CN116560329B - 一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 389
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 334
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 128
- 239000010432 diamond Substances 0.000 title claims abstract description 128
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 102
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 63
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 55
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 29
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 13
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 6
- 235000017899 Spathodea campanulata Nutrition 0.000 claims description 5
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 230000006399 behavior Effects 0.000 claims description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 3
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 abstract description 2
- 206010000117 Abnormal behaviour Diseases 0.000 abstract 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 30
- 239000003570 air Substances 0.000 description 8
- 238000000259 microwave plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000035800 maturation Effects 0.000 description 1
- 230000006855 networking Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/32—Operator till task planning
- G05B2219/32252—Scheduling production, machining, job shop
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Abstract
本发明公开了一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备,所述方法包括:云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;云端控制中心获取工艺设备的工艺参数,若工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定工艺设备发生异常事件;云端控制中心将异常事件进行分类得到分类结果,并根据分类结果控制工艺设备进行告警提示或停机处理。本发明通过将云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,能够在云端控制中心实时接收金刚石生产过程中的数据,并进行数据分析以及设备联动,为管理者提供了类可视化的物联智能控制方式,有利于管理者及时发现金刚石生产过程中的异常行为并做出决策,并保证了金刚石的正常生长。
Description
技术领域
本发明涉及智能控制技术领域,尤其涉及一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备。
背景技术
金刚石由于具有极其优异的物理化学性质,引起了大家的关注。但天然金刚石储量有限,于是人们开发出多种合成金刚石方法,如高温高压法(HPHT,High pressure Hightemperature)、热丝化学气相沉积法(HFCVD,Hot filament chemical vapor deposition)等。其中微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD,Microwave plasma chemicalvapordeposition)合成金刚石法由于没有杂质的引入,可以合成出高质和大面积的金刚石,具有无电极放电污染、沉积速率快、稳定性好等优点,被认为是制备高质量单晶金刚石的最优方法。
人造金刚石规模化生产制造过程中,包含多个精细的工序处理与品质控制,金刚石生产过程中往往会出现参数异常的报警情况,而为了查找异常数据的具体情况,往往需要到MPCVD设备上进行查阅,耗费了大量人力去查找,并且查找的过程中也浪费了金刚石的生长时间。
因此,现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种金刚石生长过程的物联控制方法、系统、云端控制中心及计算机可读存储介质,旨在解决现有技术中无法实时获取金刚石生长过程中出现的异常数据并进行设备间的联动告警,而导致金刚石生长缓慢或生长异常的问题。
为实现上述目的,本发明提供一种金刚石生长过程的物联控制方法,所述金刚石生长过程的物联控制方法包括如下步骤:
云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;
所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;
所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述工艺设备包括生产设备和环境传感器;
所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体包括:
所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接。
可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件,具体包括:
所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;
判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件;
判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件;
其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备。
可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理,具体包括:
当所述第一工艺设备发生第一异常事件或所述第二工艺设备发生第二异常事件时,根据紧急程度将所述第一异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件,或根据紧急程度将所述第二异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件;
根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;
或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理。
可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理,具体包括:
当发生告警类异常事件时,获取所述告警类异常事件对应的所述第一工艺设备的第一位置或所述第二工艺设备的第二位置;
根据预设响应关系获取所述第一位置或所述第二位置对应的警报器,并控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示;
当发生停机类告警事件时,获取所述停机类告警事件对应的所述第一工艺设备的第三位置或所述第二工艺设备的第四位置;
根据预设响应关系获取所述第三位置或所述第四位置对应的工艺设备和警报器,并控制所述工艺设备进行停机处理且控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示。
可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述建立云端控制中心,并将所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备进行通信连接,具体还包括:
所述云端控制中心通过第一标识符与所述生产设备建立通信连接;
所述云端控制中心通过第二标识符与所述环境传感器建立通信连接。
可选地,所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其中,所述第一工艺参数包括:水冷流量、反射功率、火球上跳以及多晶掉落;
所述第二工艺参数包括:环境温度、环境湿度、环境气压、是否漏水以及是否停电。
此外,为实现上述目的,本发明还提供一种金刚石生长过程的物联控制系统,其中,所述金刚石生长过程的物联控制系统包括:
工艺设备通信模块,用于云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;
异常事件判断模块,用于所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;
异常事件处理模块,用于所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
此外,为实现上述目的,本发明还提供一种云端控制中心,其中,所述云端控制中心包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被所述处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
此外,为实现上述目的,本发明还提供一种计算机可读存储介质,其中,所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
本发明中,云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。本发明通过将云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备进行通信连接,能够实时在云端控制中心实时获取金刚石生产过程中的数据,并实时对接收的数据进行分析和检测,当发现异常数据时,能够及时的控制金刚石设备的之间的联动报警或停机处理,有利于保证金刚石的正常生长,同时,也为管理者提供了类可视化的物联智能控制方式,能够有利于管理者更快的做出决策。
附图说明
图1是本发明金刚石生长过程的物联控制方法的较佳实施例的流程图;
图2是本发明金刚石生长过程的物联控制系统的较佳实施例的结构图;
图3为本发明云端控制中心的较佳实施例的结构图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚、明确,以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
金刚石由于具有极其优异的物理化学性质,引起了大家的关注。但天然金刚石储量有限,于是人们开发出多种合成金刚石方法,如高温高压法(HPHT,High pressure Hightemperature)、热丝化学气相沉积法(HFCVD,Hot filament chemical vapor deposition)以及微波等离子体化学气相沉积法 (MPCVD,Microwave plasma chemicalvapordeposition)等。其中,微波等离子体化学气相沉积合成金刚石法由于没有杂质的引入,可以合成出高质和大面积的金刚石,具有无电极放电污染、沉积速率快以及稳定性好等优点,被认为是制备高质量单晶金刚石的最优方法。
人造金刚石规模化生产制造过程中,包含多个精细的工序处理与品质控制,金刚石生产过程中往往会出现参数异常的报警情况,而为了查找异常数据的具体情况,往往需要到MPCVD设备上进行查阅,耗费了大量人力去查找,并且查找的过程中也浪费了金刚石的生长时间。
随着制备技术、工艺以及设备等逐步成熟与稳定,引入数字手段实现高效的智能化、信息化以及自动化的任务越来越迫切。通过数字化方式,向生产制造过程中主辅设备和传感器等赋予入云技能,对它们进行实时数据采集、数据分析、监测、控制和联动,为管理者提供类可视化的物联智控平台,帮助管理者决策。
本发明较佳实施例所述的金刚石生长过程的物联控制方法,如图1所示,所述金刚石生长过程的物联控制方法包括以下步骤:
步骤S10、云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接。
将金刚石生产过程中的工艺设备赋予云技能(使其在公网中,也同样能实现权限范围内的操作,即与云端控制中心进行通信,将金刚石生长数据发送至云端控制中心),并基于以太网检测工艺设备以及金刚石生长环境的数据情况,在本发明中,所述工艺设备优选为金刚石生产设备(MPCVD设备)以及多种传感器。
具体地,所述工艺设备包括生产设备和环境传感器。
其中,所述生产设备包括:压力传感器:采集各路气体气压;水浸传感器:采集是否漏水;电能记录仪:采集工艺设备电量相关信息;IPCamera(联网摄像机):采集籽晶生长图像、视频。
金刚石生长的工艺设备的工作条件为:设备功率:10KW;供电电压:三相AC(交流电)380(1±10%)V,频率50Hz;工艺进气压力:≥0.2MPa;CDA(压缩空气)供气压力:0.4~0.6MPa;冷却水供水压力:≥5.0 kg/cm2;冷却水供水温度:20±1℃;冷却水流量:>30L/min。
所述环境传感器包括:温湿度传感器:采集车间温度和湿度(例如适宜环境温度:12℃~40℃,适宜相对湿度为<70%RH的高温场所、低温场所和潮湿场所);环境压力传感器:采集车间的大气压强。
所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接。
所述时分复用就是采用一种多路开关的切换,通过共用信道来实现云端控制中心对与之通信连接的多个工艺设备任意切换,即云端控制中心可任意切换至任意一个连接的工艺设备,并接收所述连接的工艺设备的数据。
所述云端控制中心通过第一标识符与所述生产设备建立通信连接;所述云端控制中心通过第二标识符与所述环境传感器建立通信连接。
其中,所述云端控制中心与金刚石生长的工艺设备进行通信前,首先需要厂商向物联网的云端进行开发协议的认证,当所述认证通过后,获得与云端控制中心进行通信连接的密钥,所述密钥中都包含唯一标识符,当需要将金刚石生长工艺设备与云端控制中心连接时,则可以唯一标识符进行验证,当所述验证通过后,即可建立所述云端控制中心与所述工艺设备的通信连接,并实现在云端控制中心接收工艺设备采集的参数数据信息。
除此之外,云端控制中心还会判断在预设的传输时间内工艺设备上传的参数数据中是否会出现预设数目的重传包,当在预设的时间内重传包的数量超过预设数目时,说明当前通信设备间的网络数据的交互受到网络行为异常状况的影响或者通信设备本身存在故障,需要发出报警信息,通过对云端控制中心与金刚石生长设备之间的数据包传输判断两者之间的网络数据的异常情况,实现对网络数据的监测和记录,不仅可以提高设备维护人员对业务设备或系统的运行保障能力和问题处置效率,也保证了金刚石生长数据传输的准确性。
每隔预设时间对所述云端控制中心的存储库进行检测,判断所述存储库中的被占用的存储空间是否达到存储阈值(其中存储空间阈值优选为80%),若是,则将所述存储库中最初存入的预设数量的数据包进行删除,以保证所述存储库能够及时更新,接收金刚石生长数据。
步骤S20、所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件。
其中,异常事件包括:环境条件异常,如:温度过高过低、湿度偏高偏低、气压不足、漏水、停电等;籽晶生长过程异常:多晶掉落事件、火球上跳事件等。
云端控制中心也可以为集成的控制中心,该控制中心直接接收工艺设备采集的金刚石生长数据,并将采集数据与云端控制中心的预设数据比较,然后通过云端控制中心判断,再发出指令控制工艺设备的运行。
具体地,所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;所述第一工艺参数包括:水冷流量、反射功率、火球上跳以及多晶掉落;所述第二工艺参数包括:环境温度、环境湿度、环境气压、是否漏水以及是否停电。
判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件。
判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件。
例如:对于工艺设备中的基片台设置,通过设定气压保护值,即气压达到设定值就会接收云端控制中心的指令,并开启高度保护;基片台的高度保护是指在开启仓门的情况下,基片台不允许超过设定高度。其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备。
例如:1.压力传感器用于检测气路气压,系统定期读取压力传感器的检测值,检查气压值是否在正常工作范围,如否则触发告警。2.通过车间多处部署漏水绳监控是否存在漏水,当漏水事件发生时,相应位置漏水绳连接的水浸传感器产生信号并被系统获得,触发漏水告警。
通过对工艺设备的异常数据监控与检测,能够及时的获知金刚石的生长异常情况,并进行提示,避免金刚石无效的生长时间,在监测到缺陷后不处理的话,后续生长都是无用的。
步骤S30、所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
具体地,当所述第一工艺设备发生第一异常事件或所述第二工艺设备发生第二异常事件时,根据紧急程度将所述第一异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件,或根据紧急程度将所述第二异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件;根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示。
当接收到告警提示时,可以通过云端控制中心控制点击“重置告警按钮”,可以对系统告警进行复位,并通过点击“告警记录按键”,还可以进入系统告警日志记录界面,在该界面中,用户可以查看系统报警、故障记录时间、详细信息、警告日志时期、紧急停机历史记录数据以及删除报警日志历史记录,通过告警日志信息能够快速获取到具体故障设备,并提示相关技术人员进行维护。
或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理。
当发生告警类异常事件时,获取所述告警类异常事件对应的所述第一工艺设备的第一位置或所述第二工艺设备的第二位置;根据预设响应关系获取所述第一位置或所述第二位置对应的警报器,并控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示。
当发生停机类告警事件时,获取所述停机类告警事件对应的所述第一工艺设备的第三位置或所述第二工艺设备的第四位置;根据预设响应关系获取所述第三位置或所述第四位置对应的工艺设备和警报器,并控制所述工艺设备进行停机处理且控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示。
其中,本发明还可以在所述工艺设备上设置容忍偏差,即分别设定各路工艺气体的流量偏差值和对应气路的判定时间,若在判定时间内,对应气路的流量没有调回到预设偏差范围内,系统就会发出警报。
例如:当MPCVD设备的某一分路实际水流量低于设定最小值时,系统会发出警报,异常持续预设时间后,系统自动关闭微波电源。
控制是指对实物进行操作,比如拉响蜂鸣器、把CVD设备关机等。例如:设备之间是根据设定的规则进行响应。比如设定一条规则为“当位置1的电源电压<x时,位置2的MPCVD设备关机,位置3的警报器开启声音及红灯”,在现实场景中,位置1的电源电压小于x的事件被检测到后,位置2的CVD设备执行关机,位置3的警报器亮红灯且鸣笛。
在本发明中,基于上述云端控制中心与工艺设备之间的通信连接,在所述云端控制中心设定一个总显示屏,通过所述总显示屏可以获取每多台金刚石生产设备的参数数据,并可以随意切换其中任意一个生产设备的操作界面,并进行远程控制金刚石设备,实现了通过云端控制中心的一个屏幕可同时控制多台金刚石生长设备,无需安排固定人员看守,大大节约了人力资源,且能够及时获取金刚石生长异常数据并远程直接进行处理。
除此之外,在发明中还可以通过云端控制中心,建立与电子显微镜的通信连接,通过两者之间的连接获取金刚石生长过程中的金刚石表面图像,并根据所述表面图像判断进行的生长情况或生长质量,有利于提高金刚石的优化生长过程。
进一步地,如图2所示,基于上述金刚石生长过程的物联控制方法,本发明还相应提供了一种金刚石生长过程的物联控制系统,其中,所述金刚石生长过程的物联控制系统包括:
工艺设备通信模块51,用于云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;
异常事件判断模块52,用于所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;
异常事件处理模块53,用于所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
进一步地,如图3所示,基于上述金刚石生长过程的物联控制方法和系统,本发明还相应提供了一种云端控制中心,所述云端控制中心包括处理器10、存储器20及显示器30。图3仅示出了云端控制中心的部分组件,但是应理解的是,并不要求实施所有示出的组件,可以替代的实施更多或者更少的组件。
所述存储器20在一些实施例中可以是所述云端控制中心的内部存储单元,例如云端控制中心的硬盘或内存。所述存储器20在另一些实施例中也可以是所述云端控制中心的外部存储设备,例如所述云端控制中心上配备的插接式硬盘,智能存储卡(Smart MediaCard, SMC),安全数字(Secure Digital, SD)卡,闪存卡(Flash Card)等。进一步地,所述存储器20还可以既包括所述云端控制中心的内部存储单元也包括外部存储设备。所述存储器20用于存储安装于所述云端控制中心的应用软件及各类数据,例如所述安装云端控制中心的程序代码等。所述存储器20还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。在一实施例中,存储器20上存储有金刚石生长过程的物联控制程序40,该金刚石生长过程的物联控制程序40可被处理器10所执行,从而实现本申请中金刚石生长过程的物联控制方法。
所述处理器10在一些实施例中可以是一中央处理器(Central Processing Unit,CPU),微处理器或其他数据处理芯片,用于运行所述存储器20中存储的程序代码或处理数据,例如执行所述金刚石生长过程的物联控制方法等。
所述显示器30在一些实施例中可以是LED显示器、液晶显示器、触控式液晶显示器以及OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)触摸器等。所述显示器30用于显示在所述云端控制中心的信息以及用于显示可视化的用户界面。所述云端控制中心的部件10-30通过系统总线相互通信。
在一实施例中,当处理器10执行所述存储器20中金刚石生长过程的物联控制程序40时实现以下步骤:
云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;
所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;
所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
其中,所述工艺设备包括生产设备和环境传感器;
所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体包括:
所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接。
其中,所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件,具体包括:
所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;
判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件;
判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件;
其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备。
其中,所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理,具体包括:
当所述第一工艺设备发生第一异常事件或所述第二工艺设备发生第二异常事件时,根据紧急程度将所述第一异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件,或根据紧急程度将所述第二异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件;
根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;
或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理。
其中,所述根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理,具体包括:
当发生告警类异常事件时,获取所述告警类异常事件对应的所述第一工艺设备的第一位置或所述第二工艺设备的第二位置;
根据预设响应关系获取所述第一位置或所述第二位置对应的警报器,并控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示;
当发生停机类告警事件时,获取所述停机类告警事件对应的所述第一工艺设备的第三位置或所述第二工艺设备的第四位置;
根据预设响应关系获取所述第三位置或所述第四位置对应的工艺设备和警报器,并控制所述工艺设备进行停机处理且控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示。
其中,所述建立云端控制中心,并将所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备进行通信连接,具体还包括:
所述云端控制中心通过第一标识符与所述生产设备建立通信连接;
所述云端控制中心通过第二标识符与所述环境传感器建立通信连接。
其中,所述第一工艺参数包括:水冷流量、反射功率、火球上跳以及多晶掉落;
所述第二工艺参数包括:环境温度、环境湿度、环境气压、是否漏水以及是否停电。
本发明还提供一种计算机可读存储介质,其中,所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被处理器执行时实现如上所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
综上所述,本发明提供一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备,所述方法包括:云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。本发明通过云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备进行通信连接,能够实时在云端控制中心实时获取金刚石生产过程中的数据,并实时进行对接收的数据进行分析和检测,当发现异常数据时,能够及时的控制金刚石设备的之间的联动报警或停机处理,有利于保证金刚石的正常生长,同时,也为管理者提供了类可视化的物联智能控制方式,能够有利于管理者更快的做出决策。
需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者云端控制中心不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者云端控制中心所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者云端控制中心中还存在另外的相同要素。
当然,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程,是可以通过计算机程序来指令相关硬件(如处理器,控制器等)来完成,所述的程序可存储于一计算机可读取的计算机可读存储介质中,所述程序在执行时可包括如上述各方法实施例的流程。其中所述的计算机可读存储介质可为存储器、磁碟、光盘等。
应当理解的是,本发明的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述金刚石生长过程的物联控制方法包括:
云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;
所述工艺设备包括生产设备和环境传感器;
所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体包括:
所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接,通过共用信道来实现云端控制中心对与之通信连接的多个工艺设备任意切换,当云端控制中心任意切换至任意一个连接的工艺设备时,接收与之通信连接的工艺设备的数据;
所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体还包括:
所述云端控制中心通过第一标识符与所述生产设备建立通信连接;
所述云端控制中心通过第二标识符与所述环境传感器建立通信连接;
通过对云端控制中心与金刚石生长设备之间的数据包传输判断两者之间的网络数据的异常情况,当在预设的时间内重传包的数量超过预设数目时,说明当前通信设备间的网络数据的交互受到网络行为异常状况的影响或者通信设备本身存在故障;
每隔预设时间对所述云端控制中心的存储库进行检测,判断所述存储库中的被占用的存储空间是否达到存储阈值,若是,则将所述存储库中最初存入的预设数量的数据包进行删除;
所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;
所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件,具体包括:
所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;
判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件;
判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件;
其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备;
所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
2.根据权利要求1所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理,具体包括:
当所述第一工艺设备发生第一异常事件或所述第二工艺设备发生第二异常事件时,根据紧急程度将所述第一异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件,或根据紧急程度将所述第二异常事件分为告警类异常事件或者停机类告警事件;
根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;
或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理。
3.根据权利要求2所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述根据所述告警类异常事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行告警提示;或根据所述停机类告警事件控制所述第一工艺设备或所述第二工艺设备进行停机处理,具体包括:
当发生告警类异常事件时,获取所述告警类异常事件对应的所述第一工艺设备的第一位置或所述第二工艺设备的第二位置;
根据预设响应关系获取所述第一位置或所述第二位置对应的警报器,并控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示;
当发生停机类告警事件时,获取所述停机类告警事件对应的所述第一工艺设备的第三位置或所述第二工艺设备的第四位置;
根据预设响应关系获取所述第三位置或所述第四位置对应的工艺设备和警报器,并控制所述工艺设备进行停机处理且控制所述警报器进行亮红灯和鸣笛提示。
4.根据权利要求1所述的金刚石生长过程的物联控制方法,其特征在于,所述第一工艺参数包括:水冷流量、反射功率、火球上跳以及多晶掉落;
所述第二工艺参数包括:环境温度、环境湿度、环境气压、是否漏水以及是否停电。
5.一种金刚石生长过程的物联控制系统,其特征在于,所述金刚石生长过程的物联控制系统包括:
工艺设备通信模块,用于云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接;
所述工艺设备包括生产设备和环境传感器;
所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体包括:
所述云端控制中心采用时分复用的方法分别建立与所述生产设备和所述环境传感器之间的通信连接,通过共用信道来实现云端控制中心对与之通信连接的多个工艺设备任意切换,当云端控制中心任意切换至任意一个连接的工艺设备时,接收与之通信连接的工艺设备的数据;
所述云端控制中心与金刚石生产过程中的工艺设备建立通信连接,具体还包括:
所述云端控制中心通过第一标识符与所述生产设备建立通信连接;
所述云端控制中心通过第二标识符与所述环境传感器建立通信连接;
通过对云端控制中心与金刚石生长设备之间的数据包传输判断两者之间的网络数据的异常情况,当在预设的时间内重传包的数量超过预设数目时,说明当前通信设备间的网络数据的交互受到网络行为异常状况的影响或者通信设备本身存在故障;
每隔预设时间对所述云端控制中心的存储库进行检测,判断所述存储库中的被占用的存储空间是否达到存储阈值,若是,则将所述存储库中最初存入的预设数量的数据包进行删除;
异常事件判断模块,用于所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件;
所述云端控制中心获取所述工艺设备的工艺参数,若所述工艺参数超出预设工艺参数范围,则判定所述工艺设备发生异常事件,具体包括:
所述云端控制中心接收所述生产设备实时采集的第一工艺参数以及所述环境传感器实时采集的第二工艺参数;
判断所述第一工艺参数是否处于预设第一工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述生产设备对应的第一工艺设备发生第一异常事件;
判断所述第二工艺参数是否处于预设第二工艺参数范围,若是,则控制所述工艺设备继续正常工作;
若否,则判定所述环境传感器对应的第二工艺设备发生第二异常事件;
其中,所述工艺设备包括所述第一工艺设备和所述第二工艺设备;
异常事件处理模块,用于所述云端控制中心将所述异常事件进行分类得到分类结果,并根据所述分类结果控制所述工艺设备进行告警提示或停机处理。
6.一种云端控制中心,其特征在于,所述云端控制中心包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被所述处理器执行时实现如权利要求1-4任一项所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
7.一种计算机可读存储介质,其特征在于,所述计算机可读存储介质存储有金刚石生长过程的物联控制程序,所述金刚石生长过程的物联控制程序被处理器执行时实现如权利要求1-4任一项所述的金刚石生长过程的物联控制方法的步骤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310839614.8A CN116560329B (zh) | 2023-07-10 | 2023-07-10 | 一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116560329A CN116560329A (zh) | 2023-08-08 |
CN116560329B true CN116560329B (zh) | 2023-09-26 |
Family
ID=87502263
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310839614.8A Active CN116560329B (zh) | 2023-07-10 | 2023-07-10 | 一种金刚石生长过程的物联控制方法及相关设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116560329B (zh) |
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