CN116801965A - 脱气装置 - Google Patents

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CN116801965A CN202180087159.XA CN202180087159A CN116801965A CN 116801965 A CN116801965 A CN 116801965A CN 202180087159 A CN202180087159 A CN 202180087159A CN 116801965 A CN116801965 A CN 116801965A
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羽田尚树
菅沼洋平
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Abstract

提供一种能够防止交叉污染的脱气装置。脱气装置(1)具备：脱气模块(10、20、30)，其具有将流体流通空间(S1)与减压空间(S2)之间隔开的气体透过膜即管单元(12)；真空配管(40)，其与各减压空间(S2)连通；排出装置(50)，其经由真空配管(40)排出各减压空间(S2)内的气体；大气开放配管(60)，其与各减压空间(S2)连通；大气开放阀(70)，其能够经由大气开放配管(60)向各减压空间(S2)导入大气；以及控制部(80)，其控制排出装置(50)和大气开放阀(70)的动作。控制部(80)在进行脱气处理的情况下控制为将大气开放阀(70)关闭而由排出装置(50)进行各减压空间(S2)内的气体的排出处理，并且在结束脱气处理之后控制为将大气开放阀(70)打开来使各减压空间(S2)一举向大气开放。

Description

脱气装置
技术领域
本发明涉及一种脱气装置，特别是涉及一种具备多个脱气模块的脱气装置。
背景技术
在专利文献1和专利文献2中公开了一种用于液相色谱装置等的脱气装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2007/094242号
发明内容
发明要解决的问题
专利文献1中记载的脱气装置构成为在脱气模块内的减压空间与真空泵之间具备阀，在装置停止运转后使脱气模块内的减压空间逐渐恢复为大气压。然而，在脱气装置具备多个脱气模块的情况下，如果想要仅使用1个阀逐渐地向大气压开放，则存在以下问题：各脱气模块间的减压度产生差异的时间变长，因此容易引起在其它的脱气模块内混合了气化后的气体的交叉污染。另一方面，如果为了消除这样的时间差而在各脱气模块中设置单独的阀，则存在由于装置结构变复杂或部件数量增加而导致制造成本变高这样的问题。
因此，本发明的一个方面的目的在于提供一种能够防止交叉污染的脱气装置。
用于解决问题的方案
本发明的一个方面所涉及的脱气装置具备：第一脱气模块和第二脱气模块，所述第一脱气模块和所述第二脱气模块分别具有将流体流通空间与减压空间之间隔开的气体透过膜；真空配管，其具有与第一脱气模块及第二脱气模块的各排出口连接的排出配管部和使排出配管部集合的排出集合部，所述真空配管与第一脱气模块及第二脱气模块的各减压空间连通；排出装置，其构成为与真空配管连通且经由真空配管将各减压空间内的气体排出到外部；大气开放配管，其具有与第一脱气模块及第二脱气模块的各开放口连接的开放配管部和使开放配管部集合的开放集合部，所述大气开放配管与第一脱气模块及第二脱气模块的各减压空间连通；大气开放阀，其与大气开放配管连通，所述大气开放阀能够将大气经由大气开放配管向各减压空间导入；以及控制部，其控制排出装置和大气开放阀的动作。控制部在第一脱气模块和第二脱气模块中的至少一方中进行脱气处理的情况下控制为将大气开放阀关闭而由排出装置进行各减压空间内的气体的排出处理，并且在结束脱气处理之后控制为将大气开放阀打开来使各减压空间一举向大气开放。
在该脱气装置中，将用于从各脱气模块的减压空间排出大气的真空配管与用于使该减压空间向大气开放的大气开放配管分开设置，在结束脱气模块中的脱气处理之后将大气开放阀打开来使各减压空间一举向大气开放。根据该结构，基本上不存在向大气开放时的各脱气模块之间的减压度产生差异的时间，从而能够抑制所谓的交叉污染的发生。
也可以是，上述的脱气装置还具备检测器，所述检测器用于检测减压空间的减压度，真空配管还具有与检测器连通的检测配管部。根据该结构，能够更准确地检测各脱气模块的减压空间的减压度，能够实现控制部的稳定的脱气处理。此外，在该结构中，优选的是，检测器具有用于检测减压度的隔膜，以隔膜的检测面朝向下方的方式设置检测器。在真空配管中有时会混入气化后的气体，但通过使隔膜的检测面朝向下方，从而能够防止来自真空配管的混入气体保持附着于检测面的状态。特别是在气体是腐蚀性介质的气体的情况下，通过采用这样的结构，从而能够抑制检测面的劣化，长期稳定地检测减压度。
优选的是，上述的脱气装置还具备底板，所述底板用于划定该脱气装置的底部，排出装置隔着防振单元配置在底板上。排出装置有时由于泵机构等而生成振动，有时因这样的振动而损坏脱气装置内的构成脱气模块的气体透过膜(例如中空纤维膜)。另外，有时因振动而在脱气模块内流动的流体中生成微泡而对检查等造成影响。然而，通过设置这样的防振单元，从而能够抑制排出装置的振动向其它结构传递，从而抑制气体透过膜损坏、检查流体中微泡的增长。此外，排出装置也可以被多个腿部支承在底板上，且位于距底板的面为规定的高度。根据该结构，除了能够进一步抑制来自排出装置的振动向其它结构传递之外，即使在要在脱气装置中进行脱气处理的流体从脱气模块漏出的情况下也能够防止该流体对排出装置的侵蚀。另外，即使在发生了这样的液体泄漏的情况下，也能够容易地进行废液处理。防振单元也可以设置在多个腿部与排出装置之间。
优选的是，上述的脱气装置还具备底板，所述底板用于划定该脱气装置的底部，控制部和大气开放阀中的至少一方以距底板的面为规定高度的方式配置。根据该结构，即使在要在脱气装置中进行脱气处理的流体从脱气模块漏出的情况下，也能够防止该流体对控制部、大气开放阀的侵蚀。另外，即使在发生了这样的液体泄漏的情况下，也能够容易地进行废液处理。
在上述的脱气装置中，优选的是，真空配管和大气开放配管中的至少一方的至少一部分由树脂管构成，树脂管的橡胶硬度处于70±30度的范围，且树脂管的透氧性为6000cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下。根据该结构，能够防止气化后的气体对各配管的侵蚀(耐药品性)，使配管的配置变得容易(柔软度)，另外，能够容易地使排出装置的减压度提高或稳定化(气体透过性)。
在上述的脱气装置中，也可以是，第一脱气模块具有：壳体，其包括开口部，用于收纳管状的气体透过膜；盖部，其构成为对开口部进行气密密封，并且供管状的气体透过膜从壳体的内部朝向外部贯穿；以及连接器部，其在贯穿的区域内以维持减压空间的气密性的状态使管状的气体透过膜连接固定于盖部，连接器部包括支承构件，所述支承构件配置在管状的气体透过膜的内侧，在向盖部进行连接固定时从内侧支承管状的气体透过膜。根据该结构，能够防止脱气模块的固定连接部处的膜折断，特别是在气体透过膜是管状的中空纤维膜的情况下，在输送时或因振动而易于发生膜折断，但通过这样的结构能够防止膜折断等。其结果，能够使由气体透过膜隔开的减压空间为更可靠地封闭的状态，因此能够使由排出装置进行的减压更加稳定化。
在上述的脱气装置中，优选的是，大气开放配管配置在比真空配管靠上方的位置。根据该结构，通过从上方导入的大气而使减压空间向大气开放，因此气化后的气体难以向其它区域移动，其结果，能够进一步抑制交叉污染。
也可以是，上述的脱气装置还具备调整阀，所述调整阀配置在脱气模块与排出装置之间，用于调整减压空间的减压度，在减压空间的减压度处于规定的范围内的情况下，控制部进行将调整阀关闭并且使排出装置的动作停止的控制。根据该结构，通过根据需要使排出装置的动作停止，从而能够进一步抑制因振动引起的损坏、微泡的增长等。
也可以是是，在上述的脱气装置中，在结束脱气处理之后，控制部控制为一边使排出装置对气体的排出动作持续规定时间，一边将大气开放阀打开来使各减压空间一举向大气开放。根据该控制，能够顺畅地利用大气开放阀使减压空间向大气开放。
发明的效果
根据本发明的一个方面，能够防止交叉污染。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式所涉及的脱气装置的示意性的概要俯视图。
图2是图1所示的脱气装置的示意性的概要侧视图。
图3是示出搭载于图1所示的脱气装置的脱气模块的一例的概要剖视图。
图4是将图3所示的脱气模块的连接器部的附近放大地示出的放大剖视图。
图5是示出由图1所示的脱气装置进行的排气处理和大气开放的例子的流程图。
具体实施方式
下面，参照附图来详细地说明实施方式的脱气装置。此外，在所有图中，对相同或相当部分标注同一附图标记，并省略重复的说明。
图1是示出一个实施方式所涉及的脱气装置的示意性的概要俯视图。图2是图1所示的脱气装置的示意性的概要侧视图。如图1和图2所示，脱气装置1具备：壳体5、脱气模块10、20、30(第一脱气模块、第二脱气模块)、真空配管40、排出装置50、大气开放配管60、大气开放阀70、调整阀75以及控制部80，其中，该壳体5具有底板2、前板3以及后板4。脱气装置1例如是液相色谱法用的脱气装置，用于对成为液相色谱法的检查对象的流体进行脱气处理。脱气装置1当然也可以用于气相色谱法、生化分析装置、喷墨填充装置等。
脱气模块10、20、30例如具有图3所示的结构。图3是示出搭载于图1所示的脱气装置的脱气模块的一例的概要剖视图。图4是将图3所示的脱气模块的连接器部的附近放大地示出的放大剖视图。作为一例，图3示出了脱气模块10的结构，但其它脱气模块20和30也是同样的结构。如图3和图4所示，脱气模块10具备：管单元12，其在两端部捆束有在内部划定流体流通空间S1的多个管11；壳体13，其用于收容管单元12；盖部14，其对壳体13的开口部13a进行气密密封；连接器部15和16，所述连接器部15和16将贯穿盖部14的管单元12进行连接固定；以及排出口17和开放口18，所述排出口17和所述开放口18与减压空间S2连通。
脱气模块10通过作为气体透过膜的管单元12将壳体13内部隔开为流体流通空间S1和减压空间S2，该流体流通空间S1是管单元12的管11各自的内部空间，该减压空间S2是管单元12的外侧的空间。流体流通空间S1是被供给液体的区域，用于将从管单元12的流入口12a导入的液体供给到排出口12b。减压空间S2是被进入内部的大气的区域。而且，在脱气模块10中，向多个管11各自的内部空间即流体流通空间S1供给液体，并且被多个管11的外侧的减压空间S2吸气，由此将被供给到管单元12的液体进行脱气。
构成管单元12的各管11是使气体透过但不使液体透过的管状的膜(参照图4)。管11的原材料、膜形状、膜方式等没有特别限制。作为管11的原材料，例如可举出聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯醚共聚物(PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-乙烯共聚物(乙烯共聚树脂)(ETFE)、聚三氟氯乙烯(PCTFE)、非晶氟聚合物(非晶性氟树脂；AF)、聚偏二氟乙烯(PVDF)等氟树脂、聚丙烯(PP)、聚甲基戊烯(PMP)、硅、聚酰亚胺、聚酰胺。作为非晶氟聚合物，例如可举出Teflon(注册商标)AF。
在脱气装置1中配置有3个这样的脱气模块10、20、30，但也可以配置2个脱气模块，还可以配置4个以上的脱气模块。
返回到图1和图2来继续进行说明。如图1和图2所示，真空配管40是与脱气模块10、20、30的各减压空间S2连通、用于将各减压空间S2与排出装置50相连的构件。真空配管40具有：与脱气模块10、20、30的各排出口17连接的排出配管部41～43、使排出配管部41～43集合的排出集合部44、将排出集合部44与排出装置相连的配管45以及使排出集合部44与检测器85连通的检测配管部46。如后述那样，检测器85是用于检测脱气模块10、20、30的各减压空间S2内的减压度的气压传感器，该检测器85设置于控制部80。
构成真空配管40的排出配管部41～43、排出集合部44、配管45以及检测配管部46中的至少一部分例如由树脂系的管构成。真空配管40的全部或大致全部(例如除连结部分以外)的构成构件也可以由树脂系的管构成。也就是说，也可以使用连结构件等将多个管进行连结来构成真空配管40。这种管由配管构成，该配管对液相色谱法的使用溶剂具有耐性，例如该配管的橡胶硬度优选处于70±30度的范围内以及该配管的透氧性为6000cc(STP)cm/cm2/sec/cmH g×10-10以下。所述橡胶硬度优选处于70±30度的范围内，但从兼顾用于防止连结部分的松动或脱落的适当的挠性和用于抑制管的变形、压坏、闭塞的适当的耐久性的观点出发，其下限值更优选为50度以上，进一步优选为55度以上，特别优选为60度以上，而且，上限值更优选为95度以下，进一步优选为80度以下，特别优选为75度以下的范围。其中，橡胶硬度表示肖氏A，例如能够通过依据JIS K7312(1996)的方法使用硬度计(类型A)进行测定。另外，从耐久性优越的观点出发，也可以是，所述透氧性优选为6000cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下，更优选为3000cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下，进一步优选为1000cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下，特别优选为500cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下，而且，优选为0.1cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以上，更优选为10cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以上。其中，透氧性是指氧透过速度，例如能够通过依据ASTM D 1434压力法的方法来进行测定。
构成真空配管40的管的材质只要具有上述的性质即可，没有特别限定，例如，可举出氯乙烯、硅橡胶；尼龙6、尼龙66、尼龙11、尼龙12等聚酰胺(尼龙)；聚氨酯；低密度聚乙烯、直链状低密度聚乙烯等聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；FEP、PFA、ETFE、PTFE等氟树脂；聚酯类热塑性弹性体、苯乙烯类热塑性弹性体、烯烃类热塑性弹性体等热塑性弹性体，能够使用它们中的一种或两种以上。作为构成真空配管40的管的材质，可举出更优选的是包括上述的材质中的聚烯烃和热塑性弹性体的树脂组合物，可举出进一步优选的是包括聚烯烃和苯乙烯类热塑性弹性体的树脂组合物。
真空配管40通过由包括上述的聚烯烃和热塑性弹性体的树脂组合物构成，从而不仅耐溶剂性优越，而且能够降低气体透过性。另外，真空配管40通过由包括上述的聚烯烃和热塑性弹性体的树脂组合物构成而具有适当的挠性，也能够防止脱气动作时的排出集合部44的连结部分的松动或脱落，并且另外也能够抑制管的变形、压坏、闭塞，因此耐久性也优越。并且，本实施方式所涉及的脱气装置1虽然具备多个脱气模块，且具备真空配管40与脱气模块10、20、30的连结部、与排出集合部44的其它部分的连结部等许多连结结构，但通过由这样的具备挠性、耐久性的管构成，从而也能够提高作为脱气装置的长期可靠性。
此外，真空配管40中使用的苯乙烯类热塑性弹性体是具有至少1个苯乙烯嵌段(硬链段)和至少1个弹性体嵌段的共聚物。作为弹性体嵌段，能够优选使用乙烯基-聚二烯、聚异戊二烯、聚丁二烯、聚乙烯、聚氯丁二烯或聚2，3-二甲基丁二烯等。弹性体嵌段也能够使用添加氢后的弹性体嵌段。如果弹性体嵌段被添加氢，则耐溶剂(耐溶剂)、耐药品性能具有更良好的倾向，是优选的。作为苯乙烯类热塑性弹性体的具体例，可举出苯乙烯-乙烯基异戊二烯-苯乙烯三嵌段共聚物(SIS)、苯乙烯-异丁烯二嵌段共聚物(SIB)、苯乙烯-丁二烯-苯乙烯三嵌段共聚物(SBS)、苯乙烯-乙烯·丁烯-苯乙烯三嵌段共聚物(SEBS)、苯乙烯-乙烯·丙烯-苯乙烯三嵌段共聚物(SEPS)、苯乙烯-乙烯·乙烯·丙烯-苯乙烯三嵌段共聚物(SEEPS)、苯乙烯-丁二烯·丁烯-苯乙烯三嵌段共聚物(SBBS)等。苯乙烯类热塑性弹性体既可以单独使用，也可以合并使用2种以上。其中，由于耐溶剂(耐溶剂)、耐药品性能更优越，因此优选使用苯乙烯-乙烯基异戊二烯-苯乙烯三嵌段共聚物。作为这样的苯乙烯-乙烯基异戊二烯-苯乙烯三嵌段共聚物的优选例，可举出科腾(Kraton)公司制的“FG 1901GPolymer”、“FG 1924G Polymer”、(股份)可乐丽(Kuraray)制的ハイブラー5127等。另外，也能够优选使用对乙烯基异戊二烯嵌段添加氢所得到的(股份)可乐丽制的ハイブラー7311。
关于苯乙烯类热塑性弹性体中的苯乙烯嵌段的含有率(苯乙烯含有率)的范围，其下限值相对于苯乙烯嵌段和弹性体嵌段的总和优选为1质量％，更优选为5质量％，进一步优选为10质量％，在该范围内，具有获得更良好的耐溶剂(耐溶剂)、耐药品性能的倾向。另一方面，其上限值相对于苯乙烯嵌段和弹性体嵌段的总和优选为30质量％，更优选为20质量％，在该范围内，具有耐溶剂(耐溶剂)、耐药品性能更优越的倾向。
关于包括聚烯烃和苯乙烯类热塑性弹性体的树脂组合物中的苯乙烯类热塑性弹性体的含有量的范围，其下限值相对于聚烯烃和苯乙烯类热塑性弹性体的总和优选为3质量％，更优选为5质量％，进一步优选为10质量％，在该范围内具有获得良好的耐溶剂(耐溶剂)、耐药品性能的倾向。另一方面，其上限值相对于聚烯烃和苯乙烯类热塑性弹性体的总和优选为30质量％，更优选为25质量％，进一步优选为20质量％，在该范围内具有获得良好的耐溶剂(耐溶剂)、耐药品性能的倾向。
此外，在排出集合部44中，将各管相互连结的连结部分也可以由硬质塑料(聚丙烯)等构成。
排出装置50经由真空配管40与脱气模块10、20、30的减压空间S2连通，该排出装置50基于来自控制部80的控制指示来将各减压空间S2内的气体排出到外部。排出装置50构成为包括泵等，例如使用隔膜型干式真空泵等。排出装置50被多个腿部51(例如4个腿部51)支承在壳体5的底板2的上表面，该排出装置50配置为距底板2的上表面具有规定的高度。另外，在排出装置50与腿部51之间配置有防振橡胶或防振凝胶等防振单元52，从而使由排出装置50生成的振动衰减。防振单元52例如优选设定为能够使作为振动频率为50Hz以上的振动衰减。此外，排出装置50通过腿部51以离开底板2的方式升高。
大气开放配管60是与脱气模块10、20、30的各减压空间S2连通、用于将各减压空间S2与大气开放阀70相连的构件。大气开放配管60具有：与脱气模块10、20、30的各开放口18连接的开放配管部61～63、使开放配管部61～63集合的开放集合部64、以及将开放集合部64与大气开放阀70相连的配管65。大气开放配管60的开放集合部64的与配管65相反一侧的端部66被封闭。大气开放配管60由与真空配管40相同的材料例如树脂系的管构成。更为具体地说，构成大气开放配管60的开放配管部61～63、开放集合部64以及配管65中的至少一部分例如由如上述那样的树脂系的管构成。大气开放配管60的全部或大致全部(例如除了连结部分以外)的构成构件也可以由树脂系的管构成。也就是说，也可以使用连结构件等将多个树脂管进行连结来构成大气开放配管60。这种树脂管由配管构成：该配管对液相色谱法的使用溶剂具有耐性，该配管的橡胶硬度处于70±30度的范围，且该配管的透氧性为6000cc(STP)cm/cm2/se c/cmHg×10-10以下。此外，与排出集合部44的连结部分同样，开放集合部64的连结部分也可以由硬质塑料(例如聚丙烯)等构成。
大气开放阀70是与大气开放配管60的一端连通、能够基于来自控制部80的控制指示经由大气开放配管60向脱气模块10、20、30的各减压空间S2一举导入大气的电磁阀。例如当脱气模块10、20、30中的脱气处理结束时，大气开放阀70基于来自控制部80的控制指示来在5秒以内将电磁阀从关闭状态(CLOSE)打开为打开状态(OPEN)，来使各减压空间S2(例如1L的容器)在1分钟以内向大气开放。
调整阀75是配置在脱气模块10、20、30与排出装置50之间、用于调整减压空间S2的减压度的电磁阀。在由排出装置50对减压空间S2进行减压处理的情况下，调整阀75将阀打开，另一方面，在减压空间S2的减压度为规定的范围内的情况下，调整阀75基于来自控制部80的控制指示来将阀关闭。此时，排出装置50能够停止其排出动作。之后，另一方面，在减压空间S2的减压度为规定的范围外的情况下，基于来自控制部80的控制指示来将阀打开。大气开放阀70和调整阀75均被多个腿部71和76以距壳体5的底板2为规定的高度的方式升高。
控制部80具有用于检测减压空间S2的减压度的检测器85，该控制部80基于所检测出的减压度来控制排出装置50和调整阀75的动作。在该控制中，以使由检测器85检测的减压度为规定的值的方式进行由排出装置50对大气的排出，并且在减压空间S2的减压度为规定的范围内的情况下，关闭调整阀75并且使排出装置50的动作停止。在关闭了调整阀75之后由检测器85检测到的减压度为规定的范围外的情况下，控制部80使排出装置50再次可动来进行排出处理。
另一方面，当通过脱气模块10、20、30进行的脱气处理结束时，控制部80基于来自外部等的停止指示来控制排出装置50和大气开放阀70的动作。在该控制中，在结束脱气处理之后将大气开放阀70打开来使各减压空间S2一举向大气开放。也可以在结束脱气处理之后控制为一边使由排出装置50进行的气体的排出动作持续规定时间(例如几秒)，一边将大气开放阀70打开来使各减压空间S2一举向大气开放。
在此，参照图5对脱气装置1中的排气处理及之后的大气开放进行说明。如图5所示，首先，当将脱气装置1的开关接通时(步骤S1)，作为排出装置50的真空泵开始排气(步骤S2)，并且作为电磁阀的大气开放阀70关闭(步骤S3)。之后，真空配管40内变为负压(步骤S4)。另一方面，大气开放阀70仍保持关闭的状态，并保持负压。之后，如果继续由真空泵进行的排气，则脱气模块10、20、30内的减压空间S2变为负压。在根据检测器85而减压空间S2内的减压度为规定的范围内的情况下，执行由脱气模块10、20、30进行的脱气处理。
接着，当由脱气模块10、20、30进行的脱气处理结束时，停止由作为排出装置50的真空泵进行的排气(步骤S8)，并且打开大气开放阀70的电磁阀，来使所有减压空间S2例如在1分钟以内一举向大气开放(步骤S9)。由此，各脱气模块10、20、30的减压空间S2内瞬间恢复为大气压(步骤S10)。
以上，在本实施方式所涉及的脱气装置1中，将用于从各脱气模块10、20、30的减压空间S2排出大气的真空配管40与用于使减压空间S2向大气开放的大气开放配管60分开设置，在结束脱气模块10、20、30中的脱气处理之后将大气开放阀70打开来使各减压空间S2一举向大气开放。因此，根据脱气装置1，基本上不存在向大气开放时的各脱气模块10、20、30之间的减压度产生差异的时间，从而能够抑制所谓的交叉污染的发生。
另外，脱气装置1还具备用于检测减压空间S2的减压度的检测器85，真空配管40还具有与检测器85连通的检测配管部46。根据该结构，能够更准确地检测各脱气模块10、20、30的减压空间S2的减压度，能够实现控制部80的稳定的脱气处理。此外，在该结构中，检测器85也可以具有用于检测减压度的隔膜，检测器85以隔膜的检测面朝向下方的方式设置于控制部80。在真空配管40中有时会混入气化后的气体，但通过使检测器85的隔膜的检测面朝向下方，从而能够防止来自真空配管40的混入气体保持附着于检测面的状态。特别是在气体是腐蚀性介质的气体的情况下，通过采用这样的结构，能够抑制检测面的劣化，能够长期稳定地检测减压度。
另外，脱气装置1还具备用于划定脱气装置1的底部的底板2，排出装置50隔着防振单元52配置在底板2上。排出装置50有时由于泵机构等而生成振动，有时因这样的振动而损坏脱气装置1内的构成脱气模块10、20、30的气体透过膜(例如中空纤维膜)。另外，有时因振动而在脱气模块10、20、30内流动的检查流体中生成微泡而对检查等造成影响。然而，通过设置这样的防振单元52，从而能够抑制排出装置50的振动向其它结构传递，从而抑制作为气体透过膜的管11损坏、检查流体中微泡的增长。此外，排出装置50也可以被多个腿部51支承在底板2上，且位于距底板2的面为规定的高度。根据该结构，除了能够进一步抑制来自排出装置50的振动向其它结构传递之外，即使在要在脱气装置1中进行脱气处理的流体从脱气模块10、20、30漏出的情况下也能够防止该流体对排出装置50的侵蚀。另外，即使在发生了这样的液体泄漏的情况下，也能够容易地进行废液处理。此外，防振单元52也可以设置在多个腿部51与排出装置50之间。
另外，脱气装置1也可以还具备用于划定脱气装置1的底部的底板2，控制部80、大气开放阀70以及调整阀75以距底板2的面为规定的高度的方式配置。根据该结构，即使在要在脱气装置1中进行脱气处理的检查流体从脱气模块10、20、30漏出的情况下，也能够防止该流体对控制部80、大气开放阀70、调整阀75的侵蚀。另外，即使在发生了这样的液体泄漏的情况下，也能够容易地进行废液处理。
另外，在脱气装置1中，真空配管40和大气开放配管60优选由具有规定的耐药品性、规定的柔软度以及规定的气体(氧)透过性的配管构成。更为具体地说，真空配管40和大气开放配管60例如由树脂管构成，该树脂管由包括聚烯烃和热塑性弹性体的树脂组合物构成，该树脂管是其橡胶硬度处于70±30度的范围且其透氧性为6000cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下的配管。根据该结构，能够防止气化后的气体对各配管的侵蚀(耐药品性)，使配管的配置变得容易(柔软度)，另外，能够容易地使排出装置的减压度提高或稳定化(气体透过性)。
另外，在脱气装置1中，各脱气模块10、20、30具有壳体13、盖部14以及连接器部15和16，其中，该壳体13包括开口部13a，用于收纳作为气体透过膜的管单元12，该盖部14构成为对开口部13a进行气密密封，并且供作为气体透过膜的管单元12从壳体13的内部朝向外部贯穿，该连接器部15和16在贯穿的区域内以维持减压空间S2的气密性的状态使管单元12连接固定于盖部14。而且，连接器部15和16也可以包括支承构件，该支承构件配置在管状的气体透过膜的内侧，在向盖部14进行连接固定时从内侧支承管状的气体透过膜。支承构件例如可以是由SUS、陶瓷或氟树脂等构成的支承管道。另外，也可以在管道内部具有用于进一步提高强度的构造。根据该结构，能够防止脱气模块10、20、30的固定连接部处的管单元12的膜折断，特别是在气体透过膜是管状的中空纤维膜的情况下，在输送时或因振动而易于发生膜折断，但通过这样的结构能够防止膜折断等。其结果，能够使由气体透过膜隔开的减压空间S2为更可靠地封闭的状态，因此能够使由排出装置50进行的减压处理更加稳定化。
另外，在脱气装置1中，大气开放配管60配置在比真空配管40靠上方的位置。根据该结构，通过从上方导入的大气而使减压空间向大气开放，因此气化后的气体难以向其它区域移动，其结果，能够进一步抑制交叉污染。
另外，脱气装置1还具备调整阀75，该调整阀75配置在脱气模块10、20、30与排出装置50之间，用于调整减压空间S2的减压度，在减压空间S2的减压度处于规定的范围内的情况下，控制部80进行将调整阀75关闭并且使排出装置50的动作停止的控制。根据该结构，通过根据需要使排出装置50的动作停止，从而能够进一步抑制因振动引起的损坏、微泡的增长等。
另外，在脱气装置1中，控制部80也可以控制为在结束脱气处理之后，一边使由排出装置50进行的气体的排出动作持续规定时间，一边将大气开放阀70打开来使各减压空间S2一举向大气开放。根据该控制，能够顺畅地利用大气开放阀70使减压空间向大气开放。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式，在本发明的主旨的范围内能够适当地进行变更或修改。
实施例
下面，基于试验例更为具体地说明本发明，但本发明不限定于以下的试验例。
[振动试验]
作为最初的试验(试验例1)，进行了脱气装置1的振动试验。作为振动试验的概要，确认了由振动产生装置对脱气装置1施加振动时的问题。使用图1和图2所示的结构的脱气装置1，真空配管40的排出配管部41～43、配管45及检测配管部46、大气开放配管60的开放配管部61～63以及配管65使用了以下的P1所示材质的树脂管。另外，排出集合部44和开放集合部64使用了硬质塑料(聚丙烯)。
振动试验条件为：设为频率为50Hz～60Hz的直线扫描，将加速度设为1G，将振动时间设为100小时，将振动时的温度设为30℃或60℃。另外，判定基准设为如下那样。此外，判定基准中的接合部是指使构成排出配管部41～43、配管45以及检测配管部46中的各配管的树脂管与排出集合部44接合的部位、或者使构成开放配管部61～63和配管65中的各配管的树脂管与开放集合部64接合的部位。
[判定基准]
判定基准A无异常
判定基准B1接合部处的管松动(1处以上)
判定基准B2连接部处的管脱落(1处以上)
判定基准B3连接部处的管松动和脱落(各1处以上)
判定基准C连接部损坏(不可使用)
P1：苯乙烯类热塑性弹性体制管(外径6mm、内径4mm的单层管、透氧系数200cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10、橡胶硬度65度)
其中，P1的管是通过以下的制造方法而制造出的。
(制造例)在将30质量份的聚丙烯(燧石山(Flint Hills)公司制的无规共聚物“13T25A”)和苯乙烯类热塑性弹性体(科腾公司制苯乙烯/乙烯/丁烯/苯乙烯(SEBS)嵌段共聚物“FG1924 G Polymer”)在内径30mm的双轴排气式挤出机(设定温度200℃)中熔融捏合后进行颗粒化而制造出。使用具有增塑化筒(内径20mm、单轴挤出螺杆)并具有管用模的单层管制作装置，向该增塑化筒中投入颗粒，并在温度200℃下挤出管，调整卷绕速度来制作出外径6mm、内径4mm的单层管。
上述的振动试验的结果是，在试验例1所涉及的脱气装置1中确认了判定基准为A。
[真空试验]
作为接下来的试验(试验例2)，进行了脱气装置1的真空试验。作为真空试验的概要，确认了使脱气装置1运转时的问题。使用了与所述的振动试验相同的脱气装置。
作为真空试验的条件，将图5的S1～S10设为1个循环并反复进行了5000个循环。此时的真空度是0(零)KPa(绝对压力)，真空试验的温度是23℃或82℃。判定基准设为如以下那样。另外，作为目视观察，观察了动作中的树脂管“有”或者“无”变形、压坏或闭塞。
[判定基准]
判定基准A无异常
判定基准B1接合部处的管松动(1处以上)
判定基准B2连接部处的管脱落(1处以上)
判定基准B3连接部处的管松动和脱落(各1处以上)
判定基准C连接部损坏(不可使用)
上述的真空试验的结果确认了，在试验例2的脱气装置1中真空试验的判定基准为A。另外，在试验例2所涉及的脱气装置1中，通过目视观察而确认了动作中的管没有变形、压坏或闭塞。
附图标记说明
1：脱气装置；2：底板；10、20、30：脱气模块；11：管；12：管单元；13：壳体；14：盖部；17：排出口；18：开放口；40：真空配管；41～43：排出配管部；44：排出集合部；46：检测配管部；50：排出装置；51：腿部；52：防振单元；60：大气开放配管；61～63：开放配管部；64：开放集合部；
70：大气开放阀；71、76：腿部；75：调整阀；80：控制部；85：检测器；
S1：流体流通空间；S2：减压空间。

Claims (12)

1.一种脱气装置，具备：
第一脱气模块和第二脱气模块，所述第一脱气模块和所述第二脱气模块分别具有将流体流通空间与减压空间之间隔开的气体透过膜；
真空配管，其具有与所述第一脱气模块及所述第二脱气模块的各排出口连接的排出配管部和使所述排出配管部集合的排出集合部，所述真空配管与所述第一脱气模块及所述第二脱气模块的各所述减压空间连通；
排出装置，其构成为与所述真空配管连通且经由所述真空配管将各所述减压空间内的气体排出到外部；
大气开放配管，其具有与所述第一脱气模块及所述第二脱气模块的各开放口连接的开放配管部和使所述开放配管部集合的开放集合部，所述大气开放配管与所述第一脱气模块及所述第二脱气模块的各所述减压空间连通；
大气开放阀，其与所述大气开放配管连通，所述大气开放阀能够将大气经由所述大气开放配管向各所述减压空间导入；以及
控制部，其控制所述排出装置和所述大气开放阀的动作，
所述控制部在所述第一脱气模块和所述第二脱气模块中的至少一方中进行脱气处理的情况下控制为将所述大气开放阀关闭而由所述排出装置进行各所述减压空间内的气体的排出处理，并且在结束所述脱气处理之后控制为将所述大气开放阀打开来使各所述减压空间一举向大气开放。
2.根据权利要求1所述的脱气装置，其中，
还具备检测器，所述检测器用于检测所述减压空间的减压度，
所述真空配管还具有与所述检测器连通的检测配管部。
3.根据权利要求2所述的脱气装置，其中，
所述检测器具有用于检测所述减压度的隔膜，
以所述隔膜的检测面朝向下方的方式设置所述检测器。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的脱气装置，其中，
还具备底板，所述底板用于划定所述脱气装置的底部，
所述排出装置隔着防振单元配置在所述底板上。
5.根据权利要求4所述的脱气装置，其中，
所述排出装置被多个腿部支承在所述底板上，位于距所述底板的面规定高度的位置。
6.根据权利要求5所述的脱气装置，其中，
所述防振单元设置在所述多个腿部与所述排出装置之间。
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的脱气装置，其中，
还具备底板，所述底板用于划定所述脱气装置的底部，
所述控制部和所述大气开放阀中的至少一方以距所述底板的面为规定高度的方式配置。
8.根据权利要求1～7中的任一项所述的脱气装置，其中，
所述真空配管和所述大气开放配管中的至少一方的至少一部分由树脂管构成，
所述树脂管的橡胶硬度处于70±30度的范围，所述树脂管的透氧性为6000cc(STP)cm/cm2/sec/cmHg×10-10以下。
9.根据权利要求1～8中的任一项所述的脱气装置，其中，
所述第一脱气模块具有：壳体，其包括开口部，用于收纳管状的所述气体透过膜；盖部，其构成为对所述开口部进行气密密封，并且供管状的所述气体透过膜从所述壳体的内部朝向外部贯穿；以及连接器部，其在所述贯穿的区域内以维持所述减压空间的气密性的状态使管状的所述气体透过膜连接固定于所述盖部，
所述连接器部包括支承构件，所述支承构件配置在管状的所述气体透过膜的内侧，在向所述盖部进行连接固定时从内侧支承管状的所述气体透过膜。
10.根据权利要求1～9中的任一项所述的脱气装置，其中，
所述大气开放配管配置在比所述真空配管靠上方的位置。
11.根据权利要求1～10中的任一项所述的脱气装置，其中，
还具备调整阀，所述调整阀配置在所述脱气模块与所述排出装置之间，用于调整所述减压空间的减压度，
在所述减压空间的减压度处于规定的范围内的情况下，所述控制部进行将所述调整阀关闭并且使所述排出装置的动作停止的控制。
12.根据权利要求1～11中的任一项所述的脱气装置，其中，
在结束所述脱气处理之后，所述控制部控制为一边使所述排出装置对气体的排出动作持续规定时间，一边将所述大气开放阀打开来使各所述减压空间一举向大气开放。
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