CN116678320A - 一种望远镜面型光学检测系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及镜面检测技术领域，具体涉及对拼接的望远镜面型检测的光学检测系统。由于采用数字微镜器件和波前传感器，能够通过数字微镜器件将被测镜上被检测区域的光反射至波前传感器上，而被检测区域之外的光不能到达波前传感器，通过波前传感器测量出接收到光束的波前参数，能够实现对被检测区域的面型检测。对于不同大小和不同位置的被检测区域，可以通过控制器控制数字微镜器件，通过对反射单元的控制实现被检测区域的调整，也就是说被检测区域既可以是被测镜的局部，也可以是被测镜的整体，从而使本申请的望远镜面型光学检测系统既能够对整镜面型进行整体检测，又能够针对局部面型进行检测。

Description

一种望远镜面型光学检测系统及方法

技术领域

本发明涉及镜面检测技术领域，具体涉及对拼接的望远镜面型检测的光学检测系统。

背景技术

拼接望远镜是一种通过组合多个镜筒或镜片来构建更大有效孔径的望远镜。拼接望远镜可以提高光学分辨率和观测灵敏度，但是不同镜面之间存在面型误差（包括平整度误差）大的问题。面型平整度影响不同镜面之间的相位差和光程差。现有的面型误差检测方法大致可以分为两大类：第一类是使用特定的传感器直接测量面型误差，比如使用改进的Shack-Hartmann波前传感、Mach-Zehnder干涉仪传感器、曲率传感器、金字塔传感器、分散条纹传感器等。第二类是利用图像处理的方法，从图像中推导出面型误差，例如相位恢复方法、相位差异方法等。无论采用哪种方法，都需要将光束照射在待测拼接镜上。

目前采用的拼接望远镜的面型误差检测方式通常只检测整镜的面型，局部面型靠其他传感器提供（如位置传感器、运动传感器等），此方法镜面检测分辨率低，难检测局部微细变化。

发明内容

本发明提供一种望远镜面型光学检测系统，既能够对整镜面型进行整体检测，又能够针对局部面型进行检测。

另外，本发明的目的还在于提供一种望远镜面型光学检测方法。

根据第一方面，一种实施例中提供一种望远镜面型光学检测系统，包括：

光源，所述光源用于提供射向被测镜的检测光线；

数字微镜器件，所述数字微镜器件包括阵列布置的反射单元，所述数字微镜器件用于布置在所述被测镜的光瞳共轭位置；

波前传感器，所述波前传感器处于所述数字微镜器件的光瞳共轭位置；所述数字微镜器件用于仅使经过所述被测镜上被检测区域的光束能够反射至所述波前传感器上；所述波前传感器用于测量所接收到光束的波前参数，以实现对所述被检测区域的面型检测；

以及控制器，所述控制器与所述数字微镜器件连接，所述控制器能够控制所述反射单元的反射角度，调节所述被检测区域的大小以及所述被检测区域在所述被测镜上的位置。

进一步的，一种实施例中，所述望远镜面型光学检测系统包括光束缩放系统，所述光束缩放系统处于所述波前传感器与所述数字微镜器件之间的光路上，所述光束缩放系统能够对所述数字微镜器件反射至所述波前传感器上的光束进行缩放。

更进一步的，一种实施例中，所述光束缩放系统包括固定焦距透镜和可变焦距透镜，所述可变焦距透镜的焦距可调，所述固定焦距透镜处于所述可变焦距透镜与所述数字微镜器件之间的光路上，所述可变焦距透镜与所述固定焦距透镜之间的间距a可调，使所述可变焦距透镜的焦点与所述固定焦距透镜的焦点重合；所述波前传感器与所述可变焦距透镜之间的间距b可调，使所述波前传感器始终处于所述数字微镜器件的光瞳共轭位置；通过调节所述可变焦距透镜的焦距、所述间距a和所述间距b，能够实现对所述数字微镜器件反射至所述波前传感器上光束的缩放。

更进一步的，一种实施例中，所述望远镜面型光学检测系统包括第一平移座，所述第一平移座包括第一固定座体和第一移动座体，所述第一移动座体能够相对所述第一固定座体移动，所述可变焦距透镜安装在所述第一移动座体上；通过使所述第一移动座体相对所述第一固定座体移动，能够增大或者减小所述间距a。

更进一步的，一种实施例中，所述第一平移座包括驱动所述第一移动座体相对所述第一固定座体移动的第一电驱动机构，所述第一电驱动机构与所述控制器连接，所述控制器能够根据所述可变焦距透镜的焦距控制所述第一电驱动机构。

进一步的，一种实施例中，所述望远镜面型光学检测系统包括第二平移座，所述第二平移座包括第二固定座体和第二移动座体，所述第二移动座体能够相对所述第二固定座体移动，所述波前传感器安装在所述第二移动座体上；通过使所述第二移动座体相对所述第二固定座体移动，能够调节所述波前传感器的位置，以增大或者减小所述间距b。

更进一步的，一种实施例中，所述第二平移座包括驱动所述第二移动座体相对所述第二固定座体移动的第二电驱动机构，所述第二电驱动机构与所述控制器连接，所述控制器能够根据所述数字微镜器件的光瞳共轭位置控制所述第二电驱动机构，改变所述波前传感器的位置。

进一步的，一种实施例中，所述控制器与所述可变焦距透镜连接，所述控制器根据所述数字微镜器件反射至所述固定焦距透镜上光束的横截面积控制所述可变焦距透镜的焦距。

第二方面，一种实施例中提供一种望远镜面型光学检测方法，包括：

通过布置在被测镜的光瞳共轭位置的数字微镜器件，仅使所述被测镜上被检测区域的光束能够反射至波前传感器，所述波前传感器布置在所述数字微镜器件的光瞳共轭位置，通过所述波前传感器检测所接收到光束的波前参数，根据检测的波前参数确定所述被检测区域的面型；

根据检测要求，通过控制所述数字微镜器件对不同位置和/或不同大小的被检测区域分别进行面型检测。

进一步的，一种实施例中，通过在所述波前传感器与所述数字微镜器件布置光束缩放系统，对所述数字微镜器件反射至所述波前传感器的光束进行缩放。

根据上述实施例望远镜面型光学检测系统，由于采用数字微镜器件和波前传感器，能够通过数字微镜器件将被测镜上被检测区域的光反射至波前传感器上，而被检测区域之外的光不能到达波前传感器，通过波前传感器测量出接收到光束的波前参数，能够实现对被检测区域的面型检测。对于不同大小和不同位置的被检测区域，可以通过控制器控制数字微镜器件，通过对反射单元的控制实现被检测区域的调整，也就是说被检测区域既可以是被测镜的局部，也可以是被测镜的整体，从而使本申请的望远镜面型光学检测系统既能够对整镜面型进行整体检测，又能够针对局部面型进行检测。

附图说明

图1为一种实施例中望远镜面型光学检测系统的原理示意图；

图2为一种实施例中望远镜面型光学检测方法的步骤流程图。

图中附图标记对应的特征名称：1、数字微镜器件；2、波前传感器；3、被测镜；4、子镜；5、固定焦距透镜；6、可变焦距透镜；7、第一平移座；8、第二平移座；9、次镜；10、准直透镜。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

另外，说明书中所描述的特点、操作或者特征可以以任意适当的方式结合形成各种实施方式。同时，方法描述中的各步骤或者动作也可以按照本领域技术人员所能显而易见的方式进行顺序调换或调整。因此，说明书和附图中的各种顺序只是为了清楚描述某一个实施例，并不意味着是必须的顺序，除非另有说明其中某个顺序是必须遵循的。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接（联接）。

一些实施例中，请参考图1，一种望远镜面型光学检测系统包括光源（图中未示出）、数字微镜器件1（即DMD）、波前传感器2以及控制器（图中未示出）。

光源用于提供射向被测镜的检测光线。具体的，一些实施例中，光源为点光源，还有一些其他的实施例中，光源为面光源。

关于被测镜3，本申请的望远镜面型光学检测系统能够用于拼接望远镜的检测，解决整镜测量与局部镜面测量无法兼顾的问题，当然，如果整体式的非拼接镜面有需求，同样也能够适用于非拼接的整体式镜面。

一些实施例中，请参考图1，被测镜3为望远镜的主镜。具体的，反射镜采用折反式卡塞格林式结构。典型的例子如：望远镜的主镜为5m口径，且为拼接式结构，子镜4为80cm直径的正六边形，子镜4共40块，按环形拼接，组成望远镜的主镜，在主镜前后设置次镜9和三镜（图中未示出）。本申请中仅主镜为拼接式结构。一些其他的实施例中，被测镜3还可以采用牛顿式拼接式望远镜，当然，也可以采用现有技术中其他类型的拼接式望远镜。

数字微镜器件1为现有技术中成熟的器件，本申请仅对其功能做简单介绍。通过微电子机械系统将反射微镜阵列和CMOS SRAM集成在同一块芯片上，反射微镜阵列包括阵列布置的反射单元，每一个反射单元都是一个独立的个体，并且可以翻转不同的角度，因此通过反射单元所反射的光线可以呈现不同的角度。

数字微镜器件1用于布置在被测镜3的光瞳共轭位置，以使经过被测镜3上的光束都能够射到数字微镜器件1上。波前传感器2处于数字微镜器件1的光瞳共轭位置。数字微镜器件1用于仅使经过被测镜3上被检测区域的光束反射至波前传感器2，而被检测区域之外的光束不能反射至波前传感器2，波前传感器2用于测量所接收到光束的波前参数，以实现对被检测区域的面型检测。

控制器与数字微镜器件1连接，控制器能够控制数字微镜器件1的反射单元，只将被检测区域的光束反射至波前传感器2上，进而能够实现调整被检测区域的大小以及被检测区域在被测镜上的位置。

本申请中望远镜面型光学检测系统，通过数字微镜器件1将经过被测镜3上被检测区域的光反射至波前传感器2上，而被检测区域之外的光不能到达波前传感器2，通过波前传感器2接收到光束的波前参数，能够实现对被检测区域的面型检测。

本申请中所描述的经过被测镜3上被检测区域的光束是指光源发出的光束射到被检测区域，经过被检测区域的反射或者折射后的光束。经过被检测区域的光束投射至数字微镜器件1，然后被数字微镜器件1反射至波前传感器2上。当然，光束在被检测区域与数字微镜器件1之间也可以经过至少一次反射或者至少一次折射，同理，光束在数字微镜器件1反射至波前传感器2过程中也可以包括至少经过一次反射或者折射处理。

对于不同大小和不同位置的被检测区域，可以通过控制器控制数字微镜器件1，通过对反射单元反射角度的控制，实现被检测区域的调整。调整反射单元的反射角度后，波前传感器2上接收的光束来自被测镜3上区域发生了变化，即被检测区域发生了变化。通过控制数字微镜器件1，被检测区域既可以是被测镜3的局部，也可以是被测镜3的整体，从而使本申请的望远镜面型光学检测系统既能够对整镜面型进行整体检测，又能够针对局部面型进行检测。

通过操控数字微镜器件1，能够实现光束方向和横截面的控制，一种实施例中，数字微镜器件1中最小控制面积约为2.5mm*2.5mm。其他实施例中，也可根据需要改变数字微镜器件1的最小控制面积。

进一步的，一种实施例中，请参考图1，经过数字微镜器件1反射后光束的横截面积会发生变化，为保证测量精度，望远镜面型光学检测系统包括光束缩放系统，光束缩放系统处于波前传感器2与数字微镜器件1之间的光路上，光束缩放系统能够放大缩小数字微镜器件1反射至波前传感器2的光束。其他实施例中，波前传感器2接受面积足够大时或者对检测精度要求不高时，也可以不设置光束缩放系统。

在对不同的被检测区域检测时，由于不同大小的被检测区域经过数字微镜器件1反射后的光束大小（光束横截面积）不同，容易导致波前传感器2接收到的光束大小有变化，通过光束缩放系统能够根据光束的大小对光束进行调节，提高波前传感器2的检测精准程度。

具体的，更进一步的，一种实施例中，请参考图1，光束缩放系统包括固定焦距透镜5和可变焦距透镜6，固定焦距透镜5处于可变焦距透镜6与数字微镜器件1之间的光路上。本实施例中固定焦距透镜5和可变焦距透镜6均选用凸透镜。

可变焦距透镜6根据测量精度的要求调整焦距，根据焦距的变化，调整可变焦距透镜6的位置，可以改变波前传感器2接收到光束的大小，进而根据需要提高测量精度。需要说明的是，射向固定焦距透镜5上光束的横截面积的大小由数字微镜器件1控制，被检测区域越大，数字微镜器件1反射的光束越大，固定焦距透镜5接收到光束的横截面积越大。

可变焦距透镜6与固定焦距透镜5之间的间距a可调，使可变焦距透镜6的焦点与固定焦距透镜5的焦点重合。波前传感器2与可变焦距透镜6之间的间距b可调，使波前传感器2始终处于数字微镜器件1的光瞳共轭位置。通过调节可变焦距透镜6的焦距、间距a和间距b的大小实现对数字微镜器件1反射至波前传感器2上光束的缩放，进而使波前传感器2完整的接收经过被检测区域射向波前传感器2的光束，并且使波前传感器2能够接收到较大截面积的光束，提高对被检测区域的检测精度。

光束缩放系统的具体工作原理是：在被检测区域的面积较大时，比如被检测区域为整个被测镜3的镜面时，通过光束缩放系统不对被检测区域放大；当被检测区域的面积较小时，此时数字微镜器件1反射的光束较小，如果不经过光束缩放系统，直接投射至波前传感器2，获得的被检测区域的检测精度较低，此时通过调整可变焦距透镜6的焦距、间距a和间距b的大小可以改变投射至波前传感器2上光束的大小，增大分辨率，进而提高被检测区域的检测精度。

需要说明的是，本申请中的光束缩放系统对光束的缩小和放大是相对而言的，相对于最大横截面积的光束而言，光束缩放系统对其他横截面积的光束进行放大处理，相对于最小横截面积的光束而言，光束缩放系统对其他横截面积的光束进行缩小处理。

数字微镜器件1反射至固定焦距透镜5上光束的横截面较大时，可变焦距透镜6的焦距较小，数字微镜器件1反射至固定焦距透镜5上光束的横截面较小时，可变焦距透镜6的焦距较大。

可变焦距透镜6可以采用现有技术中任意可行的形式，比如可以是电致变形驱动的柔性变焦透镜，还可以是机械-力驱动的柔性变焦透镜，再比如还可以是电磁驱动变焦透镜等。为了便于控制，一种实施例中，可变焦距透镜6与控制器连接，控制器根据数字微镜器件1反射至固定焦距透镜5上光束的横截面积控制可变焦距透镜6的焦距。一些其他的实施例中，可变焦距透镜6可以手动单独控制焦距。

更进一步的，一种实施例中，请参考图1，望远镜面型光学检测系统包括第一平移座7，第一平移座7包括第一固定座体（图中未示出）和第一移动座体（图中未示出），第一移动座体能够相对第一固定座体移动，可变焦距透镜6安装在第一移动座体上。通过使第一移动座体相对第一固定座体移动，能够调节可变焦距透镜6在光路上的位置，以增大或者减小间距a。通过第一平移座7方便对可变焦距透镜6装位置的调节。一些其他的实施例中，也可以在第一固定座体上设置多个安装位，通过改变可变焦距透镜6的安装位置实现可变焦距透镜6位置的调整。

更进一步的，一种实施例中，第一平移座7包括驱动第一移动座体相对第一固定座体移动的第一电驱动机构（图中未示出），第一电驱动机构与控制器连接，控制器能够根据可变焦距透镜6的焦距控制第一电驱动机构，使第一移动座体移动，进而保持可变焦距透镜6的焦点与固定焦距透镜5的焦点重合。通过第一电驱动机构进一步方便可变焦距透镜6的调节，并且电控精度较高。

具体的，一种实施例中，第一平移座7的第一电驱动机构可以采用丝杠螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机、驱动气缸等，第一移动座体与第一固定座体通过导轨导向配合。当然，一些实施例中，第一平移座7也可以采用现有技术中成熟的十字滑台结构。

基于相似的构思，进一步的，一种实施例中，望远镜面型光学检测系统包括第二平移座8，第二平移座8包括第二固定座体（图中未示出）和第二移动座体（图中未示出），第二移动座体能够相对第二固定座体移动。波前传感器2安装在第二移动座体上；通过使第二移动座体相对第二固定座体移动，能够调节波前传感器2的位置，以增大或者减小间距b。通过第二移动座体方便对波前传感器2位置的调节。

更进一步的，一种实施例中，第二平移座8包括驱动第二移动座体相对第二固定座体移动的第二电驱动机构，第二电驱动机构与控制器连接，控制器能够根据数字微镜器件1的光瞳共轭位置控制第二电驱动机构，驱动第二移动座体移动，改变波前传感器2的位置，使波前传感器2始终处于数字微镜器件1的光瞳共轭位置。

具体的，第二平移座8可以采用与第一平移座7类似的结构，第二平移座8的第二电驱动机构也可以采用丝杠螺母机构、齿轮齿条机构、直线电机、驱动气缸等，第二移动座体与第二固定座体通过导轨导向配合。当然，一些实施例中，第二平移座8也可以采用现有技术中成熟的十字滑台结构。

进一步的，请参考图1，望远镜面型光学检测系统包括用于布置在数字微镜器件1与被测镜3之间的准直透镜10。准直透镜10用于将光束的光线变为平行光。

一种实施例中，请参考图2，望远镜面型光学检测系统的工作过程如下：

光源的检测光束照在被测镜3的拼接主镜上，经过2次镜反射，由准直透镜10变为平行光。由数字微镜器件1控制光束的形状，与被测镜3上被检测区域相对应。光束调整后经过固定焦距透镜5与可变焦距透镜6组成的缩放束系统。根据数字微镜器件1反射的光束横截面积大小，调节可变焦距透镜6的焦距大小，第一平移座7根据可变焦距透镜6的焦距调整其位置，使可变焦距透镜6与固定焦距透镜5的焦点重合，最后光束到达波前传感器2。第二平移座8控制波前传感器2的位置，使波前传感器2处于数字微镜器件1的光瞳共轭位置，最后得到被测镜3上被检测区域的波前参数。

通过数字微镜器件1控制反射单元的反射角，望远镜面型光学检测系统能够既能够检测整镜面，又能够针对单个子镜4或子镜4的拼接部位进行局部面型检测，可以任意选择被检测区域的位置和面积大小，对局部细节进行检测。最小检测面积取决于数字微镜器件1的反射单元数量。该望远镜面型光学检测系统解决了整镜测量与局部镜面测量无法兼顾的问题，可应用于各种拼接镜面望远镜系统中，为拼接镜的检测与共焦共相调节提供有利的技术保障。

一种望远镜面型光学检测方法的实施例，请参考图1和图2，包括：

通过布置在被测镜的光瞳共轭位置的数字微镜器件1，将被测镜3上被检测区域的光束反射至波前传感器2，波前传感器2布置在数字微镜器件1的光瞳共轭位置，通过波前传感器2检测所接收到光束的波前参数，根据检测的波前参数确定被检测区域的面型；根据检测要求，通过控制数字微镜器件1能够对不同位置和/或不同大小的被检测区域的分别进行面型检测。

进一步的，通过在波前传感器2与数字微镜器件1布置光束缩放系统，对数字微镜器件1反射至波前传感器2的光束进行缩放。

进一步的，光束缩放系统包括固定焦距透镜5和可变焦距透镜6，可变焦距透镜6的焦距可调，固定焦距透镜5处于可变焦距透镜6与数字微镜器件1之间的光路上，可变焦距透镜6与固定焦距透镜5之间的间距a可调，使可变焦距透镜6的焦点与固定焦距透镜5的焦点重合；波前传感器2与可变焦距透镜6之间的间距b可调，使波前传感器2始终处于数字微镜器件1的光瞳共轭位置；通过调节可变焦距透镜6的焦距、间距a和间距b，能够实现对数字微镜器件1反射至波前传感器2上光束的缩放。

望远镜面型光学检测方法的实现可以基于上述任一实施例中的望远镜面型光学检测系统，不再详细赘述。

以上应用了具体个例对本发明进行阐述，只是用于帮助理解本发明，并不用以限制本发明。对于本发明所属技术领域的技术人员，依据本发明的思想，还可以做出若干简单推演、变形或替换。

Claims (10)

1.一种望远镜面型光学检测系统，其特征在于，包括：

光源，所述光源用于提供射向被测镜的检测光线；

数字微镜器件，所述数字微镜器件包括阵列布置的反射单元，所述数字微镜器件用于布置在所述被测镜的光瞳共轭位置；

波前传感器，所述波前传感器处于所述数字微镜器件的光瞳共轭位置；所述数字微镜器件用于仅使经过所述被测镜上被检测区域的光束能够反射至所述波前传感器上；所述波前传感器用于测量所接收到光束的波前参数，以实现对所述被检测区域的面型检测；

以及控制器，所述控制器与所述数字微镜器件连接，所述控制器能够控制所述反射单元的反射角度，调节所述被检测区域的大小以及所述被检测区域在所述被测镜上的位置。

2.如权利要求1所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述望远镜面型光学检测系统包括光束缩放系统，所述光束缩放系统处于所述波前传感器与所述数字微镜器件之间的光路上，所述光束缩放系统能够对所述数字微镜器件反射至所述波前传感器上的光束进行缩放。

3.如权利要求2所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述光束缩放系统包括固定焦距透镜和可变焦距透镜，所述可变焦距透镜的焦距可调，所述固定焦距透镜处于所述可变焦距透镜与所述数字微镜器件之间的光路上，所述可变焦距透镜与所述固定焦距透镜之间的间距a可调，使所述可变焦距透镜的焦点与所述固定焦距透镜的焦点重合；所述波前传感器与所述可变焦距透镜之间的间距b可调，使所述波前传感器始终处于所述数字微镜器件的光瞳共轭位置；通过调节所述可变焦距透镜的焦距、所述间距a和所述间距b，能够实现对所述数字微镜器件反射至所述波前传感器上光束的缩放。

4.如权利要求3所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述望远镜面型光学检测系统包括第一平移座，所述第一平移座包括第一固定座体和第一移动座体，所述第一移动座体能够相对所述第一固定座体移动，所述可变焦距透镜安装在所述第一移动座体上；通过使所述第一移动座体相对所述第一固定座体移动，能够增大或者减小所述间距a。

5.如权利要求4所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述第一平移座包括驱动所述第一移动座体相对所述第一固定座体移动的第一电驱动机构，所述第一电驱动机构与所述控制器连接，所述控制器能够根据所述可变焦距透镜的焦距控制所述第一电驱动机构。

6.如权利要求3所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述望远镜面型光学检测系统包括第二平移座，所述第二平移座包括第二固定座体和第二移动座体，所述第二移动座体能够相对所述第二固定座体移动，所述波前传感器安装在所述第二移动座体上；通过使所述第二移动座体相对所述第二固定座体移动，能够调节所述波前传感器的位置，以增大或者减小所述间距b。

7.如权利要求6所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述第二平移座包括驱动所述第二移动座体相对所述第二固定座体移动的第二电驱动机构，所述第二电驱动机构与所述控制器连接，所述控制器能够根据所述数字微镜器件的光瞳共轭位置控制所述第二电驱动机构，改变所述波前传感器的位置。

8.如权利要求3-7任意一项所述的望远镜面型光学检测系统，其特征在于，所述控制器与所述可变焦距透镜连接，所述控制器根据所述数字微镜器件反射至所述固定焦距透镜上光束的横截面积控制所述可变焦距透镜的焦距。

9.一种望远镜面型光学检测方法，其特征在于，包括：

通过布置在被测镜的光瞳共轭位置的数字微镜器件，仅使所述被测镜上被检测区域的光束能够反射至波前传感器，所述波前传感器布置在所述数字微镜器件的光瞳共轭位置，通过所述波前传感器检测所接收到光束的波前参数，根据检测的波前参数确定所述被检测区域的面型；

根据检测要求，通过控制所述数字微镜器件对不同位置和/或不同大小的被检测区域分别进行面型检测。

10.如权利要求9所述的望远镜面型光学检测方法，其特征在于，通过在所述波前传感器与所述数字微镜器件布置光束缩放系统，对所述数字微镜器件反射至所述波前传感器的光束进行缩放。