CN116747727B - 一种研磨粉与抛光液传动混合系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及抛光液混合的技术领域，特别是涉及一种研磨粉与抛光液传动混合系统，包括放置台，所述放置台上端通过支腿安装有混合罐，所述混合罐上端设置有封板，所述混合罐内设置有粉液混合装置，所述放置台上且位于混合罐下方设置有定量分料装置；本发明通过弧形弹性杆能够将研磨粉充分且均匀混合在抛光液中，同时混合轴上端的升降环沿着混合轴上下滑动使得弧形弹性杆上端也上下移动，进而弧形弹性杆的弯曲弧度不断地发生变化，进一步提高弧形弹性杆对混合罐内抛光液的充分搅动，其次本发明也会通过搅动杆和伸缩组件来提高对研磨粉和抛光液的混合效果。

Description

一种研磨粉与抛光液传动混合系统

技术领域

本申请涉及抛光液混合的技术领域，特别是涉及一种研磨粉与抛光液传动混合系统。

背景技术

磨削和研磨等磨料处理是半导体芯片加工过程中的一项重要工艺，它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工，但是研磨会导致芯片外表的完整性变差。因而，抛光的一致性、均匀性和外表粗糙度对生产芯片来说是十分重要的。抛光和研磨在半导体生产中都起到重要性的作用。

研磨可以对金属外表氧化膜的软化，易于从外表研磨除掉，以提高研磨功率，也具有光滑作用、洗刷效果、防锈效果和缓冲效果；抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和长脸性能，并能使金属制品显露出实在的金属光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等优点；由此可见，不管是研磨液还是抛光液在对半导体生产研磨抛光处理中都是起到重要的作用。其不仅能提高研磨速率、好的平整度、高的表面均一性，还有利于后续清洗，使得研磨粒子不会残留在粒子外表。

现有技术中如公开号为CN214810211U提供的一种用于研磨抛光液的混合装置，包括混合桶，混合桶的内侧顶部位置处固定安装有支撑架，支撑架的内侧转动连接有转动轴，转动轴的外侧固定连接有储料盒，储料盒的顶端开设有注料孔，注料孔的内侧螺纹连接有密封盖，储料盒的一侧端面开设有出料孔，转动轴的顶端固定连接有旋转板，转动轴的外侧与储料盒对称位置处固定连接有混合板，通过转动旋转板从而带动转动轴在混合桶的内部旋转，从而使稀土铈通过出料孔加注到原液中，然后再通过混合板将聚集的稀土铈打散，从而增加成核质点起到阻隔作用,减少纳米金刚石微晶的硬团聚，防止硬团聚纳米金刚石微晶对硅片表面造成较深的划伤，从而提升硅片加工的良品率。

上述现有技术主要是通过混合板转动对原液的搅拌，以使稀土铈混合在原液中，而混合板并不能轻易将结团的稀土铈打散，依旧会存在结团现象，进而影响研磨抛光液对工件的研磨；其次，上述现有技术的稀土铈是通过储料盒将铺洒到原液中，而储料盒位于混合桶内，不便于稀土铈添加至储料盒中；另外，上述现有技术中利用支持弹簧的弹性作用和抛光液自身重量实现抛光液的定量分装，而上述的定量分装只能逐瓶称装，虽然可以精确控制成本，但是并不能提高抛光液定量分装效率。

发明内容

为了使研磨粉和抛光液充分混合搅拌，避免研磨粉在抛光液中出现结团现象，以及混合完成之后混合液的批量定量分装，本申请提供一种研磨粉与抛光液传动混合系统。

第一方面，本申请提供的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，采用如下的技术方案：

一种研磨粉与抛光液传动混合系统，包括放置台，所述放置台上端通过支腿安装有混合罐，所述混合罐上端设置有封板，所述混合罐内设置有粉液混合装置，所述放置台上且位于混合罐下方设置有定量分料装置。

所述封板靠近边缘处设置有导液管，封板靠近中部处设置有导粉管，所述混合罐底部设置有排出管，且排出管上设置有电磁阀。

所述粉液混合装置包括竖直设置在混合罐中部的混合轴，且混合轴下端通过轴承安装在混合罐内底部，所述混合轴上端贯穿封板且通过轴承安装在封板上，所述混合轴上端与具有正反转功能的混合电机输出端相链接，且混合电机通过电机做安装在封板上。

所述混合轴外侧周向分布有多个弧形弹性杆，多个所述弧形弹性杆的长度和弯曲弧度均不相同，所述弧形弹性杆的下端连接在混合轴的底部，所述混合轴上设置有上下滑动的升降环，所述弧形弹性杆的上端连接在升降环上。

优选的，所述混合轴上安装有两个上下分布的套环，位于混合轴下端的所述套环固定在混合轴上，位于混合轴上端的所述套环上下滑动设置在混合轴上，所述套环外侧壁周向均匀铰接有多个矫正条，且矫正条的位置与弧形弹性杆的位置一一对应，所述矫正条远离套环的一端与弧形弹性杆靠近中部处铰接，所述升降环和位于混合轴上端的所述套环之间连接有弹簧。

优选的，所述混合轴上端上下滑动设置有下压板，所述下压板位于升降环的上端，且二者转动连接，所述下压板外侧壁周向均匀设置有多个延伸部，且延伸板与弹性伸缩杆的伸缩端相连接，所述弹性伸缩杆的固定端固定在封板上。

所述下压板内侧壁上设置有导向杆，所述混合轴外侧壁开设有螺旋槽，所述导向杆滑动设置在螺旋槽中。

优选的，所述下压板整体为圆台结构，所述下压板的斜面上周向均匀开设有若干由中部向四周延伸的导料槽，所述下压板上方设置有配合异性环，且配合异性环和下压板之间留有间隙。

所述配合异性环上端设置有环形挡板，所述下压板上端转动安装有挡料环，所述环形挡板和挡料环之间连接有多个连接板，所述下压板、环形挡板和挡料环之间形成一个粉末分流区。

优选的，所述配合异性环下端面的下端部分与下压板的斜面平行，配合异性环下端面的上端部分与下压板的斜面之间的夹角在0—45°之间，所述配合异性环的下端面均匀设置有防止研磨粉堆积的耙齿。

优选的，上下分布的两个所述矫正条之间设置有搅动杆，所述搅动杆下端铰接在下方的矫正条上，搅动杆的上端滑动贯穿上方的矫正条。

所述混合轴下端和下方所述矫正条之间铰接有伸缩组件，所述伸缩组件包括第一伸缩杆和第一伸缩套管，所述第一伸缩杆滑动套设在第一伸缩套管中。

优选的，所述定量分料装置包括安装在放置台上的定量基座，所述定量基座整体为圆台状，所述定量基座斜壁周向均匀开设有多个分料槽，且分料槽内设置有分料机构，所述定量基座顶部安装有定量桶，且定量桶位于排出管的正下方，所述定量桶外侧壁底部周向均匀开设有若干分料孔，所述分料孔的位置与分料槽的位置一一对应，所述定量桶外侧壁设置有导流控制机构。

优选的，所述导流控制机构包括螺纹连接在定量桶外侧壁的控制环，所述定量桶外侧壁上下滑动设置有密封环，且密封环上端与控制环转动连接，所述密封环下端周向均匀设置有多个延伸段，且延伸段的位置与分料孔的位置一一对应，所述延伸段和密封环均与定量桶外侧壁密封配合，所述延伸段外侧壁连接有倾斜向下的导管，所述导管贯穿延伸段与分料孔配合。

优选的，所述分料机构包括滑动设置在分料槽内的分料底座，所述分料底座上端为阶梯状结构，所述分料底座的水平段上均设置有固定框，所述固定框内放置有分料杯，位于分料底座最上方的所述分料杯的正上方正对导管的下端口，除所述分料底座最下方的固定框底部均连通有倾斜向下的分流管，且分流管的出口位于相邻下方的分料杯的正上方。

优选的，所述封板上开设有通孔，且通孔内安装有便于工作人员观察的透明玻璃。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.本发明通过弧形弹性杆能够将研磨粉充分且均匀混合在抛光液中，同时混合轴上端的升降环沿着混合轴上下滑动使得弧形弹性杆上端也上下移动，进而弧形弹性杆的弯曲弧度不断地发生变化，进一步提高弧形弹性杆对混合罐内抛光液的充分搅动，其次本发明也会通过搅动杆和伸缩组件来提高对研磨粉和抛光液的混合效果。

2.本发明的环形挡板和挡料环能够对堆积在粉末分流区的研磨粉进行限制，避免研磨粉直接越过配合异性环落入到下方的抛光液中而造成结团的问题；本发明的连接板能够将研磨粉均匀分布在粉末分流区，粉末分流区中的研磨粉会沿着配合异性环和下压板之间的间隙向下移动，同时配合导料槽使得研磨粉能够均匀落入到下方的抛光液中，防止研磨粉落入到抛光液中槽出现结团的问题。

3.本发明通过定量桶能够对混合液先一步进行定量处理，使得后续定量桶内的混合液能够通过分料孔均匀向四周流动，以使混合液能均匀分布到多个分料机构中，其中分料机构中通过阶梯机构的分料底座能够安装多个固定框，同时通过固定框底部的分流管使得分料底座上的多个固定框中的分料杯能够从上往下均匀装满，从而混合液可以同时实现批量定量分装，提高分装效率。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是本发明的立体剖视图。

图3是本发明图2的A处局部放大图。

图4是本发明图2的B处局部放大图。

图5是本发明混合轴、弧形弹性杆、矫正条、伸缩组件、搅动杆、升降环、套环和弹簧之间的结构示意图。

图6是本发明下压板、配合异性环、环形挡板、挡料环、连接板和混合轴之间的结构示意图。

图7是本发明定量分料装置的结构示意图。

附图标记说明：1、放置台；2、混合罐；21、排出管；3、封板；31、导液管；32、导粉管；33、透明玻璃；4、粉液混合装置；41、混合轴；42、混合电机；43、弧形弹性杆；44、升降环；45、套环；46、矫正条；461、搅动杆；462、第一伸缩杆；463、第一伸缩套管；47、弹簧；48、下压板；481、弹性伸缩杆；482、导向杆；483、螺旋槽；484、导料槽；485、配合异性环；486、环形挡板；487、挡料环；488、连接板；489、粉末分流区；5、定量分料装置；51、定量基座；52、分料槽；53、分料机构；531、分料底座；532、固定框；533、分料杯；534、分流管；54、定量桶；55、分料孔；56、导流控制机构；561、控制环；562、密封环；563、延伸段；564、导管。

具体实施方式

以下结合附图1-7对本申请作进一步详细说明。

实施例一：本申请实施例公开一种研磨粉与抛光液传动混合系统，可以确保研磨粉和抛光液充分混合搅拌，避免研磨粉在抛光液中结团而影响混合效果。

参照图1和图2，一种研磨粉与抛光液传动混合系统，包括放置台1，放置台1上端通过支腿安装有混合罐2，混合罐2上端设置有封板3，混合罐2内设置有粉液混合装置4。

封板3靠近边缘处设置有导液管31，封板3靠近中部处设置有导粉管32，混合罐2底部设置有排出管21，且排出管21上设置有电磁阀。

采用上述技术方案在具体实施时，抛光液通过导液管31通入到混合罐2中，然后通过粉液混合装置4使得混合罐2中的抛光液均匀流动，之后将研磨粉通过导粉管32通入到混合罐2中，使得研磨粉落入到不断流动的抛光液中，以便研磨粉和抛光液均匀混合，避免研磨粉在抛光液中结团，完成混合后通过电磁阀控制排出管21，以便将混合后的混合液排出。

参照图2和图5，具体的，为了确保研磨粉和抛光液在混合罐2中更加地充分和均匀混合，粉液混合装置4包括竖直设置在混合罐2中部的混合轴41，且混合轴41下端通过轴承安装在混合罐2内底部，混合轴41上端贯穿封板3且通过轴承安装在封板3上，混合轴41上端与具有正反转功能的混合电机42输出端相链接，且混合电机42通过电机做安装在封板3上。

混合轴41外侧周向分布有多个弧形弹性杆43，多个弧形弹性杆43的长度和弯曲弧度均不相同，弧形弹性杆43的下端连接在混合轴41的底部，混合轴41上设置有上下滑动的升降环44，弧形弹性杆43的上端连接在升降环44上。

在具体实施过程中，混合电机42带动混合轴41在混合罐2内转动，以便带动弧形弹性杆43对混合罐2内的抛光液进行均匀搅动，本案例通过长度和弯曲弧度均不相同的弧形弹性杆43可以对混合罐2内所有区域的抛光液均能进行混合搅动；本案例通过混合轴41上端的升降环44沿着混合轴41上下滑动使得弧形弹性杆43上端也上下移动，进而弧形弹性杆43的弯曲弧度不断地发生变化，进一步提高弧形弹性杆43对混合罐2内抛光液的充分搅动。

参照图2、图3和图5，为确保升降环44能够顺利的上下往复移动，在混合轴41上安装有两个上下分布的套环45，位于混合轴41下端的套环45固定在混合轴41上，位于混合轴41上端的套环45上下滑动设置在混合轴41上，套环45外侧壁周向均匀铰接有多个矫正条46，且矫正条46的位置与弧形弹性杆43的位置一一对应，矫正条46远离套环45的一端与弧形弹性杆43靠近中部处铰接，升降环44和位于混合轴41上端的套环45之间连接有弹簧47。

混合轴41上端上下滑动设置有下压板48，下压板48位于升降环44的上端，且二者转动连接，下压板48外侧壁周向均匀设置有多个延伸部，且延伸板与弹性伸缩杆481的伸缩端相连接，弹性伸缩杆481的固定端固定在封板3上。

下压板48内侧壁上设置有导向杆482，混合轴41外侧壁开设有螺旋槽483，导向杆482滑动设置在螺旋槽483中。

在具体实施时混合轴41转动，导向杆482通过螺旋槽483的作用带动下压板48上下移动，同时由于弹性伸缩杆481对下压板48的周向限制，避免下压板48沿着混合轴41周向转动，进而使得下压板48只能进行上下移动，当下压板48下移时会推动升降环44下移，进而弧形他弹性杆开始向下弯曲，以使升降环44通过弹簧47推动与之相连的套环45下移，使得该套环45相连得矫正条46开始转动，辅助弧形弹性杆43顺利向下弯曲，同时确保弧形弹性杆43只能沿着一个竖直平面进行弯曲，混合电机42反转时下压板48上移，使得升降环44上移并通过弹簧47带动与之相连的套环45上移，以使与之相连的矫正条46恢复初始状态，本案例通过弹簧47使得升降环44和该套环45之间为弹性连接，二者之间具有一定的缓冲空间，避免二者之间的移动影响弧形弹性杆43的形变和复原。

参照图5，进一步的，为确保混合轴41外侧壁周向区域内抛光液与研磨粉的充分混合，本案例在上下分布的两个矫正条46之间设置有搅动杆461，搅动杆461下端铰接在下方的矫正条46上，搅动杆461的上端滑动贯穿上方的矫正条46。

混合轴41下端和下方矫正条46之间铰接有伸缩组件，伸缩组件包括第一伸缩杆462和第一伸缩套管463，第一伸缩杆462滑动套设在第一伸缩套管463中。

具体工作时，本案例的搅动杆461可以随着混合轴41转动对混合罐2内的混合液进行混合搅动，当弧形弹性杆43往复弯曲时此时矫正条46也处于往复转动的状态，进而搅动杆461也会在弧形弹性杆43和混合轴41之间的区域内往复偏移，进一步提高对混合罐2内的研磨粉和抛光液的混合效果；位于混合轴41下端的矫正条46转动时会使得第一伸缩杆462和第一伸缩套管463之间为滑动配合，同时也会使得二者之间在一定角度内的往复转动，进一步提高混合效果。

参照图3和图6，在确保研磨粉和抛光液混合的前提下，为了避免研磨粉在抛光液中结团，本案例的下压板48整体为圆台结构，下压板48的斜面上周向均匀开设有若干由中部向四周延伸的导料槽484，下压板48上方设置有配合异性环485，且配合异性环485和下压板48之间留有间隙。

配合异性环485上端设置有环形挡板486，下压板48上端转动安装有挡料环487，环形挡板486和挡料环487之间连接有多个连接板488，下压板48、环形挡板486和挡料环487之间形成一个粉末分流区489。需要说明的是挡料环487既可以在混合轴41上转动，也可以在混合轴41上上下滑动。

在实际使用时，本案例的环形挡板486和挡料环487能够对堆积在粉末分流区489的研磨粉进行限制，避免研磨粉直接越过配合异性环485落入到下方的抛光液中，容易造成结团的问题，研磨粉通过导粉管32落入到粉末分流区489中，此时研磨粉处于堆积在粉末分流区489中，并没有均匀分散在粉末分流区489中，当混合轴41转动时会带动挡料环487同步转动，以使连接板488能够将研磨粉均匀分布在粉末分流区489，同时连接板488也具有支撑配合异性环485的作用，粉末分流区489中的研磨粉会沿着配合异性环485和下压板48之间的间隙向下移动，同时配合导料槽484使得研磨粉能够均匀落入到下方的抛光液中。

参照图3，为了进一步的提高研磨粉均匀铺洒在抛光液中，配合异性环485下端面的上端部分与下压板48的斜面之间的夹角在0—45°之间，配合异性环485下端面的下端部分与下压板48的斜面平行，便于研磨粉能够顺利进入到配合异性环485和下压板48之间，然后顺利通过配合异性环485和下压板48之间的间隙，进而均匀洒落到下方的抛光液中，配合异性环485的下端面均匀设置有防止研磨粉堆积的耙齿（图中未示出），耙齿能够随着配合异性环485转动，使得耙齿能够对研磨粉进行梳理，避免研磨粉堵塞在配合异性环485和下压板48之间的间隙中，进而影响研磨粉的铺洒到抛光液中。

参照图1和图2，为了便于工作人员随时查看研磨粉和抛光液的混合情况，在封板3上开设有通孔，且通孔内安装有透明玻璃33。

实施例二：

参照图1、图2、图4和图7，在实施例一的基础上，为确保完成混合之后混合液能够准确定量包装，放置台1上且位于混合罐2下方设置有定量分料装置5；定量分料装置5包括安装在放置台1上的定量基座51，定量基座51整体为圆台状，定量基座51斜壁周向均匀开设有多个分料槽52，且分料槽52内设置有分料机构53，定量基座51顶部安装有定量桶54，且定量桶54位于排出管21的正下方，定量桶54外侧壁底部周向均匀开设有若干分料孔55，分料孔55的位置与分料槽52的位置一一对应，定量桶54外侧壁设置有导流控制机构56。

分料机构53包括滑动设置在分料槽52内的分料底座531，分料底座531上端为阶梯状结构，分料底座531的水平段上均设置有固定框532，固定框532内放置有分料杯533，除分料底座531最下方的固定框532底部均连通有倾斜向下的分流管534，且分流管534的出口位于相邻下方的分料杯533的正上方。

在具体实施过程中，通过电磁阀控制混合罐2中得混合液通过排出管21输送到下方的定量桶54内，待定量桶54内储存定量的混合液后，通过导流控制机构56打开分料孔55，使得混合液通过穿过分料孔55并通过导流控制机构56导入到分料底座531上的固定框532中的分料杯533，当分料杯533中装满混合液后会溢出在固定框532中，然后通过固定框532下端的分流管534中导入到相连下方固定框532中的分料杯533中，以此类推，直至定量桶54内的混合液均排出至分料杯533中，之后抽出分料底座531，并通过现有夹具将固定框532中已经装满混合液的分料杯533取出，以便后续的包装封口，需要说明的是分料杯533的高度小于固定框532的高度，防止分料杯533中的混合液直接溢出固定框532。

参照图4和图7，具体的，导流控制机构56包括螺纹连接在定量桶54外侧壁的控制环561，定量桶54外侧壁上下滑动设置有密封环562，且密封环562上端与控制环561转动连接，密封环562下端周向均匀设置有多个延伸段563，且延伸段563的位置与分料孔55的位置一一对应，延伸段563和密封环562均与定量桶54外侧壁密封配合，延伸段563外侧壁连接有倾斜向下的导管564，导管564贯穿延伸段563与分料孔55配合，位于分料底座531最上方的分料杯533的正上方正对导管564的下端口。

在具体实施过程中，通过转动控制环561能够实现密封环562的上下移动，以使密封环562对分料孔55的封堵和疏通，当密封环562上移时，其延伸段563会与分料孔55对接连通，以便于定量桶54内的混合液通过分料孔55流动到导管564中，进而输送到分料杯533中，实现混合液的定量分装；完成混合液的定量分装之后，反转控制环561使得密封环562下移，以使密封环562能够将分料孔55堵住，以便当混合罐2中的混合液流到定量桶54中时无法通过分料孔55流出。

因而，基于上述两种实施方式，本申请不仅可以确保研磨粉均匀铺洒至混合罐2中的抛光液中，以使研磨粉和抛光液的均匀混合以及充分搅拌，防止研磨粉在抛光液中出现结团的现象；而且本申请还可以对完成混合后的混合液进行批量定量分装，提高混合液的定量分装效率。

本实施例的实施原理为：（1）：抛光液通过导液管31通入到混合罐2中，同时通过粉液混合装置4使得混合罐2中的抛光液均匀流动，之后将研磨粉通过导粉管32通入到混合罐2中，使得研磨粉落入到不断流动的抛光液中，以便研磨粉和抛光液均匀混合。

（2）：研磨粉通过导粉管32进入到粉末分流区489后通过配合异性环485和下压板48之间的间隙以及下压板48上的导料槽484使得研磨粉能够均匀铺洒至混合罐2中的抛光液中，避免研磨粉在抛光液中结团。

（3）：通过具有正反转功能的混合电机42使得混合轴41能够同步正反转，从而通过下压板48和其内侧壁的导向杆482与螺旋槽483的配合实现升降环44的往复上下移动，以提高弧形弹性杆43、搅动杆461和伸缩组件对混合罐2内的研磨粉和抛光液充分搅拌混合。

（4）：完成混合之后通过电磁阀打开排出管21，使得混合液输送到定量桶54内，之后通过导流控制机构56将定量桶54内的混合液分装同步分装到多个分料杯533中，便于后续对混合液的定量分装。

本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种研磨粉与抛光液传动混合系统，包括放置台（1），所述放置台（1）上端通过支腿安装有混合罐（2），所述混合罐（2）上端设置有封板（3），其特征在于：所述混合罐（2）内设置有粉液混合装置（4），所述放置台（1）上且位于混合罐（2）下方设置有定量分料装置（5）；

所述封板（3）靠近边缘处设置有导液管（31），封板（3）靠近中部处设置有导粉管（32），所述混合罐（2）底部设置有排出管（21），且排出管（21）上设置有电磁阀；

所述粉液混合装置（4）包括竖直设置在混合罐（2）中部的混合轴（41），且混合轴（41）下端通过轴承安装在混合罐（2）内底部，所述混合轴（41）上端贯穿封板（3）且通过轴承安装在封板（3）上，所述混合轴（41）上端与具有正反转功能的混合电机（42）输出端相链接，且混合电机（42）通过电机做安装在封板（3）上；

所述混合轴（41）外侧周向分布有多个弧形弹性杆（43），多个所述弧形弹性杆（43）的长度和弯曲弧度均不相同，所述弧形弹性杆（43）的下端连接在混合轴（41）的底部，所述混合轴（41）上设置有上下滑动的升降环（44），所述弧形弹性杆（43）的上端连接在升降环（44）上；

所述混合轴（41）上安装有两个上下分布的套环（45），位于混合轴（41）下端的所述套环（45）固定在混合轴（41）上，位于混合轴（41）上端的所述套环（45）上下滑动设置在混合轴（41）上，所述套环（45）外侧壁周向均匀铰接有多个矫正条（46），且矫正条（46）的位置与弧形弹性杆（43）的位置一一对应，所述矫正条（46）远离套环（45）的一端与弧形弹性杆（43）靠近中部处铰接，所述升降环（44）和位于混合轴（41）上端的所述套环（45）之间连接有弹簧（47）；

所述混合轴（41）上端上下滑动设置有下压板（48），所述下压板（48）位于升降环（44）的上端，且二者转动连接，所述下压板（48）外侧壁周向均匀设置有多个延伸部，且延伸板与弹性伸缩杆（481）的伸缩端相连接，所述弹性伸缩杆（481）的固定端固定在封板（3）上；

所述下压板（48）内侧壁上设置有导向杆（482），所述混合轴（41）外侧壁开设有螺旋槽（483），所述导向杆（482）滑动设置在螺旋槽（483）中；

所述下压板（48）整体为圆台结构，所述下压板（48）的斜面上周向均匀开设有若干由中部向四周延伸的导料槽（484），所述下压板（48）上方设置有配合异性环（485），且配合异性环（485）和下压板（48）之间留有间隙；

所述配合异性环（485）上端设置有环形挡板（486），所述下压板（48）上端转动安装有挡料环（487），所述环形挡板（486）和挡料环（487）之间连接有多个连接板（488），所述下压板（48）、环形挡板（486）和挡料环（487）之间形成一个粉末分流区（489）。

2.根据权利要求1所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述配合异性环（485）下端面的下端部分与下压板（48）的斜面平行，配合异性环（485）下端面的上端部分与下压板（48）的斜面之间的夹角在0—45°之间，所述配合异性环（485）的下端面均匀设置有防止研磨粉堆积的耙齿。

3.根据权利要求1所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：上下分布的两个所述矫正条（46）之间设置有搅动杆（461），所述搅动杆（461）下端铰接在下方的矫正条（46）上，搅动杆（461）的上端滑动贯穿上方的矫正条（46）；

所述混合轴（41）下端和下方所述矫正条（46）之间铰接有伸缩组件，所述伸缩组件包括第一伸缩杆（462）和第一伸缩套管（463），所述第一伸缩杆（462）滑动套设在第一伸缩套管（463）中。

4.根据权利要求1所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述定量分料装置（5）包括安装在放置台（1）上的定量基座（51），所述定量基座（51）整体为圆台状，所述定量基座（51）斜壁周向均匀开设有多个分料槽（52），且分料槽（52）内设置有分料机构（53），所述定量基座（51）顶部安装有定量桶（54），且定量桶（54）位于排出管（21）的正下方，所述定量桶（54）外侧壁底部周向均匀开设有若干分料孔（55），所述分料孔（55）的位置与分料槽（52）的位置一一对应，所述定量桶（54）外侧壁设置有导流控制机构（56）。

5.根据权利要求4所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述导流控制机构（56）包括螺纹连接在定量桶（54）外侧壁的控制环（561），所述定量桶（54）外侧壁上下滑动设置有密封环（562），且密封环（562）上端与控制环（561）转动连接，所述密封环（562）下端周向均匀设置有多个延伸段（563），且延伸段（563）的位置与分料孔（55）的位置一一对应，所述延伸段（563）和密封环（562）均与定量桶（54）外侧壁密封配合，所述延伸段（563）外侧壁连接有倾斜向下的导管（564），所述导管（564）贯穿延伸段（563）与分料孔（55）配合。

6.根据权利要求5所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述分料机构（53）包括滑动设置在分料槽（52）内的分料底座（531），所述分料底座（531）上端为阶梯状结构，所述分料底座（531）的水平段上均设置有固定框（532），所述固定框（532）内放置有分料杯（533），位于分料底座（531）最上方的所述分料杯（533）的正上方正对导管（564）的下端口，除所述分料底座（531）最下方的固定框（532）底部均连通有倾斜向下的分流管（534），且分流管（534）的出口位于相邻下方的分料杯（533）的正上方。

7.根据权利要求1所述的一种研磨粉与抛光液传动混合系统，其特征在于：所述封板（3）上开设有通孔，且通孔内安装有便于工作人员观察的透明玻璃（33）。