CN116686075A - 一种在线加热器 - Google Patents

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钱诚
周志勇
李文亭
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    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing

Abstract

一种在线加热器，将筒体(3)分割出3个腔室，每个腔室依次连通，流体要依次经过3个腔室，每个腔室均能进行加热，能够在有限的空间内，对流体进行较长时间的加热。第一腔室(41)作为主加热腔室，腔室大，能容纳更多的流体，也是流体运动最剧烈的腔室。同时，第二腔室(42)和第三腔室(43)能够缓和流体的运动，使流出的流体平缓。

Description

一种在线加热器 技术领域
本申请属于晶圆清洗设备技术领域，尤其是涉及一种在线加热器。
背景技术
晶圆清洗过程中，会使用各种清洗液，比如酸洗、碱洗或者清水洗，同时为了提高清洗效果，通常清洗液会要求达到一定的温度，比如50-60℃，因此，就需要对清洗液进行加热。
现有技术中，晶圆清洗所需的加热器所需空间大，加热时间长，不利于设备的在线持续运行。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种在线加热器。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种在线加热器，包括：
筒体，所述筒体顶端和底端分别具有入口管道和出口管道，所述筒体内设置隔板将所述筒体沿轴向分割成若干腔室，腔室包括第一腔室，第二腔室和第三腔室，第一腔室的底部具有入口管道，第一腔室的顶部与第二腔室连通，第二腔室的底部与第三腔室连通，且第三腔室的底部与出口管道连通；所述筒体对应每个腔室内还设置有安装腔，安装腔在筒体顶部和底部均具有开口；
加热器，插入到安装腔，用于加热相应腔室内的流体；
外壳，设置在筒体外侧。
优选地，本发明的在线加热器，所述第一腔室的横截面为第二腔室或者第三腔室横截面积的1.40-1.60倍，第二腔室与第三腔室横截面积相同。
优选地，本发明的在线加热器，所述第一腔室由抛物柱面的第一隔板与筒体筒壁围成，第二腔室和第三腔室分别由第一隔板、第二隔板与筒体筒壁围成。
优选地，本发明的在线加热器，
所述入口管道和安装腔位于所述第一腔室中间线一侧，所述入口管道与安装腔相比更远离所述第一腔室的中间线，并且入口管道位于所述第一腔室内的开口对准第一隔板，入口管道开口的中轴线与第一隔板的交点处的法线的角度为30-45°，使得所述入口管道流出的流体从安装腔一侧流过，经过第一隔板的反射绕安装腔回流一周。
优选地，本发明的在线加热器，所述第一腔室的加热器的发热功率是第二腔室或者第三腔室的加热器的发热功率的2倍。
优选地，本发明的在线加热器，所述筒体由耐酸碱腐蚀的不锈钢材料制成。
优选地，本发明的在线加热器，所述外壳内可设置保温材料。
本发明的有益效果是：
本发明的在线加热器，将筒体分割出个腔室，每个腔室依次连通，流体要依次进过个腔室，每个腔室均能进行加热，能够在有 限的空间内，对流体进行较长时间的加热。第一腔室作为主加热腔室，腔室大，能容纳更多的流体，也是流体运动最剧烈的腔室。同时，第二腔室和第三腔室能够缓和流体的运动，使流出的流体平缓。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
图1是本申请实施例的在线加热器的结构示意图；
图2是图1去掉外壳的结构示意图；
图3是本申请实施例的筒体的结构示意图；
图4是图3的横向剖面视图。
图中的附图标记为：
1外壳；
2加热器；
3筒体；
5热电偶安装腔；
31入口管道；
32出口管道；
33安装腔；
35第一隔板；
36第二隔板；
41第一腔室；
42第二腔室；
43第三腔室。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
实施例1
本实施例提供一种在线加热器，如图1所示，包括：
筒体3，所述筒体3顶端和底端分别具有入口管道31和出口管道32，所述筒体3内设置隔板将所述筒体3沿轴向分割成若干腔室，腔室包括第一腔室41，第二腔室42和第三腔室43，第一腔室41的底部具有入口管道31，第一腔室41的顶部与第二腔室42连通，第二腔室42的底部与第三腔室43连通(通过隔板上开口的方式进行连通)，且第三腔室43的底部与出口管道32连通；所述筒体3对应每个腔室内还设置有安装腔33，安装腔33在筒体3顶部和底部均具有开口；
加热器2，插入到安装腔33，用于加热相应腔室内的流体(晶圆清洗用清洗液)；
外壳1，设置在筒体3外侧。
第一腔室41还设有用于安装热电偶的热电偶安装腔5，安装热电偶后可以及时得知第一腔室41内的温度。
待加热的流体(各类清洗液)从入口管道31进入第一腔室41，流经第二腔室42和第三腔室43从出口管道32流出。
所述第一腔室41的横截面为第二腔室42或者第三腔室43横截面积的1.40-1.60倍，第二腔室42与第三腔室43横截面积相同。
所述第一腔室41由抛物柱面的第一隔板35与筒体3筒壁围成，第二腔室42和第三腔室43分别由第一隔板35、第二隔板36与筒体3筒壁围成。
如图4所示，所述入口管道31和安装腔33位于所述第一腔室41中间线(图中L)一侧，所述入口管道31更远离所述第一腔室41的中间线，并且入口管道31开口对准(入口管道31的中轴线)第一隔板35，入口管道31开口的中轴线与第一隔板35的交点处的法线的角度(90-α)为30-45°，使得所述入口管道31流出的流体从安装腔33一侧(图4中上方)流过，经过第一隔板35的反射绕安装腔33回流一周(如图4中的虚线标记为流体流动方向)，从而提高了热交换效率。
本实施例中，将筒体3分割出3个腔室，每个腔室依次连通，流体要依次进过3个腔室，每个腔室均能进行加热，能够在有限的空间内，对流体进行较长时间的加热。第一腔室41作为主加热腔室，腔室大，能容纳更多的流体，也是流体运动最剧烈的腔室。同时，第二腔室42和第三腔室43能够缓和流体的运动，使流出的流体平缓。
所述第一腔室41的加热器2的发热功率是第二腔室42或者第三腔室43的加热器2的发热功率的2倍。
筒体3整体由耐酸碱腐蚀的不锈钢材料制成，外壳1内可设置保温材料以防止筒体3内的热量过度散发。
以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (7)

  1. 一种在线加热器，其特征在于，包括：
    筒体(3)，所述筒体(3)顶端和底端分别具有入口管道(31)和出口管道(32)，所述筒体(3)内设置隔板将所述筒体(3)沿轴向分割成若干腔室，腔室包括第一腔室(41)，第二腔室(42)和第三腔室(43)，第一腔室(41)的底部具有入口管道(31)，第一腔室(41)的顶部与第二腔室(42)连通，第二腔室(42)的底部与第三腔室(43)连通，且第三腔室(43)的底部与出口管道(32)连通；所述筒体(3)对应每个腔室内还设置有安装腔(33)，安装腔(33)在筒体(3)顶部和底部均具有开口；
    加热器(2)，插入到安装腔(33)，用于加热相应腔室内的流体；外壳(1)，设置在筒体(3)外侧。
  2. 根据权利要求1所述的在线加热器，其特征在于，所述第一腔室(41)的横截面为第二腔室(42)或者第三腔室(43)横截面积的1.40-1.60倍，第二腔室(42)与第三腔室(43)横截面积相同。
  3. 根据权利要求2所述的在线加热器，其特征在于，所述第一腔室(41)由抛物柱面的第一隔板(35)与筒体(3)筒壁围成，第二腔室(42)和第三腔室(43)分别由第一隔板(35)、第二隔板(36)与筒体(3)筒壁围成。
  4. 根据权利要求3所述的在线加热器，其特征在于，所述入口管道(31)和安装腔(33)位于所述第一腔室(41)中间线一侧，所述入口管道(31)与安装腔(33)相比更远离所述第一腔室(41)的中间线，并且入口管道(31)位于所述第一腔室(41)内的开口对准第一隔板(35)，入口管道(31)开口的中轴线与第一隔板(35)的交点处的法线的角度为 30-45°，使得所述入口管道(31)流出的流体从安装腔(33)一侧流过，经过第一隔板(35)的反射绕安装腔(33)回流一周。
  5. 根据权利要求1所述的在线加热器，其特征在于，所述第一腔室(41)的加热器(2)的发热功率是第二腔室(42)或者第三腔室(43)的加热器(2)的发热功率的2倍。
  6. 根据权利要求1所述的在线加热器，其特征在于，所述筒体(3)由耐酸碱腐蚀的不锈钢材料制成。
  7. 根据权利要求1所述的在线加热器，其特征在于，所述外壳(1)内可设置保温材料。
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