CN116325464A - 电源装置、电源单元、试验装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供电源装置、电源单元、试验装置。多个通道的电源单元(200)分别具备根据控制信号(Vctrl)在正极输出(OUTP)与负极输出(OUTN)之间产生输出电压(Vi)的输出级(210)、以及生成表示输出电压(Vi)的电压检测信号(Vsi)的电压检测器(220)。作为多个通道之一的主通道的电源单元(200＿1)的反馈信号生成部(230)从作为多个通道的剩余通道的从通道的电源单元(200＿2～200＿N)接收电压检测信号(Vs2～VsN)，生成基于全部通道的电压检测信号(Vs1～VsN)的反馈信号(Vfb)。反馈控制器(240)生成控制信号(Vctrl)，使得反馈信号(Vfb)接近目标值(Vref)。从通道的输出级(210)基于在主通道中生成的控制信号(Vctrl)进行动作。

Description

电源装置、电源单元、试验装置
技术领域
本公开涉及向器件供给电源电压或电源电流的电源装置。
背景技术
近年来，以节能化为目的，通过高速地切换高电压而能够进行高效率的电力转换的SiC(碳化硅)FET(Field-Effect Transistor)、GaN(氮化镓)HEMT(High ElectronMobility Transistor)等功率器件的研究开发正在盛行。与此相伴，施加高电压的器件试验的需要也增大，试验时间缩短的要求变强。在这些器件试验中，需要施加1000V的高电压，根据器件的不同也有时施加2000V的高电压，并且需要施加高精度的直流电压。
在试验装置用的电源装置的最高输出电压不满足应向负载供给的高电压的情况下，需要将多个通道的电源装置(以下称为电源单元)串联连接(以下为堆叠连接)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-138557号公报
专利文献2：日本特表2013-535949号公报
发明内容
发明要解决的课题
图1是高电压电源100R的框图。参照图1，高电压电源100R具备堆叠连接的多个通道CH1～CHN的电源单元110＿1～110＿N。各通道的电源单元110具有初级侧P和次级侧S，初级侧P与次级侧S隔着变压器、电容器等隔离屏障112而绝缘。多个电源单元110＿1～110＿N的初级侧P的接地端子GND彼此被共同地连接。
在电源单元110的次级侧S设置有正极输出OUTP和负极输出OUTN，在正极输出OUTP与负极输出OUTN之间设置有输出级120。在图1的结构中，全部通道独立地进行动作，第i个(i＝1～N)通道的输出级120被恒压控制，使得自身的输出电压Vi接近目标值VREF。
第i个(1≦i≦N-1)通道的电源单元110＿i的负极输出OUTN与第i+1个通道的电源单元110＿(i+1)的正极输出OUTP连接。第1个通道的电源单元110＿1的正极输出OUTP与负载1连接，第N个通道的电源单元110的负极输出OUTN被接地。
向负载1的两端之间供给的高电压VOUTH是各通道的输出级120的产生电压V1～VN之和，由以下的式表示。
VOUTH＝Σ1：NVi
在V1～VN分别被稳定化为VREF的稳定状态下，输出电压VOUTH成为N×VREF。
说明将多个通道的电源单元堆叠连接的情况下的问题。图2(a)是高电压电源的输出电压的波形图(模拟结果)，图2(b)是示出堆叠级数N与稳定时间(settling time)之间的关系的图。需要说明的是，电压波形通过除以稳定后的电压电平而归一化。"模拟(simulation)"示出从图2(a)的波形中得到的堆叠级数N与稳定时间之间的关系，越增加堆叠级数N，则稳定时间变得越长。另一方面，如"预期(expectation)"所示，期望稳定时间与堆叠级数N无关地为固定。
本公开的一方案是在上述状况下完成的，其例示的目的之一在于，提供一种缩短了稳定时间的高电压电源。
用于解决课题的方案
本公开的某个方案的电源装置具备被堆叠连接的多个通道的电源单元。多个通道的电源单元分别具备：正极输出和负极输出；输出级，其根据控制信号，在正极输出与负极输出之间产生输出电压；以及电压检测器，其生成表示输出电压的电压检测信号。作为多个通道之一的主通道的电源单元还具备：反馈信号生成部，其从作为多个通道的剩余通道的从通道的电源单元接收电压检测信号，生成基于全部通道的电压检测信号的反馈信号；以及反馈控制器，其生成控制信号，使得反馈信号接近目标值。全部通道的输出级基于由主通道的反馈控制器生成的控制信号进行动作。
本公开的某个方案是电源单元。该电源单元能够堆叠多个而构成电源装置。电源单元具备：正极输出和负极输出；输出级，其根据控制信号，在正极输出与负极输出之间产生输出电压；电压检测器，其生成表示输出电压的电压检测信号；反馈信号生成部，其在设定为主通道时成为有效，生成基于全部通道的电压检测信号的反馈信号；反馈控制器，其在设定为主通道时成为有效，生成控制信号，使得反馈信号接近目标值；以及接口电路，其在设定为主通道时，从其他通道接收电压检测信号，并且向其他通道发送控制信号，在设定为从通道时，从主通道接收控制信号，并且向主通道发送电压检测信号。
需要说明的是，在方法、装置、系统等之间相互置换了以上的构成要素的任意的组合、本公开的构成要素、表述而得到的方案作为本公开的方案也是有效的。
发明效果
根据本公开的某个方案，能够缩短堆叠级数较多时的稳定时间。
附图说明
图1是高电压电源的框图。
图2(a)是高电压电源的输出电压的波形图(模拟结果)，图2(b)是示出堆叠级数N与稳定时间之间的关系的图。
图3是图1的高电压电源的等效电路图。
图4是示出具备实施方式的电源装置的试验装置的框图。
图5是示出实施例1的主通道的电源单元的结构例的框图。
图6是实施例2的电源单元的框图。
图7(a)、(b)是示出主模式、从模式中的图6的电源单元的状态的图。
图8是示出电源单元的具体的结构例的框图。
图9是将图8的电源单元组合了两个而得到的电源装置的动作波形图。
具体实施方式
(实施方式的概要)
对本公开的几个例示的实施方式的概要进行说明。该概要作为后述的详细说明的前置，以实施方式的基本理解为目的，简化地说明一个或多个实施方式的几个概念，不限定发明或公开的广度。另外，该概要不是所考虑的所有实施方式的概括性概要，并不限定实施方式的不可缺少的构成要素。为了方便，“一实施方式”有时用于指代本说明书中公开的一个实施方式(实施例、变形例)或多个实施方式(实施例、变形例)。
首先，对本发明人针对堆叠级数N越大则稳定时间越长的原因而研究的结果进行说明。
图3是图1的高电压电源100R的等效电路图。如图1所示，各通道的电源单元110在初级侧P的接地端子GND与次级侧S的负极输出OUTN之间存在隔离电容CISO。如图3所示，隔离电容CISO从输出级120被视为静电电容负载，堆叠的级数(通道数)N越增加，则静电电容负载越大。
静电电容负载的大小按照每个通道而不同，因此，稳定性能按照每个通道具有偏差。该稳定性能的偏差成为高电压电源100R的输出电压VOUTH的稳定时间变长的原因之一。
此外，在电源单元110(输出级120)大多安装有电流钳位功能(过电流保护功能)。具体而言，关于电源单元110的输出级120，在其输出电流比规定的极限值低的状态下，恒压控制是有效的，但在输出电流超过极限值时，恒压控制成为无效，输出电流被限制为极限值(也称为电流钳位控制或恒流控制)。
在存在静电电容负载的状态下进行电压施加时，向静电电容负载流入冲击电流。各输出级120的输出电流是流向负载的负载电流与冲击电流的合计，而冲击电流的大小有时按照每个通道不同。即，在第一级的通道中看不到隔离电容CISO，因此难以产生冲击电流，与此相对，在第二级以后的通道中能够看到静电电容CISO，因此容易产生冲击电流。
在一部分通道中产生较大的冲击电流时，该通道的输出级120的动作模式从恒压控制转变为电流钳位控制。当电流钳位控制与恒压控制并存时，如图2(a)所示，高电压电源100R的输出电压VOUTH出现拐点，波形失真。而且，堆叠级数越增加，则应充电的静电电容越增加，因此，输出电压VOUTH上升的倾斜度变小，所以稳定时间变长。
以下，对用于抑制稳定时间的增加的技术进行说明。
一实施方式的电源装置具备堆叠连接的多个通道的电源单元。多个通道的电源单元分别具备正极输出和负极输出、根据控制信号而在正极输出与负极输出之间产生输出电压的输出级、以及生成表示输出电压的电压检测信号的电压检测器。作为多个通道之一的主通道(Master channel)的电源单元还具备：反馈信号生成部，其从作为多个通道的剩余通道的从通道(Slave channel)的电源单元接收电压检测信号，生成基于全部通道的电压检测信号的反馈信号；以及反馈控制器，其生成控制信号，使得反馈信号接近目标值。全部通道的输出级基于由主通道的反馈控制器生成的控制信号进行动作。
根据该结构，多个通道的电源单元的输出级基于相同的控制信号进行动作。因此，能够消除每个通道的稳定性能的偏差，由此，能够抑制在增加了通道数量时稳定时间增加。
在一实施方式中也可以是，主通道的电源单元还具备电流检测器，该电流检测器生成表示输出级的输出电流的电流检测信号。反馈控制器也可以在电流检测信号超过规定的极限值时，生成控制信号，使得电流检测信号接近极限值。
电流钳位控制由主通道主导且在全部通道中同时成为有效。因此，能够防止电流钳位控制与恒压控制混在一起，能够抑制稳定时间变长。
多个通道的电源单元分别也可以具备反馈信号生成部和反馈控制器，并且被同样地构成。也可以是，各电源单元能够选择主模式和从(slave)模式，在设定为主模式时，使反馈信号生成部和反馈控制器有效化，在设定为从模式时，使反馈信号生成部和反馈控制器无效化。需要说明的是，“使某个电路组件无效化”不仅包括不使该组件进行动作的情况，也可以包括即便使其进行动作也通过切断或屏蔽其输出等而不使用的情况。
通过准备多个相同的电源单元，重组连接关系，并适当地设定模式，由此，能够使负载的个数变化。例如，在存在N个电源单元的情况下，如果堆叠N个并将其中的一个设为主模式、将剩余的部分设为从模式，则能够向一个负载供给电力。或者，如果将N个全部设为主模式并独立地使用，则能够向N个负载供给电力。
反馈信号也可以是全部通道的电压检测信号的平均值。由此，能够考虑到全部通道的输出级、电压检测器的特性的偏差而生成准确的电压。
主通道也可以位于多个通道中的最上级。通过将冲击电流最少的最上级设为主通道，难以施加电流钳位，能够缩短稳定时间。
一实施方式的电源单元能够堆叠多个而构成电源装置。电源单元具备：正极输出和负极输出；输出级，其根据控制信号，在正极输出与负极输出之间产生输出电压；电压检测器，其生成表示输出电压的电压检测信号；反馈信号生成部，其在设定为主通道时成为有效，生成基于全部通道的电压检测信号的反馈信号；反馈控制器，其在设定为主通道时成为有效，生成控制信号，使得反馈信号接近目标值；以及接口电路，其在设定为主通道时，从其他通道接收电压检测信号，并且向其他通道发送控制信号，在设定为从通道时，从主通道接收控制信号，并且向主通道发送电压检测信号。
根据该结构，在堆叠了多个通道的情况下，全部的电源单元的输出级基于相同的控制信号进行动作。因此，能够消除每个通道的稳定性能的偏差，由此，能够抑制在增加了通道数量时稳定时间增加。另外，通过准备多个相同的电源单元，重组连接关系，并适当地设定模式，从而能够使负载的个数变化。
(实施方式)
以下，参照附图对实施方式进行说明。对各图所示的相同或等同的构成要素、构件、处理标注相同的标号，适当省略重复的说明。另外，实施方式并不限定发明，只是例示，实施方式所记载的全部特征及其组合不一定是发明的本质特征。
在本说明书中，“构件A与构件B连接的状态”除了包括构件A与构件B在物理上直接连接的情况之外，还包括构件A与构件B经由对它们的电连接状态不产生实质影响或者不损害通过它们的结合而起到的功能、效果的其他构件而间接连接的情况。
同样，“构件C设置在构件A与构件B之间的状态”除了包括构件A与构件C或者构件B与构件C直接连接的情况之外，还包括经由对它们的电连接状态不产生实质影响或者不损害通过它们的结合而起到的功能、效果的其他构件而间接连接的情况。
图4是示出具备实施方式的电源装置100的试验装置2的框图。试验装置2对DUT(被试验器件)1施加电压信号、电流信号等试验信号，对DUT1的响应进行测定。DUT1的种类没有特别限定，但高耐压功率晶体管、功率模块等需要进行超过1000V这样的高电压的电压施加的器件、或者包括这样的器件的电路、或者电路系统作为本试验装置2的试验对象是合适的。
试验装置2具备向DUT1供给电源信号的电源装置100。电源信号典型的是稳定化为规定的电压电平的电压信号VOUTH。需要说明的是，在图4中，向DUT1直接供给了电源信号VOUTH，但不限于此，该电源信号VOUTH也可以被供给到DUT1的周边电路、驱动DUT1的电路、成为与DUT1的接口的电路。
试验装置2除了具备电源装置100之外，也可以具备电压传感器、电流传感器、信号发生器、驱动器、比较器、A/D转换器、D/A转换器等，但它们对应于DUT1的种类、试验项目，在图4中省略。
电源装置100具备堆叠连接的多个N通道(CH1～CHN)的电源单元200＿1～200＿N。各电源单元200具有正极输出OUTP和负极输出OUTN。电源单元200与图1的电源单元110同样地具有被绝缘的初级侧和次级侧，但图4中仅示出次级侧的结构。负极输出OUTN成为次级侧的基准电位(接地)。
第i个(1≦i≦N-1)通道的电源单元110＿i的负极输出OUTN与第i+1个通道的电源单元110＿(i+1)的正极输出OUTP连接。第1个通道的电源单元110＿1的正极输出OUTP与负载1连接，第N个通道的电源单元110的负极输出OUTN被接地。
多个通道的电源单元200分别具备输出级210、电压检测器220。第i个(i＝1～N)电源单元200＿i的输出级210根据控制信号Vctrl而在正极输出OUTP与负极输出OUTN之间产生输出电压Vi。另外，第i个电源单元200＿i的电压检测器220生成表示对应的输出电压Vi的电压检测信号Vsi。
在本实施方式中，多个N通道CH1～CHN中的一个通道被设定为主通道，剩余通道被设定为从通道。不限于此，但在图4中，第1个通道CH1是主通道，第2个～第N个通道CH2～CHN是从通道。
主通道与从通道之间能够进行信号的收发。从通道的电源单元200＿2～200＿N将电压检测信号Vs1～VsN发送到主通道的电源单元200＿1。
主通道的电源单元200＿1除了具备输出级210和电压检测器220之外还具备反馈信号生成部230和反馈控制器240。
反馈信号生成部230从从通道的电源单元200＿2～200＿N接收电压检测信号Vs2～VsN，生成基于全部通道CH1～CHN的电压检测信号Vs1～VsN的反馈信号Vfb。例如反馈信号Vfb也可以是多个电压检测信号Vs1～VsN的单纯平均值。需要说明的是，反馈信号Vfb不限于此。
例如，在多个通道的电源单元200＿1～200＿N存在偏差的情况下，也可以利用考虑了偏差的系数，取得加权平均。
向反馈控制器240输入目标值Vref。反馈控制器240对控制信号Vctrl的信号电平(大小)进行反馈控制，使得反馈信号Vfb接近目标值Vref。
由反馈控制器240生成的控制信号Vctrl被供给到主通道的输出级210。进而，该控制信号Vctrl从主通道的电源单元200＿1被传输到从通道的电源单元200＿2～200＿N。然后，全部通道CH1～CHN的输出级210基于由主通道CH1的反馈控制器240生成的控制信号Vctrl进行动作。
以上是电源装置100的基本结构。
根据该结构，多个通道CH1～CHN的电源单元200＿1～200＿N的输出级210基于相同的控制信号Vctrl进行动作。因此，能够消除每个通道的稳定性能的偏差，由此，能够抑制在增加了通道数量N时稳定时间增加。
本公开作为图4的框图、电路图被理解，或者涉及到从上述的说明导出的各种装置、方法，不限定于特定的结构。以下，为了有助于理解发明的本质、动作并且使它们变得清楚而非为了缩窄本发明的范围，对更具体的结构例、实施例进行说明。
(实施例1)
图5是示出实施例1的主通道的电源单元200＿1的结构例的框图。该电源单元200＿1具有电流钳位功能。具体而言，电源单元200＿1除了具备图4的电源单元200＿1之外还具备电流检测器250。电流检测器250生成表示输出级210的输出电流IOUT的电流检测信号Is1。该电流检测信号Is1被输入到反馈控制器240。
反馈控制器240在电流检测信号Is1比规定的极限值低的状态下，如上述那样生成控制信号Vctrl，使得反馈信号Vfb接近目标值Vref(恒压控制)。另一方面，在电流检测信号Is1超过极限值的状态下，恒压控制成为无效，生成控制信号Vctrl，使得电流检测信号Is1接近极限值(电流钳位控制)。
即便在与电流钳位功能相关的硬件仅设置于主通道或者如后述那样被设置的情况下，在从通道中也使该硬件无效化。
在主通道中电流检测信号Is1超过极限值时，生成电流钳位控制用的控制信号Vctrl，由此，全部通道的输出级210进行动作。即，电流钳位控制由主通道主导且在全部通道中同时成为有效。因此，能够防止在图1的结构中产生的电流钳位控制与恒压控制混在一起，能够抑制稳定时间变长。
需要说明的是，如参照图3说明的那样，在堆叠多个通道的情况下，最靠高电位侧的通道难以受到隔离电容CISO的影响，因此，可以说难以产生冲击电流。因此，在对主通道安装电流钳位功能的情况下，通过将难以产生冲击电流的最上级的通道设为主通道，从而难以施加电流钳位，因此，能够进一步缩短稳定时间。
(实施例2)
主通道的电源单元200和从通道的电源单元200也可以从一开始就设计为不同的结构，但如以下说明那样，也可以作为相同的结构而构成为能够切换作为主通道进行动作时的模式与作为从通道进行动作时的模式。
图6是实施例2的电源单元200的框图。该电源单元200能够以主通道、从通道的双方进行使用。电源单元200具备模式选择器260和多路转接器(multiplexer，开关)270。
模式选择器260生成模式控制信号MODE，该模式控制信号MODE表示在以主通道使用时为主模式，在以从通道使用时为从模式。模式控制信号MODE被输入到反馈信号生成部230、反馈控制器240、电流检测器250的使能(enable)端子，这些组件在模式控制信号MODE表示主模式时成为使能，在表示从模式时成为禁用。
在多路转接器270的一个输入节点连接相同的电源单元200内的反馈控制器240的输出。另外，能够向多路转接器270的另一个输入节点输入在其他的电源单元200中生成的控制信号Vctrl。多路转接器270在模式控制信号MODE表示主模式时，选择相同的电源单元200内的控制信号(内部控制信号)Vctrl＿int，在表示从模式时，选择由其他的电源单元200生成的来自外部的控制信号Vctrl＿ext。
另外，电源单元200能够将在其内部生成的控制信号Vctrl＿int、电压检测信号Vsi向外部输出。另外，电源单元200能够接收在外部生成的控制信号Vctrl＿ext、电压检测信号Vsi。
图7(a)、(b)是示出主模式、从模式中的图6的电源单元200的状态的图。在图7(a)、(b)中，以单点划线表示成为禁用的组件、信号线。
图8是示出电源单元200的具体的结构例的框图。该电源单元200的控制系统以数字电路的架构被安装，检测信号、控制信号是数字信号。
输出级210包括D/A转换器212和功率放大器214。输出级210将输入的数字的控制信号Vctrl转换成模拟的控制信号。功率放大器214将模拟的控制信号放大并输出到正极输出OUTP。
电压检测器220包括电压感测放大器(sense amplifier)222和A/D转换器224。电压感测放大器222将两个输出OUTPT与OUTN之间的电压Vi放大。A/D转换器224将感测放大器222的输出转换成数字的电压检测信号Vsi。能够经由接口电路280而与其他通道共享电压检测信号Vsi。
反馈信号生成部230包括加减法器232和除法器234。加减法器232将相同的通道和其他通道的电压检测信号Vsi相加。除法器234用加减法器232的输出除以通道数量N，生成基于平均值的反馈信号Vfb。除法器234也能够理解为将加减法器232的输出乘以系数1/N的系数电路。
电流检测器250包括感测电阻252、感测放大器254、A/D转换器256。感测电阻252设置在输出级210的输出电流IOUT的路径上。在感测电阻252中，产生与输出电流IOUT成比例的电压降。感测放大器254将感测电阻252的电压降放大。A/D转换器256将感测放大器254的输出转换成数字的电流检测信号Isi。向反馈控制器240输入电压的目标值Vref和电流的极限值Ilim。
加减法器242生成目标值Vref与反馈信号Vfb的差分(电压误差Verr)。加减法器246生成极限值Ilim与电流检测信号Isi的差分(电流误差Ierr)。
选择器248在Isi＜Ilim时，选择电压误差Verr(恒压控制)，在Isi＞Ilim时，选择电流误差Ierr(电流钳位控制)。
滤波器244基于选择器248的输出，生成控制信号Vctrl。不限于此，但滤波器244能够由PI(比例积分)控制器、PID(比例积分微分)控制器等构成。在恒压控制中，通过反馈对控制信号Vctrl的电平进行调节，使得电压误差Verr接近零，在电流钳位控制中，通过反馈对控制信号Vctrl的电平进行调节，使得电流误差Ierr接近零。也可以在恒压控制和电流钳位控制中切换滤波器244的参数。
反馈控制器240和反馈信号生成部230能够由CPU(Central Processing Unit)、DSP(Digital Signal Processor)或者FPGA(Field Programmable Gate Array)等构成。
接口电路280能够在与其他通道的接口电路280之间收发电压检测信号、控制信号Vctrl。
图9是将图8的电源单元200组合两个而得到的电源装置的动作波形图。示出实施方式的电源装置和现有的电源装置各自的波形。堆叠有两个通道的一级1000V输出的电源单元，输出电压是2000V。在现有方式的波形(ii)中，刚刚施加电压后的立起很快，但大致超过1000V之后的上升变得缓慢。这是因为，上级的通道成为电压施加控制的稳定波形，另一方面，下级的通道成为由流向静电电容的冲击电流引起的电流钳位控制，导致稳定时间的增加。与此相对，实施方式的波形(i)在电压施加控制中，两者的通道取平衡而进行动作，因此，可知能够缩短稳定时间。根据本实施方式，能够确认出对于达到2000V的稳定时间，从现有方式的12ms成为4ms，与以往相比缩短到1/3以下。
以上，基于实施方式对本公开进行了说明。该实施方式是例示，在它们的各构成要素、各处理过程、它们的组合中能够存在各种变形例。以下，对这样的变形例进行说明。
在图8中，针对其控制系统以数字电路的架构被安装的电源单元200进行了说明，但不限于此，也可以由模拟电路构成控制系统。
关于电流钳位功能，在主通道中对输出电流进行了监视，但不限于此。例如，也可以在一个从通道中对输出电流进行监视，将在从通道中得到的电流检测值发送到主通道。主通道的反馈控制器240也可以基于从通道的电流检测信号Is，施加电流钳位控制。
或者也可以使全部通道的电流检测器有效化，从从通道向主通道发送电流检测信号。主通道的反馈控制器240也可以以全部通道的电流检测信号的最大值不超过极限值Ilim的方式施加电流钳位控制。
实施方式只不过示出了本发明的原理、应用，在不脱离权利要求书所规定的本发明的思想的范围内，允许对实施方式进行很多变形、配置的变更。
产业利用性
本发明涉及向器件供给电源电压或电源电流的电源装置。
附图标记说明
1…DUT，2…试验装置，100…电源装置，200…电源单元，210…输出级，220…电压检测器，230…反馈信号生成部，240…反馈控制器，250…电流检测器，260…模式选择器，270…多路转接器，280…接口电路。

Claims (10)

1.一种电源装置，其特征在于，
所述电源装置具备被堆叠连接的多个通道的电源单元，
所述多个通道的电源单元分别具备：
正极输出和负极输出；
输出级，其根据控制信号，在所述正极输出与所述负极输出之间产生输出电压；以及
电压检测器，其生成表示所述输出电压的电压检测信号，
作为所述多个通道之一的主通道的电源单元还具备：
反馈信号生成部，其从作为所述多个通道的剩余通道的从通道的电源单元接收所述电压检测信号，生成基于全部通道的所述电压检测信号的反馈信号；以及
反馈控制器，其生成所述控制信号，使得所述反馈信号接近目标值，
全部通道的所述输出级基于由所述主通道的所述反馈控制器生成的所述控制信号进行动作。
2.根据权利要求1所述的电源装置，其特征在于，
所述主通道的电源单元还具备电流检测器，该电流检测器生成表示所述输出级的输出电流的电流检测信号，
所述反馈控制器在所述电流检测信号超过规定的极限值时，生成所述控制信号，使得所述电流检测信号接近所述极限值。
3.根据权利要求2所述的电源装置，其特征在于，
所述多个通道的电源单元具备所述反馈信号生成部、所述反馈控制器以及所述电流检测器，并且被同样地构成，
各电源单元能够选择主模式和从模式，在设定为所述主模式时，使所述反馈信号生成部、所述反馈控制器有效化，在设定为所述从模式时，使所述反馈信号生成部和所述反馈控制器无效化。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的电源装置，其特征在于，
所述反馈信号是所述全部通道的所述电压检测信号的平均值。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的电源装置，其特征在于，
所述主通道位于所述多个通道中的最上级。
6.一种电源单元，是能够堆叠多个而构成电源装置的电源单元，其特征在于，
所述电源单元具备：
正极输出和负极输出；
输出级，其根据控制信号，在所述正极输出与所述负极输出之间产生输出电压；
电压检测器，其生成表示所述输出电压的电压检测信号；
反馈信号生成部，其在设定为主通道时成为有效，生成基于全部通道的所述电压检测信号的反馈信号；
反馈控制器，其在设定为所述主通道时成为有效，生成控制信号，使得所述反馈信号接近目标值；以及
接口电路，其在设定为所述主通道时，从其他通道接收所述电压检测信号，并且向其他通道发送所述控制信号，在设定为从通道时，从所述主通道接收所述控制信号，并且向所述主通道发送所述电压检测信号。
7.根据权利要求6所述的电源单元，其特征在于，
所述电源单元还具备电流检测器，该电流检测器生成表示所述输出级的输出电流的电流检测信号，
在设定为所述主通道时，所述反馈控制器在所述电流检测信号超过规定的极限值时，生成所述控制信号，使得所述电流检测信号接近所述极限值。
8.根据权利要求6或7所述的电源单元，其特征在于，
所述反馈信号是所述全部通道的所述电压检测信号的平均值。
9.一种电源装置，其特征在于，
所述电源装置通过将权利要求6至8中任一项所述的电源单元堆叠连接多个而构成。
10.一种试验装置，其特征在于，
所述试验装置具备向被试验器件供给电力的权利要求1至5、9中任一项所述的电源装置。
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