 一种应用于大型工件测量的线扫激光的手眼标定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN116839499A (zh) | 2023-10-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111992911B (zh) | 基于旁轴视觉结构振镜拼图加工的视觉定位方法 | |
| CN1278095C (zh) | 探针的校准 | |
| CN108072319B (zh) | 一种运动平台的快速标定系统及标定方法 | |
| CN110681990A (zh) | 一种振镜校正系统及其校正方法 | |
| CN112415493A (zh) | 三维扫描激光雷达坐标误差修正方法 | |
| US4701053A (en) | Mark position detecting method and apparatus | |
| CN110653489A (zh) | 一种多振镜快速校准方法 | |
| CN111077668A (zh) | 一种大幅面激光扫描系统的校正方法 | |
| CN112371998B (zh) | 一种选择性激光熔化设备激光振镜的误差校准系统及方法 | |
| CN1851522A (zh) | 激光扫描共聚焦显微镜扫描畸变现象的全场校正方法 | |
| CN115666125A (zh) | 基于机器视觉的贴片机xy平台定位误差检测与补偿方法 | |
| JPH11248489A (ja) | 二次元アブソリュートエンコーダおよび二次元位置測定装置並びに二次元位置測定方法 | |
| CN116839499B (zh) | 一种大视野微尺寸2d及3d测量标定方法 | |
| CN1871128A (zh) | 图案生成装置和用于测量表面物理特性的装置 | |
| CN117139832A (zh) | 一种振镜快速矫正方法及系统 | |
| CN107024185B (zh) | 一种基底面型测量方法及测量装置 | |
| CN205027306U (zh) | 自动影像测量系统 | |
| CN111587358B (zh) | 芯片位置测量装置 | |
| CN103869627A (zh) | 用于投影光刻机的调焦调平方法 | |
| CN113725108B (zh) | 大板扇出型封装芯片的漂移定位测量方法及装置 | |
| CN112945102B (zh) | 一种基于玻璃切割技术的精密平台精度计量与补偿方法 | |
| CN115235383A (zh) | 一种空间十字导轨正交性的检测与调试方法 | |
| CN1401070A (zh) | 电子束长度测量装置和长度测量方法 | |
| CN204988186U (zh) | 高可靠性影像测量仪 | |
| CN111308868B (zh) | 一种直写曝光机的对位补偿方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |