CN116760386A - 弹性波器件 - Google Patents
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Abstract
本申请关于一种弹性波器件，涉及射频滤波器领域。包括压电功能层，其具有相互对置的第一主面和第二主面；叉指换能器电极，其直接或间接地形成在第一主面上；反射层，其具有相互对置的第三主面和第四主面，第三主面直接或间接地形成在第二主面上；以及基底层，其直接或间接地形成在第四主面上。本申请通过多个支撑体中的任意一个支撑体的沿垂直于第一主面的方向的投影都落在多根第一电极指和多根第二电极指中的某一根电极指的沿垂直于第一主面的方向的投影以内的设置，具备了高频率、大机电耦合系数、高阻抗比、主谐振频率附近无寄生杂波、可实现无源温补补偿等优良特性，相比于现有技术具有更优的抗冲击性能、更优的导热性。
Description
技术领域
本申请涉及射频滤波器技术领域，特别涉及一种弹性波器件。
背景技术
用于目前的通信系统的高性能RF滤波器通常包括表面声波(SAW)谐振器、体声波(BAW)谐振器、薄膜体声波谐振器(FBAR)和其他类型的声学谐振器。
然而，这些现有技术不适合在为未来通信网络提出的更高频率和带宽上使用。对更宽的通信信道带宽的需求将不可避免地导致使用更高频率的通信频带。移动电话网络的无线电接入技术已经被3GPP(第三代合作伙伴计划)标准化。第5代移动网络的无线电接入技术在5GNR(新无线电)标准中定义。5G NR标准定义了几个新的通信频带。这些新的通信频带中的两个是使用从1300MHz至4200MHz频率范围的n77和使用从4400MHz至5000MHz频率范围的n79。频带n77和频带n79使用时分复用(TDD)，使得在频带n77和/或频带n79中操作的通信设备使用相同频率进行上行链路传输和下行链路传输。频带n77和n79的带通滤波器必须能够处理通信设备的发射功率。5GHz和6GHz的WiFi频带也需要高频率和宽带宽。5G NR标准还定义了具有在24.25GHz和40GHz之间的频率的毫米波通信频带。
专利文献CN116073785A公开了一种用于耦合优化的介电涂覆的横向激发薄膜体声学谐振器(XBAR)，能提供非常高的机电耦合和高频能力，适用于频率高于3GHz的通信频段的滤波器。但是，作为行业公知，该种XBAR器件的压电薄膜置于空腔之上，抗冲击性能差、导热性差，主谐振频率附近具有较为明显的寄生杂波。
发明内容
本申请的目的是提供一种弹性波器件，以解决上述现有技术存在的问题。
为实现上述目的，本申请采用的技术方案为：
第一方面，本申请提供了一种弹性波器件，包括：
压电功能层，其具有相互对置的第一主面和第二主面；
叉指换能器电极，其直接或间接地形成在所述第一主面上；
反射层，其具有相互对置的第三主面和第四主面，所述第三主面直接或间接地形成在所述第二主面上；以及
基底层，其直接或间接地形成在所述第四主面上；
其中，所述叉指换能器电极包括相互交错插入的多根第一电极指和多根第二电极指，以及在所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上相互对置的第一汇流条和第二汇流条；多根所述第一电极指和多根所述第二电极指都具有各自的第一端部和第二端部；多根所述第一电极指的第一端部与所述第一汇流条直接连接，多根所述第一电极指的第二端部与所述第二汇流条间隔对置；多根所述第二电极指的第一端部与所述第二汇流条直接连接，多根所述第二电极指的第二端部与所述第一汇流条间隔对置；将通过连结多根所述第二电极指的第二端部而形成的假想线设为第一包络线，将通过连结多根所述第一电极指的第二端部而形成的假想线设为第二包络线，将所述第一包络线与所述第二包络线之间的区域设为双电极指区域；位于所述双电极指区域的反射层由沿弹性波传播方向交替分布的多个支撑体和多个空腔组成；
多个所述支撑体中的任意一个支撑体的沿垂直于所述第一主面的方向的投影都落在多根所述第一电极指和多根所述第二电极指中的某一根电极指的沿垂直于所述第一主面的方向的投影以内。
在一种可能的实现方式中，所述压电功能层为一个压电材料薄膜；或者
所述压电功能层包括至少一个压电材料薄膜和至少一个非压电材料薄膜。
在一种可能的实现方式中，所述压电材料薄膜为铌酸锂压电薄膜、钽酸锂压电薄膜、石英压电薄膜、氧化锌压电薄膜以及氮化铝压电薄膜中的一种或几种组合。
在一种可能的实现方式中，所述非压电材料薄膜为Mo、Pt、Cu、W、Si、SiC、SiO2、SiON、Ta2O5、Si3N4中的一种或几种组合。
在一种可能的实现方式中，所述压电功能层的厚度hp范围为0.06λ≤hp≤0.35λ，λ为工作模态弹性波波长，λ＝2p，p为所述叉指换能器电极的电极指周期。
在一种可能的实现方式中，多个所述支撑体沿弹性波传播方向周期性地分布；或者
多个所述支撑体沿弹性波传播方向非周期性地分布。
在一种可能的实现方式中，所述支撑体的材料为Mo、Pt、Cu、W、Si、SiC、SiO2、SiON、AlN、Ta2O5、Al2O3、Si3N4以及石英中的一种或几种组合；或者
所述支撑体的材料与所述基底层的材料相同。
在一种可能的实现方式中，利用反对称声波模式：
所述支撑体的沿弹性波传播方向的宽度范围为小于等于w；
所述支撑体的沿垂直于所述第一主面的方向的高度范围为大于等于0.01λ；
其中，w为多根所述第一电极指和多根所述第二电极指的电极指平均宽度，λ为工作模态弹性波波长，λ＝2p，p为所述叉指换能器电极的电极指周期。
在一种可能的实现方式中，利用对称声波模式：
所述支撑体的沿弹性波传播方向的宽度范围为小于等于0.7w；
所述支撑体的沿垂直于所述第一主面的方向的高度范围为小于等于0.1λ；
其中，w为多根所述第一电极指和多根所述第二电极指的电极指平均宽度，λ为工作模态弹性波波长，λ＝2p，p为所述叉指换能器电极的电极指周期。
在一种可能的实现方式中，所述基底层为硅、蓝宝石、碳化硅、石英、金刚石以及氮化镓中的一种；或者
所述基底层由多层不同的上述材料堆叠构成。
第二方面，本申请提供了一种滤波器装置，所述滤波器装置与天线连接，所述滤波器装置包括串联臂弹性波谐振器以及并联臂弹性波谐振器，所述串联臂弹性波谐振器以及所述并联臂弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是如上任一所述的弹性波器件。
第三方面，本申请提供了一种多工器，包括：
天线端子，其与天线连接；以及
多个滤波器装置，公共连接于所述天线端子，至少一个所述滤波器装置是如上所述的滤波器装置。
本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：
通过多个支撑体中的任意一个支撑体的沿垂直于第一主面的方向的投影都落在多根第一电极指和多根第二电极指中的某一根电极指的沿垂直于第一主面的方向的投影以内的设置，具备了高频率、大机电耦合系数、高阻抗比、主谐振频率附近无寄生杂波、可实现无源温补补偿等优良特性，相比于现有技术具有更优的抗冲击性能、更优的导热性。
附图说明
附图用来提供对本申请的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本申请，并不构成对本申请的限制。在附图中：
图1(a)示出了现有技术中的弹性波器件100的俯视示意图；
图1(b)示出了图1(a)的A-A'剖视图；
图1(c)示出了现有技术中的弹性波器件100的导纳-频率曲线图；
图2(a)示出了本申请实施例一提供的弹性波器件200的俯视示意图；
图2(b)示出了图2(a)的B-B'剖视图；
图3示出了本申请实施例一提供的工作在反对称声波模式的弹性波器件200随压电层厚度变化的导纳-频率曲线图；
图4示出了本申请实施例一提供的工作在反对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱宽度变化的导纳-频率曲线图；
图5示出了本申请实施例一提供的工作在反对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱高度变化的导纳-频率曲线图；
图6示出了本申请实施例一提供的工作在对称声波模式的弹性波器件200随压电层厚度变化的导纳-频率曲线图；
图7示出了本申请实施例一提供的工作在对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱宽度变化的导纳-频率曲线图；
图8示出了本申请实施例一提供的工作在对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱高度变化的导纳-频率曲线图；
图9(a)示出了本申请实施例二提供的弹性波器件300的俯视示意图；
图9(b)示出了图9(a)的C-C'剖视图；
图10示出了本申请实施例二提供的工作在对称声波模式的弹性波器件300随支撑柱宽度变化的导纳-频率曲线图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
其中，相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是本申请说明书附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。在本申请说明书的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上。
下面结合附图和实施例对本申请作更进一步的说明。
首先，对现有技术中的弹性波器件100进行简单的介绍：
请参阅图1(a)至图1(b)，图1(a)示出了现有技术中的弹性波器件100的俯视示意图，图1(b)示出了图1的A-A'剖视图，定义平行于坐标系中的x轴的方向为电极指排列方向，定义平行于坐标系中的y轴的方向为电极指延伸方向，定义平行于坐标系中的z轴的方向为弹性波器件100的高度方向。
该弹性波器件100包括压电功能层101，其具有相互对置的第一主面和第二主面；叉指换能器电极，其直接或间接地形成在第一主面上；基底层102，其直接或间接地形成在第二主面上。
其中，叉指换能器电极包括相互交错插入的多根第一电极指103和多根第二电极指104，以及在第一电极指103、第二电极指104指条延伸方向上相互对置的第一汇流条105和第二汇流条106；多根第一电极指103和多根第二电极指104都具有各自的第一端部和第二端部；多根第一电极指103的第一端部与第一汇流条105直接连接，多根第一电极指103的第二端部与第二汇流条106间隔对置；多根第二电极指104的第一端部与第二汇流条106直接连接，多根第二电极指104的第二端部与第一汇流条105间隔对置。
另外，在压电功能层101的下方具有声学反射器，用于反射在压电功能层101中传播的声波。具体地，该声学反射器为通过MEMS工艺对基底层102进行局部刻蚀而形成的空腔107。
现有技术提供的弹性波器件100的设计参数如下：
电极材料Al，周期p＝2.5μm，波长λ＝2p＝5μm，电极厚度0.02λ，金属化比0.2p，压电材料薄膜的材料铌酸锂(LiNbO3，LN)压电薄膜，切角ZY-LN，膜厚0.08λ。图1(c)示出了现有技术中的弹性波器件100的导纳-频率曲线图。如图1(c)所示，该结构上激励的主模式为反对称模式，其在给定的压电薄膜厚度下，提供较高的谐振频率和较大的机电耦合系数，但其谐振频率周围存在显著的杂散模式，严重恶化器件的性能。此外，由于该结构压电薄膜厚度较小，薄膜下方设置尺寸较大空腔，使得结构脆弱。
实施例一：
请参阅图2(a)至图1(b)，图2(a)示出了本申请实施例一提供的弹性波器件200的俯视示意图，图2(b)示出了图2(a)的B-B'剖视图，定义平行于坐标系中的x轴的方向为电极指排列方向，定义平行于坐标系中的y轴的方向为电极指延伸方向，定义平行于坐标系中的z轴的方向为弹性波器件200的高度方向。
该弹性波器件200，包括压电功能层201，其具有相互对置的第一主面和第二主面；叉指换能器电极，其直接或间接地形成在第一主面上；反射层202，其具有相互对置的第三主面和第四主面，第三主面直接或间接地形成在第二主面上；以及基底层203，其直接或间接地形成在第四主面上。
在本申请实施例中，压电功能层201实现为一个压电材料薄膜，该压电材料薄膜实现为铌酸锂(LiNbO3，LN)压电薄膜。
叉指换能器电极包括相互交错插入的多根第一电极指204和多根第二电极指205，以及在第一电极指204、第二电极指205指条延伸方向上相互对置的第一汇流条206和第二汇流条207；多根第一电极指204和多根第二电极指205都具有各自的第一端部和第二端部；多根第一电极指204的第一端部与第一汇流条206直接连接，多根第一电极指204的第二端部与第二汇流条207间隔对置；多根第二电极指205的第一端部与第二汇流条207直接连接，多根第二电极指205的第二端部与第一汇流条206间隔对置；将通过连结多根第二电极指205的第二端部而形成的假想线设为第一包络线208，将通过连结多根第一电极指204的第二端部而形成的假想线设为第二包络线209，将第一包络线208与第二包络线209之间的区域设为双电极指区域210；位于双电极指区域210的反射层202由沿弹性波传播方向交替分布的多个支撑体2021和多个空腔2022组成。
其中，多个支撑体2021中的任意一个支撑体的沿垂直于第一主面的方向(即z方向)的投影都落在多根第一电极指204和多根第二电极指205中的某一根电极指的沿垂直于第一主面的方向(即z方向)的投影以内。
在本申请实施例中，多个支撑体2021沿弹性波传播方向(即x方向)周期性地分布。可选地，多个支撑体2021也可以实现为沿弹性波传播方向非周期性地分布。其中，支撑体2021的材料与基底层203的材料相同，均为硅(Si)。可选地，基底层203也可以实现为由多层不同材料堆叠构成。
在一个示例中，以反对称声波模式为例，实施例一的设计参数除了支撑柱和衬底以外与现有技术的设计参数相同，支撑柱材料Si，支撑柱高度0.1λ，支撑柱宽度0.1p(＝0.5*电极宽度)，基底层材料Si。图3示出了本申请实施例一提供的工作在反对称声波模式的弹性波器件200随压电层厚度变化的导纳-频率曲线图。从图3可以看出，弹性波器件200中以反对称声波模式为主谐振模式、多种声波模式并存。随着压电层厚度增大，主模式的谐振频率单调递减，频率范围覆盖2～10GHz；谐振频率处的导纳峰峰值之比先增大后减小，当压电薄膜层厚度hp满足0.06λ≤hp≤0.16λ时，具有良好的谐振性能。当压电层厚度hp＝0.08λ时，反对称声波模式的导纳峰峰值比最大约为86dB。
在这一个示例中，优选压电层厚度hp＝0.08λ。图4示出了本申请实施例一提供的工作在反对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱宽度变化的导纳-频率曲线图。随着支撑柱宽度的增大，谐振频率处的导纳峰峰值之比逐渐减小，反谐振频率处的谐振特性逐渐减弱。当支撑体的沿弹性波传播方向的宽度范围为小于等于w时，导纳比大于等于73dB；当支撑体宽度大于w时，反对称声波模式的在反谐振频率处的谐振特性出现明显恶化。
图5示出了本申请实施例一提供的工作在反对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱高度变化的导纳-频率曲线图。从图5中可以看出，随着支撑柱高度的增大，反对称声波模式在谐振频率处的导纳峰峰值之比越大。当支撑柱厚度大于等于0.01λ时，能够提供更好的谐振性能，且能够提供较好的杂散模式抑制。
在另一个示例中，以对称声波模式为例，实施例一的设计参数如下：电极材料Al，周期p＝1μm，波长λ＝2p＝2μm，电极厚度0.0125λ，金属化比0.5p，压电材料薄膜的材料铌酸锂(LiNbO3，LN)压电薄膜，切角为X36°Y-LN，膜厚hp＝0.15λ，支撑柱材料Si，支撑柱高度0.05λ，基底层材料Si。
当支撑柱宽度为0.2p，支撑柱高度为0.03λ。图6示出了本申请实施例一提供的工作在对称声波模式的弹性波器件200随压电层厚度变化的导纳-频率曲线图。从图6中可以看出，弹性波器件200中以对称声波模式为主谐振模式、谐振附近几乎无杂散。在0.1λ到0.35λ范围内，随着压电层厚度增大，主模式的谐振频率变化较小，频率范围基本维持在3～3.6GHz；谐振频率处的导纳峰峰值之比先增大后减小，当压电薄膜层厚度hp满足0.1λ≤hp≤0.35λ时，具有良好的谐振性能，谐振频率处的导纳峰峰值之比大于65dB。当压电层厚度hp＝0.15λ时，反对称声波模式的导纳峰峰值比最大约为80dB。
在本示例中，优选压电层厚度hp＝0.15λ时，图7示出了本申请实施例一提供的对称声波模式的弹性波器件200的随支撑柱宽度变化的导纳-频率曲线图。从图7中可以看出，支撑柱宽度在0.05～0.35p范围变化时，随着支撑柱宽度的增加，对称声波模式在谐振频率处的导纳峰峰值之比逐渐降低。当支撑柱宽度小于等于0.35p时，导纳峰峰值之比大于等于65dB，能够提供更好的谐振性能。当压电层厚度变薄时，支撑柱宽度的最大取值从0.25p增大到0.35p。
在这一示例中，另外由于支撑柱高度对对称声波模式谐振性能的影响显著。当压电层厚度hp＝0.15λ，支撑柱宽度为0.2p时，图8示出了本申请实施例一提供的工作在对称声波模式的弹性波器件200随支撑柱高度变化的导纳-频率曲线图。从图8中可以看出，支撑柱高度在0.01～0.1λ范围变化时，随着支撑柱高度的增加，对称声波模式在谐振频率处的导纳峰峰值之比逐渐降低。当支撑柱高度≤0.1λ时，导纳峰峰值之比大于等于65dB，通过减小支撑柱的高度可以显著改善谐振性能。
实施例二：
请参阅图9(a)至图9(b)，图9(a)示出了本申请实施例二提供的弹性波器件300的俯视示意图，图9(b)示出了图9(a)的C-C'剖视图，定义平行于坐标系中的x轴的方向为电极指排列方向，定义平行于坐标系中的y轴的方向为电极指延伸方向，定义平行于坐标系中的z轴的方向为弹性波器件300的高度方向。
该弹性波器件300，包括压电功能层301，其具有相互对置的第一主面和第二主面；叉指换能器电极，其直接或间接地形成在第一主面上；反射层302，其具有相互对置的第三主面和第四主面，第三主面直接或间接地形成在第二主面上；以及基底层303，其直接或间接地形成在第四主面上。
在本申请实施例中，压电功能层301实现为包括一个压电材料薄膜层3011和一个非压电材料薄膜层3012。其中，非压电材料薄膜层3012位于压电材料薄膜层3011的下方。可以理解的是，叉指换能器电极直接或间接地形成在压电材料薄膜层3011上。该压电材料薄膜实现为铌酸锂(LiNbO3)压电薄膜。该非压电材料薄膜实现为二氧化硅(SiO2)非压电薄膜。
叉指换能器电极包括相互交错插入的多根第一电极指304和多根第二电极指305，以及在第一电极指304、第二电极指305指条延伸方向上相互对置的第一汇流条306和第二汇流条307；多根第一电极指304和多根第二电极指305都具有各自的第一端部和第二端部；多根第一电极指304的第一端部与第一汇流条306直接连接，多根第一电极指304的第二端部与第二汇流条307间隔对置；多根第二电极指305的第一端部与第二汇流条307直接连接，多根第二电极指305的第二端部与第一汇流条306间隔对置；将通过连结多根第二电极指305的第二端部而形成的假想线设为第一包络线308，将通过连结多根第一电极指304的第二端部而形成的假想线设为第二包络线309，将第一包络线308与第二包络线309之间的区域设为双电极指区域310；位于双电极指区域310的反射层302由沿弹性波传播方向交替分布的多个支撑体3021和多个空腔3022组成。
其中，多个支撑体3021中的任意一个支撑体的沿垂直于第一主面的方向(即z方向)的投影都落在多根第一电极指304和多根第二电极指305中的某一根电极指的沿垂直于第一主面的方向(即z方向)的投影以内。
在本申请实施例中，多个支撑体3021沿弹性波传播方向(即x方向)周期性地分布。可选地，多个支撑体3021也可以实现为沿弹性波传播方向非周期性地分布。其中，支撑体3021的材料与基底层303的材料相同，均为硅(Si)。可选地，基底层303也可以实现为由多层不同材料堆叠构成。
在一个示例中，实施例二的设计参数除了压电层厚度以外与实施例一对称声波模式的设计参数相同，压电层厚度hp＝0.08λ，支撑柱高度0.03λ，以及二氧化硅(SiO2)非压电薄膜厚度为0.05λ。图10示出了本申请实施例二提供的工作在对称声波模式的弹性波器件300随支撑柱宽度变化的导纳-频率曲线图。从图10中可以看出，支撑柱宽度在0.05～0.15p范围变化时，随着支撑柱宽度增大，对称声波模式在谐振频率处的导纳峰峰值之比逐渐降低。当支撑住宽度小于等于0.15p时，其谐振频率处的导纳峰峰值之比大于等于65dB，具有良好的谐振性能，且对称声波模式谐振附近无杂散。
在本实施中，采用压电薄膜结合非压电薄膜构成叠层，其二氧化硅(SiO2)作为非压电薄膜层，具有无源温度补偿作用，通过调控其SiO2厚度可显著改善弹性波器件300的温度稳定性。
综上所述，本申请提供的弹性波器件，通过多个支撑体中的任意一个支撑体的沿垂直于第一主面的方向的投影都落在多根第一电极指和多根第二电极指中的某一根电极指的沿垂直于第一主面的方向的投影以内的设置，具备了高频率、大机电耦合系数、高阻抗比、主谐振频率附近无寄生杂波、可实现无源温补补偿等优良特性，相比于现有技术具有更优的抗冲击性能、更优的导热性。
在本申请公开的实施例中，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明公开的实施例中的具体含义。
以上所述仅是本申请的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。
Claims (12)
1.一种弹性波器件，其特征在于，包括：
压电功能层，其具有相互对置的第一主面和第二主面；
叉指换能器电极，其直接或间接地形成在所述第一主面上；
反射层，其具有相互对置的第三主面和第四主面，所述第三主面直接或间接地形成在所述第二主面上；以及
基底层，其直接或间接地形成在所述第四主面上；
其中，所述叉指换能器电极包括相互交错插入的多根第一电极指和多根第二电极指，以及在所述第一电极指、所述第二电极指指条延伸方向上相互对置的第一汇流条和第二汇流条；多根所述第一电极指和多根所述第二电极指都具有各自的第一端部和第二端部；多根所述第一电极指的第一端部与所述第一汇流条直接连接，多根所述第一电极指的第二端部与所述第二汇流条间隔对置；多根所述第二电极指的第一端部与所述第二汇流条直接连接，多根所述第二电极指的第二端部与所述第一汇流条间隔对置；将通过连结多根所述第二电极指的第二端部而形成的假想线设为第一包络线，将通过连结多根所述第一电极指的第二端部而形成的假想线设为第二包络线，将所述第一包络线与所述第二包络线之间的区域设为双电极指区域；位于所述双电极指区域的反射层由沿弹性波传播方向交替分布的多个支撑体和多个空腔组成；
多个所述支撑体中的任意一个支撑体的沿垂直于所述第一主面的方向的投影都落在多根所述第一电极指和多根所述第二电极指中的某一根电极指的沿垂直于所述第一主面的方向的投影以内。
2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电功能层为一个压电材料薄膜；或者
所述压电功能层包括至少一个压电材料薄膜和至少一个非压电材料薄膜。
3.根据权利要求2所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电材料薄膜为铌酸锂压电薄膜、钽酸锂压电薄膜、石英压电薄膜、氧化锌压电薄膜以及氮化铝压电薄膜中的一种或几种组合。
4.根据权利要求2所述的弹性波器件，其特征在于，所述非压电材料薄膜为Mo、Pt、Cu、W、Si、SiC、SiO2、SiON、Ta2O5、Si3N4中的一种或几种组合。
5.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述压电功能层的厚度hp范围为0.06λ≤hp≤0.35λ，λ为工作模态弹性波波长，λ＝2p，p为所述叉指换能器电极的电极指周期。
6.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，多个所述支撑体沿弹性波传播方向周期性地分布；或者
多个所述支撑体沿弹性波传播方向非周期性地分布。
7.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述支撑体的材料为Mo、Pt、Cu、W、Si、SiC、SiO2、SiON、AlN、Ta2O5、Al2O3、Si3N4以及石英中的一种或几种组合；或者
所述支撑体的材料与所述基底层的材料相同。
8.根据权利要求1所述的弹性波器件，利用反对称声波模式，其特征在于：
所述支撑体的沿弹性波传播方向的宽度范围为小于等于w；
所述支撑体的沿垂直于所述第一主面的方向的高度范围为大于等于0.01λ；
其中，w为多根所述第一电极指和多根所述第二电极指的电极指平均宽度，λ为工作模态弹性波波长，λ＝2p，p为所述叉指换能器电极的电极指周期。
9.根据权利要求1所述的弹性波器件，利用对称声波模式，其特征在于：
所述支撑体的沿弹性波传播方向的宽度范围为小于等于0.7w；
所述支撑体的沿垂直于所述第一主面的方向的高度范围为小于等于0.1λ；
其中，w为多根所述第一电极指和多根所述第二电极指的电极指平均宽度，λ为工作模态弹性波波长，λ＝2p，p为所述叉指换能器电极的电极指周期。
10.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，所述基底层为硅、蓝宝石、碳化硅、石英、金刚石以及氮化镓中的一种；或者
所述基底层由多层不同的上述材料堆叠构成。
11.一种滤波器装置，所述滤波器装置与天线连接，所述滤波器装置包括串联臂弹性波谐振器以及并联臂弹性波谐振器，所述串联臂弹性波谐振器以及所述并联臂弹性波谐振器中的至少一个弹性波谐振器是权利要求1至10中任一所述的弹性波器件。
12.一种多工器，包括：
天线端子，其与天线连接；以及
多个滤波器装置，公共连接于所述天线端子，至少一个所述滤波器装置是权利要求11所述的滤波器装置。
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