CN116520650B - 一种光刻机光源头组件 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光刻机光源组件技术领域，尤其为一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，本发明中，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装。

Description

一种光刻机光源头组件

技术领域

本发明涉及光刻机光源组件技术领域，具体为一种光刻机光源头组件。

背景技术

光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统和光刻系统等，是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，光刻机在使用时，需要通过光源装置发射光线，进而对特殊处理后的硅片进行照射，达到对硅片进行蚀刻的目的。

传统的光刻机光源头组件在使用时，通常直接将光源头组件固定在光刻机上，在线路接通后，光源头组件内灯盘发出的光通过直准板后直接照射在硅片上，在灯盘长时间使用后，寿命到达极限会出现损坏，此时需要通过螺丝对光源装置外壳进行拆卸，然后对灯盘进行更换，更换过程繁琐，因此，针对上述问题提出一种光刻机光源头组件。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻机光源头组件，以解决灯盘更换过程繁琐的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种光刻机光源头组件，包括光源装置、直准模组、风冷装置和水冷装置，所述光源装置后方与水冷装置固定连接，所述光源装置内设置有风冷装置，所述光源装置内一侧设置有直准模组，所述光源装置包括后板、卡合主体和夹持装置，所述后板一侧设有前板，所述前板内设有呈均匀分布的螺栓，所述螺栓一端与后板螺旋连接，所述前板内固定连接有灯盘，所述前板远离后板的一侧设有固定壳，所述直准模组设置在固定壳内，所述卡合主体的个数共有两个，且卡合主体固定在前板的两侧，所述夹持装置设置在卡合主体外侧，所述夹持装置的个数共有两个，且夹持装置与前板固定连接，所述夹持装置另一侧贯穿后板，所述卡合主体包括固定块，所述固定块一侧与固定壳固定连接，所述固定块一侧转动连接有连接杆，所述连接杆远离固定块的一端固定连接有卡合杆，所述卡合杆设置在夹持装置内，所述夹持装置包括安装块和夹持主体，所述安装块内设开设有滑槽，所述安装块所设滑槽内设有定位杆，所述定位杆一端固定连接有固定板，所述定位杆另一端外侧固定在夹持主体内，所述定位杆靠近固定板的一端外侧设有第一弹簧，所述夹持主体设置在安装块内。

优选的，所述夹持主体包括夹持板，所述夹持板两侧均转动连接有卡合轮，所述卡合轮一侧与卡合杆紧密贴合，所述卡合杆一侧与夹持板紧密贴合，所述夹持板一侧固定连接有固定杆，所述固定杆另一端设置在安装块内，所述固定杆外侧滑动连接有连接板，所述连接板与安装块紧密贴合，所述固定杆一端外侧设有第二弹簧。

优选的，所述螺栓的个数共有四个，且螺栓在灯盘外侧呈均匀分布，两个所述卡合主体关于灯盘中央位置处呈相互对称设置，两个所述夹持装置关于灯盘中央位置处呈相互对称设置。

优选的，直准模组包括直准板和定位装置，所述直准板两侧均固定连接有密封圈，所述直准板一侧设有前框，所述直准板另一侧设有后框，所述前框与后框紧密贴合，所述后框远离直准板的一侧紧密贴合有限位框，所述限位框后方与后板固定连接，所述定位装置两个为一组设置在直准板的四周，所述定位装置一侧设置在前框内，所述定位装置另一侧设置在后框内。

优选的，所述定位装置包括前限位板和滑板，所述前限位板设置在前框内，所述前限位板一侧固定连接有前定位板，所述前定位板外侧设有后定位板，所述后定位板另一侧固定连接有后限位板，所述后限位板设置在后框内，所述前定位板两侧均开设有定位槽，所述前定位板所开设定位槽内有定位轮，所述定位轮在滑板内转动连接，所述定位轮两侧内均设有滑杆，所述滑杆两端均与后定位板固定连接，所述滑杆远离滑板的一端内外侧设有第三弹簧。

优选的，所述风冷装置包括连接壳和均风主体，所述连接壳的个数共有两个，且连接壳与前板固定连接，所述均风主体与连接壳固定连接，所述连接壳一端固定连接有呈均匀分布的连接管，所述连接管另一端固定连接有呈均匀分布的导热管，所述连接壳另一端固定连接有呈均匀分布的导管，所述导管另一端固定连接有空气输送装置，所述导热管均匀的分布在灯盘表面，所述导热管内固定连接有呈均匀分布的导热杆，所述导热杆在灯盘表面呈均匀分布。

优选的，所述均风主体包括连接块，所述连接块内开设有呈均匀分布的通风孔，所述连接块通过所开设通风孔固定连接有固定环，所述连接块通过所开设通风孔固定连接有固定架，所述固定环一侧固定连接有密封环，所述固定环内设有密封气门钉，所述密封气门钉贯穿固定架，所述固定架远离固定环的一侧固定连接有橡胶块，所述橡胶块呈锥台形设置，所述橡胶块外侧设有第四弹簧，所述第四弹簧另一端设有固定球，所述固定球内靠近橡胶块的一侧与密封气门钉固定连接，所述密封气门钉贯穿橡胶块。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中，通过设置的后板、前板、固定壳、卡合主体和夹持装置，可以方便的对灯盘进行防，通过设置的固定块、连接杆、卡合杆、安装块、滑槽、固定板、定位杆、第一弹簧和夹持主体，可以直接推动卡合杆，通过卡合杆推动夹持主体移动，在卡合杆底部与安装块相接触后，松开卡合杆，夹持主体可以在第一弹簧的作用下对卡合杆进行卡合，同时推动卡合杆移动，实现对固定壳的快速安装，通过设置的夹持板、卡合轮、固定杆、连接板和第二弹簧，可以在对卡合杆进行卡合的同时，在固定杆和第二弹簧的作用下对夹持板上方进行限位，使夹持板移动更加平稳；

2、本发明中，通过设置的直准板、密封圈、前框、后框、限位框和定位装置，可以对直准板进行组装，之后通过固定壳将直准板安装在灯盘一侧，通过设置的前限位板、后限位板、前定位板、后定位板、定位槽、滑板、定位轮、滑杆和第三弹簧，可以在前框和后框对直准板进行卡合后，分别将前定位板和后定位板分别插入前框和后框内，之后前定位板插入到后定位板内，之后第三弹簧通过滑板推动定位轮，使定位轮进入前定位板所开设定位槽内，从而实现对前定位板和后定位板的定位，进而可以对前框和后框进行定位，方便磨损后的直准板更换；

3、本发明中，通过设置的连接壳、均风主体、导管和空气输送装置，可以在灯盘长时间使用后，对灯盘前方所设灯珠进行散热，使灯盘使用更加稳定，寿命更长，通过设置的连接块、通风孔、固定环、固定架、密封环、密封气门钉、橡胶块、固定球和第四弹簧，可以在空气进入到连接壳内后，均匀的进入连接块所开设通风孔内，随着连接壳内空气增多，连接壳内的气压逐渐增加，之后气压推动密封气门钉移动，当密封气门钉与密封环不接触时，气流空气穿过连接块所开设的通风孔，之后气流将导热管和导热杆内的热量吸收并且排出，实现对灯盘所设灯珠本体的散热，使灯盘使用更加稳定。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明光源装置的爆炸结构示意图；

图3为本发明夹持装置的剖视结构示意图；

图4为本发明夹持主体的结构示意图；

图5为本发明图1的A处结构示意图；

图6为本发明图3的B处结构示意图；

图7为本发明直准模组的安装爆炸结构示意图；

图8为本发明直准模组的剖视结构示意图；

图9为本发明定位装置的剖视结构示意图；

图10为本发明图8的C处的安装结构示意图；

图11为本发明风冷装置的结构示意图；

图12为本发明均风主体的结构示意图；

图13为本发明密封气门钉的安装爆炸结构示意图；

图14为本发明图12的D处结构示意图。

图中：1-光源装置、11-后板、12-前板、13-灯盘、14-固定壳、15-卡合主体、151-固定块、152-连接杆、153-卡合杆、16-夹持装置、161-安装块、162-滑槽、163-固定板、164-定位杆、165-第一弹簧、166-夹持主体、1661-夹持板、1662-卡合轮、1663-固定杆、1664-连接板、1665-第二弹簧、17-螺栓、2-直准模组、21-直准板、22-密封圈、23-前框、24-后框、25-限位框、26-定位装置、261-前限位板、262-后限位板、263-前定位板、264-后定位板、265-定位槽、266-滑板、267-定位轮、268-滑杆、269-第三弹簧、3-风冷装置、31-连接壳、32-均风主体、321-连接块、322-通风孔、323-固定环、324-固定架、325-密封环、326-密封气门钉、327-橡胶块、328-固定球、329-第四弹簧、33-导管、34-空气输送装置、35-连接管、36-导热管、37-导热杆、4-水冷装置。

具体实施方式

实施例1：

请参阅图1-14，本发明提供一种技术方案：

一种光刻机光源头组件，包括光源装置1、直准模组2、风冷装置3和水冷装置4，光源装置1后方与水冷装置4固定连接，光源装置1内设置有风冷装置3，光源装置1内一侧设置有直准模组2，光源装置1包括后板11、卡合主体15和夹持装置16，后板11一侧设有前板12，前板12内设有呈均匀分布的螺栓17，螺栓17一端与后板11螺旋连接，前板12内固定连接有灯盘13，前板12远离后板11的一侧设有固定壳14，直准模组2设置在固定壳14内，卡合主体15的个数共有两个，且卡合主体15固定在前板12的两侧，夹持装置16设置在卡合主体15外侧，夹持装置16的个数共有两个，且夹持装置16与前板12固定连接，夹持装置16另一侧贯穿后板11，通过此设置可以方便的将直准模组2固定在灯盘13前，同时可以对灯盘13进行防护，卡合主体15包括固定块151，固定块151一侧与固定壳14固定连接，固定块151一侧转动连接有连接杆152，连接杆152远离固定块151的一端固定连接有卡合杆153，卡合杆153设置在夹持装置16内，夹持装置16包括安装块161和夹持主体166，安装块161内设开设有滑槽162，安装块161所设滑槽162内设有定位杆164，定位杆164一端固定连接有固定板163，定位杆164另一端外侧固定在夹持主体166内，定位杆164靠近固定板163的一端外侧设有第一弹簧165，夹持主体166设置在安装块161内，通过此设置可以在固定壳14放置在前板12正前方合适位置后，转动连接杆152，使卡合杆153与夹持主体166相接触，然后按动卡合杆153，在卡合杆153的作用下推动夹持主体166移动，在卡合杆153底部与安装块161接触后，第一弹簧165的带动夹持主体166推动卡合杆153，实现对固定壳14的安装，夹持主体166包括夹持板1661，夹持板1661两侧均转动连接有卡合轮1662，卡合轮1662一侧与卡合杆153紧密贴合，卡合杆153一侧与夹持板1661紧密贴合，夹持板1661一侧固定连接有固定杆1663，固定杆1663另一端设置在安装块161内，固定杆1663外侧滑动连接有连接板1664，连接板1664与安装块161紧密贴合，固定杆1663一端外侧设有第二弹簧1665，通过此设置，在卡合杆153与卡合轮1662接触时，通过卡合轮1662的转动，使卡合杆153在夹持主体166表面移动更加稳定，方便对固定壳14进行安装，螺栓17的个数共有四个，且螺栓17在灯盘13外侧呈均匀分布，两个卡合主体15关于灯盘13中央位置处呈相互对称设置，两个夹持装置16关于灯盘13中央位置处呈相互对称设置，通过此设置可以可以从两侧对固定壳14进行定位，使固定壳14可以在卡合主体15和夹持装置16的共同作用下固定在前板12的一侧，在对灯盘13进行更换维护时，只需打开卡合主体15和夹持装置16即可将固定壳14取出，此时可以直接对灯盘13进行更换和维护。

如图1、2、7、8、9和10所示，直准模组2包括直准板21和定位装置26，直准板21两侧均固定连接有密封圈22，直准板21一侧设有前框23，直准板21另一侧设有后框24，前框23与后框24紧密贴合，后框24远离直准板21的一侧紧密贴合有限位框25，限位框25后方与后板11固定连接，定位装置26两个为一组设置在直准板21的四周，定位装置26一侧设置在前框23内，定位装置26另一侧设置在后框24内，通过此设置可以对直准板21进行定位和防护，通过密封圈22对直准板21进行定位和防护，定位装置26包括前限位板261和滑板266，前限位板261设置在前框23内，前限位板261一侧固定连接有前定位板263，前定位板263外侧设有后定位板264，后定位板264另一侧固定连接有后限位板262，后限位板262设置在后框24内，前定位板263两侧均开设有定位槽265，前定位板263所开设定位槽265内有定位轮267，定位轮267在滑板266内转动连接，定位轮267两侧内均设有滑杆268，滑杆268两端均与后定位板264固定连接，滑杆268远离滑板266的一端内外侧设有第三弹簧269，通过此设置可以将前定位板263和后定位板264分别贯穿前框23和后框24，之后在前定位板263插入后定位板264后，在第三弹簧269的作用下将定位轮267推入前定位板263所开设定位槽265内，对前定位板263进行定位，使前框23和后框24可以与密封圈22紧密贴合，对直准板21进行安装。

工作流程：此光刻机光源头组件在使用时，首先将此光刻机光源头组件固定在光刻机上合适位置，然后接通光刻机光源头组件和光刻机，之后通过光刻机的控制器控制灯盘13发光，之后灯盘13发射的光通过直准板21矫正进行投射，同时启动水冷装置4，此时水冷装置4内的冷却水对灯盘13的后方进行散热，在长时间使用导致灯盘13损坏故障时，直接将光源装置1从光刻机上拆除，然后分别向两侧拽动卡合杆153，此时圆形的卡合杆153在带动连接杆152在固定块151一侧转动的同时，推动卡合轮1662转动，此时卡合轮1662在夹持板1661表面转动，通过卡合杆153和卡合轮1662带动夹持板1661向一侧移动，夹持板1661通过定位杆164带动固定板163移动，此时第一弹簧165受力压缩，同时夹持板1661推动固定杆1663在连接板1664内滑动，第二弹簧1665受力压缩，在卡合杆153从安装块161内取出后，可以直接将固定壳14从前板12上取下，然后将固定灯盘13的螺丝取下，此时可以将灯盘13从后板11上取下，之后将新的灯盘13通过螺丝固定在后板11上，在需要对直准板21进行更换时，将直准模组2从固定壳14中取下，然后分别向相反的方向移动前框23和后框24，此时前框23和后框24分别带动前限位板261和后限位板262向相反的方向移动，此时前定位板263和后定位板264分别带动前定位板263和后定位板264向相反的方向移动，前定位板263在通过定位槽265推动定位轮267向远离前定位板263的方向移动，此时定位轮267在滑板266内转动到同时，推动滑板266在滑杆268外侧滑动，直到将前定位板263从后定位板264中取出，此时前框23与后框24分离，之后将新的直准板21放置在前框23与后框24之间，然后将前框23与后框24卡合在一起，此时前定位板263通过所设弧形一端推动定位轮267转动，此时定位轮267带动滑板266滑动，直到前定位板263所开设定位槽265移动到定位轮267的一侧，在第三弹簧269的作用下推动滑板266滑动，滑板266带动定位轮267进入前定位板263所开设定位槽265内，对前定位板263进行定位，从而通过前框23和后框24对直准板21进行夹持和定位，之后将组装完成的直准模组2放入固定壳14中，将固定壳14卡合在限位框25外侧，转动连接杆152，连接杆152带动卡合杆153转动，当卡合杆153与卡合轮1662接触时，向下按动卡合杆153，在卡合杆153的作用下卡合轮1662在夹持板1661两侧转动，此时夹持板1661向一侧移动，直到卡合杆153一侧与安装块161相接触，此时在第一弹簧165和第二弹簧1665的作用下推动卡合杆153向后板11方向移动，对灯盘13进行防护，同时对直准模组2进行定位，之后将光源装置1重新安装在光刻机内。

实施例2：

请参阅图1、2、11、12、13、14，本发明提供一种技术方案：

一种光刻机光源头组件，如图1、2、11、12、13和14所示，风冷装置3包括连接壳31和均风主体32，连接壳31的个数共有两个，且连接壳31与前板12固定连接，均风主体32与连接壳31固定连接，连接壳31一端固定连接有呈均匀分布的连接管35，连接管35另一端固定连接有呈均匀分布的导热管36，连接壳31另一端固定连接有呈均匀分布的导管33，导管33另一端固定连接有空气输送装置34，导热管36均匀的分布在灯盘13表面，导热管36内固定连接有呈均匀分布的导热杆37，导热杆37在灯盘13表面呈均匀分布，通过此设置可以方便的带动空气穿过导热管36，此时通过导热杆37和导热管36进入到导热管36内部的热量在空气的作用下被送出，实现对灯盘13所设灯珠进行散热，辅助水冷装置对灯盘13进行散热，减少灯盘13的热量，使灯盘13使用更加稳定，均风主体32包括连接块321，连接块321内开设有呈均匀分布的通风孔322，连接块321通过所开设通风孔322固定连接有固定环323，连接块321通过所开设通风孔322固定连接有固定架324，固定环323一侧固定连接有密封环325，固定环323内设有密封气门钉326，密封气门钉326贯穿固定架324，固定架324远离固定环323的一侧固定连接有橡胶块327，橡胶块327呈锥台形设置，橡胶块327外侧设有第四弹簧329，第四弹簧329另一端设有固定球328，固定球328内靠近橡胶块327的一侧与密封气门钉326固定连接，密封气门钉326贯穿橡胶块327，通过此设置可以空气进入连接壳31后，逐渐进入到连接块321内，之后随着连接壳31内的空气逐渐增多，连接壳31内气压增强，之后空气推动密封气门钉326移动，密封气门钉326带动固定球328推动第四弹簧329，同时密封气门钉326细长柄端在橡胶块327与固定架324内滑动，在密封气门钉326与密封环325不在接触后，空气穿过密封气门钉326，因为第四弹簧329为统一规格，其弹力基本相同，在受到压力后压缩的距离基本相同，从而使得多个导热管36内流通的空气基本相同，使散热更加均匀。

工作流程：在此光源装置1长时间使用后，打开空气输送装置34，此时前板12两侧的空气输送装置34一侧向连接壳31吹气，另一侧将连接壳31内的空气抽出，连接壳31内空气发生改变时，在其气压的作用下推动密封气门钉326移动，此时密封气门钉326带动固定球328移动，固定球328推动第四弹簧329受力压缩，此时空气通过固定球328、橡胶块327和固定架324，进入固定环323内之后从固定环323内穿过，在密封气门钉326的作用下向密封气门钉326的外侧穿过，通过弹力和空气压力，实现通过连接块321内的气压基本相同，此时热量通过导热杆37和导热管36将灯盘13正前方灯珠本体产生的热量导入到导热管36内，之后空气通过导热管36，将导热管36内加热后的空气送出加热管，实现风冷散热。

本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种光刻机光源头组件，包括光源装置（1）、直准模组（2）、风冷装置（3）和水冷装置（4），其特征在于：所述光源装置（1）后方与水冷装置（4）固定连接，所述光源装置（1）内设置有风冷装置（3），所述光源装置（1）内一侧设置有直准模组（2），所述光源装置（1）包括后板（11）、卡合主体（15）和夹持装置（16），所述后板（11）一侧设有前板（12），所述前板（12）内设有呈均匀分布的螺栓（17），所述螺栓（17）一端与后板（11）螺旋连接，所述前板（12）内固定连接有灯盘（13），所述前板（12）远离后板（11）的一侧设有固定壳（14），所述直准模组（2）设置在固定壳（14）内，所述卡合主体（15）的个数共有两个，且卡合主体（15）固定在前板（12）的两侧，所述夹持装置（16）设置在卡合主体（15）外侧，所述夹持装置（16）的个数共有两个，且夹持装置（16）与前板（12）固定连接，所述夹持装置（16）另一侧贯穿后板（11），所述卡合主体（15）包括固定块（151），所述固定块（151）一侧与固定壳（14）固定连接，所述固定块（151）一侧转动连接有连接杆（152），所述连接杆（152）远离固定块（151）的一端固定连接有卡合杆（153），所述卡合杆（153）设置在夹持装置（16）内，所述夹持装置（16）包括安装块（161）和夹持主体（166），所述安装块（161）内设开设有滑槽（162），所述安装块（161）所设滑槽（162）内设有定位杆（164），所述定位杆（164）一端固定连接有固定板（163），所述定位杆（164）另一端外侧固定在夹持主体（166）内，所述定位杆（164）靠近固定板（163）的一端外侧设有第一弹簧（165），所述夹持主体（166）设置在安装块（161）内。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述夹持主体（166）包括夹持板（1661），所述夹持板（1661）两侧均转动连接有卡合轮（1662），所述卡合轮（1662）一侧与卡合杆（153）紧密贴合，所述卡合杆（153）一侧与夹持板（1661）紧密贴合，所述夹持板（1661）一侧固定连接有固定杆（1663），所述固定杆（1663）另一端设置在安装块（161）内，所述固定杆（1663）外侧滑动连接有连接板（1664），所述连接板（1664）与安装块（161）紧密贴合，所述固定杆（1663）一端外侧设有第二弹簧（1665）。

3.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述螺栓（17）的个数共有四个，且螺栓（17）在灯盘（13）外侧呈均匀分布，两个所述卡合主体（15）关于灯盘（13）中央位置处呈相互对称设置，两个所述夹持装置（16）关于灯盘（13）中央位置处呈相互对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：直准模组（2）包括直准板（21）和定位装置（26），所述直准板（21）两侧均固定连接有密封圈（22），所述直准板（21）一侧设有前框（23），所述直准板（21）另一侧设有后框（24），所述前框（23）与后框（24）紧密贴合，所述后框（24）远离直准板（21）的一侧紧密贴合有限位框（25），所述限位框（25）后方与后板（11）固定连接，所述定位装置（26）两个为一组设置在直准板（21）的四周，所述定位装置（26）一侧设置在前框（23）内，所述定位装置（26）另一侧设置在后框（24）内。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述定位装置（26）包括前限位板（261）和滑板（266），所述前限位板（261）设置在前框（23）内，所述前限位板（261）一侧固定连接有前定位板（263），所述前定位板（263）外侧设有后定位板（264），所述后定位板（264）另一侧固定连接有后限位板（262），所述后限位板（262）设置在后框（24）内，所述前定位板（263）两侧均开设有定位槽（265），所述前定位板（263）所开设定位槽（265）内有定位轮（267），所述定位轮（267）在滑板（266）内转动连接，所述定位轮（267）两侧内均设有滑杆（268），所述滑杆（268）两端均与后定位板（264）固定连接，所述滑杆（268）远离滑板（266）的一端内外侧设有第三弹簧（269）。

6.根据权利要求1所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述风冷装置（3）包括连接壳（31）和均风主体（32），所述连接壳（31）的个数共有两个，且连接壳（31）与前板（12）固定连接，所述均风主体（32）与连接壳（31）固定连接，所述连接壳（31）一端固定连接有呈均匀分布的连接管（35），所述连接管（35）另一端固定连接有呈均匀分布的导热管（36），所述连接壳（31）另一端固定连接有呈均匀分布的导管（33），所述导管（33）另一端固定连接有空气输送装置（34），所述导热管（36）均匀的分布在灯盘（13）表面，所述导热管（36）内固定连接有呈均匀分布的导热杆（37），所述导热杆（37）在灯盘（13）表面呈均匀分布。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机光源头组件，其特征在于：所述均风主体（32）包括连接块（321），所述连接块（321）内开设有呈均匀分布的通风孔（322），所述连接块（321）通过所开设通风孔（322）固定连接有固定环（323），所述连接块（321）通过所开设通风孔（322）固定连接有固定架（324），所述固定环（323）一侧固定连接有密封环（325），所述固定环（323）内设有密封气门钉（326），所述密封气门钉（326）贯穿固定架（324），所述固定架（324）远离固定环（323）的一侧固定连接有橡胶块（327），所述橡胶块（327）呈锥台形设置，所述橡胶块（327）外侧设有第四弹簧（329），所述第四弹簧（329）另一端设有固定球（328），所述固定球（328）内靠近橡胶块（327）的一侧与密封气门钉（326）固定连接，所述密封气门钉（326）贯穿橡胶块（327）。