CN116755171B - 一种cp测试的安全防护系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种CP测试的安全防护系统，属于CP测试技术领域，包括图像采集模块、图像检测模块、保护盖状态判断模块、晶圆位置判断模块。本发明通过设置的针卡保护盖固定柱，并在针卡保护盖区域图像中对其进行识别，获取其目标框的数量信息，然后根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息判断针卡保护盖是否被完全取下，检测准确度高，保证针卡保护盖能够被及时取下，避免了撞坏探针卡的重大事故发生；并且基于晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，实现对晶圆放置位置的准确检测，保证在进行CP测试工作时，晶圆处于准确的位置，一定程度上降低了晶圆在测试过程中造成损坏的几率。

Description

一种CP测试的安全防护系统
技术领域
本发明涉及CP（Chip Probing）测试技术领域，具体涉及一种CP测试的安全防护系统。
背景技术
芯片中的CP一般指的是CP测试，也就是（Chip Probing），CP测试在整个芯片制作流程中处于晶圆制造和封装之间，测试对象是针对整片晶圆（Wafer）中的每一个Die，目的是确保整片晶圆（Wafer）中的每一个Die都能基本满足器件的特征或者设计规格书，通常包括电压、电流、时序和功能的验证。CP测试的具体操作是在晶圆制作完成之后，成千上万的裸DIE（未封装的芯片）规则的分布满整个Wafer。由于尚未进行划片封装，只需要将这些裸露在外的芯片管脚，通过探针卡上的探针（Probe）与测试机台（Tester）连接，进行芯片测试就是CP测试。
CP测试用的探针卡上装有一个针卡保护盖，由于探针卡是测试厂中最为贵重的消耗品，因此在探针卡不使用的时候会采用保护盖对其进行保护，在上机测试前需要人工把针卡保护盖取下，不然会造成撞坏探针卡的重大事故，取下针卡保护盖的动作靠人工完成，容易忘记。
现有的CP测试的安全防护系统，无法对针卡保护盖是否取下进行精准的检测，并且对于晶圆在测试机台的放置位置准确程度的检测手段相对复杂，准确度也有待提高，影响CP测试工作的效率，甚至可能会对探针卡上的探针或晶圆造成损坏，提高了测试成本。为此，提出一种CP测试的安全防护系统。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于：如何解决现有技术中无法对针卡保护盖是否取下进行精准的检测，并且对于晶圆在测试机台的放置位置准确程度的检测手段相对复杂，准确度也有待提高，影响CP测试工作的效率，甚至可能会对探针卡上的探针或晶圆造成损坏的问题，提供了一种CP测试的安全防护系统。
本发明是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本发明包括图像采集模块、图像检测模块、保护盖状态判断模块、晶圆位置判断模块；
所述图像采集模块，用于获取针卡保护盖区域图像与晶圆区域图像；
所述图像检测模块，用于对针卡保护盖区域图像与晶圆区域图像进行处理，获取针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，以及晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息；
所述保护盖状态判断模块，用于根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，判断针卡保护盖是否被完全取下；
所述晶圆位置判断模块，用于根据晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，判断晶圆放置在探针卡上的位置是否准确。
更进一步地，所述图像采集模块包括图像获取单元、图像预处理单元；所述图像获取单元用于在接收到准备测试信号后，通过工业相机对下方的测试机台上针卡保护盖区域进行拍摄，获取测试机台上针卡保护盖区域的俯拍图像，记为针卡保护盖区域图像，并用于在接收到晶圆已放置信号后，通过工业相机同时对下方的晶圆及针卡保护盖的固定柱进行拍摄，获取包含晶圆及针卡保护盖固定柱的俯拍图像，记为晶圆区域图像，获取到针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像后，将其发送至所述图像预处理单元中；所述图像预处理单元用于对针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像进行降噪、增强处理，获取预处理后的针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像，并将预处理后的针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像发送至所述图像检测模块中。
更进一步地，所述针卡保护盖与下方的针卡保护盖固定柱可拆卸连接，针卡保护盖固定柱竖直设置，为圆柱体结构。
更进一步地，在所述图像获取单元中，所述工业相机设置于所述测试机台上探针卡的正上方，探针卡水设置，拍摄时所述工业相机的光轴垂直于水平面，且光轴在水平面的投影点位于探针卡的中心点位置，该中心点位置与晶圆放置位置准确时的中心点位置重合。
更进一步地，所述图像检测模块包括第一目标识别单元、第二目标识别单元；所述第一目标识别单元用于通过第一目标检测模型对经过预处理后的针卡保护盖区域图像进行针卡保护盖固定柱的目标识别工作，获取针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，并将其发送至所述保护盖状态判断模块中；所述第二目标识别单元用于通过第二目标检测模型对经过预处理后的晶圆区域图像进行晶圆、针卡保护盖固定柱的目标识别工作，获取晶圆区域图像中晶圆目标框、针卡保护盖固定柱目标框的位置信息，位置信息为目标框左上角坐标和右下角点坐标，即获取晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，并将其发送晶圆位置判断模块中。
更进一步地，所述保护盖状态判断模块的具体处理过程如下：
S11：获取针卡保护盖固定柱目标框的数量，记为P；
S12：判断数量P是否等于预设数量，预设数量为4个；
S13：当数量P等于预设数量时，表示针卡保护盖已完全取下，当数量P小于预设数量时，表示针卡保护盖未完全取下。
更进一步地，所述晶圆位置判断模块，包括长度值计算单元、角度计算单元、位置准确度判断单元；所述长度值计算单元用于根据圆区域图像中晶圆位置信息计算晶圆目标框的中心点坐标，并用于根据晶圆区域图像中针卡保护盖固定柱的位置信息，计算各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点的坐标，进而计算各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值，并将其发送至所述位置准确度判断单元中；所述角度计算单元，用于对四条线段中任意相邻两条线段之间的夹角进行计算，得到四个夹角值，并将其发送至所述位置准确度判断单元中；所述位置准确度判断单元用于先判断四条线段的长度值是否均在设定长度阈值范围内，再判断四个夹角值是否均在设定角度阈值范围内，当长度值与夹角值均在对应的阈值范围内，则判断晶圆放置在探针卡上的位置是准确的，否则判断晶圆放置在探针卡上的位置是不准确的。
更进一步地，所述长度值计算单元的具体处理过程如下：
S21：获取晶圆区域图像中各针卡保护盖固定柱目标框的左上角坐标和右下角点坐标；
S22：计算晶圆区域图像中各针卡保护盖固定柱目标框的四个角点坐标；
S23：计算各针卡保护盖固定柱目标框的四个角点与晶圆目标框的中心点之间的距离，进而获取各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点的坐标；
S24：计算各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值。
更进一步地，所述角度计算单元的具体处理过程如下：
S31：获取各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值；
S32：根据各距离最近角点的坐标计算两个相邻距离最近角点之间的长度值，在两个相邻距离最近角点与晶圆目标框中心点形成的四个三角形中，由于各三角形的边长已计算得到，进而通过三角函数计算得到四条线段中任意相邻两条线段之间的夹角值。
更进一步地，在所述位置准确度判断单元中，设定长度阈值范围、设定角度阈值范围均为预设值，当晶圆放置在探针卡上的位置准确时，四个长度值与夹角值均在对应的阈值范围内。
本发明相比现有技术具有以下优点：该CP测试的安全防护系统，通过设置的针卡保护盖固定柱，并在针卡保护盖区域图像中对其进行识别，获取其目标框的数量信息，然后根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息判断针卡保护盖是否被完全取下，检测准确度高，保证针卡保护盖能够被及时取下，避免了撞坏探针卡的重大事故发生；并且基于晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，实现对晶圆放置位置的准确检测，保证在进行CP测试工作时，晶圆处于准确的位置，一定程度上降低了晶圆在测试过程中造成损坏的几率。
附图说明
图1是本发明CP测试的安全防护系统的结构示意图；
图2是本发明实施例中针卡保护盖的俯视示意图；
图3是本发明实施例中晶圆区域图像的示例图。
图中：1、测试机台；2、针卡保护盖；3、探针卡；4、针卡保护盖固定柱；5、晶圆。
具体实施方式
下面对本发明的实施例作详细说明，本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
如图1-图3所示，本实施例提供一种技术方案：一种CP测试的安全防护系统，包括图像采集模块、图像检测模块、保护盖状态判断模块、晶圆位置判断模块；
在本实施例中，所述图像采集模块，用于获取针卡保护盖区域图像与晶圆区域图像；
具体的，所述图像采集模块包括图像获取单元、图像预处理单元；所述图像获取单元用于在接收到准备测试信号后，通过工业相机对下方的测试机台上针卡保护盖区域进行拍摄，获取测试机台上针卡保护盖区域的俯拍图像，记为针卡保护盖区域图像；并用于在接收到晶圆已放置信号后，通过工业相机同时对下方的晶圆及针卡保护盖的固定柱进行拍摄，获取包含晶圆及针卡保护盖固定柱的俯拍图像，记为晶圆区域图像；获取到针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像后，将其发送至所述图像预处理单元中；所述图像预处理单元用于对针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像进行降噪、增强处理，获取预处理后的针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像，并将预处理后的针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像发送至所述图像检测模块中。
具体的，所述针卡保护盖2与下方的针卡保护盖固定柱4可拆卸连接，针卡保护盖固定柱4竖直设置，为圆柱体结构，探针卡3安装在测试机台1上（见图2）。
需要说明的是，所述针卡保护盖完全取下时，针卡保护盖区域图像中针卡保护盖的固定柱（四个）完全漏出。
作为更具体的，在所述图像获取单元中，所述准备测试信号、晶圆已放置信号均由上位机发送。
作为更具体的，在所述图像获取单元中，所述工业相机设置于所述测试机台上探针卡的正上方，探针卡水设置，拍摄时所述工业相机的光轴垂直于水平面，且光轴在水平面的投影点位于探针卡的中心点位置，该中心点位置与晶圆放置位置准确时的中心点位置重合。
作为更具体的，在所述图像预处理单元中，降噪处理方式包括但不限于采用中值滤波降噪、变换域去噪、高斯滤波降噪方法实现，增强处理方式包括但不限于采用直方图均衡化处理方法实现，经过预处理后，图像质量得到提高，有利于提高后续识别工作的准确性。
在本实施例中，所述图像检测模块，用于对针卡保护盖区域图像与晶圆区域图像进行处理，获取针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，以及晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息；
具体的，所述图像检测模块包括第一目标识别单元、第二目标识别单元；所述第一目标识别单元用于通过第一目标检测模型对经过预处理后的针卡保护盖区域图像进行针卡保护盖固定柱的目标识别工作，获取针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，并将其发送至所述保护盖状态判断模块中；所述第二目标识别单元用于通过第二目标检测模型对经过预处理后的晶圆区域图像进行晶圆、针卡保护盖固定柱的目标识别工作，获取晶圆区域图像中晶圆目标框、针卡保护盖固定柱目标框的位置信息（左上角坐标和右下角点坐标），即获取晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，并将其发送晶圆位置判断模块中。
作为更具体的，所述第一目标检测模型基于SSD目标检测网络训练得到，通过拍摄大量的针卡保护盖区域图像形成数据集，将数据集分为训练集和验证集，对训练集和验证集中的图片中的针卡保护盖固定柱进行人工标注，将训练集中的图片输入到SSD目标检测网络中进行训练，得到训练后的模型，并通过验证集对训练后的模型进行性能验证，当通过验证后，保存模型参数，即得到第一目标识别模型。
作为更具体的，所述第二目标检测模型基于yolov3目标检测网络训练得到，训练过程可参考上述的第一目标识别模型的训练过程，该模型在识别到目标检测框后，还会对目标检测框中进行分类，即分为晶圆目标框、针卡保护盖固定柱目标框。
在本实施例中，所述保护盖状态判断模块，用于根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息判断针卡保护盖是否被完全取下。
具体的，所述保护盖状态判断模块的具体处理过程如下：
S11：获取针卡保护盖固定柱目标框的数量，记为P；
S12：判断数量P是否等于预设数量（本实施例中为4个）；
S13：当数量P等于预设数量时，表示针卡保护盖已完全取下，当数量P小于预设数量时，表示针卡保护盖未完全取下。
作为更具体的，在所述步骤S13中，当数量P等于预设数量时，表示针卡保护盖已完全取下，没有对下方的针卡保护盖固定柱造成遮挡，当数量P小于预设数量时，表示针卡保护盖未完全取下，对下方的针卡保护盖固定柱造成遮挡。
作为更具体的，当判断针卡保护盖已完全取下，则进行下一步的晶圆位置准确度判断工作，否则发出报警提示，提醒操作人员操作机械臂将针卡保护盖完全取下，直至判断针卡保护盖已完全取下。
在本实施例中，所述晶圆位置判断模块，用于根据晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，判断晶圆放置在探针卡上的位置是否准确。
具体的，所述晶圆位置判断模块，包括长度值计算单元、角度计算单元、位置准确度判断单元；所述长度值计算单元用于根据圆区域图像中晶圆位置信息计算晶圆目标框的中心点坐标，并用于根据晶圆区域图像中针卡保护盖固定柱的位置信息，计算各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点的坐标，进而计算各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值，并将其发送至所述位置准确度判断单元中，其中，晶圆目标框中心点记为J，各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点分别记为G1、G2、G3、G4（见图3）；所述角度计算单元，用于对四条线段中任意相邻两条线段之间的夹角进行计算，得到四个夹角值，并将其发送至所述位置准确度判断单元中，其中，四个夹角分别记为Z1、Z2、Z3、Z4（见图3）；所述位置准确度判断单元用于先判断四条线段的长度值是否均在设定长度阈值范围内，再判断四个夹角值是否均在设定角度阈值范围内，当长度值与夹角值均在对应的阈值范围内，则判断晶圆放置在探针卡上的位置是准确的，否则判断晶圆放置在探针卡上的位置是不准确的。
作为更具体的，所述长度值计算单元的具体处理过程如下：
S21：获取晶圆区域图像中各针卡保护盖固定柱目标框的左上角坐标和右下角点坐标；
S22：计算晶圆区域图像中各针卡保护盖固定柱目标框的四个角点坐标；
S23：计算各针卡保护盖固定柱目标框的四个角点与晶圆目标框的中心点之间的距离，进而获取各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点的坐标；
S24：计算各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值。
作为更具体的，所述角度计算单元的具体处理过程如下：
S31：获取各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值；
S32：根据各距离最近角点的坐标计算两个相邻距离最近角点之间的长度值，在两个相邻距离最近角点与晶圆目标框中心点形成的四个三角形中，由于各三角形的边长已计算得到，进而通过三角函数计算得到四条线段中任意相邻两条线段之间的夹角值。
作为更具体的，在所述位置准确度判断单元中，设定长度阈值范围、设定角度阈值范围均为预设值，当晶圆放置在探针卡上的位置准确时，四个长度值与夹角值均在对应的阈值范围内。
需要说明的是，当判断晶圆放置在探针卡上的位置是准确时，则启动CP测试工作，否则提示操作人员重新放置晶圆，直至判断晶圆在探针卡上的位置是准确的。
综上所述，上述实施例的CP测试的安全防护系统，通过设置的针卡保护盖固定柱，并在针卡保护盖区域图像中对其进行识别，获取其目标框的数量信息，然后根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息判断针卡保护盖是否被完全取下，检测准确度高，保证针卡保护盖能够被及时取下，避免了撞坏探针卡的重大事故发生；并且基于晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，实现对晶圆放置位置的准确检测，保证在进行CP测试工作时，晶圆处于准确的位置，一定程度上降低了晶圆在测试过程中造成损坏的几率。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种CP测试的安全防护系统，其特征在于，包括图像采集模块、图像检测模块、保护盖状态判断模块、晶圆位置判断模块；
所述图像采集模块，用于获取针卡保护盖区域图像与晶圆区域图像；
所述图像检测模块，用于对针卡保护盖区域图像与晶圆区域图像进行处理，获取针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，以及晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息；
所述保护盖状态判断模块，用于根据针卡保护盖区域图像中针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，判断针卡保护盖是否被完全取下；
所述晶圆位置判断模块，用于根据晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，判断晶圆放置在探针卡上的位置是否准确。
2.根据权利要求1所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述图像采集模块包括图像获取单元、图像预处理单元；所述图像获取单元用于在接收到准备测试信号后，通过工业相机对下方的测试机台上针卡保护盖区域进行拍摄，获取测试机台上针卡保护盖区域的俯拍图像，记为针卡保护盖区域图像，并用于在接收到晶圆已放置信号后，通过工业相机同时对下方的晶圆及针卡保护盖的固定柱进行拍摄，获取包含晶圆及针卡保护盖固定柱的俯拍图像，记为晶圆区域图像，获取到针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像后，将其发送至所述图像预处理单元中；所述图像预处理单元用于对针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像进行降噪、增强处理，获取预处理后的针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像，并将预处理后的针卡保护盖区域图像、晶圆区域图像发送至所述图像检测模块中。
3.根据权利要求2所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述针卡保护盖与下方的针卡保护盖固定柱可拆卸连接，针卡保护盖固定柱竖直设置，为圆柱体结构。
4.根据权利要求2所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：在所述图像获取单元中，所述工业相机设置于所述测试机台上探针卡的正上方，探针卡水平设置，拍摄时所述工业相机的光轴垂直于水平面，且光轴在水平面的投影点位于探针卡的中心点位置，该中心点位置与晶圆放置位置准确时的中心点位置重合。
5.根据权利要求2所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述图像检测模块包括第一目标识别单元、第二目标识别单元；所述第一目标识别单元用于通过第一目标检测模型对经过预处理后的针卡保护盖区域图像进行针卡保护盖固定柱的目标识别工作，获取针卡保护盖固定柱目标框的数量信息，并将其发送至所述保护盖状态判断模块中；所述第二目标识别单元用于通过第二目标检测模型对经过预处理后的晶圆区域图像进行晶圆、针卡保护盖固定柱的目标识别工作，获取晶圆区域图像中晶圆目标框、针卡保护盖固定柱目标框的位置信息，位置信息为晶圆目标框、针卡保护盖固定柱目标框左上角点坐标和右下角点坐标，即获取晶圆区域图像中晶圆位置信息和针卡保护盖固定柱的位置信息，并将其发送晶圆位置判断模块中。
6.根据权利要求5所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述保护盖状态判断模块的具体处理过程如下：
S11：获取针卡保护盖固定柱目标框的数量，记为P；
S12：判断数量P是否等于预设数量，预设数量为4个；
S13：当数量P等于预设数量时，表示针卡保护盖已完全取下，当数量P小于预设数量时，表示针卡保护盖未完全取下。
7.根据权利要求6所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述晶圆位置判断模块，包括长度值计算单元、角度计算单元、位置准确度判断单元；所述长度值计算单元用于根据晶圆区域图像中晶圆位置信息计算晶圆目标框的中心点坐标，并用于根据晶圆区域图像中针卡保护盖固定柱的位置信息，计算各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点的坐标，进而计算各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值，并将其发送至所述位置准确度判断单元中；所述角度计算单元，用于对四条线段中任意相邻两条线段之间的夹角进行计算，得到四个夹角值，并将其发送至所述位置准确度判断单元中；所述位置准确度判断单元用于先判断四条线段的长度值是否均在设定长度阈值范围内，再判断四个夹角值是否均在设定角度阈值范围内，当长度值与夹角值均在对应的阈值范围内，则判断晶圆放置在探针卡上的位置是准确的，否则判断晶圆放置在探针卡上的位置是不准确的。
8.根据权利要求7所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述长度值计算单元的具体处理过程如下：
S21：获取晶圆区域图像中各针卡保护盖固定柱目标框的左上角点坐标和右下角点坐标；
S22：计算晶圆区域图像中各针卡保护盖固定柱目标框的四个角点坐标；
S23：计算各针卡保护盖固定柱目标框的四个角点与晶圆目标框的中心点之间的距离，进而获取各针卡保护盖固定柱目标框上距离晶圆目标框中心点距离最近的角点的坐标；
S24：计算各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值。
9.根据权利要求8所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述角度计算单元的具体处理过程如下：
S31：获取各距离最近角点与晶圆目标框中心点之间形成的四条线段的长度值；
S32：根据各距离最近角点的坐标计算两个相邻距离最近角点之间的长度值，在两个相邻距离最近角点与晶圆目标框中心点形成的四个三角形中，由于各三角形的边长已计算得到，进而通过三角函数计算得到四条线段中任意相邻两条线段之间的夹角值。
10.根据权利要求9所述的一种CP测试的安全防护系统，其特征在于：所述角度计算单元的具体处理过程如下：在所述位置准确度判断单元中，设定长度阈值范围、设定角度阈值范围均为预设值，当晶圆放置在探针卡上的位置准确时，四个长度值与夹角值均在对应的阈值范围内。
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