CN116586751A - 一种激光动态加工装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，激光束的加工方向为大体垂直于第一直线方向的第二直线方向，第一直线方向为交互台面模组的前进方向，加工件载台由直线电机驱动前进；转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向；在转镜系统上游设置角度偏移补偿装置，角度偏移补偿装置对出射激光束在第一直线方向的速度改变基本等于直线电机带动加工件载台运动的第一速度，通过角度偏移补偿装置改变激光束在第一直线方向的偏移角度，补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移。
Description
技术领域
本发明涉及一种动态激光加工装置及方法，属于激光加工技术领域。
背景技术
在光伏加工技术领域，激光对太阳能电池的加工得到了越来越多的应用。例如激光开槽、激光掺杂、激光印刷、激光退火、激光焊接等。目前，随着太阳能电池尺寸的增大，高效太阳能电池的进一步发展，对激光加工速度和激光加工精度提出了越来越高的要求。
激光振镜由于其加工速度和加工精度的优势，被广泛应用于太阳能电池加工工艺中。但是，光伏电池片的尺寸越来越大，由于振镜和场镜的加工幅面有限，且其加工幅面边缘部分的加工精度不够，导致在加工时，加工图形在边缘方向上的不均匀程度变大。典型地，210x210mm大尺寸晶硅太阳能电池钝化层的选择性烧蚀和选择性掺杂，由于振镜校正角度变大，当振镜控制光斑扫描到电池片边缘时，由于场镜存在的散射现象，会出现光斑尺寸精度下降、光斑能量密度波动等现象，而对操纵超短脉冲和高脉冲能量的激光束的方式提出了更高的工艺要求。
发明内容
本申请提供一种基于转镜的动态加工装置和方法，来解决加工工件边缘精度降低的问题。
具体地，一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件至少包括加工件载台；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方；激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，激光束的加工方向为大体垂直于第一直线方向的第二直线方向，第一直线方向为交互台面模组的前进方向，加工件载台由直线电机驱动前进；转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向；在转镜系统上游设置角度偏移补偿装置，角度偏移补偿装置对出射激光束在第一直线方向的速度改变基本等于直线电机带动加工件载台运动的第一速度，通过角度偏移补偿装置改变激光束在第一直线方向的偏移角度，补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移。
另一方面，所述加工件的待加工图形至少包括多条间隔设置的直线或者间断线，所述直线或者间断线的方向和第一直线方向垂直。
另一方面，待加工件为电池片，所述加工件载台以第一速度带动电池片沿第一直线方向移动；激光转镜系统设置于加工工位上方，朝向电池片照射激光，从待加工线A端沿第二直线方向扫描至线B端，完成一根线的加工。
另一方面，所述激光束实际扫描方向为工件在第一直线方向上的运动与激光束扫描的第二直线方向的合成方向；在工件上的实际加工线为垂直于第一直线方向的方向。
另一方面，所述角度偏移补偿装置为振镜或声光偏转器等。
另一方面，所述激光束的扫描速度Vs、第一速度Vt、第二直线方向和第一直线方向的夹角θ具有以下关系：Cosθ＝Vt*tj/Vs*tj＝Vt/Vs，则第二直线方向为和第一直线方向呈θ的方向。
另一方面，激光束单次加工完成后，在转动组件带动下，转镜的下一个镜片端面将激光束从出光口引出，出射激光束沿着下一根待加工线的A端扫描至B端。
另一方面，所述激光加工系统还包括设置在角度偏移补偿装置206和转镜系统203之间的分光器205，分光器205将激光束分成平行的多束激光束204，多束激光束204经转镜控制并经由出光口输出，出光口位于加工工位上方，出射的多束激光束平行作用在待加工件的多根加工线上。
另一方面，还包含吹尘装置和吸尘装置组成的清洁模组，清洁模组的工作区域可以仅限制电池片的中间区域。
另一方面，角度偏移补偿装置能在从UV到IR的宽谱范围内，使激光束偏转角最大能够高达5度。
另一方面，补偿激光束在加工件行进方向的偏移，可以不在激光路径上加设角度偏移补偿装置，而是对加工件进行预先角度补偿，使工件补偿的角度刚好等于激光束在加工件行进方向的偏移，来得到工件的垂直加工线。
具体地，提供一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件至少包括加工件载台；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方，激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，加工件通常为矩形状，加工件载台由直线电机驱动前进，交互台面模组的前进方向为第一直线方向，转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向，若加工件的一边平行于第一直线方向，则经由转镜系统的激光束在加工件上的实际扫描方向为与第一直线方向成夹角θ的斜线，而非垂直与第一直线方向的垂直线，其中所述激光束的扫描速度Vs、第一速度Vt、夹角θ具有以下关系：Cosθ＝Vt*tj/Vs*tj＝Vt/Vs；为补偿激光束在第一直线方向的偏移角度，加工件载台设置载台角度调整机构，用于调整载台上的加工件的偏转角度，预先将加工件偏转(90°-θ),这样激光束在工件上的实际加工线即为垂直于加工件的一边。
更具体地，载台组件在下料工位放下已加工件后，往回运动至上料工位装载新的待加工件。
本发明的有益效果是：本发明的一种激光动态加工装置和方法，直线电机驱动加工件载台，加工速度快，激光束集中在转镜系统加工幅面的中心，在宽度方向扫描区域无场镜边缘上的光束畸变，加工精度高，成本低；同时，窄的加工幅面，也更有利于加工环境保持一致性，加工废弃物集中于较小的加工幅面，利于清洁模组维持加工环境，解决了传统抽尘时边缘不容易被抽干净，导致的加工粉尘附着导致的加工质量下降的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例1的一种激光动态加工装置示意图；
图2a为本申请实施例1的电池片及其加工图形的示意图；
图2b为本申请实施例1的电池片单次加工SE线的示意图；
图3为本申请实施例1的电池片图形递次加工的示意图；
图4为本申请实施例2的一种激光动态加工装置示意图；
图5为本申请实施例2的电池片单次加工SE线的示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
应当理解，示意性的附图并未按实物比例绘制。在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
本申请提供一种激光动态加工装置和方法，旨在解决现有技术激光加工电池片或其他加工件时，在宽度方向上边缘质量下降的问题。
一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件至少包括加工件载台；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方；激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，激光束的加工方向为大体垂直于第一直线方向的第二直线方向，第一直线方向为交互台面模组的前进方向，加工件载台由直线电机驱动前进；转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向；在转镜系统上游设置角度偏移补偿装置，角度偏移补偿装置对出射激光束在第一直线方向的速度改变基本等于直线电机带动加工件载台运动的第一速度，通过角度偏移补偿装置改变激光束在第一直线方向的偏移角度，补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移。加工件可以是电池片，薄膜，金属箔等待加工件。
加工件载台由直线电机驱动行进，激光束经由转镜对加工件进行加工，二者可以在加工精度上形成良好的匹配关系。太阳能电池片主要有矩形状和方形状等外形形式。常规的太阳能电池角度偏移补偿装置加工精度约可以控制在±15μm。直线电机具有相当大的速度优势，直线电机速度达到300m/min，加速度达到10g；滚珠丝杠速度为120m/min，加速度为1.5g。从速度和加速度的对比上，直线电机具有相当大的运动优势，速度控制上直线电机因其响应快，调速范围更宽，调速范围可达到1：10000，可以实现启动后瞬间达到最高转速，高速运行时也能迅速停止。精度上直线电机因传动机构简单减少了插补滞后的问题，直线电机定位精度可达0.1μm，想达到较高平稳性，直线电机的高发热部件需要采用强冷的温控措施，温控成本高，但是精度降低至1-2μm时温控成本极具下降，在精度为1-2μm级别时，直线电极的温控成本已经极具竞争力。本申请利用直线电极的高精度控制能力，则转镜系统激光束加工的精度成为主要的精度约束。一般而言，转镜系统控制的激光束能将光束光斑的精度控制在±15μm，且转镜的加工速度极快。
激光动态加工装置还包含吹尘装置和吸尘装置组成的清洁模组，清洁模组的工作区域可以仅限制电池片的中间区域，而不需要像常规激光加工装置中清洁模组需要覆盖整个电池片的区域，在本申请中激光束集中作用在电池片的中间区域，清洁模组仅需覆盖电池片的中间区域，这样能够更有效的利用清洁模组对激光束加工环境的洁净能力。
基于此发明构思，本申请提出了一种激光动态加工装置，并以此为基础提出了一种激光动态加工的方法。
实施例1
本申请以对太阳能电池进行激光SE(selectiveemitter)掺杂为例，对210x210mm大尺寸晶硅太阳能电池片掺杂源层SE对应区域进行激光束照射，驱动掺杂源层中的掺杂原子进入电池片基体中，在电池片表面形成间隔平行排列的SE掺杂线图形。
参见附图1，激光动态加工装置至少包括交互台面模组(未图示)及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件的加工件载台载置电池片101；激光加工系统的激光束104经转镜103控制并经由出光口输出，出光口位于加工工位上方，单束激光束直接作用在电池片的SE线102上，通过控制驱动转镜的转动组件(未图示)，激光束沿拟加工的SE线102从电池片A端扫描至B端，对于每一次激光束加工，在转动组件带动下，转镜的每一个镜片端面均引导激光束从电池片A端扫描至B端，扫描方向为大体垂直于第一直线方向的第二直线方向，第一直线方向为加工件载台的前进方向，加工件载台由直线电机驱动沿第一直线方向前进；转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向。
单一转镜控制的激光射线的扫描线只能一维控制，一般为一维直线状，缺乏其他方向上的调制能力。而本发明申请待加工件载台由直线电机驱动沿第一直线方向前进，也就是说在加工过程中激光束存在着垂直于第一直线方向的偏移，因而需要对激光束偏移加以修正。故而在本发明申请的技术方案中，在转镜系统之前设置角度偏移补偿装置105，角度偏移补偿装置对出射激光束在第一直线方向的速度改变基本等于直线电机带动加工件载台运动的第一速度，通过角度偏移补偿装置105的X-Y轴方向上的快速调整能力，最终改变激光束在第一直线方向的偏移角度，补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移，最终能够在工件上加工出垂直线。
可选择地，角度偏移补偿装置105为振镜系统或声光偏转器系统，均能补偿在单次加工期间激光束在加工件的行进方向的偏移。具体地，在激光源与转镜103的多面体之间的激光路径上增加声光偏转器或振镜系统，控制声光偏转器使转镜多面体旋转期间保持激光束104出射在加工件上的偏转角，角度偏移补偿装置105能在从UV到IR的宽谱范围内，使激光束偏转角能够为高达4-5度，来补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移。
交互台面模组至少包括两个载台组件，通常为3个或者更多，每个载台组件均包括可沿第一直线方向在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的电池片加工件载台，电池片加工件载台用于在上料工位接收电池片101、在加工工位支撑电池片进行激光加工及在下料工位将加工好的电池片卸下，卸下电池片的加工件载台则沿第一直线方向的反方向返回上料工位，待加工的电池片则被放置到上料的加工件载台进入下一个加工循环。
参见附图2a为电池片及其加工图形的示意图，图中包括平行设置的多条加工SE线，其长度以L表示，对210x210mm晶硅太阳能电池片，L约为205mm左右，相邻加工SE线的距离以d表示，约为2mm左右。附图2b为电池片单次加工SE线的示意图，在单次加工过程中，加工件载台的第一速度以Vt表示，激光束扫描速度以Vs表示，第二直线方向和第一直线方向的夹角以θ表示，其中以实线表示了激光束行进的实际路径，以虚线表示了激光束在工件上扫描后的最终状态。
加工件载台以第一速度带动电池片沿第一直线方向移动；激光转镜系统设置于加工工位上方，朝向电池片照射激光，从待加工SE线A端沿第二直线方向扫描至SE线B端，完成一根SE线的加工；第一束激光加工完成后，在转动组件带动下，转镜的下一个镜片端面将激光束从出光口引出，出射激光束沿着下一根待加工SE线的A端扫描至B端，激光束实际扫描方向(实线)为工件在第一直线方向上的运动与激光束扫描的第二直线方向的合成方向。在工件上的实际加工线(虚线)为垂直于第一直线方向的SE线的方向。
参见附图3为电池片图形递次加工的示意图，激光束实际的路径为指向斜线，而在加工电池片上轨迹为直线，转镜的下一个镜片端面将激光束从出光口引出时，出射点即照射到下一根待加工SE线的A端；激光束实际的路径为指向斜线，激光束扫描至B端后，在加工电池片上轨迹为下一根待加工SE线。反复循环上述单根SE线的扫描过程即可完成一片电池片的所有待加工SE线。
一条SE线激光掺杂的加工时间为tj，转镜镜面切换时间为tt，转镜镜面切换时间远小于单条SE线激光掺杂的加工时间，在数学上可忽略，在工程学上基本可认为单条SE线激光掺杂的加工时间即为一条SE线激光掺杂起始到下一条SE线激光掺杂开始的单次循环时间。
激光束的扫描速度Vs、第一速度Vt、第二直线方向和第一直线方向的夹角θ具有以下关系：
Cosθ＝Vt*tj/Vs*tj＝Vt/Vs，则第二直线方向为和第一直线方向呈θ的方向。
本发明采用上述的方案，激光束实际的扫描方向和平台运动的方向呈特定夹角，扫描方向匹配了电池片的运动方向，完成了待加工线的加工。采用上述的方案，激光束的扫描区域，在长度方向上，仅为待加工线长度L，在宽度方向上，仅为Vt*tj，转镜的镜面切换时间极短，相比一根SE线的加工时间在数学工程上可忽略，转镜镜面转动下下一片镜面即开始下一条待加工的SE线的扫描过程，Vt*tj约为相邻加工SE线间距离d。这样的设置，避免了转镜加工幅面的宽度边缘处的加工畸变，在保证加工速度的基础上，大大提升了加工质量。
实施例2
参见附图4，一种激光动态加工装置，至少包括激光动态加工装置至少包括交互台面模组(未图示)及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件的加工件载台载置电池片201；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方；激光加工系统至少包括角度偏移补偿装置206，分光器205，转镜系统203、用于驱动转镜系统的转动组件，分光器将激光束分成平行的多束激光束204(示例为3束激光束)，多束激光束204经转镜控制并经由出光口输出，出光口位于加工工位上方，出射的多束激光束平行作用在电池片的多根SE线202(示例为三根)上，通过控制驱动转镜的转动组件(未图示)，多束激光束204沿拟加工的SE线202从电池片A端扫描至B端，对于每一次激光束加工，在转动组件带动下，转镜的每一个镜片端面均引导多束激光束从电池片A端扫描至B端，扫描方向为大体垂直于第一直线方向的第二直线方向，第一直线方向为加工件载台的前进方向，加工件载台由直线电机驱动沿第一直线方向前进；转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向；在激光源与分光器205之间设置角度偏移补偿装置206或声光偏转器，改变分束后的多束激光束在第一直线方向的偏移角度，补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移，对激光束偏移加以修正后激光束的实际加工轨迹即为无偏移覆盖SE线202的多束激光束204扫描轨迹。
多束激光束的转镜控制方式与单束激光束的转镜控制方式基本相同。
参见附图5为电池片图形递次加工的示意图，多束激光束(示例为3束激光束)实际的路径为指向斜线，而在加工电池片上轨迹为直线，转镜的下一个镜片端面将激光束从出光口引出时，激光出射点即照射到下一组待加工SE线的A端；激光束实际的路径为指向斜线，激光束扫描至B端后，在加工电池片上轨迹为下一组待加工SE线。反复循环上述多束激光束的扫描过程即可完成一片电池片的所有待加工SE线。
实施例3
上述实施例，采用角度偏移补偿装置补偿激光束在加工件行进方向的偏移。本实施例可以在激光路径上不加设角度偏移补偿装置，而是对加工件进行预先角度补偿，使工件补偿的角度刚好等于激光束在加工件行进方向的偏移，来得到工件的垂直加工线。
具体地，一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件至少包括加工件载台；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方，激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，加工件通常为矩形状，加工件载台由直线电机驱动前进，交互台面模组的前进方向为第一直线方向，转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向，若加工件的一边平行于第一直线方向，则经由转镜系统的激光束在加工件上的实际扫描方向为与第一直线方向成夹角θ的斜线，而非垂直与第一直线方向的垂直线，其中所述激光束的扫描速度Vs、第一速度Vt、夹角θ具有以下关系：Cosθ＝Vt*tj/Vs*tj＝Vt/Vs；为补偿激光束在第一直线方向的偏移角度，加工件载台设置载台角度调整机构，用于调整载台上的加工件的偏转角度，预先将加工件偏转角度(90°-θ),这样激光束在工件上的实际加工线即为垂直于加工件的一边。预先将加工件偏转角度(90°-θ)，与其他实施例中的角度偏移补偿装置改变的激光束偏转角相同，能够设定在4-5度的范围内补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移。当然，我们也可明确地知道，在加工其他工件时，单条加工线加工时间不同，加工速度不同，预设待加工件偏转角度可能更大，载台角度调整机构可以在更大的角度范围内实现加工件行进方向偏移补偿。
载台组件在下料工位放下已加工件后，往回运动至上料工位装载新的待加工件。
以上实施例以对太阳能电池进行激光SE(selectiveemitter)掺杂加工为例，本发明不限于此，对太阳能电池进行激光消融加工、激光切割加工和激光改性加工均可。
以上对本申请所提供的太阳能电池激光加工装备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。
Claims (13)
1.一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，其特征在于：交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件至少包括加工件载台；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方；激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，激光束的加工方向为大体垂直于第一直线方向的第二直线方向，第一直线方向为交互台面模组的前进方向，加工件载台由直线电机驱动前进；转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向；在转镜系统上游设置角度偏移补偿装置，角度偏移补偿装置对出射激光束在第一直线方向的速度改变基本等于直线电机带动加工件载台运动的第一速度，通过角度偏移补偿装置改变激光束在第一直线方向的偏移角度，补偿直线电机带动待加工件的直线运动偏移。
2.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：所述加工件的待加工图形至少包括多条间隔设置的直线或者间断线，所述直线或者间断线的方向和第一直线方向垂直。
3.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：待加工件为电池片，所述加工件载台以第一速度带动电池片沿第一直线方向移动；激光转镜系统设置于加工工位上方，朝向电池片照射激光，从待加工线A端沿第二直线方向扫描至线B端，完成一根线的加工。
4.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：所述激光束实际扫描方向为工件在第一直线方向上的运动与激光束扫描的第二直线方向的合成方向；在工件上的实际加工线为垂直于第一直线方向的方向。
5.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：所述激光束的扫描速度Vs、第一速度Vt、第二直线方向和第一直线方向的夹角θ具有以下关系：Cosθ＝Vt*tj/Vs*tj＝Vt/Vs，则第二直线方向为和第一直线方向呈θ的方向，且一条加工线的加工时间为tj。
6.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：激光束单次加工完成后，在转动组件带动下，转镜的下一个镜片端面将激光束从出光口引出，出射激光束沿着下一根待加工线的A端扫描至B端。
7.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：所述角度偏移补偿装置为振镜或声光偏转器等。
8.根据权利要求7所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：角度偏移补偿装置能在从UV到IR的宽谱范围内，使激光束偏转角最大能够高达5度。
9.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：所述激光加工系统还包括设置在角度偏移补偿装置和转镜系统之间的分光器，分光器将激光束分成平行的多束激光束，多束激光束经转镜控制并经由出光口输出，出光口位于加工工位上方，出射的多束激光束平行作用在待加工件的多根加工线上。
10.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：还包含吹尘装置和吸尘装置组成的清洁模组，清洁模组的工作区域可以仅限制电池片的中间区域。
11.根据权利要求1所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：载台组件在下料工位放下已加工件后，往回运动至上料工位装载新的待加工件。
12.一种激光动态加工装置，至少包括交互台面模组及激光加工系统，交互台面模组包括至少两个在上料工位、加工工位和下料工位之间交互循环移动的载台组件，载台组件至少包括加工件载台；激光加工系统的激光束出光口位于加工工位上方，激光加工系统包括转镜系统、用于驱动转镜系统的转动组件，加工件通常为矩形状，加工件载台由直线电机驱动前进，交互台面模组的前进方向为第一直线方向，转动组件用于驱动转镜系统绕转镜系统的旋转轴线旋转，转镜系统的旋转轴平行于第一直线方向，若加工件的一边平行于第一直线方向，则经由转镜系统的激光束在加工件上的实际扫描方向为与第一直线方向成夹角θ的斜线，而非垂直与第一直线方向的垂直线，其中所述激光束的扫描速度Vs、第一速度Vt、夹角θ具有以下关系：Cosθ＝Vt*tj/Vs*tj＝Vt/Vs；为补偿激光束在第一直线方向的偏移角度，加工件载台设置载台角度调整机构，用于调整载台上的加工件的偏转角度，预先将加工件偏转(90°-θ),这样激光束在工件上的实际加工线即为垂直于加工件的一边。
13.根据权利要求12所述的一种激光动态加工装置，其特征在于：载台组件在下料工位放下已加工件后，往回运动至上料工位装载新的待加工件。
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