CN116328482B - 一种含氟化合物的气流的处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种含氟化合物的气流的处理装置，该装置属于废气处理技术领域，包括主箱体，所述主箱体内设置有废气进气管和废气排气管，所述主箱体内顺序连接有等离子火炬、反应室、蒸汽反应炉以及洗涤室，所述蒸汽反应炉与所述废气进气管连通有混合组件，所述主箱体内底部设有对废气吸热的水槽，所述水槽上方连通有换热器，所述换热器包括内部设置的降温组件，所述水槽内设有对废气扰动的导流组件。本发明通过导流组件加速水对热气吸热效果，并通过对换热器的改进提高废气换热效率，有利于后续洗涤室处理气流，大大提高了含氟废气处理效果。

Description

一种含氟化合物的气流的处理装置

技术领域

本发明属于废气处理装置技术领域，具体涉及一种含氟化合物的气流的处理装置。

背景技术

PFC指的是全氟化合物，采用等离子消除法已经被证明是一种有效的使PFC成为较少危害的物质的方法，已知的等离子消除技术相对比较复杂，并具有较高的能量要求，该技术不仅要求加热水蒸气到至少150°C，而且要求排放气流接下来传输通过热交换器进行冷却，然后传输到湿式气体洗涤器，洗涤器的效率随着温度上升下降，现有的对加热后废气换热冷却的换热器换热效率差，且需要大功率气泵类装置对气流抽出，有较大的能源消耗。

美国发明专利，公开号US20060013745A1，公开了增强型PFC废气处理系统。该发明包括冷凝管，催化剂处理单元，水处理单元和集水箱；通过在前段冷凝冷凝管以处理由复合处理设备（热电型+水净化型）产生的水蒸气，反应后的物料进入催化剂处理装置，在催化剂处理装置中通入全氟化合物(PFC)气体，使其保持干燥，催化剂处理单元对含有全氟化合物(PFC)的气体进行解离，解离产生的副产物在进入水处理单元时被转化为对人体无害的气体。并具有降温功能；然后将气体排放到大气中，以降低半导体工业的污染对环境的危害，该发明在以下技术方案上存在改进空间，热气冷凝后形成水珠容易存留在螺旋状的冷凝管中，形成高湿度低压环境，不利于气流通过；底部集水箱内废水始终处于静止状态，随着低压环境的形成，水对废气的溶解度和吸热效果会降低，不利于后续洗涤室对气体的处理。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能高效对加热后废气气冷却吸热，提高废气处理效率，且降低装置整体能源消耗的一种含氟化合物的气流的处理装置。

本发明为实现上述目的所采取的技术方案为：

一种含氟化合物的气流的处理装置，包括主箱体，主箱体顶部设置有废气进气管和废气排气管，主箱体内设置有等离子火炬、反应室、水槽以及洗涤室，主箱体外设置有蒸汽反应炉，蒸汽反应炉包括穿过主箱体的蒸汽管，主箱体内设置有混合组件，蒸汽管与废气进气管连通到混合组件，水槽上方连接有换热器，洗涤室与废气排气管和换热器连接，水槽内可转动设置有导流组件，导流组件位于换热器下方，且水槽内填充有不淹没导流组件的水。含氟废气经过废气进气管进入混合组件，同时水蒸气经过蒸汽管进入混合组件与废气混合，通过等离子火炬进入反应室形成废气产物，水槽中的水溶解废弃产物中的部分氟化氢并去除固体分子，随后废气进入换热器中进行冷却，并输送到洗涤室进行处理剩余废弃产物，最终气体从废气排出管排出，导致组件对进入水槽的气体导流进入换热器，加速废气处理效率。

优选地，混合组件包括连接外壳，连接外壳顶部设有第一管口，连接外壳侧方设有第二管口，第一管口连接废气进气管，第二管口连接蒸汽管，连接外壳内设有穿插底部的通气管，通气管与等离子火炬连接，通气管连接有通气基体，通气基体侧壁间隔开设通气口，通气基体固定有支撑柱，支撑柱转动连接有导流扇叶。废气从顶部第一管口进入连接外壳，并带动导流扇叶旋转，使废气形成螺旋气流并沿连接外壳内侧壁向下流动，水蒸汽从侧方第二管口进入连接外壳内腔，与螺旋状的废气混合，有利于通过提高废气与蒸汽的混合度，提高废气在通过等离子火炬的反应效果，降低反应不充分产生不良副产物的几率，同时，旋转的废气气流有利于降低与横向流入到蒸汽的冲击，避免形成紊流造成废气回流，降低废气处理效率，气流混合后经过侧方通气口进入通气基体，再经过通气管向下输送至等离子火炬进行热解，有利于避免废气在未与水蒸气反应后直接进入等离子火炬热解，形成不易处理的产物，废气中携带的固体颗粒在上方废气旋流的带动下能沿连接外壳内壁落下至通气基体底部，降低固体颗粒堵塞管道的几率，同时通气基体对底部颗粒拦截，降低颗粒上扬堵塞通气口的几率。

优选地，换热器包括同轴上下布设的第一基体和第二基体，第一基体与第二基体侧壁均开设流通槽，第一基体与第二基体之间连接有主输送管，第一基体侧方环绕连接有第一腔体，第二基体侧方环绕连接有第二腔体，第一腔体与第二腔体之间连通设置有多个副输送管，副输送管内设有螺旋状的冷凝管，第二基体底部通过管道与水槽连通。气流从底部的第二基体进入，部分气流经过主输送管流至第一基体，另一部分气流经过第二基体的流通槽进入第二腔体，通过各个副输送管向上流动并被冷凝管冷却降温，环绕设置的副输送管提高了换热效率和换热的均衡性，从主输送管流出的气流形成第一基体与第一腔体内的压强差，有利于加速冷凝后的气流从副输送管流出至第一基体并进入洗涤室速率，在不需要抽气泵体的前提下提高了废气处理效率，节省了装置整体的能源消耗，螺旋状的冷凝管能对通过的废气导流，一方面有利于气流通过副输送管，另一方面增加废气与冷凝管的接触面，提高冷却效果，有利于后续洗涤室对废气的处理效率，同时，螺旋状的冷凝管有利于降低热量向副输送管管壁传递，有利于减少热量对主箱体内装置的影响，第二基体的倾斜壁能对上升热流导流，有利于气流进入各个副输送管。

优选地，主输送管包括同轴布设且连通的第一管体和第二管体，第一管体的管内径大于第二管体的管内径，第一管体与第二基体顶部连通，第二管体上方末端穿过第一基体底部，且第二管体的顶端水平高度位于第一基体内开设的流通槽上方。管内径较小的第二管体加速气流的通过，且第二管体末端的位置高度能在第一基体上方形成向上气流，有利于引导第一腔体内气流通过流通槽进入第一基体，避免第二管体流出的气流直接通过流通槽进入第一腔体，阻碍第一腔体内气流输出。

优选地，第一管体内设置有降温组件，降温组件包括环绕设置在第一管体内的金属板，金属板为薄板，任一金属板上阵列开设有圆孔，相邻的金属板之间连接有弹簧。金属板对流过主输送管的气流降温，避免主输送管输出气流与副输送管输出气流温差过大形成液态废水，降低废气输出效率，气流经过圆孔时产生空气震动，有利于金属板上冷凝水珠掉落，避免主输送管内形成潮湿低压环境，降低引流效果，且圆孔减少了金属板的用材，节约成本，弹簧加固相邻金属板的连接，且能将任一金属板的震动同步传递至相邻金属板，引起多个金属板同步抖动并弯曲，一方面提高附着水珠掉落几率，另一方面通过弯曲的金属板对废气导流形成旋流，加速气流通过速度，提高废气处理效率。

优选地，导流组件包括固定于水槽内底面的底座，底座内通过轴承可转动设置有接收管，接收管底部封口且在侧方底部连通有多个弯管，接收管侧壁连环绕固定有多个连接架，相隔的连接架内侧固定有扰流板，任一扰流板上阵列布设通水孔，接收管顶部通过连接架固定有滤网。进入水槽的废气横向流动并作用扰流板，使接收管在底座上轴向旋转，带接收管可接取换热器冷凝滴落的水，并在旋转离心作用下从弯管排出至下层水体，降低水体温度，同时扰流板能旋转扰动水体，并通过通水孔产生在水下的密集气泡，提高水体吸收废气中物质的能力，同时扰流板能扰动水体上方气流流动，一方面形成压强差，加速水槽中气流进入换热器的速率，提高废气处理效率，另一方面扰流板提高引起水体上方废气流动性，有利于缓解低压环境从而提高水体对废气物质的溶解度，提高后续处理效果，滤网拦截未被水体吸附的颗粒杂质，避免杂质进入堵塞主输送管和副输送管。

优选地，等离子火炬与反应室之间连接有导热管，蒸汽管位于主箱体内的管体部分缠绕在导热管外侧，导热管外侧包裹设置有隔温壳，隔温壳上下封口且开设有能使蒸汽管通过的孔体。等离子火炬热解废气时产生高温，高温通过导热管传递至缠绕的蒸汽管，能辅助提高蒸汽管内气流的温度，有利于降低蒸汽反应炉的功率，节省能源，隔温盒对散发热气留存，一方面提高对蒸汽管内蒸汽的加热效率，另一方面减少热量溢出影响一侧的散热器散热功能。

优选地，洗涤室底部通过U型管道与废气排气管之间连接有螺旋冷却管。螺旋冷却管通过延长处理后废气的流通路径，提高对排出废气的冷却效果，同时有利于大型颗粒的截流，保证从废气输出管流出的废气能被更好利用。

本发明由于采用了混合组件对废气混合处理，并利用改进的换热器对高温废气导流冷却，因为具有以下有益效果：混合组件能有效混合初始废气和水蒸气，提高热化反应效果，有利于后续处理；混合组件能对废气中颗粒导流过滤，降低颗粒堵塞换热器的几率；换热器通过内部结构形成气压差，带动气流被均衡冷凝，不需抽吸装置，节省能源；降温组件通过金属板的震动时水珠掉落，避免低压环境阻流；导流组件扰动增加水体对废气产物溶解度以及提高吸热效果。因此，本发明是一种能高效对加热后废气气冷却吸热，提高废气处理效率，且降低装置整体能源消耗的一种含氟化合物的气流的处理装置。

附图说明

图1为装置整体示意图；

图2为主箱体示意图；

图3为混合组件示意图；

图4为换热器示意图；

图5为冷凝管示意图；

图6为降温组件示意图；

图7为导流组件示意图。

附图标号：主箱体1；废气进气管10；废气排气管11；等离子火炬12；反应室13；蒸汽反应炉14；蒸汽管140；水槽15；洗涤室16；混合组件2；连接外壳20；第一管口21；第二管口22；通气管23；通气基体24；通气口25；支撑柱26；导流扇叶27；换热器3；第一基体31；第二基体32；主输送管34；第一管体341；第二管体342；第一腔体35；第二腔体36；副输送管37；冷凝管38；降温组件4；金属板40；圆孔41；弹簧42；导流组件5；底座50；接收管52；弯管53；连接架54；扰流板55；通水孔56；滤网57；导热管6；隔温壳60；螺旋冷却管7。

具体实施方式

以下结合具体实施方式和附图对本发明的技术方案作进一步详细描述：

显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见附图1-附图2，一种含氟化合物的气流的处理装置，包括主箱体1，主箱体1顶部设置有废气进气管10和废气排气管11，主箱体1内设置有等离子火炬12、反应室13、水槽15以及洗涤室16，其中反应室13内部是以耐火隔热材料构筑形成，等离子火炬12位于反应室13上方且二者连通，水槽15固定于主箱体1内底部并与反应室13连通，主箱体1外设置有蒸汽反应炉14，蒸汽反应炉14包括穿过主箱体1的蒸汽管140，主箱体1内设置有混合组件2，蒸汽管140与废气进气管10连通到混合组件2，水槽15上方连接有换热器3，洗涤室16与废气排气管11和换热器3连接，水槽15内可转动设置有导流组件5，导流组件5位于换热器3下方，且水槽15内填充有不淹没导流组件5的水。

引入含氟废气经过废气进气管10进入混合组件2，水蒸气反应炉产生的水蒸气自蒸汽管140进入混合组件2，并与废气混合，混合气体进入等离子火炬12加热所形成的高温环境后反应，并反应室13中瞬间被热解，形成一些简单易于处理的分子和原子，热解后的高温气流进入水槽15内，水槽15内底部填充的水对高温热气吸热，且能溶解废弃产物中的部分氟化氢并去除固体分子，随后吸热后的废气进入换热器3中进行冷却，并输送到洗涤室16进行处理剩余废弃产物，最终气体从废气排出管排出。水槽15内设置的导流组件5能旋转扰动水体，提高水体对废气燃烧产生的氟化氢气体的吸收，水槽15最终以底部排水的方式将废水排出。

参见附图3，混合组件2包括连接外壳20，连接外壳20顶部设有第一管口21，连接外壳20侧方设有第二管口22，第一管口21连接废气进气管10，第二管口22连接蒸汽管140，连接外壳20内设有穿插底部的通气管23，通气管23与等离子火炬12连接，通气管23连接有通气基体24，通气基体24侧壁间隔开设通气口25，通气基体24固定有支撑柱26，支撑柱26转动连接有导流扇叶27。

废气从顶部第一管口21进入连接外壳20，并带动导流扇叶27旋转，使废气形成螺旋气流并沿连接外壳20内侧壁向下流动，水蒸汽从侧方第二管口22进入连接外壳20内腔，与螺旋状的废气混合，有利于通过提高废气与蒸汽的混合度，提高废气在通过等离子火炬12的反应效果，降低反应不充分产生不良副产物的几率，同时，旋转的废气气流有利于降低与横向流入到蒸汽的冲击，避免形成紊流造成废气回流，降低废气处理效率，气流混合后经过侧方通气口25进入通气基体24，再经过通气管23向下输送至等离子火炬12进行热解，有利于避免废气在未与水蒸气反应后直接进入等离子火炬12热解，形成不易处理的产物，废气中携带的固体颗粒在上方废气旋流的带动下能沿连接外壳20内壁落下至通气基体24底部，降低固体颗粒堵塞管道的几率，同时通气基体24对底部颗粒拦截，降低颗粒上扬堵塞通气参见附图4-附图5换热器3包括同轴上下布设的第一基体31和第二基体32，第一基体31与第二基体32侧壁均开设流通槽，第一基体31与第二基体32之间连接有主输送管34，第一基体31侧方环绕连接有第一腔体35，第二基体32侧方环绕连接有第二腔体36，第一腔体35与第二腔体36之间连通设置有多个副输送管37，副输送管37内设有螺旋状的冷凝管38，第二基体32底部通过管道与水槽15连通。

气流从底部的第二基体32进入，部分气流经过主输送管34流至第一基体31，另一部分气流经过第二基体32的流通槽进入第二腔体36，通过各个副输送管37向上流动并被冷凝管38冷却降温，环绕设置的副输送管37提高了换热效率和换热的均衡性，从主输送管34流出的气流形成第一基体31与第一腔体35内的压强差，有利于加速冷凝后的气流从副输送管37流出至第一基体31并进入洗涤室16速率，在不需要抽气泵体的前提下提高了废气处理效率，节省了装置整体的能源消耗，螺旋状的冷凝管38能对通过的废气导流，一方面有利于气流通过副输送管37，另一方面增加废气与冷凝管38的接触面，提高冷却效果，有利于后续洗涤室16对废气的处理效率，同时，螺旋状的冷凝管38有利于降低热量向副输送管37管壁传递，有利于减少热量对主箱体1内装置的影响，第二基体32的倾斜壁能对上升热流导流，有利于气流进入各个副输送管37。

主输送管34包括同轴布设且连通的第一管体341和第二管体342，第一管体341的管内径大于第二管体342的管内径，第一管体341与第二基体32顶部连通，第二管体342上方末端穿过第一基体31底部，且第二管体342的顶端水平高度位于第一基体31内开设的流通槽上方。

管内径较小的第二管体342加速气流的通过，且第二管体342末端的位置高度能在第一基体31上方形成向上气流，有利于引导第一腔体35内气流通过流通槽进入第一基体31，避免第二管体342流出的气流直接通过流通槽进入第一腔体35，阻碍第一腔体35内气流输出。

参见附图6，第一管体341内设置有降温组件4，降温组件4包括环绕设置在第一管体341内的金属板40，金属板40为薄板，任一金属板40上阵列开设有圆孔41，相邻的金属板40之间连接有弹簧42。

金属板40对流过主输送管34的气流降温，避免主输送管34输出气流与副输送管37输出气流温差过大形成液态废水，降低废气输出效率，气流经过圆孔41时产生空气震动，有利于金属板40上冷凝水珠掉落，避免主输送管34内形成潮湿低压环境，降低引流效果，且圆孔41减少了金属板40的用材，节约成本，弹簧42加固相邻金属板40的连接，且能将任一金属板40的震动同步传递至相邻金属板40，引起多个金属板40同步抖动并弯曲，一方面提高附着水珠掉落几率，另一方面通过弯曲的金属板40对废气导流形成旋流，加速气流通过速度，提高废气处理效率。

参见附图7，导流组件5包括固定于水槽15内底面的底座50，底座50内通过轴承可转动设置有接收管52，接收管52底部封口且在侧方底部连通有多个弯管53，接收管52侧壁连环绕固定有多个连接架54，相隔的连接架54内侧固定有扰流板55，任一扰流板55上阵列布设通水孔56，接收管52顶部通过连接架54固定有滤网57。

进入水槽15的废气横向流动并作用扰流板55，使接收管52在底座50上轴向旋转，带接收管52可接取换热器3冷凝滴落的水，并在旋转离心作用下从弯管53排出至下层水体，降低水体温度，同时扰流板55能旋转扰动水体，并通过通水孔56产生在水下的密集气泡，提高水体吸收废气中物质的能力，同时连接架54能扰动水体上方气流流动形成向上的旋转气流，一方面形成气流中心位置相对其他位置的压强差，加速水槽15中气流向上进入换热器3的速率，提高废气通过装置被处理的效率，另一方面扰流板55提高引起水体上方废气的流动性，有利于缓解低压环境从而提高水体对废气物质的溶解度，提高后续处理效果，从反应室13进入水槽15的废气携带固体颗粒，部分被水体吸附，部分夹杂在废气中并在连接架54转动作用下向上流动，滤网57拦截未被水体吸附的颗粒杂质，避免杂质进入堵塞主输送管34和副输送管37堵塞气流，保证装置处理废气的正常运行。

等离子火炬12与反应室13之间连接有导热管6，蒸汽管140位于主箱体1内的管体部分缠绕在导热管6外侧，导热管6外侧包裹设置有隔温壳60，隔温壳60上下封口且开设有能使蒸汽管140通过的孔体。等离子火炬12热解废气时产生高温，高温通过导热管6传递至缠绕的蒸汽管140，能辅助提高蒸汽管140内气流的温度，有利于降低蒸汽反应炉14的功率，节省能源，隔温盒对散发热气留存，一方面提高对蒸汽管140内蒸汽的加热效率，另一方面减少热量溢出影响一侧的散热器散热功能。

洗涤室16底部通过U型管道与废气排气管11之间连接有螺旋冷却管7。螺旋冷却管7通过延长处理后废气的流通路径，提高对排出废气的冷却效果，同时有利于大型颗粒的截流，保证从废气输出管流出的废气能被更好利用。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种含氟化合物的气流的处理装置，包括主箱体（1），所述主箱体（1）顶部设置有废气进气管（10）和废气排气管（11），所述主箱体（1）内设置有等离子火炬（12）、反应室（13）、水槽（15）以及洗涤室（16），所述等离子火炬（12）位于所述反应室（13）上方且二者连通，所述水槽（15）固定于所述主箱体（1）内底部并与所述反应室（13）连通，

其特征是：所述主箱体（1）外设置有蒸汽反应炉（14），所述蒸汽反应炉（14）包括穿过所述主箱体（1）的蒸汽管（140），所述主箱体（1）内设置有混合组件（2），所述蒸汽管（140）与所述废气进气管（10）连通到所述混合组件（2），所述水槽（15）上方连接有换热器（3），所述洗涤室（16）与所述废气排气管（11）和所述换热器（3）连接，所述水槽（15）内可转动设置有导流组件（5），其中，所述导流组件（5）位于所述换热器（3）下方，且水槽（15）内填充有不淹没所述导流组件（5）的水，

所述混合组件（2）包括连接外壳（20），所述连接外壳（20）顶部设有第一管口（21），所述连接外壳（20）侧方设有第二管口（22），所述第一管口（21）连接所述废气进气管（10），所述第二管口（22）连接所述蒸汽管（140），所述连接外壳（20）内设有穿插底部的通气管（23），所述通气管（23）与所述等离子火炬（12）连接，所述通气管（23）连接有通气基体（24），所述通气基体（24）侧壁间隔开设通气口（25），所述通气基体（24）固定有支撑柱（26），所述支撑柱（26）转动连接有导流扇叶（27），废气从顶部所述第一管口（21）进入所述连接外壳（20），并带动所述导流扇叶（27）旋转，使废气形成螺旋气流并沿所述连接外壳（20）内侧壁向下流动，

所述导流组件（5）包括固定于所述水槽（15）内底面的底座（50），所述底座（50）内通过轴承可转动设置有接收管（52），所述接收管（52）底部封口且在侧方底部连通有多个弯管（53），所述接收管（52）侧壁环绕固定有多个连接架（54），相隔的所述连接架（54）内侧固定有扰流板（55），任一所述扰流板（55）上阵列布设通水孔（56），所述接收管（52）顶部通过所述连接架固定有滤网（57），

所述通气基体（24）位于所述通气管（23）顶部，所述通气基体（24）具有顶壁，所述支撑柱（26）设于所述通气基体（24）的顶壁上方，

所述通气基体（24）具有小端向上的锥形侧壁，所述通气口（25）开设于所述锥形侧壁，所述导流扇叶（27）设于所述支撑柱（26）顶部，所述滤网（57）设于所述接收管（52）外侧，

所述第二管口（22）的水平高度位于所述锥形侧壁与所述导流扇叶（27）之间。

2.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述换热器（3）包括同轴上下布设的第一基体（31）和第二基体（32），所述第一基体（31）与所述第二基体（32）侧壁均开设流通槽，所述第一基体（31）与所述第二基体（32）之间连接有主输送管（34），所述第一基体（31）侧方环绕连接有第一腔体（35），所述第二基体（32）侧方环绕连接有第二腔体（36），所述第一腔体（35）与所述第二腔体（36）之间连通设置有多个副输送管（37），所述副输送管（37）内设有螺旋状的冷凝管（38），所述第二基体（32）底部通过管道与所述水槽（15）连通。

3.根据权利要求2所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述主输送管（34）包括同轴布设且连通的第一管体（341）和第二管体（342），所述第一管体（341）的管内径大于所述第二管体（342）的管内径，所述第一管体（341）与所述第二基体（32）顶部连通，所述第二管体（342）上方末端穿过所述第一基体（31）底部，且所述第二管体（342）的顶端水平高度位于所述第一基体（31）内开设的所述流通槽上方。

4.根据权利要求3所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述第一管体（341）内设置有降温组件（4），所述降温组件（4）包括环绕设置在所述第二管体（342）内的金属板（40），所述金属板（40）为薄板，任一所述金属板（40）上阵列开设有圆孔（41），相邻的所述金属板（40）之间连接有弹簧（42）。

5.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述等离子火炬（12）与所述反应室（13）之间连接有导热管（6），所述蒸汽管（140）位于所述主箱体（1）内的管体部分缠绕在所述导热管（6）外侧，所述导热管（6）外侧包裹设置有隔温壳（60），所述隔温壳（60）上下封口且开设有能使所述蒸汽管（140）通过的孔体。

6.根据权利要求1所述的一种含氟化合物的气流的处理装置，其特征是：所述洗涤室（16）底部通过U型管道与所述废气排气管（11）之间连接有螺旋冷却管（7）。