CN116727361A - 去污装置及分选设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种去污装置及分选设备，涉及半导体芯片封装的技术领域。其中去污装置包括：多个支架、多个去污组件以及多个第一集尘组件。多个支架依次排列设置；多个刷洗件的旋转中心沿多个方向延伸，刷洗件用于刷洗物料；第一集尘组件包括活动设置的第一吸气端以及第一吹气端，第一集尘组件通过第一吸气端以及第一吹气端将粉尘收集。待去污的物料依次经过去污组件，通过刷洗件将物料上的脏污去除，而多个刷洗件的旋转中心沿多个方向延伸，则可通过刷洗件对物料进行多方位的刷洗；同时第一吸气端以及第一吹气端将刷洗出的脏污收集起来，减少脏污对去污装置的影响。而具有去污装置的分选设备则具备了清洗物料的作用。

Description

去污装置及分选设备

技术领域

本发明涉及半导体芯片封装的技术领域，特别涉及一种去污装置及分选机。

背景技术

由于半导体或芯片在生产过程存在个体差异，性能有高低，质量有好坏，外形有瑕疵分，因此，在生产过程中需要及时对芯片进行分选，从而为后续生产提供参考。然而目前该类设备主要还是应用于封装体物料的分选，却不能够对进行溅镀工艺后的由高温胶膜承载的物料产生的脏污进行处理。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种去污装置，能够对进行溅镀工艺后的物料进行去污处理。

本发明还提出一种具有上述去污装置的分选设备。

根据本发明的第一方面实施例的去污装置，所述去污装置包括：多个支架、多个去污组件以及多个第一集尘组件。

多个所述支架依次排列设置，待去污的物料依次经过所述支架的上端；多个所述去污组件分别设置在所述支架的上端，所述去污组件包括可转动的刷洗件，多个所述刷洗件的旋转中心沿多个方向延伸，所述刷洗件用于刷洗所述物料；多个所述第一集尘组件分别设置在所述支架上，所述第一集尘组件包括活动设置的第一吸气端以及第一吹气端，所述第一吸气端以及所述第一吹气端均位于所述刷洗件的侧方，所述第一集尘组件通过所述第一吸气端以及所述第一吹气端将粉尘收集。

根据本发明实施例的去污装置，至少具有如下有益效果：待去污的物料依次经过所述支架上方的所述去污组件，则可通过所述去污组件中的所述刷洗件将所述物料上的脏污去除，而多个所述刷洗件的旋转中心沿多个方向延伸，则可通过所述刷洗件对所述所述物料进行多方位的刷洗，可有效地去除所述物料上的脏污；同时，还可通过设置在所述刷洗件侧方的所述第一吸气端以及所述第一吹气端将刷洗出的脏污收集起来，可防止脏污重新吸附，减少脏污对所述去污装置的影响。

根据本发明的一些实施例，所述去污组件还包括驱动件，所述驱动件的输出端连接所述刷洗件，所述刷洗件的旋转中心水平设置或者竖直设置，所述驱动件设置在所述支架上，所述驱动件的输出端的旋转中心与所述刷洗件的旋转中心重合。

根据本发明的一些实施例，所述支架包括：

底板；

第一支撑板，所述第一支撑板的一端设置在底板上；

第二支撑板，所述第二支撑板的一端设置在所述底板上并位于所述第一支撑板的一侧，所述第二支撑板与所述第一支撑板间隔设置；以及

顶板，所述顶板设置在所述第一支撑板的另一端以及所述第二支撑板的另一端上，所述刷洗件设置在所述顶板的上端，所述第一吸气端以及所述第一吹气端分别位于所述刷洗件的两侧。

根据本发明的一些实施例，所述第一吸气端以及所述第一吹气端均包括固定座，所述固定座可活动地设置在所述顶板上端，所述第一吸气端的所述固定座以及所述第一吹气端的所述固定座相对设置；所述第一吸气端一侧开设吸尘腔，所述吸尘腔的朝向所述刷洗件，所述第一吸气端的另一侧连接集尘气路；所述第一吹气端朝向所述刷洗件的一侧设置第一气嘴，所述第一吹气端的相对的一侧连接吹气气路。

根据本发明的一些实施例，所述第一气嘴的高度低于所述刷洗件的高度，所述刷洗件与所述吸尘腔在所述第二支撑板上的投影彼此部分重叠。

根据本发明的一些实施例，还包括第二集尘组件，所述第二集尘组件设置在所述支架上并位于所述第一集尘组件的一侧，所述第二集尘组件包括：

第二吸气端，所述第二吸气端可活动地设置在所述支架上并位于所述第一吸气端的一侧，所述第二吸气端的结构与所述第一吸气端的结构相同；以及

第二吹气端，所述第二吹气端可活动地设置在所述第一吹气端的一侧，所述第二吹气端，所述第二吹气端的结构与所述第一吹气端的结构相同。

根据本发明的一些实施例，所述第二集尘组件还包括底部吹气端，所述底部吹气端设置在所述支架上并位于所述第二吹气端以及所述第二吸气端之间，所述底部吹气端的上端设置有第二气嘴，所述底部吹气端的下端连接吹气气路。

根据本发明的一些实施例，多个所述支架呈圆弧排列设置。

根据本发明的一些实施例，相邻的所述刷洗件的旋转中心所在的轴线相互垂直。

根据本发明的第二方面实施例的分选设备，所述分选设备包括上述第一方面任意一项实施例所述的去污装置，所述分选设备还包括机架，所述去污装置设置在所述机架上，所述去污装置用于去除所述物料中的脏污。

根据本发明实施例的分选设备，至少具有如下有益效果：所述分选设备可对物料进行分选的同时，还可对溅镀工艺后的由高温胶膜承载的物料产生的脏污进行处理，以提高物料的产品质量。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本发明实施例的去污装置与物料配合的示意图；

图2为图1示出的去污装置的结构示意图；

图3为图2示出的去污装置的俯视示意图；

图4为图2示出的去污装置的去污组件以及集尘组件的放大示意图。

附图标记：

物料1；

支架10；底板11；第一支撑板12；第二支撑板13；顶板14；

去污组件20；刷洗件21；驱动件22；

第一集尘组件30；第一吸气端31；吸尘腔311；第一吹气端32；固定座321；

第二集尘组件40；第二吸气端41；第二吹气端42；底部吹气端43。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

参照图1至图3，根据本发明的第一方面实施例的去污装置，去污装置包括：多个支架10、多个去污组件20以及多个第一集尘组件30。多个支架10依次排列设置，待去污的物料1依次经过支架10的上端；多个去污组件20分别设置在支架10的上端，去污组件20包括可转动的刷洗件21，多个刷洗件21的旋转中心沿多个方向延伸，刷洗件21用于刷洗物料1；多个第一集尘组件30分别设置在支架10上，第一集尘组件30包括活动设置的第一吸气端31以及第一吹气端32，第一吸气端31以及第一吹气端32均位于刷洗件21的侧方，第一集尘组件30通过第一吸气端31以及第一吹气端32将粉尘收集。

具体地，物料1从支架10的上方依次经过多个去污组件20，通过刷洗件21的多方位刷洗，可将物料1上的脏污去除。而去除下来的脏污通过第一吹气端32的吹气，另一侧的第一吸气端31的吸气，可将刷洗件21上的脏污吹出以及通过第一吸气端31收集至集尘系统中。

待去污的物料1依次经过支架10上方的去污组件20，则可通过去污组件20中的刷洗件21将物料1上的脏污去除，而多个刷洗件21的旋转中心沿多个方向延伸，则可通过刷洗件21对物料1进行多方位的刷洗，可有效地去除物料1上的脏污；同时，还可通过设置在刷洗件21侧方的第一吸气端31以及第一吹气端32将刷洗出的脏污收集起来，可防止脏污重新吸附，减少脏污对去污装置的影响。

需要说明的是，刷洗件21可以是常用的毛刷，分别设置刷洗件21的旋转中心沿着多个不同的方向延伸，即可使得毛刷上的刷毛朝着不同的方向延伸。当刷洗件21进行旋转时，同时物料1在刷洗件21的上方经过，即可利用刷洗件21的不同的部位刷洗物料1上的各个角落上的脏污，而由于物料1依次经过排列设置的去污组件20，则物料1可依次经过刷洗件21的刷洗，从而提高去除脏污的能力。

还需要说明的是，支架10的排列设置，可以呈直线排列设置，还可呈圆弧状排列设置，具体的排列方式可根据物料1的传输方式而定。同时，刷洗件21的旋转中心的轴向方向也可以不做限定。

具体地，参照图2至图4，在本发明的一些实施例中，去污组件20还包括驱动件22，驱动件22的输出端连接刷洗件21，驱动件22通过输出端驱动刷洗件21进行旋转。由上述实施例可知，刷洗件21的旋转中心可以为水平设置或者竖直设置，驱动件22设置在支架10上，驱动件22的输出端的旋转中心与刷洗件21的旋转中心重合。

更具体地，相邻的刷洗件21的旋转中心所在的轴线可是相互垂直的，则两个刷洗件21的对应的驱动件22的输出轴的轴向方向之间同样相互垂直，同时驱动件22分别安装在支架10的不同位置上。而相邻的刷洗件21的旋转中心所在的轴线相互垂直，则依次经过的物料1先经过刷洗件21的端面进行刷洗，而后再经过刷洗件21的周侧面进行刷洗，利用两种不同的刷洗方式，可达到不一样的刷洗效果。

参照图2至图4，在本发明的一些实施例中，进一步地，支架10包括底板11、第一支撑板12、第二支撑板13以及顶板14。第一支撑板12的一端设置在底板11上；第二支撑板13的一端设置在底板11上并位于第一支撑板12的一侧，第二支撑板13与第一支撑板12间隔设置；顶板14设置在第一支撑板12的另一端以及第二支撑板13的另一端上，刷洗件21设置在顶板14的上端，第一吸气端31以及第一吹气端32分别位于刷洗件21的两侧。需要说明的是，第一吸气端31以及第一吹气端32分别设在刷洗件21相对的两侧，从而便于第一吸气端31抽吸刷洗件21中的脏污。

更进一步地，参照图2至图4，在本发明的一些实施例中，第一吸气端31以及第一吹气端32均包括固定座321，固定座321可活动地设置在顶板14上端，第一吸气端31的固定座321以及第一吹气端32的固定座321相对设置；第一吸气端31一侧开设吸尘腔311，吸尘腔311的朝向刷洗件21，第一吸气端31的另一侧连接集尘气路；第一吹气端32朝向刷洗件21的一侧设置第一气嘴，第一吹气端32的相对的一侧连接吹气气路。

具体地，固定座321可通过其自身的腰形孔与顶板14上的安装孔进行位置可调地安装，从而可便于调整第一吸气端31以及第一吹气端32的相对于刷洗件21的位置，使得第一集尘组件30便于收集不同物料1下的产生的脏污。此外，朝向刷洗件21的吸尘腔311增大了抽吸的面积，便于脏污从吸尘腔311进进入另一侧的集尘气路中，而第一吹气端32朝向刷洗件21的一侧设置的第一吸嘴，可将气体集中喷出，高速的气流吹向刷洗件21，可吹出残留在刷洗件21中的脏污。

而进一步地，在本发明的一些实施例中，第一气嘴的高度低于刷洗件21的高度，刷洗件21与吸尘腔311在第二支撑板13上的投影彼此部分重叠。可以保证第一气嘴喷射出的气流吹向刷洗件21，还可保证刷洗件21位于第一吸气端31中的吸尘腔311中。

参照图2至图4，在本发明的一些实施例中，同理地，去污装置还包括第二集尘组件40，第二集尘组件40设置在支架10上并位于第一集尘组件30的一侧，第二集尘组件40包括第二吸气端41以及第二吹气端42。第二吸气端41可活动地设置在支架10上并位于第一吸气端31的一侧，第二吸气端41的结构与第一吸气端31的结构相同；第二吹气端42可活动地设置在第一吹气端32的一侧，第二吹气端42，第二吹气端42的结构与第一吹气端32的结构相同。

由上述实施例可知，第二吹气端42上的喷嘴可喷出高速的气流，将经过的物料1上的脏污去除，并经过第二吸气端41上的吸尘腔311将吹出的脏污抽吸并收集至集尘系统中。但是需要注意的是，在第二吹气端42上可以设置有多个喷嘴，可增大喷气的面积。所以，所述的第二吹气端42以及第二吸气端41分别与第一吹气端32以及第一吸气端31结构相同为都设置有吸嘴以及固定座321，所以，两者之间可不对吸嘴的位置、数量等做具体限定。

进一步地，在本发明的一些实施例中，第二集尘组件40还包括底部吹气端43，底部吹气端43设置在支架10上并位于第二吹气端42以及第二吸气端41之间，底部吹气端43的上端设置有第二气嘴，底部吹气端43的下端连接吹气气路。具体地，在物料1的底部、即在支架10的顶板14上设置有底部吹气端43，其吹气的方向由物料1的底部向上吹去并垂直吹至物料1上，并配合物料1一侧的第二吸气端41将脏污抽吸至集尘系统中。

根据本发明的第二方面实施例的分选设备（图中未示出），分选设备包括上述第一方面任意一项实施例的去污装置，分选设备还包括机架，去污装置通过底板11设置在机架上，去污装置用于去除物料1中的脏污。分选设备将物料1逐一拾取，并将物料1依次从去污装置的上方通过，去污装置即可依次对物料1进行分步去污，经过去污后，分选设备即可对物料1进行分选。所以，具有上述第一方面实施例的去污装置的分选设备可对物料1进行分选的同时，还可对溅镀工艺后的由高温胶膜承载的物料1产生的脏污进行处理，以提高物料1的产品质量。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (10)

1.一种去污装置，其特征在于，包括：

多个支架，多个所述支架依次排列设置，待去污的物料依次经过所述支架的上端；

多个去污组件，多个所述去污组件分别设置在所述支架的上端，所述去污组件包括可转动的刷洗件，多个所述刷洗件的旋转中心沿多个方向延伸，所述刷洗件用于刷洗所述物料，以及

多个第一集尘组件，多个所述第一集尘组件分别设置在所述支架上，所述第一集尘组件包括活动设置的第一吸气端以及第一吹气端，所述第一吸气端以及所述第一吹气端均位于所述刷洗件的侧方，所述第一集尘组件通过所述第一吸气端以及所述第一吹气端将粉尘收集。

2.根据权利要求1所述的去污装置，其特征在于，所述去污组件还包括驱动件，所述驱动件的输出端连接所述刷洗件，所述刷洗件的旋转中心水平设置或者竖直设置，所述驱动件设置在所述支架上，所述驱动件的输出端的旋转中心与所述刷洗件的旋转中心重合。

3.根据权利要求1所述的去污装置，其特征在于，所述支架包括：

底板；

第一支撑板，所述第一支撑板的一端设置在底板上；

第二支撑板，所述第二支撑板的一端设置在所述底板上并位于所述第一支撑板的一侧，所述第二支撑板与所述第一支撑板间隔设置；以及

顶板，所述顶板设置在所述第一支撑板的另一端以及所述第二支撑板的另一端上，所述刷洗件设置在所述顶板的上端，所述第一吸气端以及所述第一吹气端分别位于所述刷洗件的两侧。

4.根据权利要求3所述的去污装置，其特征在于，所述第一吸气端以及所述第一吹气端均包括固定座，所述固定座活动地设置在所述顶板上端，所述第一吸气端的所述固定座以及所述第一吹气端的所述固定座相对设置；所述第一吸气端一侧开设吸尘腔，所述吸尘腔的朝向所述刷洗件，所述第一吸气端的另一侧连接集尘气路；所述第一吹气端朝向所述刷洗件的一侧设置第一气嘴，所述第一吹气端的相对的一侧连接吹气气路。

5.根据权利要求4所述的去污装置，其特征在于，所述第一气嘴的高度低于所述刷洗件的高度，所述刷洗件与所述吸尘腔在所述第二支撑板上的投影彼此部分重叠。

6.根据权利要求1所述的去污装置，其特征在于，还包括第二集尘组件，所述第二集尘组件设置在所述支架上并位于所述第一集尘组件的一侧，所述第二集尘组件包括：

第二吸气端，所述第二吸气端活动地设置在所述支架上并位于所述第一吸气端的一侧，所述第二吸气端的结构与所述第一吸气端的结构相同；以及

第二吹气端，所述第二吹气端活动地设置在所述第一吹气端的一侧，所述第二吹气端，所述第二吹气端的结构与所述第一吹气端的结构相同。

7.根据权利要求6所述的去污装置，其特征在于，所述第二集尘组件还包括底部吹气端，所述底部吹气端设置在所述支架上并位于所述第二吹气端以及所述第二吸气端之间，所述底部吹气端的上端设置有第二气嘴，所述底部吹气端的下端连接吹气气路。

8.根据权利要求1所述的去污装置，其特征在于，多个所述支架呈圆弧排列设置。

9.根据权利要求1所述的去污装置，其特征在于，相邻的所述刷洗件的旋转中心所在的轴线相互垂直。

10.分选设备，其特征在于，所述分选设备包括权利要求1-9任意一项所述的去污装置，所述分选设备还包括机架，所述去污装置设置在所述机架上，所述去污装置用于去除所述物料中的脏污。