CN217941024U - 一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，包括清洗机以及设于所述清洗机上的送料机构和毛刷旋转机构，所述毛刷旋转机构包括：对称设于所述送料机构两侧的机架；连接于两侧所述机架、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件；设于两侧所述机架一侧、并与所述Z轴驱动组件连接的升降板，所述升降板受所述Z轴驱动组件所提供的竖直驱动力进行升降移动。本实用新型中的送料机构用于将待清洗的曲面半导体晶片、液晶面板送入到毛刷旋转机构，由毛刷旋转机构中的Z轴驱动组件驱动升降板，使升降板上的滚筒毛刷向下移动到曲面半导体晶片、液晶面板上，由驱动组件驱动滚筒毛刷进行旋转，以清洗曲面半导体晶片、液晶面板。

Description

一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片、液晶面板清洗领域，特别涉及一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机。

背景技术

半导体晶片、液晶面板半导体晶片、液晶面板清洗机是对液晶面板进行毛刷清洗的设备。可以清除产品在前段工艺和环境产生中的灰尘、残胶和油污，保证液晶面板&半导体晶片的稳定性，为下一道工序做准备。目前，现有的半导体晶片、液晶面板清洗机中的清洗机构主要由固定高度的滚筒毛刷进行旋转清洗，在清洗过程中不能够根据半导体晶片、液晶面板的厚度进行清洗。针对于此，我们研究了一种用于半导体晶片、液晶面板清洗机的毛刷旋转机构。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，具有能够调节清洗高度的优点。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，包括清洗机以及设于所述清洗机上的送料机构和毛刷旋转机构，所述毛刷旋转机构包括：

对称设于所述送料机构两侧的机架；

连接于两侧所述机架、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件；

设于两侧所述机架一侧、并与所述Z轴驱动组件连接的升降板，所述升降板受所述Z轴驱动组件所提供的竖直驱动力进行升降移动；以及，

设于所述送料机构上方、并与两侧所述升降板连接的滚筒毛刷；

设于其中一个所述升降板背离所述滚筒毛刷一侧、并用于提供旋转驱动力的驱动组件，所述滚筒毛刷受所述驱动组件所提供的旋转驱动力在所述送料机构的上方进行旋转。

实现上述技术方案，送料机构用于将待清洗的曲面液晶面板送入到毛刷旋转机构，由毛刷旋转机构中的Z轴驱动组件驱动升降板，使升降板上的滚筒毛刷向下移动到曲面半导体晶片、液晶面板上，由驱动组件驱动滚筒毛刷进行旋转，以清洗曲面半导体晶片、液晶面板。

作为本申请的一种优选方案，所述机架的一侧设置有支撑板，所述支撑板上竖直设置有两个直线导轨，所述直线导轨上设置有与所述升降板连接的滑台。

实现上述技术方案，以便于支撑升降板的竖直移动。其中，两侧支撑板之间设置有喷淋杆，喷淋杆的一端接入喷淋水，而喷淋杆上设置有朝向滚筒毛刷的喷淋孔。

作为本申请的一种优选方案，所述Z轴驱动组件包括：

竖直设于两侧所述机架内的驱动丝杆，所述驱动丝杆上设置有与所述升降板连接的驱动块，所述驱动块内设置有与所述驱动丝杆连接的丝杆螺母；

设于两侧所述驱动丝杆顶部的直角转向器；

设于其中一个所述机架一侧、并用于提供旋转驱动力的伺服电机；以及，

连接于两侧所述直角转向器、并与所述伺服电机连接的驱动杆，所述驱动杆受所述伺服电机所提供的旋转驱动力驱动两侧所连接的驱动丝杆带动所述驱动块所连接的升降板进行升降移动。

实现上述技术方案，由伺服电机驱动所连接的驱动杆，使驱动杆通过直角转向器带动所连接的驱动丝杆旋转，驱动丝杆旋转带动所连接的驱动块进行升降，使驱动块所连接的升降板以及升降板上的滚筒毛刷一起进行升降。

作为本申请的一种优选方案，所述滚筒毛刷包括滚筒以及设于所述滚筒上的毛刷，所述毛刷通过魔术贴与所述滚筒连接。

实现上述技术方案，以便于毛刷的拆卸更换。

作为本申请的一种优选方案，所述所述升降板上设置有轴承，所述轴承中设置有与所述滚筒毛刷连接轴杆，所述轴杆与所述滚筒毛刷之间通过联轴器进行连接。

实现上述技术方案，以便于轴杆在轴承上进行旋转。

作为本申请的一种优选方案，所述驱动组件包括与所述滚筒毛刷连接的驱动电机以及设于所述升降板、并用于支撑所述驱动电机的支撑块，所述支撑块内设置有与所述驱动电机输出轴和所述轴杆连接的联轴器。

实现上述技术方案，由驱动电机的输出轴通过联轴器驱动所连接的轴杆，使轴杆所连接的滚筒毛刷进行旋转。

综上所述，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，包括清洗机以及设于所述清洗机上的送料机构和毛刷旋转机构，所述毛刷旋转机构包括：对称设于所述送料机构两侧的机架；连接于两侧所述机架、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件；设于两侧所述机架一侧、并与所述Z轴驱动组件连接的升降板，所述升降板受所述Z轴驱动组件所提供的竖直驱动力进行升降移动；以及，设于所述送料机构上方、并与两侧所述升降板连接的滚筒毛刷；设于其中一个所述升降板背离所述滚筒毛刷一侧、并用于提供旋转驱动力的驱动组件，所述滚筒毛刷受所述驱动组件所提供的旋转驱动力在所述送料机构的上方进行旋转。本实用新型中的送料机构用于将待清洗的曲面半导体晶片、液晶面板送入到毛刷旋转机构，由毛刷旋转机构中的Z轴驱动组件驱动升降板，使升降板上的滚筒毛刷向下移动到曲面半导体晶片、液晶面板上，以满足不同厚度的半导体晶片、液晶面板清洗。

2.本申请Z轴驱动组件中采用的伺服电机与伺服控制器进行连接，可实现曲面圆弧插补运动，实现滚筒毛刷始终沿着曲面半导体晶片、液晶面板做圆弧清洗，而滚筒毛刷上的喷淋管可用于对曲面半导体晶片、液晶面板进行喷淋清洗，且滚筒毛刷压入量可通过伺服控制器进行调节。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中的示意图。

图2为本实用新型实施例中的毛刷旋转机构示意图。

图中标号：1、清洗机；2、送料机构；3、毛刷旋转机构；4、机架；5、Z轴驱动组件；501、驱动块；502、直角转向器；503、伺服电机；504、驱动杆；6、升降板；601、轴杆；602、联轴器；7、滚筒毛刷；8、驱动组件；9、支撑板；直线导轨901；喷淋杆10；喷淋孔101。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

一种具有毛刷旋转机构的半导体面板清洗机，参照图1和图2，包括清洗机1以及设于清洗机1上的送料机构2和毛刷旋转机构3，毛刷旋转机构3包括对称安装于送料机构2两侧的机架4，连接于两侧机架4、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件5，设于两侧机架4一侧、并与Z轴驱动组件5连接的升降板6，升降板6受Z轴驱动组件5所提供的竖直驱动力进行升降移动，在送料机构2的上方安装有与两侧升降板6连接的滚筒毛刷7，设于其中一个升降板6背离滚筒毛刷7一侧、并用于提供旋转驱动力的驱动组件8，驱动组件8用于滚筒毛刷7在送料机构2的上方进行旋转，以清洗送料机构2上方安装的曲面半导体晶片、液晶面板。在本实施例中，两侧机架4的一侧均安装有固定的支撑板9，支撑板9上竖直安装有两个直线导轨901，直线导轨901上安装有与升降板6连接的滑台，以便于支撑升降板6的竖直移动。在其它实施例中，两侧支撑板9之间设置有喷淋杆10，喷淋杆10的一端接入喷淋水，而喷淋杆10上开设有朝向滚筒毛刷7的喷淋孔101，用于将喷淋水喷洒在滚筒毛刷7上，以通过滚筒毛刷7清洗曲面半导体晶片、液晶面板的表面。

参照图2，Z轴驱动组件5包括竖直设于两侧机架4内的驱动丝杆，驱动丝杆上安装有与升降板6连接的驱动块501，驱动块501内安装有与驱动丝杆连接的丝杆螺母，而两侧驱动丝杆顶部安装有直角转向器502，而两个直角转向器502之间通过驱动杆进行连接，而其中一个机架4一侧安装有用于提供旋转驱动力的伺服电机503。在本实施例中，伺服电机503的输出轴通过联轴器连接于直角转向器502的一侧，用于驱动直角转向器502以及与直角转向器502所连接的驱动杆和驱动丝杆，使驱动丝杆旋转带动所连接的驱动块501进行升降，驱动块501在进行升降时，带动所连接的升降板6以及升降板6上的滚筒毛刷7一起进行升降，

为了便于滚筒毛刷7的清理和更换。在本实施例中，滚筒毛刷7包括滚筒以及设于滚筒上的毛刷，毛刷通过魔术贴与滚筒连接。

参照图2，升降板6上安装有轴承，轴承中安装有与滚筒毛刷7连接轴杆601，轴杆601与滚筒毛刷7之间通过联轴器602进行连接，以便于轴杆601在轴承上进行旋转，而驱动组件8包括与滚筒毛刷7连接的驱动电机以及设于升降板6、并用于支撑驱动电机的支撑块，支撑块内安装有与驱动电机输出轴和轴杆601连接的联轴器602。在本实施例中，由驱动电机的输出轴通过联轴器驱动所连接的轴杆601，使轴杆所连接的滚筒毛刷7进行旋转。

具体的，在实际使用时，送料机构2用于将待清洗的曲面半导体晶片、液晶面板送入到毛刷旋转机构3，由毛刷旋转机构3中的Z轴驱动组件5驱动升降板6，使升降板6上的滚筒毛刷7向下移动到曲面半导体晶片、液晶面板上，由驱动组件8驱动滚筒毛刷7进行旋转，以清洗送料机构2上的曲面半导体晶片、液晶面板。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，包括清洗机（1）以及设于所述清洗机（1）上的送料机构（2）和毛刷旋转机构（3），其特征在于，所述毛刷旋转机构（3）包括：

对称设于所述送料机构（2）两侧的机架（4）；

连接于两侧所述机架（4）、并用于提供竖直驱动力的Z轴驱动组件（5）；

设于两侧所述机架（4）一侧、并与所述Z轴驱动组件（5）连接的升降板（6），所述升降板（6）受所述Z轴驱动组件（5）所提供的竖直驱动力进行升降移动；以及，

设于所述送料机构（2）上方、并与两侧所述升降板（6）连接的滚筒毛刷（7）；

设于其中一个所述升降板（6）背离所述滚筒毛刷（7）一侧、并用于提供旋转驱动力的驱动组件（8），所述滚筒毛刷（7）受所述驱动组件（8）所提供的旋转驱动力在所述送料机构（2）的上方进行旋转。

2.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，其特征在于，所述机架（4）的一侧设置有支撑板（9），所述支撑板（9）上竖直设置有两个直线导轨（901），所述直线导轨（901）上设置有与所述升降板（6）连接的滑台。

3.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，其特征在于，所述Z轴驱动组件（5）包括：

竖直设于两侧所述机架（4）内的驱动丝杆，所述驱动丝杆上设置有与所述升降板（6）连接的驱动块（501），所述驱动块（501）内设置有与所述驱动丝杆连接的丝杆螺母；

设于两侧所述驱动丝杆顶部的直角转向器（502）；

设于其中一个所述机架（4）一侧、并用于提供旋转驱动力的伺服电机（503）；以及，

连接于两侧所述直角转向器（502）、并与所述伺服电机（503）连接的驱动杆（504），所述驱动杆（504）受所述伺服电机（503）所提供的旋转驱动力驱动两侧所连接的驱动丝杆带动所述驱动块（501）所连接的升降板（6）进行升降移动。

4.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，其特征在于，所述滚筒毛刷（7）包括滚筒以及设于所述滚筒上的毛刷，所述毛刷通过魔术贴与所述滚筒连接。

5.根据权利要求1所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，其特征在于，所述升降板（6）上设置有轴承，所述轴承中设置有与所述滚筒毛刷（7）连接的轴杆（601），所述轴杆（601）与所述滚筒毛刷（7）之间通过联轴器（602）进行连接。

6.根据权利要求5所述的一种具有毛刷旋转机构的半导体晶片、液晶面板清洗机，其特征在于，所述驱动组件（8）包括与所述滚筒毛刷（7）连接的驱动电机以及设于所述升降板（6）、并用于支撑所述驱动电机的支撑块，所述支撑块内设置有与所述驱动电机输出轴和所述轴杆（601）连接的联轴器（602）。

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