CN116828327A - 一种硅片图像采集装置及采集方法 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 67
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 67
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 65
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
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Abstract
本发明公开了一种硅片图像采集装置,包括输送流线和第一采集单元,输送流线至少为两条,两条输送流线平行设置,两条输送流线上分别设置有第一光电开关;第一采集单元包括第一相机和第一光源,第一光源安装在两个输送流线的上方,且第一光源位于第一光电开关靠近输送流线下游一侧,第一相机可升降地安装在第一光源的正上方。输送流线位于第一光电开关的上游安装有第二光电开关,第二光电开关处安装有第二采集单元。通过面阵相机计算两个硅片前后距离的偏差值,通过偏差值确定扫描长度,当靠前的硅片触发第一光电开关时,激活线扫描相机进行图像获取,实现对两组硅片进行图像的收集,同时检测两个半片硅片,大大提高了采集效率。
Description
技术领域
本发明涉及硅片分选装置技术领域,尤其涉及一种硅片图像采集装置及采集方法。
背景技术
硅片作为重要的工业原材料,被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。为保证由硅片制造的产品的质量,需要对硅片进行检测和分选。硅片分选机能够实现对硅片进行厚度、TTV、线痕、电阻率、尺寸、脏污、崩边、隐裂等项目的测量和检测,并根据分选菜单,自动将硅片按照质量等级要求分选到不同的盒子内。然而,现有的硅片分选装置只有一条输送流线,存在着图像采集相机利用率低,图像采集效率低的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种硅片图像采集装置,以解决背景技术中提到的技术问题,本发明的目的是通过以下技术方案实现的:
一种硅片图像采集装置,包括输送流线和第一采集单元,输送流线至少为两条,两条输送流线平行设置,两条输送流线上分别设置有第一光电开关,且两个第一光电开关的安装位置相同;第一采集单元包括第一相机和第一光源,第一光源安装在两个输送流线的上方,且第一光源位于第一光电开关靠近输送流线下游一侧,第一相机可升降地安装在第一光源的正上方。
进一步地,第一相机为线扫描相机,第一光源为蓝色隧道光源。
进一步地,输送流线位于第一光电开关的上游安装有第二光电开关,第二光电开关处安装有第二采集单元,第二采集单元包括第二相机和第二光源,第二光源位于第二光电开关处,且第二光源位于输送流线的下方,第二相机可升降地安装在输送流线的上方,且第二相机位于第二光源的正上方。
进一步地,第二相机为面扫描相机,第二光源为背光源。
本发明还公开了一种利用上述硅片图像采集装置的图像采集方法,包括以下步骤:
步骤S10:设置第一相机的扫描距离为L,L=A+X,
其中,A为硅片平行于输送流线方向的长度,X为统计的若干次两个硅片末端之间偏差值的最大值;
步骤S20:获取首先触发的第一光电开关的信号,激活第一相机进行扫描;
步骤S30:获取行高为L的硅片图像。
本发明还公开了另一种利用上述硅片图像采集装置的图像采集方法,包括以下步骤:
步骤S10’:获取第二相机采集到的图片,计算两个硅片末端之间的偏差值X’;
步骤S20’:设置第一相机的扫描距离为L’,L’=A+X’,
其中,A为硅片平行于输送流线方向的长度;
步骤S30’:获取首先触发的第一光电开关的信号,激活第一相机进行扫描;
步骤S40’:获取行高为L’的硅片图像。
本申请实施例提供的技术方案,至少具有如下技术效果或优点:
通过面阵相机计算两个硅片前后距离的偏差值,通过偏差值确定扫描长度,当靠前的硅片触发第一光电开关时,激活线扫描相机进行图像获取,实现对两组硅片进行图像的收集,同时检测两个半片硅片,大大提高了采集效率。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
图1为本申请实施例结构示意图;
图2为图1的局部放大图;
图3为本申请实施例扫描距离示意图。
附图中标识:1、输送流线;11、第一光电开关;12、第二光电开关;2、第一采集单元;21、第一相机;22、第一光源;3、第二采集单元;31、第二相机;32、第二光源;4、硅片。
具体实施方式
为了更好的理解上述技术方案,下面将结合说明书附图和具体实施方式对上述技术方案进行详细的说明,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
如图1、图2所示的一种硅片图像采集装置,包括输送流线1、第一采集单元2、第二采集单元3和硅片4,两条输送流线1平行设置,两条输送流线1的左端分别安装有第二光电开关12,两条输送流线1的右端分别安装有第一光电开关11,第一采集单元2安装在第一光电开关11处,第二采集单元3安装在第二光电开关12处。硅片4自左向右输送,当硅片4移动至第二光电开关12处时,触发第二采集单元3采集图像;当硅片4移动至第一光电开关11处时,触发第一采集单元2采集图像。
具体来说,如图1、图2所示,输送流线1均为双条皮带输送线,第一光电开关11、第二光电开关12均安装在双条皮带输送线的两条皮带之间。
如图1、图2所示,第一采集单元2包括第一相机21和第一光源22,第一光源22通过支架安装在两个输送流线1的上方,且第一光源22位于第一光电开关11的右侧,第一相机21通过安装座可升降地安装在第一光源22的正上方,用于对经过第一相机21的硅片4打光。优选的,第一相机21为线扫描相机,第一光源22为蓝色隧道光源。
如图1、图2所示,第二采集单元3包括第二相机31和第二光源32,第二光源32通过支架安装在第二光电开关12的下方,且第二光源32位于输送流线1的下方,第二相机32通过升降座可升降地安装在输送流线1的上方,且第二相机31位于第二光源32的正上方。优选的,第二相机31为面扫描相机,第二光源32为背光源。第二光源32自下向上打光,用于第一相机31获取硅片4的外观尺寸。
实施例2
一种利用上述硅片图像采集装置的图像采集方法,包括以下步骤:
步骤S10:设置第一相机的扫描距离为L,L=A+X,
如图3所示,A为硅片4平行于输送流线1方向的长度,X为对上料机输送的若干组硅片4末端之间偏差值进行统计,所获得的最大值;
步骤S20:获取首先触发的第一光电开关的信号,激活第一相机21进行扫描;
步骤S30:获取行高为L的硅片图像。
此时,获取硅片图像的长度为硅片长度与经过统计的最大偏差值的叠加,为固定值。
实施例3
如图3所示,一种利用上述硅片图像采集装置的图像采集方法,包括以下步骤:
步骤S10’:获取第二相机采集到的图片,计算两个硅片末端之间的偏差值X’;
步骤S20’:设置第一相机的扫描距离为L’,L’=A+X’,
其中,A为硅片平行于输送流线方向的长度;
步骤S30’:获取首先触发的第一光电开关的信号,激活第一相机进行扫描;
步骤S40’:获取行高为L’的硅片图像。
此时,获取硅片图像的长度为硅片长度与第二图像采集单元获取的偏差值的叠加,并随着偏差值的变化而变化,从而避免扫描距离过短导致图像采集不完整,或扫描距离过大导致图像数据过大,降低了图像处理的压力。
上述本申请实施例中的技术方案,至少具有如下的技术效果或优点:
通过面阵相机计算两个硅片前后距离的偏差值,通过偏差值确定扫描长度,当靠前的硅片触发第一光电开关时,激活线扫描相机进行图像获取,实现对两组硅片进行图像的收集,同时检测两个半片硅片,大大提高了采集效率。
在本发明的描述中,需要理解的是,方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,在未作相反说明的情况下,这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明保护范围的限制:方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
此外,需要说明的是,使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件,仅仅是为了便于对相应零部件进行区别,如没有另行声明,上述词语并没有特殊含义,因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种硅片图像采集装置,其特征在于,包括:
输送流线,所述输送流线至少为两条,两条所述输送流线平行设置,两条所述输送流线上分别设置有第一光电开关,且两个所述第一光电开关的安装位置相同;
第一采集单元,所述第一采集单元包括第一相机和第一光源,所述第一光源安装在两个所述输送流线的上方,且所述第一光源位于所述第一光电开关靠近所述输送流线下游一侧,所述第一相机可升降地安装在所述第一光源的正上方。
2.根据权利要求1所述的一种硅片图像采集装置,其特征在于,所述第一相机为线扫描相机,所述第一光源为蓝色隧道光源。
3.根据权利要求1所述的一种硅片图像采集装置,其特征在于,所述输送流线位于所述第一光电开关的上游安装有第二光电开关,所述第二光电开关处安装有第二采集单元,所述第二采集单元包括第二相机和第二光源,所述第二光源位于所述第二光电开关处,且所述第二光源位于所述输送流线的下方,所述第二相机可升降地安装在所述输送流线的上方,且所述第二相机位于所述第二光源的正上方。
4.根据权利要求3所述的一种硅片图像采集装置,其特征在于,所述第二相机为面扫描相机,所述第二光源为背光源。
5.一种利用权利要求1或2所述硅片图像采集装置的图像采集方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S10:设置第一相机的扫描距离为L,L=A+X,
其中,A为硅片平行于输送流线方向的长度,X为统计的若干次两个硅片末端之间偏差值的最大值;
步骤S20:获取首先触发的第一光电开关的信号,激活第一相机进行扫描;
步骤S30:获取行高为L的硅片图像。
6.一种利用权利要求3或4所述硅片图像采集装置的图像采集方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S10’:获取第二相机采集到的图片,计算两个硅片末端之间的偏差值X’;
步骤S20’:设置第一相机的扫描距离为L’,L’=A+X’,
其中,A为硅片平行于输送流线方向的长度;
步骤S30’:获取首先触发的第一光电开关的信号,激活第一相机进行扫描;
步骤S40’:获取行高为L’的硅片图像。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310781849.6A CN116828327A (zh) | 2023-06-29 | 2023-06-29 | 一种硅片图像采集装置及采集方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310781849.6A CN116828327A (zh) | 2023-06-29 | 2023-06-29 | 一种硅片图像采集装置及采集方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN116828327A true CN116828327A (zh) | 2023-09-29 |
Family
ID=88140492
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310781849.6A Pending CN116828327A (zh) | 2023-06-29 | 2023-06-29 | 一种硅片图像采集装置及采集方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116828327A (zh) |
-
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