CN116586221B - 集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法 - Google Patents

Abstract

集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，涉及集成电路加工设备技术领域，为了解决防静电层表面涂覆装置要么是通过移动电路板来实现全面喷涂，这样操作电路板不易翻面，要么是通过移动喷涂头来进行全面喷涂的，移动喷涂头时输送软管的弯曲再拉直的过程中，会导致喷涂不均匀的技术问题，本发明通过翻转移动机构包括驱动部件以及与驱动部件啮合连接的电路板翻转支撑部件，电路板翻转支撑部件的一端插入设置在支撑工作台内侧的移动部件内，驱动部件的驱动端还设置有辅助风干组件，可以实现机构设计巧妙，通过电机的顺逆转动的设计，可实现电路板的翻面和移动喷涂，而且整个过程无过长的间隙时间，提高整体的工作效率。

Description

集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法

技术领域

本发明涉及集成电路加工设备技术领域，特别涉及集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法。

背景技术

集成电路是电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。

然而现如今的防静电层表面涂覆装置对集成电路板进行双面涂覆时，涂覆完一面后，需要另行使用翻面部件单独将集成电路板翻面，翻面过程时间长，整体工作效率降低，而且防静电层表面涂覆装置要么是通过移动电路板来实现全面喷涂，这样操作电路板不易翻面，要么是通过移动喷涂头来进行全面喷涂的，还需要设置特定的喷涂头移动机构，移动喷涂头需要使用输送软管，这样在输送软管的弯曲再拉直的过程中，液体的流速会发生改变，会导致喷涂不均匀，而且输送软管也容易损坏，支撑工作台容易因喷涂飘落的残留，导致其底部有大量的涂料残留，造成支撑工作台底部的不整洁。

为解决上述问题。为此，提出集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法。

发明内容

本发明的目的在于提供集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，防静电层涂覆机构包括支撑柱以及设置在支撑柱上端的支撑板，支撑板的上端设置有涂料储存箱，涂料储存箱的一侧设置有液压泵，液压泵固定设置在支撑板的上端，液压泵的输出端与喷涂头的输入端连接，且喷涂头固定设置在支撑板的下端；翻转移动机构包括驱动部件以及与驱动部件啮合连接的电路板翻转支撑部件，驱动部件设置在支撑工作台的内侧，电路板翻转支撑部件的一端插入设置在支撑工作台内侧的移动部件内，移动部件与驱动部件啮合连接，驱动部件的驱动端还设置有辅助风干组件，辅助风干组件的一端与支撑工作台活动连接，可以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，包括支撑工作台以及设置在支撑工作台上端的防静电层涂覆机构，支撑工作台的上端设置有翻转移动机构，位于翻转移动机构一端的支撑工作台上设置有双面压匀机构，远离翻转移动机构的双面压匀机构一侧的支撑工作台上设置有风干机构，防静电层涂覆机构包括支撑柱以及设置在支撑柱上端的支撑板，支撑板的上端设置有涂料储存箱，涂料储存箱的一侧设置有液压泵，液压泵固定设置在支撑板的上端，液压泵的输出端与喷涂头的输入端连接，且喷涂头固定设置在支撑板的下端；

翻转移动机构包括驱动部件以及与驱动部件啮合连接的电路板翻转支撑部件，驱动部件设置在支撑工作台的内侧，电路板翻转支撑部件的一端插入设置在支撑工作台内侧的移动部件内，移动部件与驱动部件啮合连接，驱动部件的驱动端还设置有辅助风干组件，辅助风干组件的一端与支撑工作台活动连接。

进一步的，驱动部件包括伺服电机以及设置在伺服电机驱动端的主动齿轮；

电路板翻转支撑部件包括贯穿支撑杆以及设置在贯穿支撑杆一端的从动齿轮组件，从动齿轮组件远离贯穿支撑杆的一侧设置有卡扣组件，贯穿支撑杆远离从动齿轮组件的一端设置有支撑翻转组件。

进一步的，从动齿轮组件包括齿轮盘以及设置在齿轮盘外侧的第一齿轮条，第一齿轮条的两侧设置有第一复位扭簧；

卡扣组件包括插柱以及设置在插柱外侧的第一复位弹簧，第一复位弹簧远离插柱的一端设置有卡头，卡头与支撑移动块内侧开设的卡孔相对应。

进一步的，支撑翻转组件包括支撑架以及设置在支撑架两端的延伸杆，延伸杆的外侧设置有三角锥头，延伸杆的内侧设置有第二复位弹簧，第二复位弹簧远离延伸杆的一端设置有夹持头。

进一步的，移动部件包括传动移动组件以及设置在传动移动组件内侧的导向杆，导向杆的两端与支撑工作台固定连接，传动移动组件的一端设置有支撑移动块，支撑移动块的内侧开设有卡孔，支撑移动块的下端设置有稳固轮。

进一步的，传动移动组件包括牵引杆以及设置在牵引杆下端的第二齿条，靠近支撑移动块一端的第二齿条的一侧设置有传动齿条，传动齿条的两侧设置有第二复位扭簧。

进一步的，双面压匀机构包括支撑件以及设置在支撑件内侧的下面辊压组件和上面辊压组件，下面辊压组件和上面辊压组件结构组成相同。

进一步的，上面辊压组件包括第三复位弹簧以及设置在第三复位弹簧下端的衔接块，衔接块的中部贯穿设置有单向柱，单向柱的上端与支撑件固定连接，衔接块的下端设置有衔接管，衔接管的外侧设置有海绵套。

进一步的，第二转动轴一侧设置有底部清理机构，底部清理机构包括第一驱动齿轮以及设置在第一驱动齿轮下端的第一清理组件，第一清理组件与支撑工作台活动连接，第一清理组件的齿条端与活动设置在支撑工作台内侧的第二驱动齿轮啮合连接，第一清理组件的上端设置有衔接齿条，衔接齿条与第一驱动齿轮啮合连接，第二驱动齿轮的下端与活动设置在支撑工作台上的第二清理组件啮合连接；

第一清理组件与第二清理组件结构组成相同，第一清理组件包括传动齿条杆以及设置在传动齿条杆一端的延伸杆，延伸杆的下端一侧设置有横向支撑杆，横向支撑杆的下侧活动设置有刮取片，支撑工作台的内侧中部低端开设有排料槽。

本发明提出的另一种技术方案：提供集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的实施方法，包括以下步骤：

S1：通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头内按压，在第二复位弹簧的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成；

S2：伺服电机驱动主动齿轮顺时针转动，此时第一齿轮条被推入到齿轮盘外侧的凹槽中，保证齿轮盘不会转动，当主动齿轮顺时针转动时能够牵引牵引杆移动，此时在支撑移动块的带动下使得电路板翻转支撑部件整体移动，再打开液压泵使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件整体移动，进而将整个电路板表面喷涂；

S3：当电路板翻转支撑部件移动过程中，三角锥头首先将两侧的海绵套反方向移动，当海绵套越过夹持头后，两侧的海绵套对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件移动过程中，风干机构可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干；

S4：伺服电机驱动主动齿轮逆时针转动，此时第二复位扭簧在主动齿轮逆时针转动时可被推入牵引杆开设的凹槽中，当主动齿轮与第一齿轮条相对应时，此时第一齿轮条被齿轮盘限制，进而可以带动齿轮盘转动，进而带动整个支撑翻转组件转动，转动180°后暂停，此时卡头卡入对应的卡孔中，完成翻面；

S5：重复S2-S3，完成双面喷涂，最后下料时在移动机器臂强大的吸附力下，可将集成电路板拉出，下料完成。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头内按压，在第二复位弹簧的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成；当需要转动集成电路板时，伺服电机驱动主动齿轮逆时针转动，此时第二复位扭簧在主动齿轮逆时针转动时可被推入牵引杆开设的凹槽中，当主动齿轮与第一齿轮条相对应时，此时第一齿轮条被齿轮盘限制，进而可以带动齿轮盘转动，进而带动整个支撑翻转组件转动，转动°后暂停，此时卡头卡入对应的卡孔中，保持稳定，完成翻面，翻面操作简单方便，可快速进行双面的集成电路板涂覆，进而提高工作效率。

2.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，伺服电机驱动主动齿轮顺时针转动，此时第一齿轮条被推入到齿轮盘外侧的凹槽中，保证齿轮盘不会转动，当主动齿轮顺时针转动时能够牵引牵引杆移动，此时在支撑移动块的带动下使得电路板翻转支撑部件整体移动，再打开液压泵使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件整体移动，进而将整个电路板表面喷涂，机构设计巧妙，通过电机的顺逆转动的设计，可实现电路板的翻面和移动喷涂，而且整个过程无过长的间隙时间，提高整体的工作效率。

3.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，当电路板翻转支撑部件移动过程中，三角锥头首先将两侧的海绵套反方向移动，当海绵套越过夹持头后，两侧的海绵套对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件移动过程中，风干机构可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干，大大提高整个涂覆的工作效率。

4.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，在主动齿轮转动的同时，可带动第一转动轴转动，进而带动传动带转动，传动带带动第二转动轴转动进而带动旋转叶转动，合理的利用伺服电机的驱动力，使得旋转叶可提供一定的风力，辅助提高电路板的风干效果，进一步提高涂覆效果。

5.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，当第二转动轴发生传动时，可带动第一驱动齿轮转动，第一驱动齿轮进而与衔接齿条啮合连接，进而带动第一清理组件移动，进而使得第二驱动齿轮带动第二清理组件移动，此时第一清理组件与第二清理组件相对运动，使得刮取片对支撑工作台的底部进行清理，并从排料槽排出，保证支撑工作台的底部整洁，当第一清理组件与第二清理组件相反运动时，由于刮取片为活动状态，使得刮取片反向移动不会进行清理，保证二次清理均从排料槽排出，结构设计巧妙，合理的利用机构传动来实现多个有益效果，提高整体的机动性和灵活性。

附图说明

图1为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的整体立体结构示意图；

图2为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的支撑工作台立体结构示意图；

图3为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的翻转移动机构立体结构示意图；

图4为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的电路板翻转支撑部件立体结构示意图；

图5为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的从动齿轮组件与卡扣组件侧视平面结构示意图；

图6为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的支撑翻转组件侧视平面结构示意图；

图7为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的移动部件立体结构示意图；

图8为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的传动移动组件侧视平面结构示意图；

图9为本发明集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的上面辊压组件侧视平面结构示意图；

图10为本发明集成电路加工用可翻面的实施例一的防静电层表面涂覆装置的辅助风干组件立体结构示意图；

图11为本发明集成电路加工用可翻面的实施例二的翻转移动机构与底部清理机构立体结构示意图；

图12为本发明集成电路加工用可翻面的实施例二的底部清理机构立体结构示意图。

图中：1、支撑工作台；2、防静电层涂覆机构；21、支撑柱；22、支撑板；23、涂料储存箱；24、液压泵；25、喷涂头；3、翻转移动机构；31、驱动部件；311、伺服电机；312、主动齿轮；32、电路板翻转支撑部件；321、贯穿支撑杆；322、从动齿轮组件；3221、齿轮盘；3222、第一齿轮条；3223、第一复位扭簧；323、卡扣组件；3231、插柱；3232、第一复位弹簧；3233、卡头；324、支撑翻转组件；3241、支撑架；3242、延伸杆；3243、三角锥头；3244、第二复位弹簧；3245、夹持头；33、移动部件；331、传动移动组件；3311、牵引杆；3312、第二齿条；3313、传动齿条；3314、第二复位扭簧；332、导向杆；333、支撑移动块；3331、卡孔；334、稳固轮；34、辅助风干组件；341、第一转动轴；342、传动带；343、第二转动轴；344、旋转叶；4、双面压匀机构；41、支撑件；42、下面辊压组件；43、上面辊压组件；431、第三复位弹簧；433、衔接块；432、单向柱；434、海绵套；5、风干机构；6、底部清理机构；61、第一驱动齿轮；62、第一清理组件；621、传动齿条杆；622、延伸杆；623、横向支撑杆；624、刮取片；63、第二驱动齿轮；64、衔接齿条；65、第二清理组件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1：为了解决现有的防静电层表面涂覆装置对集成电路板进行双面涂覆时，涂覆完一面后，需要另行使用翻面部件单独将集成电路板翻面，翻面过程时间长，整体工作效率降低的技术问题，请参阅图1-图6，提供以下技术方案：

集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，包括支撑工作台1以及设置在支撑工作台1上端的防静电层涂覆机构2，支撑工作台1的上端设置有翻转移动机构3，位于翻转移动机构3一端的支撑工作台1上设置有双面压匀机构4，远离翻转移动机构3的双面压匀机构4一侧的支撑工作台1上设置有风干机构5；

防静电层涂覆机构2包括支撑柱21以及设置在支撑柱21上端的支撑板22，支撑板22的上端设置有涂料储存箱23，涂料储存箱23的一侧设置有液压泵24，液压泵24固定设置在支撑板22的上端，液压泵24的输出端与喷涂头25的输入端连接，且喷涂头25固定设置在支撑板22的下端。

翻转移动机构3包括驱动部件31以及与驱动部件31啮合连接的电路板翻转支撑部件32，驱动部件31设置在支撑工作台1的内侧，电路板翻转支撑部件32的一端插入设置在支撑工作台1内侧的移动部件33内，移动部件33与驱动部件31啮合连接，驱动部件31的驱动端还设置有辅助风干组件34，辅助风干组件34的一端与支撑工作台1活动连接。

驱动部件31包括伺服电机311以及设置在伺服电机311驱动端的主动齿轮312。

电路板翻转支撑部件32包括贯穿支撑杆321以及设置在贯穿支撑杆321一端的从动齿轮组件322，从动齿轮组件322远离贯穿支撑杆321的一侧设置有卡扣组件323，贯穿支撑杆321远离从动齿轮组件322的一端设置有支撑翻转组件324。

从动齿轮组件322包括齿轮盘3221以及设置在齿轮盘3221外侧的第一齿轮条3222，第一齿轮条3222的两侧设置有第一复位扭簧3223。

卡扣组件323包括插柱3231以及设置在插柱3231外侧的第一复位弹簧3232，第一复位弹簧3232远离插柱3231的一端设置有卡头3233，卡头3233与支撑移动块333内侧开设的卡孔3331相对应。

支撑翻转组件324包括支撑架3241以及设置在支撑架3241两端的延伸杆3242，延伸杆3242的外侧设置有三角锥头3243，延伸杆3242的内侧设置有第二复位弹簧3244，第二复位弹簧3244远离延伸杆3242的一端设置有夹持头3245。

具体的，通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头3245内按压，在第二复位弹簧3244的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头3245之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成，同理，下料时在移动机器臂强大的吸附力下，可将集成电路板拉出，下料简单；

当需要转动集成电路板时，伺服电机311驱动主动齿轮312逆时针转动，此时第二复位扭簧3314在主动齿轮312逆时针转动时可被推入牵引杆3311开设的凹槽中，当主动齿轮312与第一齿轮条3222相对应时，此时第一齿轮条3222被齿轮盘3221限制，进而可以带动齿轮盘3221转动，进而带动整个支撑翻转组件324转动，转动180°后暂停，此时卡头3233卡入对应的卡孔3331中，保持稳定，完成翻面，翻面操作简单方便，可快速进行双面的集成电路板涂覆，进而提高工作效率。

为了解决现有的防静电层表面涂覆装置要么是通过移动电路板来实现全面喷涂，这样操作电路板不易翻面，要么是通过移动喷涂头来进行全面喷涂的，还需要设置特定的喷涂头移动机构，移动喷涂头需要使用输送软管，这样在输送软管的弯曲再拉直的过程中，液体的流速会发生改变，会导致喷涂不均匀，而且输送软管也容易损坏的技术问题，请参阅图1、图3、图7和图8，提供以下技术方案：

移动部件33包括传动移动组件331以及设置在传动移动组件331内侧的导向杆332，导向杆332的两端与支撑工作台1固定连接，传动移动组件331的一端设置有支撑移动块333，支撑移动块333的内侧开设有卡孔3331，支撑移动块333的下端设置有稳固轮334。

传动移动组件331包括牵引杆3311以及设置在牵引杆3311下端的第二齿条3312，靠近支撑移动块333一端的第二齿条3312的一侧设置有传动齿条3313，传动齿条3313的两侧设置有第二复位扭簧3314。

具体的，伺服电机311驱动主动齿轮312顺时针转动，此时第一齿轮条3222被推入到齿轮盘3221外侧的凹槽中，保证齿轮盘3221不会转动，当主动齿轮312顺时针转动时能够牵引牵引杆3311移动，此时在支撑移动块333的带动下使得电路板翻转支撑部件32整体移动，再打开液压泵24使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件32整体移动，进而将整个电路板表面喷涂，机构设计巧妙，通过电机的顺逆转动的设计，可实现电路板的翻面和移动喷涂，而且整个过程无过长的间隙时间，提高整体的工作效率。

为了解决现有的整个涂覆过程每步操作有间隔时间，造成工作效率低的技术问题，请参阅图2和图9，提供以下技术方案：

双面压匀机构4包括支撑件41以及设置在支撑件41内侧的下面辊压组件42和上面辊压组件43，下面辊压组件42和上面辊压组件43结构组成相同。

上面辊压组件43包括第三复位弹簧431以及设置在第三复位弹簧431下端的衔接块433，衔接块433的中部贯穿设置有单向柱432，单向柱432的上端与支撑件41固定连接，衔接块433的下端设置有衔接管433，衔接管433的外侧设置有海绵套434。

具体的，当电路板翻转支撑部件32移动过程中，三角锥头3243首先将两侧的海绵套434反方向移动，当海绵套434越过夹持头3245后，两侧的海绵套434对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件32移动过程中，风干机构5可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干，大大提高整个涂覆的工作效率。

为了进一步提高电路板的涂覆效果，请参阅图3和图10，提供以下技术方案：

辅助风干组件34包括第一转动轴341以及设置在第一转动轴341外侧的传动带342，传动带342的下端设置有第二转动轴343，第二转动轴343的一侧设置有旋转叶344。

具体的，在主动齿轮312转动的同时，可带动第一转动轴341转动，进而带动传动带342转动，传动带342带动第二转动轴343转动进而带动旋转叶344转动，合理的利用伺服电机311的驱动力，使得旋转叶344可提供一定的风力，辅助提高电路板的风干效果，进一步提高涂覆效果。

本发明提出的另一种技术方案：提供集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的实施方法，包括以下步骤：

步骤一：通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头3245内按压，在第二复位弹簧3244的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头3245之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成；

步骤二：伺服电机311驱动主动齿轮312顺时针转动，此时第一齿轮条3222被推入到齿轮盘3221外侧的凹槽中，保证齿轮盘3221不会转动，当主动齿轮312顺时针转动时能够牵引牵引杆3311移动，此时在支撑移动块333的带动下使得电路板翻转支撑部件32整体移动，再打开液压泵24使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件32整体移动，进而将整个电路板表面喷涂；

步骤三：当电路板翻转支撑部件32移动过程中，三角锥头3243首先将两侧的海绵套434反方向移动，当海绵套434越过夹持头3245后，两侧的海绵套434对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件32移动过程中，风干机构5可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干；

步骤四：伺服电机311驱动主动齿轮312逆时针转动，此时第二复位扭簧3314在主动齿轮312逆时针转动时可被推入牵引杆3311开设的凹槽中，当主动齿轮312与第一齿轮条3222相对应时，此时第一齿轮条3222被齿轮盘3221限制，进而可以带动齿轮盘3221转动，进而带动整个支撑翻转组件324转动，转动180°后暂停，此时卡头3233卡入对应的卡孔3331中，完成翻面；

步骤五：重复步骤二到三，完成双面喷涂，最后下料时在移动机器臂强大的吸附力下，可将集成电路板拉出，下料完成。

实施例2：为了解决现有的支撑工作台容易因喷涂飘落的残留，导致其底部有大量的涂料残留，造成支撑工作台底部的不整洁的技术问题，请参阅图11-图12提供如下技术方案：

第二转动轴343一侧设置有底部清理机构6，底部清理机构6包括第一驱动齿轮61以及设置在第一驱动齿轮61下端的第一清理组件62，第一清理组件62与支撑工作台1活动连接，第一清理组件62的齿条端与活动设置在支撑工作台1内侧的第二驱动齿轮63啮合连接，第一清理组件62的上端设置有衔接齿条64，衔接齿条64与第一驱动齿轮61啮合连接，第二驱动齿轮63的下端与活动设置在支撑工作台1上的第二清理组件65啮合连接。

第一清理组件62与第二清理组件65结构组成相同，第一清理组件62包括传动齿条杆621以及设置在传动齿条杆621一端的延伸杆622，延伸杆622的下端一侧设置有横向支撑杆623，横向支撑杆623的下侧活动设置有刮取片624，支撑工作台1的内侧中部低端开设有排料槽。

具体的，当第二转动轴343发生传动时，可带动第一驱动齿轮61转动，第一驱动齿轮61进而与衔接齿条64啮合连接，进而带动第一清理组件62移动，进而使得第二驱动齿轮63带动第二清理组件65移动，此时第一清理组件62与第二清理组件65相对运动，使得刮取片624对支撑工作台1的底部进行清理，并从排料槽排出，保证支撑工作台1的底部整洁，当第一清理组件62与第二清理组件65相反运动时，由于刮取片624为活动状态，使得刮取片624反向移动不会进行清理，保证二次清理均从排料槽排出，结构设计巧妙，合理的利用机构传动来实现多个有益效果，提高整体的机动性和灵活性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，包括支撑工作台（1）以及设置在支撑工作台（1）上端的防静电层涂覆机构（2），支撑工作台（1）的上端设置有翻转移动机构（3），位于翻转移动机构（3）一端的支撑工作台（1）上设置有双面压匀机构（4），远离翻转移动机构（3）的双面压匀机构（4）一侧的支撑工作台（1）上设置有风干机构（5），其特征在于，防静电层涂覆机构（2）包括支撑柱（21）以及设置在支撑柱（21）上端的支撑板（22），支撑板（22）的上端设置有涂料储存箱（23），涂料储存箱（23）的一侧设置有液压泵（24），液压泵（24）固定设置在支撑板（22）的上端，液压泵（24）的输出端与喷涂头（25）的输入端连接，且喷涂头（25）固定设置在支撑板（22）的下端；

翻转移动机构（3）包括驱动部件（31）以及与驱动部件（31）啮合连接的电路板翻转支撑部件（32），驱动部件（31）设置在支撑工作台（1）的内侧，电路板翻转支撑部件（32）的一端插入设置在支撑工作台（1）内侧的移动部件（33）内，移动部件（33）与驱动部件（31）啮合连接，驱动部件（31）的驱动端还设置有辅助风干组件（34），辅助风干组件（34）的一端与支撑工作台（1）活动连接；

驱动部件（31）包括伺服电机（311）以及设置在伺服电机（311）驱动端的主动齿轮（312）；

电路板翻转支撑部件（32）包括贯穿支撑杆（321）以及设置在贯穿支撑杆（321）一端的从动齿轮组件（322），从动齿轮组件（322）远离贯穿支撑杆（321）的一侧设置有卡扣组件（323），贯穿支撑杆（321）远离从动齿轮组件（322）的一端设置有支撑翻转组件（324）；从动齿轮组件（322）包括齿轮盘（3221）以及设置在齿轮盘（3221）外侧的第一齿轮条（3222），第一齿轮条（3222）的两侧设置有第一复位扭簧（3223）；

移动部件（33）包括传动移动组件（331）以及设置在传动移动组件（331）内侧的导向杆（332），导向杆（332）的两端与支撑工作台（1）固定连接，传动移动组件（331）的一端设置有支撑移动块（333），支撑移动块（333）的内侧开设有卡孔（3331），支撑移动块（333）的下端设置有稳固轮（334）；

传动移动组件（331）包括牵引杆（3311）以及设置在牵引杆（3311）下端的第二齿条（3312），靠近支撑移动块（333）一端的第二齿条（3312）的一侧设置有传动齿条（3313），传动齿条（3313）的两侧设置有第二复位扭簧（3314）；卡扣组件（323）包括插柱（3231）以及设置在插柱（3231）外侧的第一复位弹簧（3232），第一复位弹簧（3232）远离插柱（3231）的一端设置有卡头（3233），卡头（3233）与支撑移动块（333）内侧开设的卡孔（3331）相对应。

2.如权利要求1所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，其特征在于，支撑翻转组件（324）包括支撑架（3241）以及设置在支撑架（3241）两端的延伸杆（3242），延伸杆（3242）的外侧设置有三角锥头（3243），延伸杆（3242）的内侧设置有第二复位弹簧（3244），第二复位弹簧（3244）远离延伸杆（3242）的一端设置有夹持头（3245）。

3.如权利要求2所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，其特征在于，双面压匀机构（4）包括支撑件（41）以及设置在支撑件（41）内侧的下面辊压组件（42）和上面辊压组件（43），下面辊压组件（42）和上面辊压组件（43）结构组成相同。

4.如权利要求3所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，其特征在于，上面辊压组件（43）包括第三复位弹簧（431）以及设置在第三复位弹簧（431）下端的衔接块（433），衔接块（433）的中部贯穿设置有单向柱（432），单向柱（432）的上端与支撑件（41）固定连接，衔接块（433）的下端设置有衔接管（433），衔接管（433）的外侧设置有海绵套（434）。

5.如权利要求4所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，其特征在于，第二转动轴（343）一侧设置有底部清理机构（6），底部清理机构（6）包括第一驱动齿轮（61）以及设置在第一驱动齿轮（61）下端的第一清理组件（62），第一清理组件（62）与支撑工作台（1）活动连接，第一清理组件（62）的齿条端与活动设置在支撑工作台（1）内侧的第二驱动齿轮（63）啮合连接，第一清理组件（62）的上端设置有衔接齿条（64），衔接齿条（64）与第一驱动齿轮（61）啮合连接，第二驱动齿轮（63）的下端与活动设置在支撑工作台（1）上的第二清理组件（65）啮合连接；

第一清理组件（62）与第二清理组件（65）结构组成相同，第一清理组件（62）包括传动齿条杆（621）以及设置在传动齿条杆（621）一端的延伸杆（622），延伸杆（622）的下端一侧设置有横向支撑杆（623），横向支撑杆（623）的下侧活动设置有刮取片（624），支撑工作台（1）的内侧中部低端开设有排料槽。

6.采用权利要求5所述的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的实施方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头（3245）内按压，在第二复位弹簧（3244）的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头（3245）之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成；

S2：伺服电机（311）驱动主动齿轮（312）顺时针转动，此时第一齿轮条（3222）被推入到齿轮盘（3221）外侧的凹槽中，保证齿轮盘（3221）不会转动，当主动齿轮（312）顺时针转动时能够牵引牵引杆（3311）移动，此时在支撑移动块（333）的带动下使得电路板翻转支撑部件（32）整体移动，再打开液压泵（24）使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件（32）整体移动，进而将整个电路板表面喷涂；

S3：当电路板翻转支撑部件（32）移动过程中，三角锥头（3243）首先将两侧的海绵套（434）反方向移动，当海绵套（434）越过夹持头（3245）后，两侧的海绵套（434）对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件（32）移动过程中，风干机构（5）可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干；

S4：伺服电机（311）驱动主动齿轮（312）逆时针转动，此时第二复位扭簧（3314）在主动齿轮（312）逆时针转动时可被推入牵引杆（3311）开设的凹槽中，当主动齿轮（312）与第一齿轮条（3222）相对应时，此时第一齿轮条（3222）被齿轮盘（3221）限制，进而可以带动齿轮盘（3221）转动，进而带动整个支撑翻转组件（324）转动，转动180°后暂停，此时卡头（3233）卡入对应的卡孔（3331）中，完成翻面；

S5：重复S2-S3，完成双面喷涂，最后下料时在移动机器臂强大的吸附力下，可将集成电路板拉出，下料完成。