CN116412658A - 制绒设备硅片烘干系统 - Google Patents
制绒设备硅片烘干系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN116412658A CN116412658A CN202310428728.3A CN202310428728A CN116412658A CN 116412658 A CN116412658 A CN 116412658A CN 202310428728 A CN202310428728 A CN 202310428728A CN 116412658 A CN116412658 A CN 116412658A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- drying
- silicon wafer
- collecting box
- drying system
- gas treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 120
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 99
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 99
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 99
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 153
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 15
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 77
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 7
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 claims 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- 239000003513 alkali Substances 0.000 abstract description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 230000008569 process Effects 0.000 description 14
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N sodium oxide Chemical compound [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 6
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 4
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000010405 clearance mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910001948 sodium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006389 polyphenyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
- F26B21/004—Nozzle assemblies; Air knives; Air distributors; Blow boxes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B15/00—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form
- F26B15/10—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions
- F26B15/12—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions the lines being all horizontal or slightly inclined
- F26B15/18—Machines or apparatus for drying objects with progressive movement; Machines or apparatus with progressive movement for drying batches of material in compact form with movement in a path composed of one or more straight lines, e.g. compound, the movement being in alternate horizontal and vertical directions the lines being all horizontal or slightly inclined the objects or batches of materials being carried by endless belts
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本发明公开了制绒设备硅片烘干系统,关于硅片烘干技术领域,包括多个烘干炉,烘干炉上开设有通槽,通槽内设置有第一传送机构,制绒设备硅片烘干系统还包括排气机构、气体处理机构和收集箱,排气机构设置在烘干炉的上端,气体处理机构包括壳体,壳体设置在靠近排气机构的一侧,排气机构和气体处理机构相通,壳体内设置有多个加热管,与气体处理机构相匹配,用于收集气体处理机构产生的残渣。与现有技术相比,根据本发明的制绒设备硅片烘干系统能够通过第一烘干机构和吹风机构能够快速对硅片进行烘干,烘干过程中产生的有害气体能够排出,经过气体处理机构能够将碱和水分开,并分别对碱和水分开存储。
Description
技术领域
本发明是关于硅片烘干技术领域,特别是关于制绒设备硅片烘干系统。
背景技术
单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求。硅片生产是太阳能光伏产业链条中的一个重要环节,硅片产品需要进行严格的品质检查,硅片的外观形状直接影响太阳能电池的质量。
硅片经过溶液清洗、制绒、烘干后,才能被输送到后工段检测。烘干作为制绒后的一道工序,对硅片品质影响至关重要。硅片烘干原理主要硅片通过传送带被传送带具有高温度的烘干炉内,通过炙烤进行烘干。硅片在进行烘干的过程中,烘干炉内会产生大量的碱性液滴,碱性液滴经过高温被蒸发,然后再通过排气机构排出。现有的排气机构在排出具有碱性气体的过程中,不能够对碱性气体进行处理,直接排出,极容易造成环境污染。
发明内容
本发明的目的在于提供制绒设备硅片烘干系统,其能够通过第一烘干机构和吹风机构能够快速对硅片进行烘干;烘干过程中产生的有害气体能够排出,经过气体处理机构能够将碱和水分开,并分别对碱和水分开存储,从而避免气体直接排出对环境造成的影响;通过设置温度检测设备和喷头,能够对硅片进行定位,同时也可以快速对已经完成工序的硅片进行快速降温,从而避免硅片温度过高,不宜进入到下一个工序的情况。
为实现上述目的,本发明提供了制绒设备硅片烘干系统,包括多个烘干炉,所述烘干炉上开设有通槽,所述通槽内设置有第一传送机构,所述制绒设备硅片烘干系统还包括:
排气机构,所述排气机构设置在烘干炉的上端;
气体处理机构,所述气体处理机构包括壳体,所述壳体设置在靠近排气机构的一侧,所述排气机构和气体处理机构相通,所述壳体内设置有多个加热管;
收集箱,与气体处理机构相匹配,用于收集气体处理机构产生的残渣。
在一个或多个实施方式中,所述气体处理机构和收集箱之间设置有第二连接管,所述壳体的底壁设置有与第二连接管相匹配的流动面。
在一个或多个实施方式中,所述收集箱上还设置有液体收集箱,所述气体处理机构和液体收集箱之间还设置有第一连接管,所述第一连接管的中部设置有冷干设备。
在一个或多个实施方式中,所述收集箱的上端开设有第二通孔,所述第二连接管上固定连接有与第二通孔相匹配的密封盖,所述收集箱和密封盖为卡接。
在一个或多个实施方式中,所述收集箱的下端设置有多个移动轮,所述收集箱上还设置有把手。
在一个或多个实施方式中,所述烘干炉的两侧还设置有第二传送机构,所述第二传送机构用于在多个烘干炉之间传送硅片,所述第二传送机构的一侧设置有泵,所述第二传送机构上设置有与硅片相匹配的喷头,所述泵和喷头之间设置有第四连接管。
在一个或多个实施方式中,所述第一传送机构的下端还设置有第一烘干机构,所述第一烘干机构包括第一安装框和加热棒,所述加热棒设置在第一安装框的内部。
在一个或多个实施方式中,所述第一烘干机构的下端设置有与第一传送机构相匹配的吹风机构,所述吹风机构包括第二安装框和多个风扇,多个所述风扇设置在第二安装框的内部。
在一个或多个实施方式中,其中一个所述烘干炉的一侧设置有温度检测设备,所述温度检测设备用于检测硅片的状态。
在一个或多个实施方式中,所述温度检测设备和烘干炉之间还设置有调节杆,所述温度检测设备上还设置有。
与现有技术相比,根据本发明的制绒设备硅片烘干系统具有以下优点:
1)、通过第一烘干机构和吹风机构能够快速对硅片进行烘干;
2)、烘干过程中产生的有害气体能够排出,经过气体处理机构能够将碱和水分开,并分别对碱和水分开存储,从而避免气体直接排出对环境造成的影响;
3)、通过设置温度检测设备和喷头,能够对硅片进行定位,同时也可以快速对已经完成工序的硅片进行快速降温,从而避免硅片温度过高,不宜进入到下一个工序的情况。
附图说明
图1是根据本发明一实施方式的制绒设备硅片烘干系统的结构示意图一。
图2是根据本发明一实施方式的制绒设备硅片烘干系统的正视图。
图3是根据本发明一实施方式的制绒设备硅片烘干系统的结构示意图二。
图4是根据本发明一实施方式的制绒设备硅片烘干系统的半剖图一。
图5是根据本发明一实施方式的制绒设备硅片烘干系统的半剖图二。
图6是根据本发明一实施方式的收集箱处的结构示意图。
图7是根据本发明一实施方式的第一烘干机构的结构示意图。
图8是根据本发明一实施方式的第一烘干机构的半剖图。
主要附图标记说明:
1-烘干炉,101-排气机构,102-防护门,103-通槽,104-第一传送机构,2-气体处理机构,201-壳体,2011-流动面,202-加热管,3-第一连接管,301-连接口,4-第二连接管,5-第三连接管,6-温度检测设备,601-电源线,7-第二传送机构,8-泵,9-喷头,10-第四连接管,11-第一烘干机构,1101-第一安装框,1102-加热棒,12-吹风机构,1201-第二安装框,1202-风扇,13-冷干设备,14-收集箱,1401-移动轮,1402-液体收集箱,14021-第一通孔,1403-第二通孔,1404-把手,15-密封盖,1501-提手。
具体实施方式
下面结合附图,对本发明的具体实施方式进行详细描述,但应当理解本发明的保护范围并不受具体实施方式的限制。
除非另有其它明确表示,否则在整个说明书和权利要求书中,术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分,而并未排除其它元件或其它组成部分。
参图1~图2所示,根据本发明一实施方式的制绒设备硅片烘干系统,包括多个烘干炉1,烘干炉1内设置有多个加热组件,加热组件用于提升烘干炉1内部的温度,当硅片经过烘干炉1时,硅片上的水汽经高温,然后烘干。
硅片在烘干的过程中产生产生碱性液滴、气体等,碱性液滴经高温蒸发后随气体一起排出烘干炉1。
具体的,烘干炉1的上端设置有排气机构101,用于排出烘干炉1内的有害气体。排气机构101具体可以为抽气泵,只抽取烘干炉1中的气体。烘干炉1的一侧设置有气体处理机构2,气体处理机构2用于对抽取的烘干炉1内的空气进行处理。
参图1~图2所示,烘干炉1和气体处理机构2之间设置有第一连接管3,通过第一连接管3能够将排气机构101中的气体输送至气体处理机构2中,即排气机构101和气体处理机构2相通,气体处理机构2再通过对空气进行加热,从而达到对空气处理的目的。
优选的,排气机构101上可以设置过滤机构,过滤机构设置在烘干炉1的内部,即过滤机构设置在烘干炉1的前端,由于烘干炉1在进行硅片烘干的过程中,也可能会产生灰尘等杂质,过滤机构能够将灰尘等杂质进行过滤,从而避免灰尘造成排气机构101堵塞的情况。具体的,过滤机构可以为多层,过滤机构中的过滤棉通过盖体一体设置,当取出盖体时,同时将过滤棉取出,便于对过滤棉进行更换。
参图4所示,烘干炉1上开设有通槽103,通槽103内设置有第一传送机构104。第一传送机构104的两端还设置有第二传送机构7,第二传送机构7和第一传送机构104相匹配,第二传送机构7上的硅片能够传送至第一传送机构104上,第一传送机构104上的硅片能够传送至第二传送机构7上。一般情况下,硅片制作的过程中,需要经过多重工序,硅片则通过第二传送机构7和第一传送机构104进行移动,从而使硅片能够经过不同的工序。当硅片经过第一传送机构104时,烘干炉1内的高温空气,则能够对第一传送机构104进行烘干处理。
参图1~图5所示,气体处理机构2包括壳体201,壳体201设置在靠近排气机构101的一侧。壳体201为隔热性能比较好的材质制作而成,具体可以为铬制的壳体201,壳体201内设置有多个加热管202,加热管202用于对壳体201内部进行加热。由于排气机构101和壳体201相通,排气机构101将空气传送至壳体201中,壳体201将附带碱的空气进行高温处理,将碱进行固化,使碱和空气、水进行分离。
具体的,硅片在烘干的过程中,会产生氢氧化钠,氢氧化钠的分子式为2NaOH,经过加热后,生成氧化钠和水,即生成Na2O和H2O,Na2O为固体,能够直接在气体处理机构2内进行收集,H2O在高温环境下,会汽化,将H2O抽出,进行冷却后,H2O变成液体,从而能够对H2O和Na2O分离。
更进一步的,气体处理机构2内的温度一般在320~350℃之间,氢氧化钠分解的温度在318℃。因此,当温度高于318℃时,氢氧化钠才会分解,从而得到氧化钠和水。由于在对空气中的水分进行筛分时,需要将带有水蒸气的空气排出,排出空气的过程中,会气体处理机构2内空气温度降低,为避免回筛分水蒸气时造成的热量损失使气体处理机构2内的温度低于318℃,因此气体处理机构2内的温度一般高于318℃。从而能够使从排气机构101中进入的空气能够一直进行分解。
其中,气体处理机构2的下端设置有支腿,支腿用于隔热避免气体处理机构2的温度过高传送至烘干炉1上,导致烘干炉1的外表面过热的情况。
优选的,气体处理机构2为双层壳体制作而成,双层壳体之间设置有中空腔体,中空腔体内为真空状态,真空能够大幅度减少热交换的情况,同时还可以保证外层的壳体不易收到内部高温的影响。还可以在中空腔体之间设置多层隔温层,隔温层具体可以为聚苯板隔热层、石绵隔温层等,可以使其中的一种或者多种组合。
优选的,加热管202还可以为变频电热棒,壳体201的内部还可以设置温度检测机构,实时对壳体201内部的温度进行检测,同时,控制加热管202的开关以及加热管202的功率。当温度检测机构检测到壳体201内的温度过高时,通过温度检测机构降低加热管202的功率,从而能够达到降低壳体201内部的温度的情况,同时节约电能。当处理完壳体201内的水蒸气后,温度低于318℃,温度检测机构检测到之后,则增大加热管202的功率,使壳体201内的温度迅速上升。
参图3所示,烘干炉1的下端设置有与气体处理机构2相配的收集箱14,收集箱14和气体处理机构2之间设置有第二连接管4。收集箱14用于收集气体处理机构2内的残渣。
参图5所示,气体处理机构2内设置有流动面2011,流动面2011与第二连接管4相匹配,即残渣能够顺着流动面2011的方向滑落至第二连接管4中,通过第二连接管4滑落进收集箱14中进行存储。
具体的,参图3所示,收集箱14和第二连接管4之间为插接,插接的方式能够便于第二连接管4和收集箱14之间安装和拆卸,当收集箱14内中的残渣满了之后,直接对收集箱14进行更换即可。
更进一步的,收集箱14的上端开设有第二通孔1403,第二连接管4上固定连接有与第二通孔1403相匹配的密封盖15,收集箱14和密封盖15为卡接。密封盖15的两端还设置有连接耳,连接耳能够更便于密封盖15卡接在收集箱14上,连接耳的上端还设置有提手1501,通过提手1501能够便于将密封盖15从第二通孔1403中提出。
参图5~图6所示,收集箱14的下端设置有多个移动轮1401,通过移动轮1401能够便于收集箱14的移动,当收集箱14内的残渣满了之后,能够直接将收集箱14拉走,提升对残渣处理的便捷性。
优选的,收集箱14上还可以设置观察窗,通过观察窗能够观察收集箱14内部的残渣的多少,还可以在收集箱14的内部底板上设置承重板,在承重板和底板之间设置重力感应模块,收集箱14上设置与重力感应模块相匹配的警报装置,当收集箱14内的残渣的重量到达一定的重量之后,警报装置进行报警或者提醒。便于提醒工作人员对收集箱14进行更换。
优选的,收集箱14底壁可以为倾斜底壁,在收集箱14上设置与倾斜底壁相匹配的倒料门,通过倒料门能够快速将收集箱14内的残渣倒出,倾斜的底壁能够便于残渣倒出。
参图6所示,收集箱14上还设置有把手1404,通过把手1404能够便于推收集箱14,在移动收集箱14的过程中,节省力气。
参图6所示,收集箱14上还设置有液体收集箱1402,气体处理机构2和液体收集箱1402之间还设置有第三连接管5,气体处理机构2内的水蒸气能够通过第三连接管5进入到液体收集箱1402中。具体的,液体收集箱1402上开设有第一通孔14021,第三连接管5上设置有与第一通孔14021相匹配的连接口301,第一通孔14021和连接口301为螺纹连接,还可以为插接,能够便于安装和拆卸即可。
具体的,参图5所示,第三连接管5的中部设置有冷干设备13。当高温的水蒸气经过冷干设备13后,水蒸气能够凝结成水珠,水珠再进入到收集箱14中进行存储。高温空气经过冷干设备13后,也会变成正常的温度的空气,然后进入到液体收集箱1402中。
优选的,液体收集箱1402的上端还可以设置排气阀,通过排气阀将空气排出。同样的,液体收集箱1402上也可以设置观察窗和警报装置,用于检测液体收集箱1402内的液体。
参图2所示,第一传送机构104的下端还设置有第一烘干机构11和吹风机构12,第一烘干机构11能够对第一传送机构104的下端进行加热,即能够对硅片的下端进行加热,快速烘干硅片。吹风机构12能够将热风吹向硅片的下端,一定程度上能够加快硅片烘干的速度。
具体的,参图7~图8所示,第一烘干机构11包括第一安装框1101和加热棒1102,加热棒1102设置在第一安装框1101的内部。加热棒1102通过卡接的方式设置在第一安装框1101的内部,当其中一个加热棒1102发生损坏时,能够便于对加热棒1102进行更换。
优选的,第一烘干机构11滑动连接在烘干炉1内,能够便于将第一烘干机构11从吹风机构12中取出。从而便于对加热棒1102进行更换。
参图5所示,吹风机构12设置在第一烘干机构11的下端,吹风机构12包括第二安装框1201和多个风扇1202,多个风扇1202设置在第二安装框1201的内部。同样的,吹风机构12能够从烘干炉1内取出,当风扇1202发生损坏,也能够便于对风扇1202进行更换。
优选的,第一烘干机构11和第一传送机构104之间设置有过滤网,过滤网过滤残渣第一烘干机构11或吹风机构12产生的残渣,过滤网能够避免残渣附着在硅片上影响硅片质量的情况。
优选的,在通槽103的两端还可以设置硅片清理机构,硅片清理机构包括上下两个出风口和气泵,通过气泵能够让出风口出风,出风口斜置,出风口与硅片之间的夹角大于90°,能够对硅片表面的灰尘进行清理,同时还能够对通槽103的两端进行防护,减少灰尘从通槽103的两端进入到烘干炉1内部的情况。一定程度上能够保证烘干炉1内的干净程度,从而避免灰尘等杂质影响硅片质量的问题。
参图1所示,第二传送机构7设置在烘干炉1的两侧,第二传送机构7用于在多个烘干炉1之间传送硅片,即两个烘干炉1之间设置有第二传送机构7,两个烘干炉1的两侧分别设置有第二传送机构7。用于对硅片进行传送
第二传送机构7的一侧设置有泵8,第二传送机构7上设置有与硅片相匹配的喷头9,泵8和喷头9之间设置有第四连接管10。第四连接管10设置在第二传送机构7的前端,第四连接管10不会影响第二传送机构7正常传送硅片。当硅片从烘干炉1被传送出来之后,泵8启动,通过第四连接管10将气体传送只喷头9中,喷头9排出的气体能够对硅片进行定位,通过气动的方式改变硅片所在的位置,使硅片的位置摆正,由于为通过气动更正位置,也可以对硅片的温度进行降低。
具体的,喷头9上设置有感应器或时间继电器,当有硅片经过时,泵8才会启动,没有硅片经过第四连接管10,泵8则不启动,节约电能。
参图2所示,其中一个烘干炉1的一侧设置有温度检测设备6,温度检测设备6用于检测硅片的状态。具体的,温度检测设备6用于检测硅片表面的干净程度,同时还能够检测硅片的温度,温度检测设备6检测温度钱需要设置预值,当温度检测设备6检测到温度过高时,启动泵8。温度检测设备6设置在流水线最后一个烘干炉1上,当硅片经过温度检测设备6时,温度检测设备6检测到硅片的温度过高,启动泵8,泵8的功率大于正常的功率,便于对硅片进行快速降温处理。
优选的,第四连接管10的中部或内部还可以设置冷却机构,冷却机构能够降低第四连接管10的温度,从而降低喷头9喷出气体的温度,进而能提升硅片降温的速度。
参图2所示,温度检测设备6和烘干炉1之间还设置有调节杆,调节杆可以为万向连接轴,万向连接轴能够随便调整温度检测设备6所在的位置,从而能够使温度检测设备6能够对准硅片。温度检测设备6上还设置有601电源线,601电源线能够给温度检测设备6提供电源,601电源线的一端经过防护门102,防护门102上设置有与601电源线相匹配的通孔,因此601电源线远离温度检测设备6的一端设置在1中。
优选的,调节杆远离温度检测设备6的一端设置有吸盘,温度检测设备6通过吸盘设置在烘干炉1的上端,通过吸盘设置,能够随意更改温度检测设备6所在的位置,当温度检测设备6发生损坏时,还可以便于对温度检测设备6进行更换。
制绒设备硅片烘干系统的工作流程具体为:当硅片被传送至烘干炉1内时,烘干炉1内部的高温直接对硅片进行烘干处理,第一烘干机构11和吹风机构12配合,能够对硅片下端的进行快速烘干,同时还能够将带有碱性的气体向上吹,便于排气机构101将气体收集,气体收集到气体处理机构2中进行进行处理,通过高温分离H2O和Na2O,并别分对H2O和Na2O进行收集处理,收集箱14收集后的H2O和Na2O能够快速清理,当硅片被传送到最后一个烘干炉1的出口时,温度检测设备6能够对硅片进行检测,检测表面和其温度,如果硅片的温度过高,泵8和喷头9配合,能够对硅片进行定位的同时,还能够快速对硅片进行降温。
前述对本发明的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本发明限定为所公开的精确形式,并且很显然,根据上述教导,可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本发明的特定原理及其实际应用,从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本发明的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本发明的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。
Claims (10)
1.制绒设备硅片烘干系统,包括多个烘干炉,所述烘干炉上开设有通槽,所述通槽内设置有第一传送机构,其特征在于,所述制绒设备硅片烘干系统还包括:
排气机构,所述排气机构设置在烘干炉的上端;
气体处理机构,所述气体处理机构包括壳体,所述壳体设置在靠近排气机构的一侧,所述排气机构和气体处理机构相通,所述壳体内设置有多个加热管;
收集箱,与气体处理机构相匹配,用于收集气体处理机构产生的残渣。
2.如权利要求1所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述气体处理机构和收集箱之间设置有第二连接管,所述壳体的底壁设置有与第二连接管相匹配的流动面。
3.如权利要求1或2所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述收集箱上还设置有液体收集箱,所述气体处理机构和液体收集箱之间还设置有第一连接管,所述第一连接管的中部设置有冷干设备。
4.如权利要求3所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述收集箱的上端开设有第二通孔,所述第二连接管上固定连接有与第二通孔相匹配的密封盖,所述收集箱和密封盖为卡接。
5.如权利要求4所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述收集箱的下端设置有多个移动轮,所述收集箱上还设置有把手。
6.如权利要求1所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述烘干炉的两侧还设置有第二传送机构,所述第二传送机构用于在多个烘干炉之间传送硅片,所述第二传送机构的一侧设置有泵,所述第二传送机构上设置有与硅片相匹配的喷头,所述泵和喷头之间设置有第四连接管。
7.如权利要求1所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述第一传送机构的下端还设置有第一烘干机构,所述第一烘干机构包括第一安装框和加热棒,所述加热棒设置在第一安装框的内部。
8.如权利要求7所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述第一烘干机构的下端设置有与第一传送机构相匹配的吹风机构,所述吹风机构包括第二安装框和多个风扇,多个所述风扇设置在第二安装框的内部。
9.如权利要求1所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,其中一个所述烘干炉的一侧设置有温度检测设备,所述温度检测设备用于检测硅片的状态。
10.如权利要求9所述的制绒设备硅片烘干系统,其特征在于,所述温度检测设备和烘干炉之间还设置有调节杆,所述温度检测设备上还设置有电源线。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310428728.3A CN116412658A (zh) | 2023-04-20 | 2023-04-20 | 制绒设备硅片烘干系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310428728.3A CN116412658A (zh) | 2023-04-20 | 2023-04-20 | 制绒设备硅片烘干系统 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116412658A true CN116412658A (zh) | 2023-07-11 |
Family
ID=87049418
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310428728.3A Pending CN116412658A (zh) | 2023-04-20 | 2023-04-20 | 制绒设备硅片烘干系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116412658A (zh) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106024984A (zh) * | 2016-07-09 | 2016-10-12 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | 一种烘干烧结炉及烘干烧结方法 |
CN207542266U (zh) * | 2017-08-25 | 2018-06-26 | 苏州南北深科智能科技有限公司 | 一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机 |
CN110571164A (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-13 | 深圳市旭控科技有限公司 | 一种硅片生产流水线 |
CN111998678A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-11-27 | 苏州金章电子科技有限公司 | 一种光伏设备烧结炉用加热与冷却装置 |
CN113857125A (zh) * | 2021-09-28 | 2021-12-31 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 一种全自动硅片表面高效刷洗清洁装置及操作方法 |
-
2023
- 2023-04-20 CN CN202310428728.3A patent/CN116412658A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106024984A (zh) * | 2016-07-09 | 2016-10-12 | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 | 一种烘干烧结炉及烘干烧结方法 |
CN207542266U (zh) * | 2017-08-25 | 2018-06-26 | 苏州南北深科智能科技有限公司 | 一种用于加工太阳能硅片的烧结、抗光衰一体机 |
CN110571164A (zh) * | 2018-06-05 | 2019-12-13 | 深圳市旭控科技有限公司 | 一种硅片生产流水线 |
CN111998678A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-11-27 | 苏州金章电子科技有限公司 | 一种光伏设备烧结炉用加热与冷却装置 |
CN113857125A (zh) * | 2021-09-28 | 2021-12-31 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 一种全自动硅片表面高效刷洗清洁装置及操作方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106058652A (zh) | 一种用于潮湿多尘的室外环境的配电柜 | |
CN107912677A (zh) | 一种防污染的食品解冻装置 | |
CN110762984A (zh) | 一种锂电匣钵生产用干燥窑与辊道窑热量循环利用系统 | |
CN201281523Y (zh) | 节能环保涂布烘箱系统 | |
CN204902526U (zh) | 谷物干燥机 | |
CN116412658A (zh) | 制绒设备硅片烘干系统 | |
CN103822441A (zh) | 一种惰性气体循环的煤干燥方法 | |
CN111970881A (zh) | 一种空压站机柜的通风装置 | |
CN214426398U (zh) | 一种循环吹气式烘干槽 | |
CN108786301A (zh) | 能冷却的袋式脉冲除尘器 | |
CN208553459U (zh) | 一种能冷却的袋式脉冲除尘器 | |
CN208154952U (zh) | 一种方形真空干燥机设备 | |
CN207429949U (zh) | 印染定型机废气处理装置 | |
CN216779728U (zh) | 一种用于管式pecvd炉管的清扫设备 | |
CN110744164B (zh) | 一种加热效果好的回流焊装置 | |
CN214319731U (zh) | 一种高温窑炉余热回收装置 | |
CN209279598U (zh) | 一种纺织机的布料烘干装置 | |
CN208341267U (zh) | 一种电机转子滑环吹洗装置 | |
WO2021104543A2 (zh) | 一种3d打印件自动清洗设备 | |
CN205037778U (zh) | 一种铝铸造车间的余热综合利用系统 | |
CN210663791U (zh) | 一种制鞋用的节能烘箱 | |
TWM547423U (zh) | 乾燥除塵裝置 | |
CN219520775U (zh) | 一种钎焊炉的预热室 | |
CN215517520U (zh) | 一种热处理加工用的冷却装置 | |
CN221484117U (zh) | 一种物料干燥机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |