CN116782489A - 一种内层芯板层间偏位的监控标记及其电路板和监控方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及PCB制造技术领域，具体涉及一种内层芯板层间偏位的监控标记及其电路板和监控方法。该监控标记在基板的两侧分别设有偶数图形层和奇数图形层，偶数图形层的废料区设有第一标记，奇数图形层的废料区设有第二标记；第一标记包括第一横线和若干第一竖线，若干第一竖线沿第一横线的长度方向连接于第一横线的同一侧上，相邻第一竖线之间以第一间隔设置；第二标记包括第二横线和若干第二竖线，若干第二竖线沿第二横线的长度方向连接于第二横线的同一侧上，相邻第二竖线之间以第二间隔设置，该监控标记能同时数据化测量内层芯板层间偏位的偏位方向和偏位量。

Description

一种内层芯板层间偏位的监控标记及其电路板和监控方法

技术领域

本发明涉及PCB制造技术领域，具体涉及一种内层芯板层间偏位的监控标记及其电路板和监控方法。

背景技术

随着PCB板向着高层次、高精密度的发展，其层间对位精度要求也越来越严格；其中印制板内层做图形转移时，由于缩涨、机械操作等原因，芯板两侧上的图形与图形之间的发生错位现象时有发生。对此，目前行业中部分PCB厂商通常采用的方法是：在各板层的四角添加圆圈，在内层蚀刻后，通过对比各层圆圈之间的同心度来判断是否有芯板层偏问题；此种方法能基本上监控出芯板层间偏位的问题，但很难得到数据化的偏位的方向以及偏位量。

发明内容

本发明的目的之一在于避免现有技术中的不足之处而提供一种内层芯板层间偏位的监控标记，该监控标记能同时数据化测量内层芯板层间偏位的偏位方向和偏位量。

本发明的目的之二在于提供一种电路板。

本发明的目的之三在于提供一种内层芯板层间偏位的监控方法。

为实现上述目的之一，本发明提供以下技术方案：

提供一种内层芯板层间偏位的监控标记，所述内层芯板包括基板，所述基板的两侧分别设有偶数图形层和奇数图形层，所述偶数图形层的废料区设有第一标记，所述奇数图形层的废料区设有第二标记，所述第一标记用于与所述第二标记对比；

所述第一标记包括第一横线和若干第一竖线，若干所述第一竖线沿所述第一横线的长度方向连接于所述第一横线的同一侧上，相邻第一竖线之间以第一间隔设置；

所述第二标记包括第二横线和若干第二竖线，若干所述第二竖线沿所述第二横线的长度方向连接于所述第二横线的同一侧上，相邻第二竖线之间以第二间隔设置；

其中，所述第一横线与所述第二横线叠合对齐且构成叠合线，所述第一竖线与所述第二竖线错位分布于所述叠合线的两侧上，所述第一间隔与所述第二间隔错位分布于所述叠合线的两侧上。

在一些实施方式中，若干所述第一竖线的的长度均相同，若干所述第一竖线的宽度以及若干第一间隔的宽度均沿着叠合线的同一延伸方向递增；

若干所述第二竖线的的长度均相同，若干所述第二竖线的宽度以及若干第二间隔的宽度均沿着叠合线的同二延伸方向递增。

在一些实施方式中，所述第一标记设置有六条第一竖线，六条第一竖线的宽度分别为2.5mil、3mil、3.5mil、4mil、4.5mil、5mil；

所述第二标记设置有六条第二竖线，六条第二竖线的宽度分别为2.5mil、3mil、3.5mil、4mil、4.5mil、5mil。

在一些实施方式中，所述偶数图形层的废料区在X轴向上设有X轴向第一标记，Y轴向上设有Y轴向第一标记，所述奇数图形层的废料区在X轴向上设有X轴向第二标记，Y轴向上设有Y轴向第二标记，所述X轴向第一标记用于与所述X轴向第二标记对比，所述Y轴向第一标记用于与所述Y轴向第二标记对比。

在一些实施方式中，所述偶数图形层的四个拐角处均分别设有X轴向第一标记和Y轴向第一标记，所述奇数图形层的四个拐角处均分别设有X轴向第二标记和Y轴向第二标记。

本发明一种内层芯板层间偏位的监控标记的有益效果：

本发明的内层芯板层间偏位的监控标记，其在偶数图形层和奇数图形层上分别设置了第一标记和第二标记，标记均由横线和若干竖线组成，通过对比第一标记的第一横线与第二标记的第二横线是否叠合，以及通过对比第一标记中的第一竖线与第二标记中的第二竖线的重合情况从而得出是否发生层间偏位以及层间偏位量，克服传统不能数据化测量层间偏位情况的问题。

为实现上述目的之二，本发明提供以下技术方案：

提供一种电路板，包括上述的内层芯板层间偏位的监控标记。

为实现上述目的之三，本发明提供以下技术方案：

提供一种内层芯板层间偏位的监控方法，采用权上述的监控标记，当转移偶数图形层和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记与第二标记，若所述第一横线和所述第二横线叠合且第一竖线与第二竖线错位分布，第一间隔与第二间隔错位分布，则偶数图形层与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层与奇数图形层发生层间偏位；

其中，通过观察第一标记与第二标记在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向；

通过测量第一竖线的宽度与第二竖线的宽度重合度从而判断层间偏位量。

提供一种内层芯板层间偏位的监控方法，采用上述的监控标记，当转移偶数图形层和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记与第二标记，若所述第一横线和所述第二横线叠合且第一竖线与第二竖线错位分布，第一间隔与第二间隔错位分布，则偶数图形层与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层与奇数图形层发生层间偏位；

通过观察第一标记与第二标记在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向；

通过测量第一竖线的宽度与第二竖线的宽度重合度从而判断层间偏位量，其中，选择重合度最大的第一竖线与第二竖线，以该重合度作为层间偏位量，通过该重合度的范围判断层间偏位量是否在合格的标准范围内，若重合度大于标准范围则芯板不合格，否则合格。

提供一种内层芯板层间偏位的监控方法，采用上述的监控标记，当转移偶数图形层和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记与第二标记，若所述第一横线和所述第二横线叠合且第一竖线与第二竖线错位分布，第一间隔与第二间隔错位分布，则偶数图形层与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层与奇数图形层发生层间偏位；

通过观察第一标记与第二标记在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向，其中，观察X轴向第一标记和X轴向第二标记在X轴向上的偏移方向从而得出X轴向层间偏位，观察Y轴向第一标记和Y轴向第二标记在Y轴向上的偏移方向从而得出Y轴向层间偏位；

通过测量第一竖线的宽度与第二竖线的宽度重合度从而判断层间偏位量。

本发明一种内层芯板层间偏位的监控方法的有益效果

(1)本发明的内层芯板层间偏位的监控方法，由于监控标记设置在废料区，该废料区具有透光的效果，直接在光台上目视检查可以确认第一标记和第二标记之间的偏位方向以及偏位数据的关键监控点，能够数据化监控内层芯板上的层间偏位问题，方法更为具有时效性及准确性，适合大规模生产应用。

(2)本发明的内层芯板层间偏位的监控方法，其还将若干竖线的宽度逐渐递增设置，若发生层间偏位，通过选择出第一竖线与第二竖线重合度最大的位置则能直接判断出重合度，继而判断出该重合度是否超过标准范围，若不超出标准范围可忽略，否则判断偏位严重不合格，这样能快速地且准确地得出是否合格的结果。

(3)本发明的内层芯板层间偏位的监控方法，其在X轴向和Y轴向均设置了标记，因此分别监测X轴向的标记和Y轴向的标记就能快速准确地得出本申请X轴向和Y轴向上的偏位方向。

附图说明

图1是本申请具体实施方式的第一标记在偶数图形层废料区上的分布状态图。

图2是本申请具体实施方式的第一标记的第一横线与第二标记的第二横线叠合后的效果图。

附图标记：

1、基板；2、偶数图形层；3、第一标记；31、第一横线；32、第一竖线；33、第一间隔；4、第二标记；41、第二横线；42、第二竖线；43、第二间隔；5、叠合线；301、X轴向第一标记；302、Y轴向第一标记。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本发明的优选实施方式。虽然附图中显示了本发明的优选实施方式，然而应该理解，可以以各种形式实现本发明而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了使本发明更加透彻和完整，并且能够将本发明的范围完整地传达给本领域的技术人员。

在本发明使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“该”旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

应当理解，尽管在本发明可能采用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本发明范围的情况下，第一信息也可以被称为第二信息，类似地，第二信息也可以被称为第一信息。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例1

本实施例公开的内层芯板层间偏位的监控标记，如图1所示，所述内层芯板包括基板1，该基板1一般为透明树脂板，所述基板1的两侧分别设有偶数图形层2和奇数图形层，所述偶数图形层2的废料区设有第一标记3，所述奇数图形层的废料区设有第二标记4，所述第一标记3用于与所述第二标记4对比；所述第一标记3包括第一横线31和若干第一竖线32，若干所述第一竖线32沿所述第一横线31的长度方向连接于所述第一横线31的同一侧上，相邻第一竖线32之间以第一间隔33设置，此处需要说明，相邻第一竖线32之间的间隔都称为第一间隔33；所述第二标记4包括第二横线41和若干第二竖线42，若干所述第二竖线42沿所述第二横线41的长度方向连接于所述第二横线41的同一侧上，相邻第二竖线42之间以第二间隔43设置，此处需要说明，相邻第二竖线42之间的间隔都称为第二间隔43；其中，所述第一横线31与所述第二横线41叠合对齐且构成叠合线5，所述第一竖线32与所述第二竖线42错位分布于所述叠合线5的两侧上，所述第一间隔33与所述第二间隔43错位分布于所述叠合线5的两侧上，此处的作用是：使得第一竖线32的宽度恰好落入到间隔的宽度上，便于直接通过从竖线宽度上读出偏位量。

上述监控标记的工作原理：

由于第一标记3的第一横线31和第二标记4的第二横线41在不发生层间偏位的情况下是叠合状态(叠合线5)，且第一竖线32和第二竖线42是分别位于叠合线5的两侧上，在不发生层间偏位的情况下，第一竖线32和第二竖线42不会发生重合情况，因此通过观察横线的叠合情况以及第一竖线32与第二竖线42重合情况就能得出层间偏位方向以及层间偏位量。

本发明的内层芯板层间偏位的监控标记的作用和好处：其在偶数图形层2和奇数图形层上分别设置了第一标记3和第二标记4，标记均由横线和若干竖线组成，通过对比第一标记3的第一横线31与第二标记4的第二横线41是否叠合，以及通过对比第一标记3中的第一竖线32与第二标记4中的第二竖线42的重合情况从而得出是否发生层间偏位以及层间偏位量，克服传统不能数据化测量层间偏位情况的问题。

实施例2

便于理解，以下提供了内层芯板层间偏位的监控标记的一个实施例进行说明，如图2所示，在实际应用中，若干所述第一竖线32的长度均相同，例如统一采用12mil长方形铜条，若干所述第一竖线32的宽度以及若干第一间隔33的宽度均沿着叠合线5的同一延伸方向递增；若干所述第二竖线42的长度均相同，若干所述第二竖线42的宽度以及若干第二间隔43的宽度均沿着叠合线5的同二延伸方向递增。

上述如此设置竖线尺寸的好处是：使得竖线有多个尺寸，因此有多个参照标准，选择找出重合度最该的竖线就能即刻得出偏位量。

本实施例中，所述第一标记3设置有六条第一竖线32，六条第一竖线32的宽度分别为2.5mil、3mil、3.5mil、4mil、4.5mil、5mil；所述第二标记4设置有六条第二竖线42，六条第二竖线42的宽度分别为2.5mil、3mil、3.5mil、4mil、4.5mil、5mil，其中竖线均是铜条。此外，第一横线31和第二横线41均是5mil*60mil长方形铜条。

上述竖线的宽度是根据生产需要选择的宽度，一般情况下，上述竖线宽度代表了一些实用的参照标准，即，这些宽度能根据实际需要进行调整，此处不作唯一限定。

实施例3

便于理解，以下提供了内层芯板层间偏位的监控标记的一个实施例进行说明，在实际应用中，如图1所示，所述偶数图形层2的废料区在X轴向上设有X轴向第一标记3013，Y轴向上设有Y轴向第一标记3，所述奇数图形层的废料区在X轴向上设有X轴向第二标记4，Y轴向上设有Y轴向第二标记4，所述X轴向第一标记3013用于与所述X轴向第二标记4对比，所述Y轴向第一标记3用于与所述Y轴向第二标记4对比。

上述的在X轴向和Y轴向均设置了标记，便于在X轴向和Y轴向上看出偏位的方向。

本实施例中，所述偶数图形层2的四个拐角处均分别设有X轴向第一标记3013和Y轴向第一标记3，所述奇数图形层的四个拐角处均分别设有X轴向第二标记4和Y轴向第二标记4。

设置多个标记，便于在四个拐角处均监测偏位情况，提高监测的精确度。

实施例4

本实施例公开的电路板，包括实施例1的所述的内层芯板层间偏位的监控标记。

实施例5

本实施例公开的内层芯板层间偏位的监控方法，采用实施例1所述的监控标记，当转移偶数图形层2和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层2与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记3与第二标记4，若所述第一横线31和所述第二横线41叠合且第一竖线32与第二竖线42错位分布，第一间隔33与第二间隔43错位分布，则偶数图形层2与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层2与奇数图形层发生层间偏位；

其中，通过观察第一标记3与第二标记4在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向；

通过测量第一竖线32的宽度与第二竖线42的宽度重合度从而判断层间偏位量。

本发明的内层芯板层间偏位的监控方法，由于监控标记设置在废料区，该废料区具有透光的效果，直接在光台上目视检查可以确认第一标记3和第二标记4之间的偏位方向以及偏位数据的关键监控点，能够数据化监控内层芯板上的层间偏位问题，方法更为具有时效性及准确性，适合大规模生产应用。

实施例6

本实施例公开的内层芯板层间偏位的监控方法，采用实施例2所述的监控标记，当转移偶数图形层2和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层2与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记3与第二标记4，若所述第一横线31和所述第二横线41叠合且第一竖线32与第二竖线42错位分布，第一间隔33与第二间隔43错位分布，则偶数图形层2与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层2与奇数图形层发生层间偏位；

通过观察第一标记3与第二标记4在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向；

通过测量第一竖线32的宽度与第二竖线42的宽度重合度从而判断层间偏位量，其中，选择重合度最大的第一竖线32与第二竖线42，以该重合度作为层间偏位量，通过该重合度的范围判断层间偏位量是否在合格的标准范围内，若重合度大于标准范围则芯板不合格，否则合格。

上述的内层芯板层间偏位的监控方法的效果和好处：其还将若干竖线的宽度逐渐递增设置，若发生层间偏位，通过选择出第一竖线32与第二竖线42重合度最大的位置则能直接判断出重合度，继而判断出该重合度是否超过标准范围，若不超出标准范围可忽略，否则判断偏位严重不合格，这样能快速地且准确地得出是否合格的结果。

实施例7

本实施例公开的内层芯板层间偏位的监控方法，采用实施例3所述的监控标记，当转移偶数图形层2和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层2与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记3与第二标记4，若所述第一横线31和所述第二横线41叠合且第一竖线32与第二竖线42错位分布，第一间隔33与第二间隔43错位分布，则偶数图形层2与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层2与奇数图形层发生层间偏位；

通过观察第一标记3与第二标记4在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向，其中，观察X轴向第一标记3013和X轴向第二标记4在X轴向上的偏移方向从而得出X轴向层间偏位，观察Y轴向第一标记3和Y轴向第二标记4在Y轴向上的偏移方向从而得出Y轴向层间偏位；

通过测量第一竖线32的宽度与第二竖线42的宽度重合度从而判断层间偏位量。

本发明的内层芯板层间偏位的监控方法的效果和好处：其在X轴向和Y轴向均设置了标记，因此分别监测X轴向的标记和Y轴向的标记就能快速准确地得出本申请X轴向和Y轴向上的偏位方向。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的径长并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本申请的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种内层芯板层间偏位的监控标记，所述内层芯板包括基板，所述基板的两侧分别设有偶数图形层和奇数图形层，其特征是：所述偶数图形层的废料区设有第一标记，所述奇数图形层的废料区设有第二标记，所述第一标记用于与所述第二标记对比；

所述第一标记包括第一横线和若干第一竖线，若干所述第一竖线沿所述第一横线的长度方向连接于所述第一横线的同一侧上，相邻第一竖线之间以第一间隔设置；

所述第二标记包括第二横线和若干第二竖线，若干所述第二竖线沿所述第二横线的长度方向连接于所述第二横线的同一侧上，相邻第二竖线之间以第二间隔设置；

其中，所述第一横线与所述第二横线叠合对齐且构成叠合线，所述第一竖线与所述第二竖线错位分布于所述叠合线的两侧上，所述第一间隔与所述第二间隔错位分布于所述叠合线的两侧上。

2.根据权利要求1所述的内层芯板层间偏位的监控标记，其特征是：若干所述第一竖线的的长度均相同，若干所述第一竖线的宽度以及若干第一间隔的宽度均沿着叠合线的同一延伸方向递增；

若干所述第二竖线的的长度均相同，若干所述第二竖线的宽度以及若干第二间隔的宽度均沿着叠合线的同二延伸方向递增。

3.根据权利要求2所述的内层芯板层间偏位的监控标记，其特征是：所述第一标记设置有六条第一竖线，六条第一竖线的宽度分别为2.5mil、3mil、3.5mil、4mil、4.5mil、5mil；

所述第二标记设置有六条第二竖线，六条第二竖线的宽度分别为2.5mil、3mil、3.5mil、4mil、4.5mil、5mil。

4.根据权利要求1所述的内层芯板层间偏位的监控标记，其特征是：所述偶数图形层的废料区在X轴向上设有X轴向第一标记，Y轴向上设有Y轴向第一标记，所述奇数图形层的废料区在X轴向上设有X轴向第二标记，Y轴向上设有Y轴向第二标记，所述X轴向第一标记用于与所述X轴向第二标记对比，所述Y轴向第一标记用于与所述Y轴向第二标记对比。

5.根据权利要求4所述的内层芯板层间偏位的监控标记，其特征是：所述偶数图形层的四个拐角处均分别设有X轴向第一标记和Y轴向第一标记，所述奇数图形层的四个拐角处均分别设有X轴向第二标记和Y轴向第二标记。

6.一种电路板，其特征是：包括权利要求1-5任一项所述的内层芯板层间偏位的监控标记。

7.一种内层芯板层间偏位的监控方法，其特征是：采用权利要求1-5任一项所述的监控标记，当转移偶数图形层和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记与第二标记，若所述第一横线和所述第二横线叠合且第一竖线与第二竖线错位分布，第一间隔与第二间隔错位分布，则偶数图形层与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层与奇数图形层发生层间偏位；

其中，通过观察第一标记与第二标记在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向；

通过测量第一竖线的宽度与第二竖线的宽度重合度从而判断层间偏位量。

8.一种内层芯板层间偏位的监控方法，其特征是：采用权利要求2-3任一项所述的监控标记，当转移偶数图形层和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记与第二标记，若所述第一横线和所述第二横线叠合且第一竖线与第二竖线错位分布，第一间隔与第二间隔错位分布，则偶数图形层与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层与奇数图形层发生层间偏位；

通过观察第一标记与第二标记在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向；

通过测量第一竖线的宽度与第二竖线的宽度重合度从而判断层间偏位量，其中，选择重合度最大的第一竖线与第二竖线，以该重合度作为层间偏位量，通过该重合度的范围判断层间偏位量是否在合格的标准范围内，若重合度大于标准范围则芯板不合格，否则合格。

9.一种内层芯板层间偏位的监控方法，其特征是：采用权利要求4-5任一项所述的监控标记，当转移偶数图形层和奇数图形层后，在光台下判断偶数图形层与奇数图形层是否发生偏位及层间偏位幅度，判断方式如下：

对比第一标记与第二标记，若所述第一横线和所述第二横线叠合且第一竖线与第二竖线错位分布，第一间隔与第二间隔错位分布，则偶数图形层与奇数图形层不发生层间偏位，否则偶数图形层与奇数图形层发生层间偏位；

通过观察第一标记与第二标记在X轴向和Y轴向上的偏移方向从而判断层间偏位的方向，其中，观察X轴向第一标记和X轴向第二标记在X轴向上的偏移方向从而得出X轴向层间偏位，观察Y轴向第一标记和Y轴向第二标记在Y轴向上的偏移方向从而得出Y轴向层间偏位；

通过测量第一竖线的宽度与第二竖线的宽度重合度从而判断层间偏位量。