CN113059274A - 一种激光加工装置、加工方法和加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种激光加工装置、加工方法和加工设备，包括：第一激光模组，用于发射第一激光，第一激光在待切割器件表面形成第一光斑；第二激光模组，用于发射第二激光，第二激光在待切割器件表面形成第二光斑；第一运动模块，用于带动第一激光模组和第二激光模组同时运动，或者，带动待切割器件运动，以使第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动；其中，第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，以使第一激光在预设切割路径上形成切割槽之后，第二激光在预设切割路径上形成切割线，即第一激光器和第二激光器可以同时沿预设切割路径移动对待切割器件进行切割，来分别形成切割槽和切割线，从而节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能。

Description

一种激光加工装置、加工方法和加工设备

技术领域

本发明涉及激光加工技术领域，更具体地说，涉及一种激光加工装置、加工方法和加工设备。

背景技术

随着激光无损切割技术的发展，其在太阳能电池技术领域也得到了应用。即，先采用激光沿待切割路径对太阳能电池片进行扫描形成一个或者多个切割槽，然后采用另一激光沿待切割路径扫描形成热应力，使太阳能电池片沿待切割路径裂开，实现太阳能电池片的切割。但是，现有的太阳能电池片的切割产能有待进一步提高。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种激光加工装置、加工方法和加工设备，以提高激光切割的产能。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种激光加工装置，包括：

第一激光模组，用于发射第一激光，所述第一激光在待切割器件表面形成第一光斑；

第二激光模组，用于发射第二激光，所述第二激光在所述待切割器件表面形成第二光斑；

第一运动模块，用于带动所述第一激光模组和所述第二激光模组同时运动，或者，带动所述待切割器件运动，以使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动；

其中，所述第一光斑位于所述第二光斑前方预设距离处，以使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动时，所述第一激光和所述第二激光依次在所述预设切割路径上形成切割槽和切割线，其中所述待切割器件沿所述切割线切割。

可选地，所述第一激光模组还包括光路切换模块；

所述光路切换模块用于将所述第一激光的光路切换为第一光路或第二光路；

其中，若所述第一激光和所述第二激光沿预设切割路径朝第一方向移动，则所述光路切换模块将所述第一激光的光路切换为第一光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第一侧，以在所述第一方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

若所述第一激光和所述第二激光沿预设切割路径朝第二方向移动，则所述光路切换模块将所述第一激光的光路切换为第二光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第二侧，以在所述第二方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方，所述第二方向与所述第一方向相反。

可选地，还包括第一控制模组；

所述第一控制模组用于控制所述光路切换模块对所述第一激光进行反射，来将所述第一激光的光路切换为第一光路，控制所述光路切换模块对所述第一激光进行透射或控制所述光路切换模块离开所述第一激光的光路，来将所述第一激光的光路切换为第二光路。

可选地，所述光路切换模块包括光闸或扫描振镜。

可选地，所述第一激光模组包括第一激光器，所述第二激光模组包括第二激光器，所述激光加工装置还包括第二控制模组；

所述第二控制模组用于在形成切割槽时，控制所述第一激光器开启，在其他时段，控制所述第一激光器关闭，在形成切割线时，控制所述第二激光器开启，在其他时段，控制所述第二激光器关闭。

可选地，所述第一激光模组还包括第一光路引导模组和第二光路引导模组；

所述第一光路引导模组至少包括所述光路切换模块，用于引导所述第一激光沿所述第一光路传输；

所述第二光路引导模组位于所述第一激光的光路上，用于引导所述第一激光沿所述第二光路传输。

可选地，所述第一光路引导模组包括所述光路切换模块，所述第二光路引导模组包括第一反射镜；

或者，所述第一光路引导模组包括所述第一反射镜和所述光路切换模块，所述第二光路引导模组包括第一反射镜和第二反射镜。

一种激光加工设备，包括如上任一项所述的激光加工装置；

所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组在同一工位对待切割器件进行激光加工。

可选地，所述激光加工设备至少包括第一工位、第二工位、第三工位、第四工位和第二运动模块；

所述第一工位和所述第三工位用于待切割器件的上料、视觉定位和下料；

所述第二工位和所述第四工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第二运动模块用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位和所述第四工位；

或者，所述激光加工设备至少包括第一工位、第二工位、第三工位和第二运动模块；

所述第一工位用于待切割器件的上料和视觉定位；

所述第二工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第三工位用于待切割器件的下料；

或者，所述第一工位用于待切割器件的上下料；

所述第二工位用于待切割器件的视觉定位；

所述第三工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第二运动模块用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到所述第一工位、所述第二工位和所述第三工位；

或者，所述激光加工设备至少包括第一工位、第二工位、第三工位、第四工位和第二运动模块；

所述第一工位用于待切割器件的上料；

所述第二工位用于待切割器件的视觉定位；

所述第三工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第四工位用于待切割器件的下料。

一种激光加工方法，包括：

使第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，所述第一光斑为第一激光在待切割器件上形成的光斑，所述第二光斑为第二激光在所述待切割器件上形成的光斑；

使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动，以使所述第一激光和所述第二激光依次在所述预设切割路径上形成切割槽和切割线，其中所述待切割器件沿所述切割线切割。

可选地，使第一光斑位于第二光斑前方包括：

若所述第一激光和所述第二激光沿所述待切割器件的预设切割路径朝第一方向移动，则将所述第一激光的光路切换为第一光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第一侧，以在所述第一方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

若所述第一激光和所述第二激光沿所述待切割器件的预设切割路径朝第二方向移动，则将所述第一激光的光路切换为第二光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第二侧，以在所述第二方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

其中，所述第二方向与所述第一方向相反，所述第一侧和所述第二侧沿所述预设切割路径分别位于所述第二光斑的相对两侧。

可选地，将所述第一激光的光路切换为第一光路之后或同时，还包括：

将一个待切割器件移动到所述第一光斑的加工范围内；

将所述第一激光的光路切换为第二光路之后或同时，还包括：

将另一个待切割器件移动到所述第一光斑的加工范围内。

可选地，将所述第一激光的光路切换为第一光路包括：

控制光路切换模块对所述第一激光进行反射，来将所述第一激光的光路切换为第一光路；

将所述第一激光的光路切换为第二光路包括：

控制所述光路切换模块对所述第一激光进行透射或控制所述光路切换模块离开所述第一激光的光路，来将所述第一激光的光路切换为第二光路。

可选地，还包括：

在形成切割槽时，控制第一激光器开启形成所述第一激光，在其他时段，控制所述第一激光器关闭；

在形成切割线时，控制第二激光器开启形成所述第二激光，在其他时段，控制所述第二激光器关闭。

与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：

本发明所提供的激光加工装置、加工方法和加工设备，由于第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，因此，第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动时，可以使第一激光在预设切割路径上形成切割槽之后，第二激光在预设切割路径上形成切割线，即第一激光器和第二激光器可以同时沿预设切割路径移动，对待切割器件进行切割，来分别形成切割槽和切割线，从而节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能；

其次，由于第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，即第一光斑和第二光斑的位置固定且不变的，因此，第一激光模组和第二激光模组的位置是固定且不变的，并且，由于第一激光模组和第二激光模组都是由第一运动模块带动来进行运动的，因此，可以将第一激光模组和第二激光模组设置在同一工位，从而节省了工位，提高了产能。

再次，由于第一光斑和第二光斑的位置是固定且不变的，即在固定位置之时已经对第一光斑和第二光斑进行了对准，因此，在形成切割槽之后，不需要再将第二光斑与切割槽进行对准，从而解决了现有技术中切割槽和形成切割线的激光光斑对准不良而导致的切割线偏离预设切割路径的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为现有技术中在太阳能电池片上形成的切割槽的结构示意图；

图2为现有技术中在太阳能电池片上形成的切割槽和切割线的结构示意图；

图3为本发明一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图4为本发明一个实施例提供的在待切割器件上形成切割槽Q1和切割线Q2的结构示意图；

图5为本发明一个实施例提供的在待切割器件上形成切割槽Q1、Q3和切割线Q2的结构示意图；

图6为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图7为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图8为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图9为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图10为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图11为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图12为本发明一个实施例提供的在待切割器件上形成切割槽Q4和切割线Q5的结构示意图；

图13为本发明一个实施例提供的在待切割器件上形成切割槽Q4、Q6和切割线Q5的结构示意图；

图14为本发明另一个实施例提供的激光加工装置的结构示意图；

图15为本发明一个实施例提供的激光加工设备中多个工位的设置方式示意图；

图16和图17为本发明另一个实施例提供的激光加工设备中多个工位的设置方式示意图；

图18为本发明另一个实施例提供的激光加工设备中多个工位的设置方式示意图；

图19为本发明另一个实施例提供的激光加工设备中多个工位的设置方式示意图；

图20为本发明一个实施例提供的激光加工方法的流程图。

具体实施方式

正如背景技术，现有的太阳能电池片的切割产能有待进一步提高。发明人研究发现，如图1所示，现有技术中都是先在第一工位采用第一激光在太阳能电池片10的待切割路径的首尾形成切割槽11，然后如图2所示，再在第二工位采用第二激光(热应力激光)沿待切割路径扫描形成切割线12，来使太阳能电池片10裂开的，而造成产能较低问题的原因主要是，第一激光和第二激光的在两个工位分别交替切割太阳能电池片10，使得切割产程较长。

基于此，本发明提供了一种激光加工装置、加工方法和加工设备，以克服现有技术存在的上述问题，其中激光加工装置包括：

第一激光模组，用于发射第一激光，第一激光在待切割器件表面形成第一光斑；第二激光模组，用于发射第二激光，第二激光在待切割器件表面形成第二光斑；第一运动模块，用于带动第一激光模组和第二激光模组同时运动，或者，带动待切割器件运动，以使第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动；

其中，第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，以使第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动时，第一激光和第二激光依次在预设切割路径上形成切割槽和切割线，其中待切割器件沿切割线切割。

由于第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，因此，第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动时，可以使第一激光在预设切割路径上形成切割槽之后，第二激光在预设切割路径上形成切割线，即第一激光模组和第二激光模组可以同时沿预设切割路径移动，对待切割器件进行切割，来分别形成切割槽和切割线，从而节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能；

其次，由于第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，即第一光斑和第二光斑的位置固定且不变的，因此，第一激光模组和第二激光模组的位置是固定且不变的，并且，由于第一激光模组和第二激光模组都是由第一运动模块带动来进行运动的，因此，可以将第一激光模组和第二激光模组设置在同一工位，从而节省了工位，提高了产能。

再次，由于第一光斑和第二光斑的位置是固定且不变的，即在固定位置之时已经沿切割路径方向对第一光斑和第二光斑进行了对准，因此，在形成切割槽之后，不需要再将第二光斑与切割槽进行对准，从而解决了现有技术中切割槽和形成切割线的激光光斑对准不良而导致的切割线偏离预设切割路径的问题。

以上是本发明的核心思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供了一种激光加工装置，如图3所示，包括第一激光模组21、第二激光模组22和第一运动模块(图中未示出)。

其中，第一激光模组21用于发射第一激光，第一激光在待切割器件A表面形成第一光斑S1。第二激光模组22用于发射第二激光，第二激光在待切割器件A表面形成第二光斑S2。第一运动模块用于带动第一激光模组21和第二激光模组22同时运动，或者，带动待切割器件A运动，以使第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动。

需要说明的是，待切割器件A放置在加工台上，该加工台被设置为可以移动至加工工位和离开加工工位。当承载有待切割器件A的加工台移动至加工工位时，激光加工装置位于待切割器件A的上方，用于对待切割器件A进行无损切割。其中，待切割器件A包括太阳能电池片等。

当承载有待切割器件A的加工台移动至加工工位之后，第一运动模块带动第一激光模组21和第二激光模组22同时运动，或者，带动待切割器件A运动，如图4所示，使得第一激光和第二激光同时沿预设切割路径C移动，即第一光斑S1和第二光斑S2同时沿预设切割路径C移动，且第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离L处，以使第一激光和第二激光先后在预设切割路径C上形成切割槽Q1和切割线Q2。

由于第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离L处，因此，第一激光和第二激光同时沿预设切割路径C移动时，如图4所示，第一激光和第二激光同时沿箭头X所示的方向从左向右在预设切割路径C上移动时，可以先使第一激光照射到待切割器件A上，在待切割器件A左侧的预设切割路径C上形成切割槽Q1，当第一激光向右移动预设距离L之后，第二激光照射到待切割器件A上，沿预设切割路径C在待切割器件A上形成切割线Q2，然后，如图5所示，第一激光在待切割器件A右侧的预设切割路径C上形成切割槽Q3并离开待切割器件A，第二激光在预设切割路径C上形成完整的切割线Q2后离开待切割器件A。由于第一激光器21和第二激光器22可以同时沿预设切割路径C移动，对待切割器件A进行切割，来分别形成切割槽Q1、Q3和切割线Q2，因此，节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能。

其次，由于第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离L处，即第一光斑S1和第二光斑S2的位置固定且不变的，因此，第一激光模组21和第二激光模组22的位置是固定且不变的，并且，由于第一激光模组21和第二激光模组22都是由第一运动模块带动来进行运动的，因此，可以将第一激光模组21和第二激光模组22设置在同一工位，从而节省了工位，提高了产能。

再次，由于第一光斑S1和第二光斑S2的位置是固定且不变的，即在固定位置之时已经对第一光斑S1和第二光斑S2进行了对准，因此，在形成切割槽Q1或Q3之后，不需要再将第二光斑S2与切割槽Q1或Q3进行对准，从而解决了现有技术中切割槽Q1或Q3和形成切割线Q2的激光光斑S2对准不良而导致的切割线Q2偏离预设切割路径C的问题。

本发明一些实施例中，第一激光模组21包括第一激光器210，第二激光模组22包括第二激光器220，第一激光为脉冲激光，第二激光为连续激光，即第一激光器210为脉冲激光器，第二激光器220为连续激光器。可选地，第一激光和第二激光为红色激光或绿色激光。需要说明的是，本发明实施例中的第一激光为刻槽激光，其通过对待切割器件A加工诱导切割槽，第二激光为热应力激光，其在待切割器件A表面形成热应力的切割线Q2，可以使待切割器件A沿切割线Q2裂开，完成切割。

需要说明的是，如图3所示，本发明一些实施例中，第一激光模组21还包括第一聚焦模块31，第二激光模组22还包括第二聚焦模块32，第一聚焦模块31用于将第一激光器210产生的第一激光聚焦到待切割器件A上形成第一光斑S1，第二聚焦模块32用于将第二激光器220产生的第二激光聚焦到待切割器件A上形成第二光斑S2。

需要说明的是，本发明一些实施例中，第一聚焦模块31和第二聚焦模块32也可以为一个聚焦模块，参见图9和图10，同一个聚焦模块31/32将第一激光和第二激光聚焦于待切割器件A上，分别形成第一光斑S1和第二光斑S2。

本发明一些实施例中，第一聚焦模块31和第二聚焦模块32均包括聚焦镜，当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，还可以包括其他聚焦器件等。

如图4所示，本发明的一些实施例中，第一光斑S1为圆形光斑，第二光斑S2为长条形光斑或线光斑，且长条形光斑或线光斑的长度方向与预设切割路径C和第一激光、第二激光的移动方向相同。

此时，第二激光模组22还包括将第二光斑S2整形成条形光斑或者线光斑的整形器件34。参见图9和图10，第二聚焦模块32和第二激光器210之间设置光斑整形器件34，以将第二光斑S2整形成长条形光斑，再经第二聚焦装置32聚焦。所述的整形器件34为柱面镜，或者是其他将第二光斑S2整形成条形的器件。

或者，参见图6、图7和图8，第二聚焦模块32为柱面镜，其同时具有整形器件的功能，以在将第二光斑整形成线光斑的同时实现聚焦。

可选地，第一光斑S1的直径范围为10μm～100μm；第二光斑S2的宽度范围为10μm～1000μm，第二光斑S2的长宽比的范围为大于或等于10:1。

在实际加工过程中，由于待切割器件A在加工台的放置位置并非每次都可以完全一致，因此，在加工时，虽然可以通过调整第一激光和第二激光的运动方向，来保证激光移动方向和预设切割路径的方向一致，但是，第二光斑S2的长度方向难以和预设切割路径方向完全一致。为了解决这个问题，需要根据待切割器件A的摆放角度对第二光斑S2的角度进行反馈控制，可选地，可以采用电动角度旋转器等旋转模块对整形器件34的角度进行精确控制，或者，当第二聚焦模块32为柱面镜时，对其角度进行精确控制。

当然，本发明实施例中第一激光器210和第二激光器220的位置关系并不仅限于图3所示的结构，在另一些实施例中，如图6所示，第一激光器210位于第二激光器220右侧，第一光斑S1位于第二光斑S2右侧，但是，在X方向上，第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离处，即当第一激光器210和第二激光器220朝向X方向移动时，第一激光器210出射的第一激光被反射镜33反射后位于第二激光的前方预设距离处。

或者，如图7所示，第一激光器210位于第二激光器220左侧，第一光斑S1位于第二光斑S2左侧，但在X’方向上，第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离处，即当第一激光器210和第二激光器220朝向与X方向相反的X’方向移动时，第一激光器210出射的第一激光被反射镜33反射后位于第二激光的前方预设距离处。图7所示的结构与图6所示的结构互成镜像，以使第一激光器210和第二激光器220朝向相反的两个方向X和X’运动时，第一光斑S1始终位于第二光斑S2前方预设距离处。

在另一些实施例中，如图8所示，第一激光器210位于第二激光器220右侧，第一光斑S1位于第二光斑S2左侧，但在X’方向上，第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离处，即当第一激光器210和第二激光器220朝向X’方向移动时，第一激光器210出射的第一激光被反射镜33和34反射后位于第二激光的前方预设距离处。在另一实施例中，第一激光器210也可以位于第二激光器220左侧，第一光斑S1位于第二光斑S2右侧，即第一激光器210和第二激光器220等的结构可以与图8所示的结构互成镜像，在此不再赘述。

在图6至图8所示的结构中，第一激光器210和第二激光器220分别采用聚焦模块进行聚焦，但是，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，第一激光器210和第二激光器220可以共用聚焦器件，如图9所示，第一激光器210出射的第一激光被位于第二激光器220右侧的反射镜33反射后，被第一聚焦模块31聚焦至待切割器件表面形成第一光斑S1，第二激光器220出射的第二激光被整形器件34整形及第一聚焦模块31聚焦后在待切割器件表面形成第二光斑S2，且在X’方向上，即当第一激光器210和第二激光器220朝向X’方向移动时，第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离处。当然，在另一实施例中，第一激光器210和第二激光器220等的结构可以与图9所示的结构互成镜像，在此不再赘述。

或者，在另一些实施例中，如图10所示，第一激光器210出射的第一激光被位于第二激光器220左侧的反射镜33反射后，被第一聚焦模块31聚焦至待切割器件表面形成第一光斑S1，第二激光器220出射的第二激光被整形器件34整形及第一聚焦模块31聚焦后在待切割器件表面形成第二光斑S2，且在X方向上，即当第一激光器210和第二激光器220朝向X方向移动时，第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离处。当然，在另一实施例中，第一激光器210和第二激光器220等的结构可以与图10所示的结构互成镜像，在此不再赘述。

当然，第一激光器210和第二激光器220的位置关系并不仅限于此，本发明实施例中，可以根据实际情况设置反射镜等调整第一激光器210和第二激光器220的位置关系。

需要说明的是，本发明实施例中的激光模组还可以包括扩束镜等部件优化光路，也可以设置反射镜等部件优化光路，引导第一激光和/或第二激光照射在待切割器件上，形成第一光斑和/或第二光斑，并可以通过反射镜角度的设置，调节第一光斑和第二光斑之间的距离。

本发明一些实施例中，第一光斑S1和第二光斑S2之间的预设距离L小于或等于200mm。其中，预设距离L是指第一光斑S1和第二光斑S2的边缘之间的距离。可选地，预设距离L小于或等于30mm，更为优选的，预设距离L小于或等于5mm，以在有效减小第一光斑S1和第二光斑S2之间的距离、减少工艺时间的基础上，实现更好的工艺效果。

需要说明的是，本发明实施例中，第一光斑S1和第二光斑S2之间的预设距离L是可调的。本发明一些实施例中，第一运动模块还用于带动第一激光模组21的至少部分组件和/或第二激光模组22的至少部分组件运动，来调整第一激光模组21和第二激光模组22之间在X方向上的距离，进而调整第一光斑S1和第二光斑S2之间的距离。

如图6至图10所示，第一运动模块可以带动第二激光模组22的全部组件运动，来调整第一光斑S1和第二光斑S2之间的距离。当然，本发明并不仅限于此，在另一些实施例中，第一运动模块还用于带动第一激光模组中的组件运动，来调整第一光斑S1和第二光斑S2之间的距离。如图6至图10所示，第一运动模块可以带动反射镜33及对应的第一聚焦模块31运动，来调整第一光斑S1和第二光斑S2之间的距离。

本发明一些实施例中，如图11所示，第一激光模组21还包括光路切换模块41。其中，光路切换模块41用于将第一激光的光路切换为第一光路G1或第二光路G2。

其中，当第一激光和第二激光沿预设切割路径C朝第一方向X移动时，光路切换模块41将第一激光的光路切换为第一光路G1，使第一激光沿第一光路G1照射到待切割器件A表面，使第一光斑S1位于第二光斑S2的第一侧，以在第一方向X上使第一光斑S1位于第二光斑S2前方。

当第一激光和第二激光沿预设切割路径C朝第二方向X’移动时，光路切换模块41将第一激光的光路切换为第二光路G2，使第一激光沿第二光路G2照射到待切割器件A表面，使第一光斑S1位于第二光斑S2的第二侧，以在第二方向X’上使第一光斑S1位于第二光斑S2前方，第二方向X’与第一方向X相反。

在实际应用过程中，光路切换模块41先将第一激光的光路切换为第一光路G1，然后第一激光和第二激光朝第一方向X移动，对第一个待切割器件A进行切割，如图4和图5所示，使得第一激光和第二激光先后在第一个待切割器件A上形成切割槽Q1、Q3和切割线Q2，之后，光路切换模块41先将第一激光的光路切换为第二光路G2，第一激光和第二激光朝第二方向X’移动，如图12和图13所示，使得第一激光和第二激光先后在第二个待切割器件A’上形成切割槽Q4、Q6和切割线Q5。

基于此，本发明实施例中，只需在第一个待切割器件A和第二个待切割器件A’的右侧进行光路的切换即可对第二个待切割器件A’进行切割，并且，切割时始终使得切割槽位于切割线前方，而不需要将第一激光和第二激光移动到第二个待切割器件A’的左侧，再对第二个待切割器件A’进行切割，来保证切割槽位于切割线前方，从而节省了时间，提高了产能。

本发明一些实施例中，激光加工装置还包括第一控制模组。第一控制模组用于控制光路切换模块41对第一激光进行反射，来将第一激光的光路切换为第一光路G1，控制光路切换模块41对第一激光进行透射或控制光路切换模块41离开第一激光的光路，来将第一激光的光路切换为第二光路G2。

可选地，光路切换模块41包括光闸、扫描振镜或可移动的反射镜。可选地，光闸可以为带有全反射镜的电子机械光闸，也可以是半波片和偏振分光镜组合的光闸，还可以是其余可以实现相同功能的光闸。扫描振镜可以为带有角度偏摆的一维振镜。

当光路切换模块41为可移动的反射镜时，第一控制模块通过控制光路切换模块41进入第一激光的光路即控制反射镜进入第一激光的光路，对第一激光进行反射，来将第一激光的光路切换为第一光路G1，通过控制光路切换模块41离开第一激光的光路，即控制反射镜离开第一激光的光路，来将第一激光的光路切换为第二光路G2。

当光路切换模块41为光闸时，第一控制模块通过控制光闸开启对第一激光进行反射，来将第一激光的光路切换为第一光路G1，通过控制光路切换模块41光闸关闭，来将第一激光的光路切换为第二光路G2。

当光路切换模块41为扫描振镜时，第一控制模块通过控制扫描振镜的角度，来控制第一激光的光路在第一光路G1和第二光路G2之间的切换。

需要说明的是，在第一激光和第二激光沿预设切割路径C移动的过程中，第二激光始终对待切割器件A进行加工来形成切割线Q2，而第一激光仅在待形成切割槽的区域对待切割器件A进行加工。当然，本发明实施例中，仅以在待切割器件A的左右两侧形成两个切割槽为例进行说明，但是，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，可以在预设切割路径C上形成一个或多个间隔的切割槽。

基于此，本发明的一些实施例中，激光加工装置还包括第二控制模组。第二控制模组用于在形成切割槽时，控制第一激光器210开启，在其他时段，控制第一激光器210关闭，在形成切割线时，控制第二激光器220开启，在其他时段，控制第二激光器220关闭。

还需要说明的是，本发明实施例中的第一运动模块不仅可以带动第一激光模组21和第二激光模组22沿X方向运动，还可以带动第一激光模组21和第二激光模组22沿Y方向运动，或者，带动待切割器件A沿X方向和Y方向运动。当然，本发明的另一些实施例中，第一运动模块还可以带动第一激光模组21和第二激光模组22或待切割器件A沿Z方向运动，在此不再赘述。

需要说明的是，本发明实施例中，光路切换模块41设置于聚焦模组之前，即设置在第一聚焦模组31和第一激光器210之间。

本发明一些实施例中，第一激光模组21还包括第一光路引导模组和第二光路引导模组，其中，第一光路引导模组位于第一激光的光路上，且至少包括光路切换模块41，用于引导第一激光沿第一光路G1传输；第二光路引导模组位于第一激光的光路上，用于引导第一激光沿第二光路G2传输。

本发明一些实施例中，如图11所示，第一光路引导模组包括第一反射镜42和光路切换模块41，第二光路引导模组包括第一反射镜42和第二反射镜43。

当第一反射镜42和光路切换模块41先后对第一激光进行反射时，将第一激光引导至第一光路G1，使第一激光沿第一光路G1传输；当第一反射镜42和第二反射镜43先后对第一激光进行反射时，将第一激光引导至第二光路G2，使第一激光沿第二光路G2传输。

当然，本发明并不仅限于此，在另一实施例中，如图14所示，第一光路引导模组包括光路切换模块41，第二光路引导模组包括第一反射镜42。当光路切换模块41对第一激光进行反射时，将第一激光引导至第一光路G1，使第一激光沿第一光路G1传输；当第一反射镜42对第一激光进行反射时，将第一激光引导至第二光路G2，使第一激光沿第二光路G2传输。其中，图14所示的结构中，第一光路G1、第二光路G2和第二激光可以共用聚焦镜即共用第一聚焦模块31。

如图11所示，第一运动模块可以带动第二反射镜43或光路切换模块41沿X方向移动，或带动第二反射镜43或光路切换模块41的反射角度发生偏转，或者，如图14所示，带动第一反射镜42或光路切换模块41沿X方向移动，带动第一反射镜42或光路切换模块41的反射角度发生偏转，来调整第一光斑S1和第二光斑S2之间的距离。

需要说明的是，本发明实施例中，第一光路引导模组和第二光路引导模组设置于聚焦模组之前，即设置在第一聚焦模组31和第一激光器210之间。

本发明实施例还提供了一种激光加工设备，包括如上任一实施例提供的激光加工装置，其中，激光加工装置中的第一激光模组21和第二激光模组22在同一工位对待切割器件进行激光加工。

本发明实施例中的激光加工设备还包括加工台和第二运动模块，加工台用于放置待切割器件。可选地，加工台为负压吸附加工台面，以更好地将待切割器件固定好。第二运动模块用于带动加工台移动，以将加工台移动至加工工位，通过激光加工装置完成对待切割器件的加工，然后将加工台带离加工工位。

本发明一些实施例中，加工台为依次设置的多个，第一个加工台加工完成离开加工工位的同时，第二个加工台被移动至加工工位进行加工，依次类推，这样可以实现连续加工。

本发明一些实施例中，如图15所示，第二运动模块51为旋转电机，多个加工台52沿旋转电机的周向设置，通过第二运动模块51即旋转电机带动加工台52旋转，并依次经过加工工位。

需要说明的是，激光加工设备不仅包括加工工位，还可以包括上料工位、下料工位和视觉定位工位，其中，视觉定位工位用于对待切割器件进行视觉定位，为加工提供视觉定位数据，通常可以通过在工位上方设置CCD拍照相机等方式实现。上料工位用于将待切割器件放置在加工台上，通常可以通过机械手等进行待切割器件上料。下料工位，用于将完成加工的待切割器件带离工位，通常可以通过机械手等进行待切割器件下料。多个工作台依次经过上述的工位，并且在相应工位停留完成相应的动作，从而实现连续加工。

本发明实施例中，通过将第一激光器所在的加工工位和第二激光器所在的加工工位合并成一个，可以节省一个工位。相对于现有的四台面旋转加工加工台，还可以进一步提高产能。

本发明的一些实施例中，上料工位、下料工位和视觉定位工位采用一个工位，四个工位可以实现两个待切割器件的同时加工，可以大大提升产能。即本发明的一些实施例中，如图15所示，激光加工设备至少包括两个第一工位53、第二工位54、第三工位55和第四工位56；第一工位53和第三工位55用于待切割器件的上料、视觉定位和下料；第二工位54和第四工位56用于使激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；第二运动模块51用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到第一工位53、第二工位54、第三工位55和第四工位56，其中，第二运动模块51带动加工台沿其圆周方向运动。

其中，第一工位53进行上料和视觉定位，第二工位54进行激光加工，第三工位55进行下料以及上料和视觉定位，第四工位56进行激光加工，第一工位53进行下料、上料和视觉定位，然后重复上述过程，实现不间断加工，使得产能提升了二倍。

如图15所示，第二运动模块51带动加工台运动到第一工位53进行上料和视觉定位，然后运动到第二工位54进行激光加工，之后运动到第三工位55进行下料。其中，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的待切割器件进行切割，之后，加工台离开第二工位54到第三工位55进行下料，另一个加工台从第一工位53移动到第二工位54，且激光加工装置中的光路切换装置对第一激光的光路进行切换，如将第一光路切换为第二光路，激光加工装置沿X’方向移动，对另一个加工台上的待切割器件进行切割，重复上述过程，从而实现了激光加工装置的连续加工，从而提高了加工效率和产能。

可选的，当没有光路切切换装置时，可以在从第一工位53运动至第二工位54，或者是从第三工位55运动至第四工位56的过程中，使用第一运动模块回位，加工时，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的待切割器件进行切割。

本发明的另一些实施例中，多个加工台和多个加工工位沿直线方向设置，通过直线运动的第二运动模块52带动加工台移动，并使其依次经过多个加工工位。如图16和17所示，激光加工设备至少包括第一工位53、第二工位54和第三工位55；第一工位53用于待切割器件的上料和视觉定位；第二工位54用于使激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；第三工位55用于待切割器件的下料；第二运动模块51用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到第一工位53、第二工位54和第三工位55。

其中，第二运动模块51带动加工台运动到第一工位53进行上料和视觉定位，然后运动到第二工位54进行激光加工，之后运动到第三工位55进行下料。如图16所示，激光加工装置沿X方向移动，对第一个加工台上的待切割器件进行切割，之后，第一个加工台离开第二工位54到第三工位55进行下料，第二个加工台从第一工位53移动到第二工位54，且激光加工装置中的光路切换装置对第一激光的光路进行切换，如将第一光路切换为第二光路，如图17所示，激光加工装置沿X’方向移动，对第二个加工台上的待切割器件进行切割，重复上述过程，从而实现了激光加工装置的连续加工，从而提高了加工效率和产能。

可选的，当没有光路切切换装置时，可以在从第一工位53运动至第二工位54，过程中，使用第一运动模块使回位，加工时，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的待切割器件进行切割。

当然，本发明并不仅限于此，另一些实施例中，如图18所示，激光加工设备至少包括第一工位53、第二工位54和第三工位55，其中，第一工位53、第二工位54和第三工位55沿圆周方向设置；第一工位53用于待切割器件的上下料；第二工位54用于待切割器件的视觉定位；第三工位55用于使激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；第二运动模块51用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到第一工位53、第二工位53和第三工位55。

其中，第二运动模块51带动加工台运动到第一工位53进行上料，之后运动到第二工位54进行视觉定位，然后运动到第三工位55进行激光加工，之后运动到第一工位53进行下料。其中，在第三工位55，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的第一个待切割器件进行切割，之后，加工台离开第三工位55到第一工位53进行下料，加工台从第一工位53进行上料，移动到第二工位54和第三工位55，且激光加工装置中的光路切换装置对第一激光的光路进行切换，如将第一光路切换为第二光路，激光加工装置沿X’方向移动，对第二个待切割器件进行切割，重复上述过程，从而实现了激光加工装置的连续加工，从而提高了加工效率和产能。

可选的，当没有光路切切换装置时，可以在从第一工位53运动至第二工位54，过程中，使用第一运动模块使回位，加工时，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的待切割器件进行切割。

本发明的另一些实施例中，如图19所示，激光加工设备至少包括第一工位53、第二工位54、第三工位55、第四工位56和第二运动模块，其中，第一工位53、第二工位54、第三工位55和第四工位56沿直线方向设置；第一工位53用于待切割器件的上料；第二工位54用于待切割器件的视觉定位；第三工位55用于使激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；第四工位56用于待切割器件的下料。

其中，第二运动模块带动加工台运动到第一工位53进行上料，之后运动到第二工位54进行视觉定位，然后运动到第三工位55进行激光加工，之后运动到第四工位56进行下料。其中，在第三工位55，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的第一个待切割器件进行切割，之后，加工台离开第三工位55到第四工位56进行下料，另一个加工台从第二工位54运动到第三工位55，且激光加工装置中的光路切换装置对第一激光的光路进行切换，如将第一光路切换为第二光路，激光加工装置沿X’方向移动，对另一个加工台上的待切割器件进行切割，重复上述过程，从而实现了激光加工装置的连续加工，从而提高了加工效率和产能。

可选的，当没有光路切切换装置时，可以在从第一工位53运动至第二工位54，过程中，使用第一运动模块使回位，加工时，激光加工装置沿X方向移动，对加工台上的待切割器件进行切割。

需要说明的是，上料工位、定位工位、加工工位和下料工位可以按照加工需求设置四个工位，也可以合并，例如前述实施例的上料工位和定位工位合并，也可将上料工位和下料工位合并，在此不再一一赘述。

本发明实施例还提供了一种激光加工方法，应用于如上任一实施例提供的激光加工装置或激光加工设备，如图20所示，该方法包括：

S101：使第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，第一光斑为第一激光在待切割器件上形成的光斑，第二光斑为第二激光在待切割器件上形成的光斑；

如图3和图4所示，第一激光模组21发射第一激光，第一激光在待切割器件A表面形成第一光斑S1。第二激光模组22发射第二激光，第二激光在待切割器件A表面形成第二光斑S2。并且，第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离L处。

S102：使第一激光和第二激光同时沿预设切割路径移动，以使第一激光在预设切割路径上形成切割槽之后，第二激光在预设切割路径上形成切割线，其中待切割器件沿切割线切割。

由于第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离L处，因此，第一激光和第二激光同时沿预设切割路径C移动时，如图4所示，第一激光和第二激光同时沿箭头X所示的方向从左向右在预设切割路径C上移动时，可以先使第一激光照射到待切割器件A上，在待切割器件A左侧的预设切割路径C上形成切割槽Q1，当第一激光向右移动预设距离L之后，第二激光照射到待切割器件A上，沿预设切割路径C在待切割器件A上形成切割线Q2，然后，如图5所示，第一激光在待切割器件A右侧的预设切割路径C上形成切割槽Q3并离开待切割器件A，第二激光在预设切割路径C上形成完整的切割线Q2后离开待切割器件A。由于第一激光器21和第二激光器22可以同时沿预设切割路径C移动，对待切割器件A进行切割，来分别形成切割槽Q1、Q3和切割线Q2，因此，节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能。

其次，由于第一光斑S1位于第二光斑S2前方预设距离L处，即第一光斑S1和第二光斑S2的位置固定且不变的，因此，第一激光模组21和第二激光模组22的位置是固定且不变的，并且，由于第一激光模组21和第二激光模组22都是由第一运动模块带动来进行运动的，因此，可以将第一激光模组21和第二激光模组22设置在同一工位，从而节省了工位，提高了产能。

再次，由于第一光斑S1和第二光斑S2的位置是固定且不变的，即在固定位置之时已经对第一光斑S1和第二光斑S2进行了对准，因此，在形成切割槽Q1或Q3之后，不需要再将第二光斑S2与切割槽Q1或Q3进行对准，从而解决了现有技术中切割槽Q1或Q3和形成切割线Q2的激光光斑S2对准不良而导致的切割线Q2偏离预设切割路径C的问题。

本发明的一些实施例中，使第一光斑位于第二光斑前方包括：

当第一激光和第二激光沿预设切割路径C朝第一方向X移动时，将第一激光的光路切换为第一光路G1，使第一激光沿第一光路G1照射到待切割器件A表面，使第一光斑S1位于第二光斑S2的第一侧，以在第一方向X上使第一光斑S1位于第二光斑S2前方；

当第一激光和第二激光沿预设切割路径C朝第二方向X’移动时，将第一激光的光路切换为第二光路G2，使第一激光沿第二光路G2照射到待切割器件A表面，使第一光斑S1位于第二光斑S2的第二侧，以在第二方向X’上使第一光斑S1位于第二光斑S2前方；

其中，第二方向X’与第一方向X相反，第一侧和第二侧沿预设切割路径C分别位于第二光斑S2的相对两侧。

在实际应用过程中，光路切换模块41先将第一激光的光路切换为第一光路G1，然后第一激光和第二激光朝第一方向X移动，对第一个待切割器件A进行切割，如图4和图5所示，使得第一激光和第二激光先后在第一个待切割器件A上形成切割槽Q1、Q3和切割线Q2，之后，光路切换模块41先将第一激光的光路切换为第二光路G2，第一激光和第二激光朝第二方向X’移动，如图12和图13所示，使得第一激光和第二激光先后在第二个待切割器件A’上形成切割槽Q4、Q6和切割线Q5。

基于此，本发明实施例中，只需在第一个待切割器件A和第二个待切割器件A’的右侧进行光路的切换即可对第二个待切割器件A’进行切割，并且，切割时始终使得切割槽位于切割线前方，而不需要将第一激光和第二激光移动到第二个待切割器件A’的左侧，再对第二个待切割器件A’进行切割，来保证切割槽位于切割线前方，从而节省了时间，提高了产能。

本发明一些实施例中，将第一激光的光路切换为第一光路包括：控制光路切换模块对第一激光进行反射，来将第一激光的光路切换为第一光路；将第一激光的光路切换为第二光路包括：控制光路切换模块对第一激光进行透射或控制光路切换模块离开第一激光的光路，来将第一激光的光路切换为第二光路。

可选地，可以通过控制光路切换模块41进入第一激光的光路对第一激光进行反射，来将第一激光的光路切换为第一光路G1，通过控制光路切换模块41离开第一激光的光路，来将第一激光的光路切换为第二光路G2。

可选地，还可以通过控制光闸开启对第一激光进行反射，来将第一激光的光路切换为第一光路G1，通过控制光路切换模块41光闸关闭，来将第一激光的光路切换为第二光路G2。

可选地，还可以通过控制扫描振镜的角度，来控制第一激光的光路在第一光路G1和第二光路G2之间的切换。

本发明一些实施例中，第一激光模组包括第一激光器，第二激光模组包括第二激光器，激光加工方法还包括：

在形成切割槽时，控制第一激光器开启，在其他时段，控制第一激光器关闭；在形成切割线时，控制第二激光器开启，在其他时段，控制第二激光器关闭。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (14)

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

第一激光模组，用于发射第一激光，所述第一激光在待切割器件表面形成第一光斑；

第二激光模组，用于发射第二激光，所述第二激光在所述待切割器件表面形成第二光斑；

第一运动模块，用于带动所述第一激光模组和所述第二激光模组同时运动，或者，带动所述待切割器件运动，以使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动；

其中，所述第一光斑位于所述第二光斑前方预设距离处，以使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动时，所述第一激光和所述第二激光依次在所述预设切割路径上形成切割槽和切割线，其中所述待切割器件沿所述切割线切割。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一激光模组还包括光路切换模块；

所述光路切换模块用于将所述第一激光的光路切换为第一光路或第二光路；

其中，若所述第一激光和所述第二激光沿预设切割路径朝第一方向移动，则所述光路切换模块将所述第一激光的光路切换为第一光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第一侧，以在所述第一方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

若所述第一激光和所述第二激光沿预设切割路径朝第二方向移动，则所述光路切换模块将所述第一激光的光路切换为第二光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第二侧，以在所述第二方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方，所述第二方向与所述第一方向相反。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，还包括第一控制模组；

所述第一控制模组用于控制所述光路切换模块对所述第一激光进行反射，来将所述第一激光的光路切换为第一光路，控制所述光路切换模块对所述第一激光进行透射或控制所述光路切换模块离开所述第一激光的光路，来将所述第一激光的光路切换为第二光路。

4.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述光路切换模块包括光闸或扫描振镜。

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一激光模组包括第一激光器，所述第二激光模组包括第二激光器，所述激光加工装置还包括第二控制模组；

所述第二控制模组用于在形成切割槽时，控制所述第一激光器开启，在其他时段，控制所述第一激光器关闭，在形成切割线时，控制所述第二激光器开启，在其他时段，控制所述第二激光器关闭。

6.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一激光模组还包括第一光路引导模组和第二光路引导模组；

所述第一光路引导模组至少包括所述光路切换模块，用于引导所述第一激光沿所述第一光路传输；

所述第二光路引导模组位于所述第一激光的光路上，用于引导所述第一激光沿所述第二光路传输。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，所述第一光路引导模组包括所述光路切换模块，所述第二光路引导模组包括第一反射镜；

或者，所述第一光路引导模组包括所述第一反射镜和所述光路切换模块，所述第二光路引导模组包括第一反射镜和第二反射镜。

8.一种激光加工设备，其特征在于，包括权利要求1～7任一项所述的激光加工装置；

所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组在同一工位对待切割器件进行激光加工。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述激光加工设备至少包括第一工位、第二工位、第三工位、第四工位和第二运动模块；

所述第一工位和所述第三工位用于待切割器件的上料、视觉定位和下料；

所述第二工位和所述第四工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第二运动模块用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到所述第一工位、所述第二工位、所述第三工位和所述第四工位；

或者，所述激光加工设备至少包括第一工位、第二工位、第三工位和第二运动模块；

所述第一工位用于待切割器件的上料和视觉定位；

所述第二工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第三工位用于待切割器件的下料；

或者，所述第一工位用于待切割器件的上下料；

所述第二工位用于待切割器件的视觉定位；

所述第三工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第二运动模块用于带动承载有待切割器件的加工台依次运动到所述第一工位、所述第二工位和所述第三工位；

或者，所述激光加工设备至少包括第一工位、第二工位、第三工位、第四工位和第二运动模块；

所述第一工位用于待切割器件的上料；

所述第二工位用于待切割器件的视觉定位；

所述第三工位用于使所述激光加工装置中的第一激光模组和第二激光模组对待切割器件进行激光加工；

所述第四工位用于待切割器件的下料。

10.一种激光加工方法，其特征在于，包括：

使第一光斑位于第二光斑前方预设距离处，所述第一光斑为第一激光在待切割器件上形成的光斑，所述第二光斑为第二激光在所述待切割器件上形成的光斑；

使所述第一激光和所述第二激光同时沿所述待切割器件的预设切割路径移动，以使所述第一激光和所述第二激光依次在所述预设切割路径上形成切割槽和切割线，其中所述待切割器件沿所述切割线切割。

11.根据权利要求10所述的激光加工方法，其特征在于，使第一光斑位于第二光斑前方包括：

若所述第一激光和所述第二激光沿所述待切割器件的预设切割路径朝第一方向移动，则将所述第一激光的光路切换为第一光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第一侧，以在所述第一方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

若所述第一激光和所述第二激光沿所述待切割器件的预设切割路径朝第二方向移动，则将所述第一激光的光路切换为第二光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第二侧，以在所述第二方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；

其中，所述第二方向与所述第一方向相反，所述第一侧和所述第二侧沿所述预设切割路径分别位于所述第二光斑的相对两侧。

12.根据权利要求11所述的激光加工方法，其特征在于，将所述第一激光的光路切换为第一光路之后或同时，还包括：

将一个待切割器件移动到所述第一光斑的加工范围内；

将所述第一激光的光路切换为第二光路之后或同时，还包括：

将另一个待切割器件移动到所述第一光斑的加工范围内。

13.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，将所述第一激光的光路切换为第一光路包括：

控制光路切换模块对所述第一激光进行反射，来将所述第一激光的光路切换为第一光路；

将所述第一激光的光路切换为第二光路包括：

控制所述光路切换模块对所述第一激光进行透射或控制所述光路切换模块离开所述第一激光的光路，来将所述第一激光的光路切换为第二光路。

14.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，还包括：

在形成切割槽时，控制第一激光器开启形成所述第一激光，在其他时段，控制所述第一激光器关闭；

在形成切割线时，控制第二激光器开启形成所述第二激光，在其他时段，控制所述第二激光器关闭。

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