CN116631936A - 基板夹持组件及基板夹持机构 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基板夹持组件和基板夹持机构,基板夹持组件包括底板、滑动块、转动件、压板、限位件、拉簧和直线驱动装置。转动件与滑动块转动连接,转动件包括抵接块。压板与转动件连接。限位件用于对抵接块进行限位。拉簧连接转动件,用于提供弹力使得转动件及压板具有张开的趋势。直线驱动装置与滑动块连接,用于驱动滑动块、转动件及压板滑动,当滑动块向靠近限位件的方向滑动、限位件与抵接块抵接时,转动件转动,使得压板闭合,当滑动块向远离限位块的方向滑动时,拉簧带动压板张开。基板夹持机构包括上述基板夹持组件。本发明提供的基板夹持组件及基板夹持机构,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。
Description
技术领域
本发明涉及夹持组件技术领域,特别涉及一种基板夹持组件及基板夹持机构。
背景技术
通常,显示装置、太阳电池(Solar Cell)、半导体元件等通过对基板实施多种处理工序而制成。例如,有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes,OLED)、液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)、等离子显示板(Plasma Display Panel,PDP)、电泳显示器(Electrophoretic Display,EPD)等显示装置通过对由硅、玻璃(Glass)等形成的基板实施诸如蒸镀工序、光刻工序、蚀刻工序等处理工序而制成。这些处理工序中,有的需要通过基板夹持组件将基板处于固定状态下进行处理。现有技术中的基板夹持组件,当其夹持基板时,其夹块不断对基板过度施加压力,导致基板有破损的风险。
故需要提供一种基板夹持组件及基板夹持机构来解决上述技术问题。
发明内容
本发明提供一种基板夹持组件及基板夹持机构,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。
本发明的技术方案为:
一种基板夹持组件,其包括:
底板;
滑动块,其滑动设置于所述底板上;
转动件,其与所述滑动块转动连接,所述转动件包括抵接块;
压板,其与所述转动件连接;
限位件,其设置于所述底板,用于对所述抵接块进行限位;
拉簧,其连接所述转动件和所述底板,用于提供弹力使得所述转动件及所述压板具有张开的趋势;以及,
直线驱动装置,其与所述滑动块连接,用于驱动所述滑动块、所述转动件及所述压板滑动,当所述滑动块向靠近所述限位件的方向滑动、所述限位件与所述抵接块抵接时,所述转动件转动,使得所述压板闭合,当所述滑动块向远离所述限位件的方向滑动时,所述拉簧带动所述压板张开。
本发明所述的基板夹持组件中,所述基板夹持组件还包括托板,其设置于所述底板上,所述托板上设置有多个挡块,多个所述挡块沿垂直于所述滑动块滑动的方向分布,所述压板上设置有多个避位槽,当所述压板闭合时,多个所述挡块位于多个所述避位槽中。
本发明所述的基板夹持组件中,所述底板上设置有长条形的转动孔,所述转动孔的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述抵接块活动设置在所述转动孔中。
本发明所述的基板夹持组件中,所述底板背对所述滑动块的一侧设置有安装槽,所述安装槽与所述转动孔连通,所述限位件包括限位块及安装板,所述安装板可拆卸安装在所述安装槽中,所述限位块穿设于所述转动孔,并凸出于所述安装板,所述限位块用于对所述抵接块进行限位。
本发明所述的基板夹持组件中,所述底板、所述压板、所述转动件和所述滑动块均为长条形,其长度方向均垂直于所述滑动块的滑动方向;
所述转动件还包括连接片和两个转动块,所述连接片为长条形,其长度方向垂直于所述滑动块的滑动方向,所述连接片与所述压板连接;两个所述转动块分别连接于所述连接片的两端,两个所述转动块分别与所述滑动块的两端转动连接,所述抵接块设置为两个,分别与两个所述转动块连接;所述限位件为两个,分别与两个所述抵接块对应。
本发明所述的基板夹持组件中,所述连接片的中部与所述拉簧的一端连接,所述拉簧的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述滑动块背对所述底板的一侧中部设置有长条形的凹槽,所述凹槽的长度方向与所述拉簧的长度方向一致,所述拉簧穿设于所述凹槽。
本发明所述的基板夹持组件中,所述直线驱动装置为气缸,且为两个,两个所述直线驱动装置分别位于所述滑动块的两端,所述基板夹持组件还包括两个推块,各所述推块分别连接两个所述直线驱动装置和所述滑动块的两端,各所述推块包括相连接的第一段和第二段,所述第一段沿所述滑动块的滑动方向延伸,所述第一段位于所述滑动块与所述直线驱动装置的缸筒之间,并与所述滑动块的一端连接,所述第二段倾斜设置在所述滑动块和所述直线驱动装置之间,所述第二段远离所述第一段的一端设置有开口背对所述底板的卡槽,所述直线驱动装置的活塞杆卡接在所述卡槽中。
本发明所述的基板夹持组件中,所述基板夹持组件还包括两个直线导轨,两个所述直线导轨沿垂直于所述滑动块的滑动方向排布,并位于底板与滑动块之间;两个所述直线导轨的轨道设置在所述底板上,两个所述直线导轨的滑块分别与所述滑动块的两端连接。
本发明的另一技术方案为:
一种基板夹持机构,其包括:
上述的基板夹持组件,所述基板夹持组件设置为平行分布的两组,各所述基板夹持组件还包括连接板和两个安装块,所述连接板与所述底板平行,且两者连接,两个所述安装块分别与所述连接板的两端连接;
两个左右旋丝杆,两个所述左右旋丝杆的四个螺母分别与四个所述安装块连接;
两个同步轮,分别与两个所述左右旋丝杆的螺纹杆连接;
同步带,其套设在两个所述同步轮上;以及,
电机,其转动轴与其中一个所述左右旋丝杆的螺纹杆连接,所述电机用于带动两个左右旋丝杆的螺纹杆同步旋转,以使得两个所述的夹持组件互相靠近或互相远离。
本发明所述的基板夹持机构中,所述基板夹持机构还包括两组支撑组件,两组支撑组件位于基板夹持组件的下方,且沿所述滑动块滑动的方向平行排布,各所述支撑组件包括:
支撑架,用于支撑基板;以及,
驱动组件,与所述支撑架相连,用于驱动所述支撑架沿竖直方向移动。
本发明相较于现有技术,其有益效果为:本发明的基板夹持组件及基板夹持机构,其通过直线驱动装置驱动滑动块向靠近限位件的方向滑动,同时带动转动件及压板同方向移动,当滑动块滑动至抵接块与限位件抵接时,抵接块在直线驱动装置的驱动下给限位件施加作用力,此时限位件给抵接块的反作用力大于拉簧的拉力,迫使转动件转动,使得压板压向底板,从而夹住基板。当滑动块向远离限位件的方向滑动时,转动件远离基板移动,抵接块与限位件分离,限位件不再给转动件施加反作用力,拉簧带动转动件反方向转动,从而带动压板张开,此时可以取出基板。其中,在滑动块向靠近限位件的方向滑动时,当转动件与限位件沿竖直方向贴合时,转动件无法再转动,同时压板不再继续向靠近底板的方向移动,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,下面描述中的附图仅为本发明的部分实施例相应的附图。
图1为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的整体结构示意图。
图2为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的内部俯视结构示意图。
图3为图2中沿C-C的截面示意图。
图4为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的侧视结构示意图。
图5为本发明优选实施例提供的基板夹持组件中底板与限位件的装配示意图。
图6为本发明优选实施例提供的基板夹持组件中底板与限位件的另一装配示意图。
图7为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的底板的结构示意图。
图8为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的限位件的结构示意图。
图9为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的滑动块的结构示意图。
图10为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的转动件的结构示意图。
图11为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的压板的结构示意图。
图12为本发明优选实施例提供的基板夹持组件的分解结构示意图。
图13为本发明优选实施例提供的基板夹持机构的部分结构示意图。
图14为本发明优选实施例提供的基板夹持机构的另一部分结构示意图。
其中,
01、基板,
1、基板夹持组件,
10、底板,101、转动孔,102、安装槽,
11、滑动块,111、凹槽,
12、转动件,121、抵接块,122、连接片,123、转动块,
13、压板,131、避位槽,
14、限位件,141、限位块,142、安装板,
15、拉簧,
16、直线驱动装置,
17、托板,171、挡块,
18、推块,181、第一段,182、第二段,
19、直线导轨,
20、连接板,
21、安装块,
22、左右旋丝杆,
23、同步轮,
24、电机,
25、同步带,
26、支撑组件,261、支撑架,262、驱动组件。
在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明中所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」、「顶部」以及「底部」等词,仅是参考附图的方位,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。
本发明术语中的“第一”“第二”等词仅作为描述目的,而不能理解为指示或暗示相对的重要性,以及不作为对先后顺序的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
通常,显示装置、太阳电池(Solar Cell)、半导体元件等通过对基板实施多种处理工序而制成。例如,有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes,OLED)、液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)、等离子显示板(Plasma Display Panel,PDP)、电泳显示器(Electrophoretic Display,EPD)等显示装置通过对由硅、玻璃(Glass)等形成的基板实施诸如蒸镀工序、光刻工序、蚀刻工序等处理工序而制成。这些处理工序中,有的需要通过基板夹持组件将基板处于固定状态下进行处理。现有技术中的基板夹持组件,当其夹持基板时,其夹块不断对基板过度施加压力,导致基板有破损的风险。
如下为本发明提供的一种能解决以上技术问题的基板夹持组件及基板夹持机构的优选实施例。
请参照图1-图14,本发明优选实施例提供了一种基板夹持组件1,其包括底板10、滑动块11、转动件12、压板13、限位件14、拉簧15和直线驱动装置16。底板10为长条形,其水平设置。滑动块11滑动设置于底板10上。转动件12与滑动块11转动连接,转动件12包括抵接块121。压板13与转动件12连接,用于与底板10配合,将基板01夹持在底板10与压板13之间。限位件14设置于底板10,用于对抵接块121进行限位。拉簧15连接转动件12和底板10,用于提供弹力使得转动件12及压板13具有张开的趋势。直线驱动装置16与滑动块11连接,用于驱动滑动块11、转动件12及压板13滑动,其滑动方向为底板10的宽度方向。当滑动块11向靠近限位件14的方向滑动、限位件14与抵接块121抵接时,转动件12转动,带动压板13转动,使得压板13闭合,此时基板01夹持在底板10与压板13之间。当滑动块11向远离限位件14的方向滑动时,拉簧15带动压板13张开。压板13靠近底板10的一侧设置有缓冲垫,可以有效保护基板01。
本发明的基板夹持组件1,其通过直线驱动装置16驱动滑动块11向靠近限位件14的方向滑动,同时带动转动件12及压板13同方向移动,当滑动块11滑动至抵接块121与限位件14抵接时,抵接块121在直线驱动装置16的驱动下给限位件14施加作用力,此时限位件14给抵接块121的反作用力大于拉簧15的拉力,迫使转动件12转动,使得压板13压向底板10,从而夹住基板01。当滑动块11向远离限位件14的方向滑动时,转动件12远离基板01移动,抵接块121与限位件14分离,限位件14不再给转动件12施加反作用力,拉簧15带动转动件12反方向转动,从而带动压板13张开,此时可以取出基板01。其中,在滑动块11向靠近限位件14的方向滑动时,当转动件12与限位件14沿竖直方向贴合时,转动件12无法再转动,同时压板13不再继续向靠近底板10的方向移动,既可以夹持住基板01,又不会给基板01施加过度的压力,可以有效防止基板01损伤。
请参照图1,基板夹持组件1还包括托板17,其设置于底板10上,托板17上设置有多个挡块171,多个挡块171沿垂直于滑动块11滑动的方向分布,压板13上设置有多个避位槽131,当压板13闭合时,多个挡块171位于多个避位槽131中。上述结构中,多个挡块171可以与基板01的边缘限位抵接,防止基板01移位,多个避位槽131可以容纳多个挡块171,防止压板13闭合时挡块171干涉压板13。挡块171的端部设置为倾斜状,便于放入基板01。
请参照图5,底板10上设置有长条形的转动孔101,转动孔101的长度方向与滑动块11的滑动方向一致,抵接块121活动设置在转动孔101中。采用上述结构,可以使得转动件12在转动过程中不会受到底板10的干涉,转动件12更靠近底板10,使得整体结构更加紧凑。
请参照图6、图7和图8,底板10背对滑动块11的一侧设置有安装槽102,安装槽102与转动孔101连通。限位件14包括限位块141及安装板142,安装板142可拆卸安装在安装槽102中,限位块141穿设于转动孔101,并凸出于安装板142,限位块141用于对抵接块121进行限位。上述结构中,安装板142装配于底板10的底部,可以使得底板10的顶部有更多的空间装配其他结构,且安装板142安装在安装槽102中,便于准确定位安装,同时也可以避免其他物体干涉到安装板142,有效防止限位件14移位。当限位块141由于长时间使用受到损坏时,限位件14通过安装板142与底板10可拆卸安装,便于更换限位件14。限位块141朝向抵接块121的一侧设置有尖端,其端部设置为倒圆角,使得转动件12转动更加顺畅。限位块141朝上的端面水平设置,当压板13下压至最低位置时,压板13刚好处于水平位置,使得压板13与底板10之间的间隙尺寸一致,对基板01的夹持力度均匀,不容易损坏基板01。
请参照图7、图9、图10和图11,底板10、压板13、转动件12和滑动块11均为长条形,其长度方向均垂直于滑动块11的滑动方向。各转动件12还包括连接片122和两个转动块123,连接片122为长条形,其长度方向垂直于滑动块11的滑动方向,连接片122与压板13连接。两个转动块123分别连接于连接片122的两端,两个转动块123分别与滑动块11的两端转动连接。抵接块121设置为两个,分别与两个转动块123连接。限位件14为两个,分别与两个抵接块121对应。上述结构中,底板10和压板13均为长条形,可以夹住长度较长的基板01。转动件12为长条形可以支撑起长条形的压板13,使压板13在移动和夹持过程中保持稳定。滑动块11为长条形可以支撑起长条形的转动件12,使转动件12在移动过程中保持稳定。转动件12的两端设置有两个转动块123,分别与滑动块11的两端转动连接,可以使得转动件12转动稳定。压板13、转动件12和滑动块11可以仅设置一个,或者设置为多个,可以使得压板13对基板01的夹持力度均匀,对基板01夹持稳定。本实施例示意的均为两个。连接片122与抵接块121垂直,当抵接块121处于竖直状态时,刚好连接片122处于水平状态,使得连接片122与底板10之间的间隙尺寸一致,对基板01的夹持力度均匀,不容易损坏基板01。
请参照图2、图9和图10,连接片122的中部设置有凸出的拉片,拉片与拉簧15的一端连接,拉簧15的长度方向与滑动块11的滑动方向一致,滑动块11背对底板10的一侧中部设置有长条形的凹槽111,凹槽111的长度方向与拉簧15的长度方向一致,拉簧15穿设于凹槽111。上述结构中,拉簧15与连接片122的中部连接,可以使得转动件12在转动的过程中保持稳定。拉簧15位于凹槽111中,可以节省空间,使得结构更加紧凑。凹槽111开口从内向外逐渐变大,便于放入拉簧15。
请参照图2,直线驱动装置16为气缸,且为两个,两个直线驱动装置16分别位于滑动块11的两端。基板夹持组件1还包括两个推块18,各推块18分别连接两个直线驱动装置16和滑动块11的两端。各推块18包括相连接的第一段181和第二段182,第一段181沿滑动块11的滑动方向延伸,第一段181位于滑动块11与直线驱动装置16的缸筒之间,并通过螺丝与滑动块11的一端连接。第二段182倾斜设置在滑动块11和直线驱动装置16的活塞杆之间,第二段182远离第一段181的一端设置有开口背对底板10的卡槽,直线驱动装置16的活塞杆卡接在卡槽中。上述结构中,两个直线驱动装置16与滑动块11沿底板10的长度方向并列排布,可以节省底板10宽度方向的空间,使得底板10宽度尺寸较小,结构紧凑,也节省材料。两个直线驱动装置16分别驱动滑动块11的两端,可以使得滑动块11滑动稳定。第一段181位于滑动块11与直线驱动装置16的缸筒之间,第二段182倾斜设置在滑动块11和直线驱动装置16的活塞杆之间,可以使得滑动块11与直线驱动装置16距离较近,结构紧凑。第二段182上设置开口朝上的卡槽,安装直线驱动装置16时,只需要把直线驱动装置16的活塞杆卡接在卡槽中即可,使得直线驱动装置16与推块18之间的连接方便。
请参照图4,基板夹持组件1还包括两个直线导轨19,两个直线导轨19沿垂直于滑动块11的滑动方向排布,并位于底板10与滑动块11之间。两个直线导轨19的轨道设置在底板10上,两个直线导轨19的滑块分别与滑动块11的两端连接。上述结构中,通过在滑动块11的两端设置两个直线导轨19,可以使得滑动块11滑动稳定。
请参照图13,本发明优选实施例还提供一种基板夹持机构,其包括上述的基板夹持组件1、两个左右旋丝杆22、两个同步轮23、同步带25和电机24。基板夹持组件1设置为平行分布的两组,各基板夹持组件1还包括连接板20和两个安装块21,连接板20与底板10平行,且两者连接,两个安装块21分别与连接板20的两端连接。两个左右旋丝杆22的四个螺母分别与四个安装块21连接。两个同步轮23分别与两个左右旋丝杆22的螺纹杆连接。同步带25套设在两个同步轮23上。电机24的转动轴与其中一个左右旋丝杆22的螺纹杆连接,电机24用于带动两个左右旋丝杆22的螺纹杆同步旋转,以使得两个夹持组件互相靠近或互相远离。上述结构中,电机24驱动一个左右旋丝杆22转动,通过同步轮23和同步带25带动另一个左右旋丝杆22同步转动,两个左右旋丝杆22带动基板夹持组件1互相靠近或互相远离,便于根据实际基板01尺寸调整两个夹持组件之间的宽度。
请参照图14,基板夹持机构还包括两组支撑组件26,两组支撑组件26位于基板夹持组件1的下方,且沿滑动块11滑动的方向平行排布,各支撑组件26包括支撑架261和驱动组件262。支撑架261用于支撑基板01。驱动组件262与支撑架261相连,用于驱动支撑架261沿竖直方向移动。上述结构中,可以通过支撑架261支撑基板01,使基板01放置更加稳定。可以通过驱动组件262调整支撑架261的高度,使基板01的高度与两个夹持组件匹配。
本发明优选实施例的基板夹持机构的工作过程:
1、调整左右旋丝杆22,使两组挡块171之间的距离略大于基板01的宽度;
2、通过驱动组件262调整支撑架261的高度,使得基板01的高度与两个托板17匹配;
3、将基板01放置于支撑架261上,并使得基板01的两个边缘分别位于两个托板17上;
4、通过电机24驱动两个左右旋丝杆22带动两个基板夹持组件1互相靠近,使得两边的挡块171与基板01的两个边缘抵接;
5、通过直线驱动装置16驱动滑动块11向靠近基板01的方向移动,同时带动转动件12及压板13同方向移动,当滑动块11滑动至抵接块121与限位块141抵接时,抵接块121在直线驱动装置16的驱动下给限位块141施加作用力,此时限位块141给抵接块121的反作用力大于拉簧15的拉力,迫使转动件12转动,使得压板13压向底板10,从而夹住基板01。当转动件12与限位件14沿竖直方向贴合时,转动件12无法再转动,同时压板13不再继续向靠近底板10的方向移动,既可以夹持住基板01,又不会给基板01施加过度的压力,可以有效防止基板01损伤。
6、基板01的处理工序完成后,直线驱动装置16驱动滑动块11向远离限位块141的方向滑动,转动件12远离基板01移动,抵接块121与限位块141分离,限位块141不再给转动件12施加反作用力,拉簧15带动转动件12反方向转动,从而带动压板13张开,此时可以取出基板01。
这样即完成了本优选实施例的基板夹持机构的工作过程。
本发明的基板夹持组件及基板夹持机构,其通过直线驱动装置驱动滑动块向靠近限位件的方向滑动,同时带动转动件及压板同方向移动,当滑动块滑动至抵接块与限位件抵接时,抵接块在直线驱动装置的驱动下给限位件施加作用力,此时限位件给抵接块的反作用力大于拉簧的拉力,迫使转动件转动,使得压板压向底板,从而夹住基板。当滑动块向远离限位件的方向滑动时,转动件远离基板移动,抵接块与限位件分离,限位件不再给转动件施加反作用力,拉簧带动转动件反方向转动,从而带动压板张开,此时可以取出基板。其中,在滑动块向靠近限位件的方向滑动时,当转动件与限位件沿竖直方向贴合时,转动件无法再转动,同时压板不再继续向靠近底板的方向移动,既可以夹持住基板,又不会给基板施加过度的压力,可以有效防止基板损伤。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案的构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种基板夹持组件,其特征在于,包括:
底板;
滑动块,其滑动设置于所述底板上;
转动件,其与所述滑动块转动连接,所述转动件包括抵接块;
压板,其与所述转动件连接;
限位件,其设置于所述底板,用于对所述抵接块进行限位;
拉簧,其连接所述转动件和所述底板,用于提供弹力使得所述转动件及所述压板具有张开的趋势;以及,
直线驱动装置,其与所述滑动块连接,用于驱动所述滑动块、所述转动件及所述压板滑动,当所述滑动块向靠近所述限位件的方向滑动、所述限位件与所述抵接块抵接时,所述转动件转动,使得所述压板闭合,当所述滑动块向远离所述限位件的方向滑动时,所述拉簧带动所述压板张开。
2.根据权利要求1所述的基板夹持组件,其特征在于,所述基板夹持组件还包括托板,其设置于所述底板上,所述托板上设置有多个挡块,多个所述挡块沿垂直于所述滑动块滑动的方向分布,所述压板上设置有多个避位槽,当所述压板闭合时,多个所述挡块位于多个所述避位槽中。
3.根据权利要求1所述的基板夹持组件,其特征在于,所述底板上设置有长条形的转动孔,所述转动孔的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述抵接块活动设置在所述转动孔中。
4.根据权利要求3所述的基板夹持组件,其特征在于,所述底板背对所述滑动块的一侧设置有安装槽,所述安装槽与所述转动孔连通,所述限位件包括限位块及安装板,所述安装板可拆卸安装在所述安装槽中,所述限位块穿设于所述转动孔,并凸出于所述安装板,所述限位块用于对所述抵接块进行限位。
5.根据权利要求1所述的基板夹持组件,其特征在于,所述底板、所述压板、所述转动件和所述滑动块均为长条形,其长度方向均垂直于所述滑动块的滑动方向;
所述转动件还包括连接片和两个转动块,所述连接片为长条形,其长度方向垂直于所述滑动块的滑动方向,所述连接片与所述压板连接;两个所述转动块分别连接于所述连接片的两端,两个所述转动块分别与所述滑动块的两端转动连接,所述抵接块设置为两个,分别与两个所述转动块连接;所述限位件为两个,分别与两个所述抵接块对应。
6.根据权利要求5所述的基板夹持组件,其特征在于,所述连接片的中部与所述拉簧的一端连接,所述拉簧的长度方向与所述滑动块的滑动方向一致,所述滑动块背对所述底板的一侧中部设置有长条形的凹槽,所述凹槽的长度方向与所述拉簧的长度方向一致,所述拉簧穿设于所述凹槽。
7.根据权利要求5所述的基板夹持组件,其特征在于,所述直线驱动装置为气缸,且为两个,两个所述直线驱动装置分别位于所述滑动块的两端,所述基板夹持组件还包括两个推块,各所述推块分别连接两个所述直线驱动装置和所述滑动块的两端,各所述推块包括相连接的第一段和第二段,所述第一段沿所述滑动块的滑动方向延伸,所述第一段位于所述滑动块与所述直线驱动装置的缸筒之间,并与所述滑动块的一端连接,所述第二段倾斜设置在所述滑动块和所述直线驱动装置之间,所述第二段远离所述第一段的一端设置有开口背对所述底板的卡槽,所述直线驱动装置的活塞杆卡接在所述卡槽中。
8.根据权利要求5所述的基板夹持组件,其特征在于,所述基板夹持组件还包括两个直线导轨,两个所述直线导轨沿垂直于所述滑动块的滑动方向排布,并位于底板与滑动块之间;两个所述直线导轨的轨道设置在所述底板上,两个所述直线导轨的滑块分别与所述滑动块的两端连接。
9.一种基板夹持机构,其特征在于,包括:
权利要求1-8任一所述的基板夹持组件,所述基板夹持组件设置为平行分布的两组,各所述基板夹持组件还包括连接板和两个安装块,所述连接板与所述底板平行,且两者连接,两个所述安装块分别与所述连接板的两端连接;
两个左右旋丝杆,两个所述左右旋丝杆的四个螺母分别与四个所述安装块连接;
两个同步轮,分别与两个所述左右旋丝杆的螺纹杆连接;
同步带,其套设在两个所述同步轮上;以及,
电机,其转动轴与其中一个所述左右旋丝杆的螺纹杆连接,所述电机用于带动两个左右旋丝杆的螺纹杆同步旋转,以使得两个所述的夹持组件互相靠近或互相远离。
10.根据权利要求9所述的基板夹持机构,其特征在于,所述基板夹持机构还包括两组支撑组件,两组支撑组件位于基板夹持组件的下方,且沿所述滑动块滑动的方向平行排布,各所述支撑组件包括:
支撑架,用于支撑基板;以及,
驱动组件,与所述支撑架相连,用于驱动所述支撑架沿竖直方向移动。
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