CN116544336B - Micro LED结构及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种Micro LED结构及其制备方法，属于Micro LED显示技术领域，该Micro LED结构包括：光源组件，包括第一出光面和第二出光面，第一出光面和第二出光面相背，且相交或平行；第一分屏组件，位于光源组件的第一出光面一侧，至少用于将由第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；第二分屏组件，位于光源组件的第二出光面一侧，至少用于将由第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；其中，第一待成像镜片和第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。如此，通过利用第一分屏组件和第二分屏组件将光源组件的两个出光面出射的光分别投射至两个镜片，实现了对Micro LED结构的显示功能的复用，减少了镜片对应的屏幕功耗，进而降低了系统整体功耗。

Description

Micro LED结构及其制备方法

技术领域

本公开涉及Micro LED显示技术领域，尤其涉及一种Micro LED结构及其制备方法。

背景技术

目前，现有的AR或VR设备大多采用双目双屏幕的显示方式，即每个镜片配备一个显示屏幕，由于两个显示屏幕均会产生功耗，如双屏幕产生的功耗能够占系统整体功耗的60%或者更多，从而导致系统整体功耗的增加。

发明内容

为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种Micro LED结构及其制备方法。

本公开提供了一种Micro LED结构，包括：

光源组件，包括第一出光面和第二出光面，所述第一出光面和所述第二出光面相背，且相交或平行；

第一分屏组件，位于所述光源组件的所述第一出光面一侧，至少用于将由所述第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；

第二分屏组件，位于所述光源组件的所述第二出光面一侧，至少用于将由所述第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；

其中，所述第一待成像镜片和所述第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。

可选地，所述第一出光面与所述第二出光面平行；

所述第一分屏组件和所述第二分屏组件以所述第一出光面与第二出光面的中间位置平面为参考面对称分布。

可选地，所述光源组件还包括第三出光面，所述第三出光面包括邻接的第一区域和第二区域；

所述第一分屏组件还用于透射由所述第一区域出射的光；所述第二分屏组件还用于透射由所述第二区域出射的光。

可选地，所述光源组件包括外延衬底以及位于所述外延衬底内的多量子阱层；

所述多量子阱层用于基于电压控制提供原始出光，所述外延衬底用于允许光线穿出；

所述多量子阱层的相背两面分别对应所述第一出光面和所述第二出光面，衔接所述相背两面的一出光面对应所述第三出光面。

可选地，所述Micro LED结构还包括第一方位准直元件、第二方位准直元件以及第三方位准直元件；

所述第一方位准直元件和所述第二方位准直元件分别位于所述外延衬底背离所述多量子阱层的一侧；所述第三方位准直元件位于所述第三出光面一侧，并覆盖所述外延衬底和所述多量子阱层；

所述第一方位准直元件用于准直由所述第一出光面出射的光；所述第二方位准直元件用于准直由所述第二出光面出射的光；所述第三方位准直元件用于准直由所述第三出光面出射的光。

可选地，所述Micro LED结构还包括绝缘层和第一反射层，且所述光源组件还包括第四出光面，所述第四出光面与所述第三出光面相对且平行；

所述绝缘层位于所述第四出光面一侧，并覆盖所述外延衬底和所述多量子阱层；所述第一反射层位于所述绝缘层内；所述绝缘层内还设置连接走线；

所述第一反射层用于反射由所述第四出光面出射的光。

可选地，所述第一分屏组件包括沿光束传输方向依次设置的第二反射层、第三反射层和第一半反半透层；所述第一半反半透层包括朝向所述第三反射层的反射面和背离所述第三反射层的透射面；

所述第一半反半透层和所述第三反射层倾斜设置且互相平行；所述第二反射层和所述第三反射层以互补角度间隔设置；

所述第二反射层用于反射所述第一方位准直元件准直后的光至所述第三反射层；所述第三反射层用于反射所述第二反射层传输的光至所述第一半反半透层；所述第一半反半透层的反射面用于反射所述第三反射层传输的光，所述第一半反半透层的透射面用于透射由所述第一区域出射的光。

可选地，所述第二分屏组件包括沿光束传输方向依次设置的第四反射层、第五反射层和第二半反半透层；所述第二半反半透层包括朝向所述第五反射层的反射面和背离所述第五反射层的透射面；

所述第二半反半透层和所述第五反射层倾斜设置且互相平行；所述第四反射层和所述第五反射层以互补角度间隔设置；

所述第四反射层用于反射所述第二方位准直元件准直后的光至所述第五反射层；所述第五反射层用于反射所述第四反射层传输的光至所述第二半反半透层；所述第二半反半透层的反射面用于反射所述第五反射层传输的光，所述第二半反半透层的透射面用于透射由所述第二区域出射的光。

可选地，所述Micro LED结构还包括保护层和支撑层；

所述保护层包覆所述第一方位准直元件、所述第二方位准直元件以及所述第三方位准直元件；所述支撑层位于所述保护层背离所述光源组件的一侧，且填充在所述第一分屏组件和所述第二分屏组件内；

所述支撑层用于为所述第一分屏组件和所述第二分屏组件提供支撑；所述保护层的折射率介于准直元件的折射率与所述支撑层的折射率之间，所述准直元件包括所述第一方位准直元件、所述第二方位准直元件以及所述第三方位准直元件中的至少一个。

本公开还提供了一种Micro LED结构的制备方法，用于制备以上任一种所述的Micro LED结构；所述制备方法包括：

制备光源组件；所述光源组件包括第一出光面和第二出光面，所述第一出光面和所述第二出光面相背，且相交或平行；

在所述光源组件的所述第一出光面一侧形成第一分屏组件；所述第一分屏组件至少用于将由所述第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；

在所述光源组件的所述第二出光面一侧形成第二分屏组件；所述第二分屏组件至少用于将由所述第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；

其中，所述第一待成像镜片和所述第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。

本公开实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：

本公开实施例提供的Micro LED结构，包括：光源组件，包括第一出光面和第二出光面，第一出光面和第二出光面相背，且相交或平行；第一分屏组件，位于光源组件的第一出光面一侧，至少用于将由第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；第二分屏组件，位于光源组件的第二出光面一侧，至少用于将由第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；其中，第一待成像镜片和第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。如此，通过利用第一分屏组件和第二分屏组件将光源组件的两个出光面出射的光分别投射至两个镜片，实现了对Micro LED结构的显示功能的复用，减少了镜片对应的屏幕功耗，进而降低了系统整体功耗。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本公开实施例提供的一种Micro LED结构的结构示意图；

图2为本公开实施例提供的另一种Micro LED结构的结构示意图；

图3为本公开实施例提供的又一种Micro LED结构的结构示意图；

图4为本公开实施例提供的一种Micro LED结构的制备方法的流程示意图。

其中，100、保护层；110、光源组件；111、外延衬底；112、多量子阱层；120、第一分屏组件；121、第二反射层；122、第三反射层；123、第一半反半透层；130、第二分屏组件；131、第四反射层；132、第五反射层；133、第二半反半透层；140、第一方位准直元件；150、第二方位准直元件；160、第三方位准直元件；170、绝缘层；180、第一反射层；190、支撑层。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本公开的上述目的、特征和优点，下面将对本公开的方案进行进一步描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本公开，但本公开还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施；显然，说明书中的实施例只是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。

下面结合附图，对本公开实施例提供的Micro LED结构及其制备方法进行示例性说明。

示例性地，在一些实施例中，图1为本公开实施例提供的一种Micro LED结构的结构示意图。参照图1，该Micro LED结构包括：光源组件110，包括第一出光面和第二出光面，第一出光面和第二出光面相背，且相交或平行；第一分屏组件120，位于光源组件110的第一出光面一侧，至少用于将由第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；第二分屏组件130，位于光源组件110的第二出光面一侧，至少用于将由第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；其中，第一待成像镜片和第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。

其中，光源组件110为用于发光以提供屏幕图像的结构。示例性地，以图1示出的结构为例，光源组件110的左侧表面可为第一出光面，光源组件110的右侧表面可为相背于第一出光面的第二出光面，在此基础上，第一出光面和第二出光面可互相平行，或者，第一出光面和第二出光面可相交，即二者非平行设置，在此关于第一出光面和第二出光面的关联关系不具体限定。

其中，第一分屏组件120和第二分屏组件130为用于调整光源组件110发出的光的传输路径的结构。示例性地，第一分屏组件120可位于光源组件110的左侧，第二分屏组件130可位于光源组件110的右侧，具体地：由于光源组件110可向周围发光，第一分屏组件120可将光源组件110的左侧表面发出的光调整传输至眼镜中两个镜片的第一待成像镜片，第二分屏组件130可将光源组件110的右侧表面发出的光调整传输至眼镜中两个镜片的第二待成像镜片，如此，通过利用第一分屏组件120和第二分屏组件130调整光源组件110发出的光的传输路径，以将不同传输路径的光分别传输至不同的待成像镜片，实现了对光源组件110发出的光的复用。

不难理解的是，眼镜可为增强现实（Augmented Reality，AR）眼镜、虚拟现实（Virtual Reality，VR）眼镜或其他类型的用于显示成像的眼镜；另外，需要说明的是，本公开实施例提供的Micro LED结构需设置于眼镜中的两个镜片之间的位置，以通过第一分屏组件120和第二分屏组件130将光源组件110发出的光向两侧引出至两个镜片，在此关于眼镜的类型不进行限定。

本公开实施例提供的Micro LED结构，包括：光源组件110，包括第一出光面和第二出光面，第一出光面和第二出光面相背，且相交或平行；第一分屏组件120，位于光源组件110的第一出光面一侧，至少用于将由第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；第二分屏组件130，位于光源组件110的第二出光面一侧，至少用于将由第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；其中，第一待成像镜片和第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。如此，通过利用第一分屏组件120和第二分屏组件130将光源组件110的两个出光面出射的光分别投射至两个镜片，实现了对Micro LED结构的显示功能的复用，减少了镜片对应的屏幕功耗，进而降低了系统整体功耗。

在一些实施例中，继续参照图1，第一出光面与第二出光面平行；

第一分屏组件120和第二分屏组件130以第一出光面与第二出光面的中间位置平面为参考面对称分布。

具体地，当光源组件110的的第一出光面与第二出光面平行时，通过将第一分屏组件120和第二分屏组件130按照以上两个出光面的中间位置平面进行对称分布，利于第一分屏组件120和第二分屏组件130将光源组件110两侧的光分别均匀地引出至第一待成像镜片和第二待成像镜片，从而能够在眼镜上实现良好的视觉成像，关于第一分屏组件120和第二分屏组件130的具体设置位置在后文中示例性说明。

在一些实施例中，继续参照图1，光源组件110还包括第三出光面，第三出光面包括邻接的第一区域和第二区域；第一分屏组件120还用于透射由第一区域出射的光；第二分屏组件130还用于透射由第二区域出射的光。

示例性地，第三出光面可为图1中用于衔接光源组件110的第一出光面与第二出光面的上方的出光面，同时，第三出光面的第一区域可位于光源组件110的左上方，第三出光面的第二区域可位于光源组件110的右上方，以使第一区域对应第一分屏组件120，第二区域对应第二分屏组件130。

具体地：当光源组件110发光时，第一分屏组件120将光源组件110左侧表面发出的光传输至一镜片的同时，第一分屏组件120中的部分元件会透射由光源组件110左上方的第一区域出射的光；据此，第二分屏组件130将光源组件110右侧表面发出的光传输至另一镜片的同时，第二分屏组件130中的部分元件会透射由光源组件110右上方的第二区域出射的光，在此关于第一分屏组件120和第二分屏组件130的透射原理在后文中说明。

在一些实施例中，图2为本公开实施例提供的另一种Micro LED结构的结构示意图。在图1的基础上，参照图2，光源组件110包括外延衬底111以及位于外延衬底111内的多量子阱层112；多量子阱层112用于基于电压控制提供原始出光（或原始单屏图像），外延衬底111用于允许光线穿出；多量子阱层112的相背两面分别对应第一出光面和第二出光面，衔接相背两面的一出光面对应第三出光面。

其中，外延衬底111为用于形成多量子阱层112的结构。示例性地，外延衬底111的制备材料可为氮化镓材料或其他材料，且该外延衬底111可包括与多量子阱层数量和方向相同的出光面，即外延衬底111的出光面与多量子阱层的出光面一一对应；例如，外延衬底111左侧的出光面可对应光源组件110的第一出光面，相应地，外延衬底111右侧的出光面可对应光源组件110的第二出光面。

具体地，外延衬底111内的多量子阱层112（Multi-quantum Well，MQW）受电压控制后，多量子阱层112中的电子空穴会进行复合而使多量子阱层112向周围即各个方向发光，以为本公开实施例提供的Micro LED结构提供原始出光，之后光线穿出外延衬底111后，利用第一分屏组件120和第二分屏组件130将其传输至两个待成像镜片。

不难理解的是，结合上文的出光方向，由于多量子阱层112位于外延衬底111内，多量子阱层112左侧的出光面与外延衬底111左侧的出光面可对应光源组件110的第一出光面，多量子阱层112右侧的出光面与外延衬底111右侧的出光面可对应光源组件110的第二出光面，相应地，多量子阱层112上方和外延衬底111上方的出光面可对应第三出光面。

在一些实施例中，继续参照图2，该Micro LED结构还包括第一方位准直元件140、第二方位准直元件150以及第三方位准直元件160；第一方位准直元件140和第二方位准直元件150分别位于外延衬底111背离多量子阱层112的一侧；第三方位准直元件160位于第三出光面一侧，并覆盖外延衬底111和多量子阱层112；第一方位准直元件140用于准直由第一出光面出射的光；第二方位准直元件150用于准直由第二出光面出射的光；第三方位准直元件160用于准直由第三出光面出射的光。

其中，第一方位准直元件140、第二方位准直元件150以及第三方位准直元件160为用于在三个不同方向准直光线的元件，以使光线形成平行光。示例性地，第一方位准直元件140可位于外延衬底111左侧，第二方位准直元件150可位于外延衬底111右侧，第三方位准直元件160可位于外延衬底111和多量子阱层112上方并覆盖外延衬底111和多量子阱层112，如此，能够利用第一方位准直元件140准直由外延衬底111左侧（对应第一出光面）出射的光，利用第二方位准直元件150准直由外延衬底111右侧（对应第二出光面）出射的光，利用第三方位准直元件160准直由外延衬底111和多量子阱层112上方（对应第三出光面）出射的光。

示例性地，第一方位准直元件140、第二方位准直元件150和第三方位准直元件160可分别包括1个、2个或其他数量的微透镜（Micro Lens，MLS），具体如：第一方位准直元件140和第二方位准直元件150可分别包括2个微透镜，第三方位准直元件160可包括1个微透镜，在此关于第一方位准直元件140、第二方位准直元件150和第三方位准直元件160各自包括的微透镜的数量不进行限定。

在一些实施例中，在图1的基础上继续参照图2，该Micro LED结构还包括绝缘层170和第一反射层180，且光源组件110还包括第四出光面，第四出光面与第三出光面相对且平行；绝缘层170位于第四出光面一侧，并覆盖外延衬底111和多量子阱层112；第一反射层180位于绝缘层170内；绝缘层170内还设置连接走线；第一反射层180用于反射由第四出光面出射的光。

其中，绝缘层170为用于提供电气绝缘以及为内部连接走线提供空间的结构，后文中对连接走线的连接关系进行说明。示例性地，绝缘层170可为一氧化硅（SiOx）或其他材料制备而成的结构，在此关于绝缘层170的制备材料不进行限定。

示例性地，结合上文的出光方向，多量子阱层112下方和外延衬底111下方的出光面可对应第四出光面，绝缘层170位于多量子阱层112和外延衬底111下方并覆盖外延衬底111和多量子阱层112，当外延衬底111内的多量子阱层112发出向下的光时，绝缘层170内的第一反射层180会反射该向下的光至外延衬底111左右两侧的第一分屏组件120和第二分屏组件130，提高了光的利用率。

在一些实施例中，在图1的基础上继续参照图2，第一分屏组件120包括沿光束传输方向依次设置的第二反射层121、第三反射层122和第一半反半透层123；第一半反半透层123包括朝向第三反射层122的反射面和背离第三反射层122的透射面；第一半反半透层123和第三反射层122倾斜设置且互相平行；第二反射层121和第三反射层122以互补角度间隔设置；第二反射层121用于反射第一方位准直元件140准直后的光至第三反射层122；第三反射层122用于反射第二反射层121传输的光至第一半反半透层123；第一半反半透层123的反射面用于反射第三反射层122传输的光，第一半反半透层123的透射面用于透射由第一区域出射的光。

示例性地，以图2示出的方位和结构为例，第一分屏组件120中的第二反射层121向左倾斜设置于第一方位准直元件140的左侧，第三反射层122向右倾斜设置于第二反射层121上方，并与第二反射层121形成互补角度，在此基础上，第一半反半透层123倾斜设置于第三反射层122右侧并与第三反射层122平行，由此形成了光源组件110第一出光面一侧的第一分屏组件120。

具体地，第一方位准直元件140准直后的光首先向左侧传输至第二反射层121，第二反射层121反射该准直后的光至上方的第三反射层122，再由第三反射层122反射至第一半反半透层123，第一半反半透层123中朝向第三反射层122的反射面反射第三反射层122传输的光，使其出射至第一待成像镜片；另外，第一半反半透层123中背离第三反射层122的透射面能够透射由光源组件110左上方的第一区域出射的光，以使其同样出射至第一待成像镜片。

示例性地，第三反射层122和第一半反半透层123的倾斜角度可为45°，对应地，第二反射层121的倾斜角度为135°，在其他实施方式中，还可根据第一分屏组件120针对光的传输需求设置第二反射层121、第三反射层122和第一半反半透层123的倾斜角度，在此不进行具体限定。

在一些实施例中，在图1的基础上继续参照图2，第二分屏组件130包括沿光束传输方向依次设置的第四反射层131、第五反射层132和第二半反半透层133；第二半反半透层133包括朝向第五反射层132的反射面和背离第五反射层132的透射面；第二半反半透层133和第五反射层132倾斜设置且互相平行；第四反射层131和第五反射层132以互补角度间隔设置；第四反射层131用于反射第二方位准直元件150准直后的光至第五反射层132；第五反射层132用于反射第四反射层131传输的光至第二半反半透层133；第二半反半透层133的反射面用于反射第五反射层132传输的光，第二半反半透层133的透射面用于透射由第二区域出射的光。

示例性地，以图2示出的方位和结构为例，第二分屏组件130中的第四反射层131向右倾斜设置于第二方位准直元件150的右侧，第五反射层132向左倾斜设置于第四反射层131上方，并与第四反射层131形成互补角度，在此基础上，第二半反半透层133倾斜设置于第五反射层132左侧并与第五反射层132平行，由此形成了光源组件110第二出光面一侧的第二分屏组件130。

具体地，第二方位准直元件150准直后的光首先向右侧传输至第四反射层131，第四反射层131反射该准直后的光至上方的第五反射层132，再由第五反射层132反射至第二半反半透层133，第二半反半透层133中朝向第五反射层132的反射面反射第五反射层132传输的光，使其出射至第二待成像镜片；另外，第二半反半透层133中背离第五反射层132的透射面能够透射由光源组件110右上方的第二区域出射的光，以使其同样出射至第二待成像镜片。

示例性地，第五反射层132和第二半反半透层133的倾斜角度可为135°，对应地，第四反射层131的倾斜角度为45°，在其他实施方式中，还可根据第二分屏组件130针对光的传输需求设置第四反射层131、第五反射层132和第二半反半透层133的倾斜角度，在此不进行具体限定。

另外，结合上文中第一分屏组件120的设置位置，需要说明的是，当第一半反半透层123的倾斜角度为45°，第二半反半透层133的倾斜角度为135°时，二者形成的夹角为直角；在其他实施方式中，第一半反半透层123和第二半反半透层133的倾斜角度还可为其他数值，以使第一分屏组件120和第二分屏组件130以第一出光面与第二出光面的中间位置平面为参考面对称分布，在此对于具体数值不限定。

示例性地，结合上文中的结构，第一反射层180、第二反射层121、第三反射层122、第四反射层131以及第五反射层132可为银（Ag）材料制备而成的全反射层以使经过的光在其表面形成全反射，从而改变光线的传输方向。

在一些实施例中，该Micro LED结构还包括保护层100和支撑层190；保护层100包覆第一方位准直元件140、第二方位准直元件150以及第三方位准直元件160；支撑层190位于保护层100背离光源组件110的一侧，且填充在第一分屏组件120和第二分屏组件130内；支撑层190用于为第一分屏组件120和第二分屏组件130提供支撑；保护层100的折射率介于准直元件的折射率与支撑层190的折射率之间，准直元件包括第一方位准直元件140、第二方位准直元件150以及第三方位准直元件160中的至少一个。

具体地，以图2示出的方位和结构为例，外延衬底111左侧的保护层100位于第二反射层121和第一方位准直元件140之间，外延衬底111右侧的保护层100位于第四反射层131和第二方位准直元件150之间，外延衬底111上方的保护层100位于两个半反半透层（包括第一半反半透层123和第二半反半透层133）与第三方位准直元件160之间；示例性地，保护层100的制备材料可为氮化硅、氧化硅或其他材料，在此不限定。

此外，由于准直元件与支撑层190之间的折射率差值可能较大，为防止准直元件准直后的光偏离预设的传输路径并影响最终显示成像的效果，可设置相应折射率的保护层100来减小准直元件与支撑层190之间的折射率差异，同时保护层100还能够防止后续工艺对准直元件造成损坏；例如，保护层100的制备材料可为折射率介于准直元件与支撑层190的折射率之间的有机光刻胶，以保证准直元件准直后的光能够沿着预设的传输路径出射至第一待成像镜片和第二待成像镜片，在此关于保护层100的制备材料的具体类型不限定。

具体如，第一分屏组件120中的第二反射层121和第三反射层122，以及第二分屏组件130中的第四反射层131和第五反射层132可均位于支撑层190外部，第一分屏组件120中的第一半反半透层123和第二分屏组件130中的第二半反半透层133可位于支撑层190内部，以形成图2示出的具有多边的支撑层190，以通过保护层100上方的支撑层190支撑和固定第一分屏组件120和第二分屏组件130，形成较好的稳定效果。示例性地，支撑层190的制备材料可为氧化硅或其他材料，在此不限定。

示例性地，图3为本公开实施例提供的又一种Micro LED结构的结构示意图。在图1和图2的基础上，参照图3，图3中示出了驱动基板02和位于其上的金属键合层01；具体地，外延衬底111内的多量子阱层112还设有相应阴阳极（图中未示出），通过金属键合层01和绝缘层170内的连接走线将多量子阱层112的阴阳极和驱动基板02连接，以使驱动基板02能够根据施加至阴阳极的预设电压驱动多量子阱层112发光。示例性地，金属键合层01可为可靠性高且体积小的金柱（Golden bump）形状，具体可将外延衬底111内引出的管脚与驱动基板02的管脚连接；另外，驱动基板02可为柔性印刷电路板（Flexible Printed Circuit board，FPC）或其他类型的基板，用于实现外部运算芯片和本公开实施例提供的Micro LED结构的连接，在此不限定。

不难理解是，本公开实施例提供的Micro LED结构中，驱动基板02上方可包括阵列排布的像素区域，每个像素区域内对应一个由光源组件110、第一分屏组件120和第二分屏组件130等组成的结构，在此不再赘述。

在上述实施方式的基础上，本公开实施例还提供了一种Micro LED结构的制备方法，用于制备上述实施方式提供的任一种Micro LED结构，具有相应的有益效果。

示例性地，图4为本公开实施例提供的一种Micro LED结构的制备方法的流程示意图。参照图4，该方法包括：

S210、制备光源组件。

其中，光源组件包括第一出光面和第二出光面，第一出光面和第二出光面相背，且相交或平行。

示例性地，结合图1和图3示出的方位和结构，可先外延生长LED芯片即外延衬底111，之后将多量子阱层112生长于外延衬底111内部中间并在其两侧留出足够的空间以便后续工艺制作，再利用物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，PVD）工艺在多量子阱层112左侧垂直边制备相应电极（如透明锡-铟氧化物（ITO）电极）和连接走线，之后依次制备外延衬底111左侧的第一方位准直元件140和保护层100，按此制备流程再形成多量子阱层112右侧垂直边的相应电极和连接走线，以及外延衬底111右侧的第二方位准直元件150和保护层100。

S220、在光源组件的第一出光面一侧形成第一分屏组件。

其中，第一分屏组件至少用于将由第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片。

示例性地，结合上文的制备流程，继续参照图1和图3，在形成的光源组件110的基础上，形成第一分屏组件之前，可先形成光源组件110下方的绝缘层170和第一反射层180，具体包括：利用物理气相沉积工艺在外延衬底111下方形成绝缘层170的第一层，并通过光刻和刻蚀方法将预留的连接走线露出，之后再利用物理气相沉积工艺在第一层绝缘层170下方形成第一反射层180，并通过光刻和刻蚀方法去除连接走线露出部分以避免短路，最后再按以上方法形成第一反射层180下方的绝缘层170的第二层，同样将预留的连接走线露出，在此基础上，在外延衬底111的相应管脚处形成金属键合层01，可对其进行贴膜保护并以此面为底面为后续工艺提供支撑，再形成外延衬底111上方的第三方位准直元件160和对应的保护层100即可。

针对光源组件110的第一出光面一侧即左侧，利用单侧工艺形成第一分屏组件，具体如：可先在第一方位准直元件140对应的保护层100左侧形成部分支撑层190，之后形成位于支撑层190外部的第二反射层121，再利用物理气相沉积工艺形成部分支撑层190并依次形成第三反射层122和第一半反半透层123。

S230、在光源组件的第二出光面一侧形成第二分屏组件。其中，第二分屏组件至少用于将由第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片。

其中，第一待成像镜片和第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。

针对光源组件110的第二出光面一侧即右侧，利用单侧工艺形成第二分屏组件，具体如：可先在第二方位准直元件150和对应的保护层100右侧形成部分支撑层190，之后形成位于支撑层190外部的第四反射层131，再利用物理气相沉积工艺形成部分支撑层190并依次形成第五反射层132和第二半反半透层133。

示例性地，形成第二分屏组件之后，再将金属键合层01的贴膜保护去除以在单个像素区域内形成以上相应结构，最后通过倒装键合工艺将其与驱动基板02绑定。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本公开的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本公开。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本公开的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本公开将不会被限制于本文所述的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (9)

1.一种Micro LED结构，其特征在于，包括：

光源组件，包括第一出光面和第二出光面，所述第一出光面和所述第二出光面相背，且相交或平行；

第一分屏组件，位于所述光源组件的所述第一出光面一侧，至少用于将由所述第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；

第二分屏组件，位于所述光源组件的所述第二出光面一侧，至少用于将由所述第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；

其中，所述第一待成像镜片和所述第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个；

所述光源组件还包括第三出光面，所述第三出光面包括邻接的第一区域和第二区域；

所述第一分屏组件还用于透射由所述第一区域出射的光；所述第二分屏组件还用于透射由所述第二区域出射的光。

2.根据权利要求1所述的Micro LED结构，其特征在于，所述第一出光面与所述第二出光面平行；

所述第一分屏组件和所述第二分屏组件以所述第一出光面与第二出光面的中间位置平面为参考面对称分布。

3.根据权利要求1所述的Micro LED结构，其特征在于，所述光源组件包括外延衬底以及位于所述外延衬底内的多量子阱层；

所述多量子阱层用于基于电压控制提供原始出光，所述外延衬底用于允许光线穿出；

所述多量子阱层的相背两面分别对应所述第一出光面和所述第二出光面，衔接所述相背两面的一出光面对应所述第三出光面。

4.根据权利要求3所述的Micro LED结构，其特征在于，还包括第一方位准直元件、第二方位准直元件以及第三方位准直元件；

所述第一方位准直元件和所述第二方位准直元件分别位于所述外延衬底背离所述多量子阱层的一侧；所述第三方位准直元件位于所述第三出光面一侧，并覆盖所述外延衬底和所述多量子阱层；

所述第一方位准直元件用于准直由所述第一出光面出射的光；所述第二方位准直元件用于准直由所述第二出光面出射的光；所述第三方位准直元件用于准直由所述第三出光面出射的光。

5.根据权利要求4所述的Micro LED结构，其特征在于，还包括绝缘层和第一反射层，且所述光源组件还包括第四出光面，所述第四出光面与所述第三出光面相对且平行；

所述绝缘层位于所述第四出光面一侧，并覆盖所述外延衬底和所述多量子阱层；所述第一反射层位于所述绝缘层内；所述绝缘层内还设置连接走线；

所述第一反射层用于反射由所述第四出光面出射的光。

6.根据权利要求4所述的Micro LED结构，其特征在于，所述第一分屏组件包括沿光束传输方向依次设置的第二反射层、第三反射层和第一半反半透层；所述第一半反半透层包括朝向所述第三反射层的反射面和背离所述第三反射层的透射面；

所述第一半反半透层和所述第三反射层倾斜设置且互相平行；所述第二反射层和所述第三反射层以互补角度间隔设置；

所述第二反射层用于反射所述第一方位准直元件准直后的光至所述第三反射层；所述第三反射层用于反射所述第二反射层传输的光至所述第一半反半透层；所述第一半反半透层的反射面用于反射所述第三反射层传输的光，所述第一半反半透层的透射面用于透射由所述第一区域出射的光。

7.根据权利要求6所述的Micro LED结构，其特征在于，所述第二分屏组件包括沿光束传输方向依次设置的第四反射层、第五反射层和第二半反半透层；所述第二半反半透层包括朝向所述第五反射层的反射面和背离所述第五反射层的透射面；

所述第二半反半透层和所述第五反射层倾斜设置且互相平行；所述第四反射层和所述第五反射层以互补角度间隔设置；

所述第四反射层用于反射所述第二方位准直元件准直后的光至所述第五反射层；所述第五反射层用于反射所述第四反射层传输的光至所述第二半反半透层；所述第二半反半透层的反射面用于反射所述第五反射层传输的光，所述第二半反半透层的透射面用于透射由所述第二区域出射的光。

8.根据权利要求4所述的Micro LED结构，其特征在于，还包括保护层和支撑层；

所述保护层包覆所述第一方位准直元件、所述第二方位准直元件以及所述第三方位准直元件；所述支撑层位于所述保护层背离所述光源组件的一侧，且填充在所述第一分屏组件和所述第二分屏组件内；

所述支撑层用于为所述第一分屏组件和所述第二分屏组件提供支撑；所述保护层的折射率介于准直元件的折射率与所述支撑层的折射率之间，所述准直元件包括所述第一方位准直元件、所述第二方位准直元件以及所述第三方位准直元件中的至少一个。

9.一种Micro LED结构的制备方法，其特征在于，用于制备权利要求1-8任一项所述的Micro LED结构；所述制备方法包括：

制备光源组件；所述光源组件包括第一出光面和第二出光面，所述第一出光面和所述第二出光面相背，且相交或平行；

在所述光源组件的所述第一出光面一侧形成第一分屏组件；所述第一分屏组件至少用于将由所述第一出光面出射的光调光至第一待成像镜片；

在所述光源组件的所述第二出光面一侧形成第二分屏组件；所述第二分屏组件至少用于将由所述第二出光面出射的光调光至第二待成像镜片；

其中，所述第一待成像镜片和所述第二待成像镜片分别为眼镜中的两个镜片的其中一个。