CN116400281A - 射频测试机的校准方法、射频测试机及射频测试系统 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及芯片测试领域，特别是涉及一种射频测试机的校准方法、射频测试机及射频测试系统，所述方法包括：基于所配置的各第一射频测试信号，获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值；基于各所述第一功率检测值以及各所述第二功率检测值，确定所述内部功率检测电路对于各所述第一射频测试信号的标定值；基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值，以及获取所述内部功率检测电路的第三功率检测值；基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。本发明提高了射频测试机的校准效率。
Description
技术领域
本申请涉及芯片测试领域，特别是涉及一种射频测试机的校准方法、射频测试机及射频测试系统。
背景技术
射频测试机作为芯片的测试设备，主要有产生激励信号、分析被测信号的功能。而作为信号产生单元的时候，如何产生我们需要的信号显得尤为重要，其中功率精度又是最基本和最重要的指标，直接关系到芯片测试的准确性。作为一个射频电路系统，由于器件的不一致性、器件的老化，温度的变化等因素的影响，即使是同样的平台同样的设计，也会表现出不同的特性。为了消除这些影响，每个设备出厂之前都要进行校准，将这些误差信息进行分析计算，并把这些信息存储到射频测试机中，当使用测试机进行芯片、模块测试时，根据需求调用相关信息进行硬件配置以获得幅度精确的信号。
目前射频测试机的校准技术，主要通过功率计进行校准，为了实现各个功率点的精度要求，校准的功率步进很小，而这些校准都需要基于外部功率计进行，功率计的校准还依赖校准板，因此整个校准过程效率较低。
发明内容
基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种射频测试机的校准方法、射频测试机及射频测试系统。
第一方面，本发明实施例提出一种射频测试机的校准方法，所述射频测试机连接外部功率检测电路，所述射频测试机包括依次连接的信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路，所述方法包括：
基于所配置的各第一射频测试信号，获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值；
基于各所述第一功率检测值以及各所述第二功率检测值，确定所述内部功率检测电路对于各所述第一射频测试信号的标定值；
基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值，以及获取所述内部功率检测电路的第三功率检测值；
基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。
在一实施例中，所述标定值基于所述第一功率检测值与所述第二功率检测值的第一差值所确定。
在一实施例中，所述基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值包括：
基于所配置的第二射频测试信号，确定对应的第一射频测试信号；
基于所述第一射频测试信号，确定各所述标定值中的标定值。
在一实施例中，所述第一射频测试信号的配置参数以及对应的标定值存储于第一校准表；所述基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值包括：
基于所配置的第二射频测试信号，确定所述第一校准表中与所述第二射频测试信号最接近的第一射频测试信号；
基于所述最接近的第一射频测试信号，确定所述第一校准表中所对应的目标标定值。
在一实施例中，所述基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，确定第四功率检测值；
基于所述第四功率检测值以及所述第二射频测试信号的第二目标功率值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。
在一实施例中，所述基于所述第四功率检测值以及所述第二射频测试信号的第二目标功率值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
获取所述第四功率检测值与所述第二射频测试信号的第二目标功率值的第二差值；
在所述第二差值大于或等于第一阈值的情况下，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整，并将所述第二目标功率值以及所述硬件参数存储于第二校准表。
在一实施例中，所述射频前端电路包括数控衰减器以及压控衰减器；所述在所述第二差值大于或等于第一阈值的情况下，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
在所述第二差值大于第二阈值的情况下，对所述数控衰减器的硬件参数进行调整，直到所述第二差值小于或等于第二阈值；
在所述第二差值小于或等于第二阈值的情况下，对所述压控衰减器的硬件参数进行调整，直到所述第二差值小于第一阈值。
在一实施例中，在所述获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值之后，所述方法还包括：
获取各所述第一功率检测值与各所述第一射频测试信号的第一目标功率值的第三差值；
在所述第三差值大于或等于第一阈值的情况下，调整所述射频前端电路的硬件参数直到所述第三差值小于第一阈值。
第二方面，本发明实施例提出一种射频测试机，所述射频测试机连接外部功率检测电路，所述射频测试机包括依次连接的信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路，以及与所述外部功率检测电路、信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路连接的主机，所述主机执行如第一方面所述的校准方法。
第三方面，本发明实施例提出一种射频测试系统，包括如第二方面所述的射频测试机以及与所述射频测试机连接的外部功率检测电路。
相比于现有技术，本发明具备以下发明效果：基于所配置的各第一射频测试信号，获取外部功率检测电路的各第一功率检测值以及内部功率检测电路的各第二功率检测值，基于各第一功率检测值以及各第二功率检测值，确定内部功率检测电路对于各第一射频测试信号的标定值，基于所配置的第二射频测试信号，确定各标定值中的目标标定值，以及获取内部功率检测电路的第三功率检测值，基于目标标定值以及第三功率检测值，对射频前端电路的硬件参数进行调整，本发明提高了射频测试机的校准效率。
附图说明
图1为本发明一实施例中射频测试系统的结构示意图；
图2为本发明一实施例中校准方法的流程示意图；
图3为本发明一实施例中目标标定值确定方法的流程示意图；
图4为本发明一实施例中目标标定值确定方法的具体流程示意图；
图5为本发明一实施例中硬件参数调整方法的流程示意图；
图6为本发明一实施例中硬件参数调整方法的具体流程示意图；
图7为本发明另一实施例中校准方法的流程示意图；
图8为本发明一实施例中校准方法的整体流程示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明的实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本发明应用于其他类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。
如本发明和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。
虽然本发明对根据本发明的实施例的系统中的某些模块做出了各种引用，然而，任何数量的不同模块可以被使用并运行在计算设备和/或处理器上。模块仅是说明性的，并且系统和方法的不同方面可以使用不同模块。
应当理解的是，当单元或模块被描述为“连接”、“耦接”其它单元、模块或块时，其可以指直接连接或耦接，或者与其它单元、模块或块通信，或者可以存在中间的单元、模块或块，除非上下文明确指明其它方式。本文所使用的术语“和/或”可包括一个或多个相关列出项目的任意与所有组合。
如图1所示，射频测试系统包括射频测试机1以及与射频测试机1连接的外部功率检测电路2。射频测试机1包括依次连接的信号发生电路10、射频前端电路20、内部功率检测电路30，以及与信号发生电路10、射频前端电路20、内部功率检测电路30连接的主机40，用于执行本实施例中的校准方法，以实现对射频测试机的功率校准。
现有技术中的射频测试机不包括内部功率检测电路，因此只能通过外部功率检测电路来对射频测试机的功率校准。考虑到外部功率检测电路所校准的功率步进很小，且外部功率检测电路的校准还依赖校准板，导致整个校准过程效率较低。
为解决上述技术问题，如图2所示，本发明实施例提出一种射频测试机的校准方法，包括：
S202：基于所配置的各第一射频测试信号，获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值。
为了获得射频测试机的最佳性能，一般会约束好射频前端电路中的链路的一些硬件参数，比如确定好目标功率值和目标频率值之后，走放大还是直通通道，衰减器设置多大等可以初步确定下来，从而实现对各第一射频测试信号的配置。
外部功率检测电路包括功率计，功率计配合校准板得到第一功率检测值，第一功率检测值为port口的实际功率值。例如功率计测得功率为P_out，校准板对应的校正值为loss，则第一功率检测值P_actual＝P_out+loss。
S204：基于各所述第一功率检测值以及各所述第二功率检测值，确定所述内部功率检测电路对于各所述第一射频测试信号的标定值。
通常情况下，内部功率检测电路的线性度、精度、一致性都不如外部功率检测电路。因此，如果要利用内部功率检测电路进行功率检测，首先需要用外部功率检测电路校准内部功率检测电路，也即标定内部功率检测电路，标定之后的内部功率检测电路，也就能达到标准检测功率的精度。
S206：基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值，以及获取所述内部功率检测电路的第三功率检测值；
S208：基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。
由于射频前端电路性能难控制、级间匹配难保证、制板问题、装配差异等因素，必定会带来一定的性能波动。校准的目的也正是将这些差异提取出来，再反馈到在射频前端电路各个器件的硬件参数上，确保射频测试机的功率精度满足应用需求。
在本实施例中，基于步骤S202-S204利用外部功率检测电路实现对内部功率检测电路的误差标定，以提高内部功率检测电路的检测精度，基于步骤S206-S208利用标定完成的内部功率检测电路实现对射频测试机的功率校准。
由于利用标定完成的内部功率检测电路进行功率校准，因此所配置的第一射频测试信号的数量可以减少。例如现有技术中利用外部功率检测电路校准时，第一射频测试信号的增益步进是1dB，而采用本实施例中的校准方法，第一射频测试信号的增益步进设置为10dB即可，校准功率点可以减少90％，校准效率大大提升。
在利用标定完成的内部功率检测电路进行功率校准的过程中，可以根据校准需求选择对应的第二射频测试信号进行校准即可，相比于现有技术中利用外部功率检测电路校准时需要对全功率点的射频测试信号进行校准，校准效率大大提升。
在利用标定完成的内部功率检测电路进行功率校准的过程中，由于不需要基于校准板，相比于现有技术中利用外部功率检测电路校准时需要利用校准板，校准效率大大提升。
由于内部功率检测电路设置在射频测试机内部，功率读取的速率比外部功率检测电路快，可以进一步提升校准效率。
在步骤S202中，利用硬件参数标定表配置的各第一射频测试信号。如表1所示，硬件参数标定表，指的是所有射频测试机一致的一张表，硬件参数标定表会随着射频测试机发布，保存在主机上固定的路径中。该表的存储内容例如包括目标功率(Target Power)、频率(Freq)、测试接口port、各个器件的配置，例如压控衰减器(VVA)、数控衰减器(DSA)的档位和放大器(PA)通道是否bypass。本案例的硬件参数表可以参考如下，实际应用时需要根据具体情况设定标定表中的频率和功率的步进，达到最佳的校准效率和精度的效果。
表1
在步骤S204中，所述标定值基于所述第一功率检测值与所述第二功率检测值的第一差值所确定。第一射频测试信号的配置参数以及对应的标定值存储于第一校准表，如表2所示。
表2
除了内部功率检测电路和外部功率检测电路本身的偏差以外，它们之间的路径也有差异，因此进入到各自的功率本身也是不一致的，这两部分的偏差作为一个整体会被记录到第一校准表中。比如在某频率和功率下，内部功率检测电路检测到的功率是3dBm，外部功率检测电路检测到的功率是0dBm，那么它们之间的差值就是3dB，在校准时，内部功率检测电路检测到的功率是X，则可以推出port口的真实的功率是X-3，从而脱离外部功率检测电路实现校准功能。
需要说明的是，第一校准表中的第一射频测试信号的配置参数以及对应的标定值可重复使用，每次利用内部功率检测电路进行校准时，只需从第一校准表中获取对应的目标标定值。
为了确保第一校准表的数据适用于内部功率检测电路的校准，需要合理设计频率和功率步进。内部功率检测电路和外部功率检测电路差异主要是开关和外部cable线，它们的性能差异(主要是损耗)对于功率不敏感，但是对频率很敏感，所以频率步进应该尽量小，而功率步进可以很大，甚至取一个功率点足以，实际使用根据具体情况调整即可。
在步骤S206中，如图3所示，所述基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值包括：
S302：基于所配置的第二射频测试信号，确定对应的第一射频测试信号；
S304：基于所述第一射频测试信号，确定各所述标定值中的标定值。
具体的，如图4所示，所述基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值包括：
S402：基于所配置的第二射频测试信号，确定所述第一校准表中与所述第二射频测试信号最接近的第一射频测试信号；
S404：基于所述最接近的第一射频测试信号，确定所述第一校准表中所对应的目标标定值。
例如，第一校准表中的第一射频测试信号(Freq，PortPower，Port)为(50，-20，0)、(50，-10，0)、(50，0，0)……，若配置的第二射频测试信号为(50，-3，0)，则从第一校准表中选择最接近的第一射频测试信号(50，0，0)。若最接近的第一射频测试信号有两个，则选择其中一个。
在步骤S208中，如图5所示，所述基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
S502：基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，确定第四功率检测值；
S504：基于所述第四功率检测值以及所述第二射频测试信号的第二目标功率值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。
第二目标功率值由硬件参数标定表中读取或上位机下发。
假设第三功率检测值为P_in，目标标定值为deta，则第四功率检测值P_port＝P_in+deta。通过对射频前端电路的硬件参数调整，使得第四功率检测值P_port与第二目标功率值相等或接近。
具体的，如图6所示，所述基于所述第四功率检测值以及所述第二射频测试信号的第二目标功率值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
S602：获取所述第四功率检测值与所述第二射频测试信号的第二目标功率值的第二差值；
S604：在所述第二差值大于或等于第一阈值的情况下，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整，并将所述第二目标功率值以及所述硬件参数存储于第二校准表。
可以理解的是，在第二差值大于或等于第一阈值的情况下，则需要对射频前端电路的硬件参数进行调整；反之，则不需要对射频前端电路的硬件参数进行调整。
校准生成的硬件参数则保存在第二校准表中，第二校准表的存储内容例如包括功率(Power)、频率(Freq)、测试接口(port)、压控衰减器(VVA)和数控衰减器(DSA)的值。如表3所示，第二校准表中的频率和功率可以由用户实际使用灵活来定，比如客户只需要用到10个点，那么校准这10个点即可；也可以提供一下默认的配置进行校准，比如频率step10MHz，功率step 0.5dB遍历视频测试机所有覆盖的频段和功率范围。
在一实施例中，所述射频前端电路包括数控衰减器以及压控衰减器。
在所述第二差值大于第二阈值的情况下，对所述数控衰减器的硬件参数进行调整，直到所述第二差值小于或等于第二阈值；在所述第二差值小于或等于第二阈值的情况下，对所述压控衰减器的硬件参数进行调整，直到所述第二差值小于第一阈值。
其中，第一阈值和第二阈值可以根据实际校准精度进行调整。
数控衰减器的步进一般都是0.5/0.25dB，压控衰减器控制的衰减精度可以达到0.01dB，本实施例中先对数控衰减器的硬件参数进行粗略调整，再对压控衰减器的硬件参数进行精确调整，在保证校准精度的前提下提升校准效率。
在一实施例中，如图7所示，在所述获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值之后，所述方法还包括：
S702：获取各所述第一功率检测值与各所述第一射频测试信号的第一目标功率值的第三差值；
S704：在所述第三差值大于或等于第一阈值的情况下，调整所述射频前端电路的硬件参数直到所述第三差值小于第一阈值。
在该实施例中，利用外部功率检测电路对射频测试机进行校准，并保存射频前端电路的硬件参数。如果第二射频测试信号已经进行了外部功率检测电路的校准，则不需要利用内部功率检测电路进行校准。
图8为本发明实施例的整体流程示意图，校准流程如下：
Step 1：开始校准，初始化射频测试机，将整个射频测试机的各个器件状态复位到约定的默认状态；
Step 2：根据硬件参数标定表配置各第一射频测试信号；
Step 3：获取外部功率检测电路的各第一功率检测值以及内部功率检测电路的各第二功率检测值，基于各第一功率检测值以及各第二功率检测值，确定内部功率检测电路对于各第一射频测试信号的标定值，并将各标定值存储于第一校准表；
Step 4：根据硬件参数标定表配置第二射频测试信号；
Step 5：根据第一校准表确定的目标标定值deta；
Step 6：获取内部功率检测电路的第三功率检测值P_in，根据目标标定值确定第四功率检测值P_port＝P_in+deta；
Step 7:计算第四功率检测值P_port与第二目标功率值P_target的第二差值P_ERROR＝P_port-P_target，并与第一阈值P_limit比较，若P_ERROR>＝P_limit，且P_ERROR>第二阈值P’_limit，则对数控衰减器的硬件参数进行调整，直到第二差值P_ERROR＝<第二阈值P’_limit，或调整次数超出设定值；
Step 8:对压控衰减器的硬件参数进行调整，直到P_ERROR＝<P_limit，则校准成功，并保存调整后的硬件参数于第二校准表。若无法满足P_ERROR＝<P_limit，则校准失败；
Step 9:重复Step 4～8，直到针对所有第二射频测试信号均完成校准。
应该理解的是，虽然上述流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，上述流程图中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
本发明实施例还提供了一种射频测试机，所述射频测试机连接外部功率检测电路，所述射频测试机包括依次连接的信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路，以及与所述外部功率检测电路、信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路连接的主机，所述主机执行如上述实施例所述的校准方法。
关于射频测试机的具体限定可以参见上文中对于校准方法的限定，在此不再赘述。
本发明实施例还提供了一种射频测试系统，包括如上述实施例所述的射频测试机以及与所述射频测试机连接的外部功率检测电路。
关于射频测试系统的具体限定可以参见上文中对于校准方法的限定，在此不再赘述。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(Read-OnlyMemory，ROM)、磁带、软盘、闪存或光存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(RandomAccessMemory，RAM)或外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(StaticRandomAccessMemory，SRAM)或动态随机存取存储器(DynamicRandomAccessMemory，DRAM)等。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种射频测试机的校准方法，所述射频测试机连接外部功率检测电路，所述射频测试机包括依次连接的信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路，其特征在于，所述方法包括：
基于所配置的各第一射频测试信号，获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值；
基于各所述第一功率检测值以及各所述第二功率检测值，确定所述内部功率检测电路对于各所述第一射频测试信号的标定值；
基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值，以及获取所述内部功率检测电路的第三功率检测值；
基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标定值基于所述第一功率检测值与所述第二功率检测值的第一差值所确定。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值包括：
基于所配置的第二射频测试信号，确定对应的第一射频测试信号；
基于所述第一射频测试信号，确定各所述标定值中的标定值。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一射频测试信号的配置参数以及对应的标定值存储于第一校准表；所述基于所配置的第二射频测试信号，确定各所述标定值中的目标标定值包括：
基于所配置的第二射频测试信号，确定所述第一校准表中与所述第二射频测试信号最接近的第一射频测试信号；
基于所述最接近的第一射频测试信号，确定所述第一校准表中所对应的目标标定值。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
基于所述目标标定值以及所述第三功率检测值，确定第四功率检测值；
基于所述第四功率检测值以及所述第二射频测试信号的第二目标功率值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述第四功率检测值以及所述第二射频测试信号的第二目标功率值，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
获取所述第四功率检测值与所述第二射频测试信号的第二目标功率值的第二差值；
在所述第二差值大于或等于第一阈值的情况下，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整，并将所述第二目标功率值以及所述硬件参数存储于第二校准表。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述射频前端电路包括数控衰减器以及压控衰减器；所述在所述第二差值大于或等于第一阈值的情况下，对所述射频前端电路的硬件参数进行调整包括：
在所述第二差值大于第二阈值的情况下，对所述数控衰减器的硬件参数进行调整，直到所述第二差值小于或等于第二阈值；
在所述第二差值小于或等于第二阈值的情况下，对所述压控衰减器的硬件参数进行调整，直到所述第二差值小于第一阈值。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取所述外部功率检测电路的各第一功率检测值以及所述内部功率检测电路的各第二功率检测值之后，所述方法还包括：
获取各所述第一功率检测值与各所述第一射频测试信号的第一目标功率值的第三差值；
在所述第三差值大于或等于第一阈值的情况下，调整所述射频前端电路的硬件参数直到所述第三差值小于第一阈值。
9.一种射频测试机，所述射频测试机连接外部功率检测电路，所述射频测试机包括依次连接的信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路，以及与所述外部功率检测电路、信号发生电路、射频前端电路以及内部功率检测电路连接的主机，所述主机执行如权利要求1至权利要求8任一项所述的校准方法。
10.一种射频测试系统，包括如权利要求9所述的射频测试机以及与所述射频测试机连接的外部功率检测电路。
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