CN116296277A - MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质 - Google Patents

MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质 Download PDF

Info

Publication number
CN116296277A
CN116296277A CN202310065575.0A CN202310065575A CN116296277A CN 116296277 A CN116296277 A CN 116296277A CN 202310065575 A CN202310065575 A CN 202310065575A CN 116296277 A CN116296277 A CN 116296277A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light source
source color
micro led
spectrum
detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202310065575.0A
Other languages
English (en)
Inventor
陈方鑫
毕海
李宣令
赵宏春
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ji Hua Laboratory
Original Assignee
Ji Hua Laboratory
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ji Hua Laboratory filed Critical Ji Hua Laboratory
Priority to CN202310065575.0A priority Critical patent/CN116296277A/zh
Publication of CN116296277A publication Critical patent/CN116296277A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • G01M11/0242Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/0257Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by analyzing the image formed by the object to be tested
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2823Imaging spectrometer
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J2003/2866Markers; Calibrating of scan

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

本申请公开了一种MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质,涉及MicroLED技术领域,应用于光源色检测系统,所述方法包括:通过分辨率调节模块定位待检测MicroLED样品的检测区域;通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到第一光束和第二光束;将第一光束发送至光谱检测模块,进行光谱采集,得到待检测MicroLED样品的标准光谱;将第二光束发送至所述光源色检测模块,依据标准光谱,对第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;基于光谱校正结果,对第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。本申请解决了目前MicroLED光源色检测存在局限性的技术问题。

Description

MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质
技术领域
本申请涉及MicroLED技术领域,尤其涉及一种MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质。
背景技术
MicroLED(Micro-LightEmitting Diode,微型发光二极管)是新一代显示技术,采用无机材料制作,将我们日常LED屏幕面板,微缩到100微米以下,单个大小甚至不到传统LED的1%,其采用自发光形式,每个红、绿、蓝子像素都自己产生光源,组合成一个像素。其比现有OLED技术亮度更高、发光效率更好、但功耗更低,正逐渐用于超高清电视显示面板,随着MicroLED技术不断取得进展,对于其质量要求也越来越高。
光源色度是衡量MicroLED质量的标准之一,目前对于MicroLED光源色度的检测通常采用以下三种方式,一是成像色度计,然而该方式在显示屏光谱均匀度较差时容易导致光源色检测有误差,导致测量的精度较低,二是单点彩色分析仪,其对测量的视场范围有严格限制,并不适用于实际的工业制造中,三是测量中心光谱偏移,这个方式需要建立相关产品数据库,由于数据库的移植性较低,会导致整个生产效率降低,因此,目前使用的MicroLED光源色检测的方式不能同时保证检测精度和检测效率,从而导致实际生产过程中对于MicroLED光源色检测存在局限性。
发明内容
本申请的主要目的在于提供一种MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质,旨在解决目前MicroLED光源色检测存在局限性的技术问题。
为实现上述目的,本申请提供一种MicroLED光源色检测方法,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块和光源色检测模块,所述MicroLED光源色检测方法包括:
当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;
通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;
将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;
将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;
基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可选的,所述光谱检测模块包括光谱仪和光束处理单元,所述将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱的步骤包括:
通过所述光束处理单元对所述第一光束进行光线过滤和光线缩束,生成第三光束;
通过所述光谱仪对所述第三光束进行光谱采集,得到所述标准光谱。
可选的,所述光源色检测模块包括调谐单元和单色相机,所述对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果的步骤包括:
通过所述调谐单元对所述第二光束进行光波调谐,得到窄带宽光束;
通过所述单色相机获取所述窄带宽光束的光谱图像,对所述光谱图像进行光源分类,得到光源分类信息;
依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可选的,所述光源色检测模块还包括至少一个光源色检测通道,所述依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果的步骤包括:
依据所述光源分类信息,在各所述光源色检测通道中选择目标检测通道,其中,所述目标检测通道至少对应一个光源色匹配函数;
基于所述光源色匹配函数,确定所述光源色检测结果。
可选的,所述通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域的步骤包括:
获取所述待检测MicroLED样品的样品类型,其中,所述样品类型包括单点类型、缺陷类型和正常类型;
依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域。
可选的,所述依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域的步骤包括:
若所述样品类型为单点类型,则确定对应的单点检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述单点检测区域;
若所述样品类型为缺陷类型,则确定对应的缺陷检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述缺陷检测区域;
若所述样品类型为正常类型,则确定对应的目标检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述目标检测区域。
可选的,所述光源色检测系统还包括照明成像模块,所述照明成像模块包括照明光源和成像处理单元,所述MicroLED光源色检测方法还包括:
将所述照明光源发送至所述成像处理单元,进行光源缩束,得到照明光路;
将所述照明光路投射到所述待检测MicroLED样品,以对所述待检测MicroLED样品进行观察。
此外,为实现上述目的,本申请还提供一种MicroLED光源色检测装置,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块和光源色检测模块,所述MicroLED光源色检测装置包括:
定位检测区域模块,用于当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;
光束分离模块,用于通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;
光谱采集模块,用于将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;
光谱校正模块,用于将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;
光源色检测模块,用于基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可选的,所述光谱采集模块还用于:
通过所述光束处理单元对所述第一光束进行光线过滤和光线缩束,生成第三光束;
通过所述光谱仪对所述第三光束进行光谱采集,得到所述标准光谱。
可选的,所述光源色检测模块还用于:
通过所述调谐单元对所述第二光束进行光波调谐,得到窄带宽光束;
通过所述单色相机获取所述窄带宽光束的光谱图像,对所述光谱图像进行光源分类,得到光源分类信息;
依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可选的,所述光源色检测模块还用于:
依据所述光源分类信息,在各所述光源色检测通道中选择目标检测通道,其中,所述目标检测通道至少对应一个光源色匹配函数;
基于所述光源色匹配函数,确定所述光源色检测结果。
可选的,所述定位检测区域模块还用于:
获取所述待检测MicroLED样品的样品类型,其中,所述样品类型包括单点类型、缺陷类型和正常类型;
依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域。
可选的,所述定位检测区域模块还用于:
若所述样品类型为单点类型,则确定对应的单点检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述单点检测区域;
若所述样品类型为缺陷类型,则确定对应的缺陷检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述缺陷检测区域;
若所述样品类型为正常类型,则确定对应的目标检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述目标检测区域。
可选的,所述MicroLED光源色检测装置还用于:
将所述照明光源发送至所述成像处理单元,进行光源缩束,得到照明光路;
将所述照明光路投射到所述待检测MicroLED样品,以对所述待检测MicroLED样品进行观察。
本申请还提供一种MicroLED光源色检测设备,所述MicroLED光源色检测包括:存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的MicroLED光源色检测程序,所述MicroLED光源色检测程序被所述处理器执行时实现如上述的MicroLED光源色检测方法的步骤。
本申请还提供一种可读储存介质,所述可读存储介质上存储有MicroLED光源色检测程序,所述MicroLED光源色检测程序被处理器执行时实现如上述的MicroLED光源色检测方法的步骤。
本申请还提供一种计算机程序产品,包括计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如上述的MicroLED光源色检测方法的步骤。
本申请提供了一种MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块、照明模块和光源色检测模块,与目前采用成像色度计、单点彩色分析仪或者测量中心光谱偏移进行MicroLED光源色检测的方式相比,本申请首先当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。实现了通过光源色检测系统对待检测MicroLED样品进行光源色检测的目的,提高了光源色检测的效率,且通过光谱校正能够保证光源色检测的精度,解决了目前因不能同时保证光源色度的检测精度和检测效率,从而导致实际生产过程中对于MicroLED光源色检测存在局限性的技术缺陷,所以,降低了MicroLED光源色检测的局限性。
附图说明
图1为本申请MicroLED光源色检测方法中第一实施例的流程示意图;
图2为本申请MicroLED光源色检测方法中涉及的模块示意图;
图3本申请MicroLED光源色检测方法中涉及的检测流程图;
图4为本申请MicroLED光源色检测方法中涉及的装置示意图;
图5为本申请MicroLED光源色检测方法中涉及的硬件运行环境的设备结构示意图。
本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例,均属于本申请保护的范围。
目前对于MicroLED光源色度的检测通常采用以下三种方式,一是成像色度计,然而该方式在显示屏光谱均匀度较差时容易导致光源色检测有误差,导致测量的精度较低,二是单点彩色分析仪,其对测量的视场范围有严格限制,并不适用于实际的工业制造中,三是测量中心光谱偏移,这个方式需要建立相关产品数据库,由于数据库的移植性较低,会导致整个生产效率降低,因此,目前使用的MicroLED光源色检测的方式不能同时保证检测精度和检测效率,从而导致实际生产过程中对于MicroLED光源色检测存在局限性。
本申请实施例提供一种MicroLED光源色检测方法,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块、照明模块和光源色检测模块,在本申请MicroLED光源色检测方法的第一实施例中,参照图1,所述MicroLED光源色检测方法包括:
步骤S10,当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;
步骤S20,通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;
步骤S30,将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;
步骤S40,将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;
步骤S50,基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
在本实施例中,需要说明的是,所述光源色检测系统包括四个模块,如图2所示的分辨率调节模块、光源色检测模块、光谱检测模块以及照明成像模块,所述分辨率调节模块包括物镜和物镜转台;所述光源色检测模块包括调谐单元和单色相机;所述光谱检测模块包括光谱仪和光束处理单元,其中,光谱仪是能够测量光谱的仪器,通过利用光栅将一个混合光分解成不同波长的光,而不同波长的光会被不同的探测器测量出其强度,从而得到被测量光的光谱,得到光的光谱以后,就可以根据光谱得到亮度,色度,峰值波长,显色指数(CRI)等信息;所述照明模块包括照明光源和成像处理单元;所述标准光谱可以作为对所述待检测MicroLED样品进行光谱校正的参照数据;所述光源色检测结果可以为第二光束的三刺激值,也即待检测MicroLED样品的三刺激值,其中,三刺激值是CIE(InternationalCommission on illumination,国际照明委员会)规定的颜色的测量原理以统一颜色表示方法,当与待测色达到色匹配时所需要的三原色的数量,称为三刺激值,记作R、G、B;所述第一光束和所述第二光束均为待检测MicroLED样品的出射光,出射光是所述待检测MicroLED样品经过PL(Photo Luminescence,光致发光)或者EL(Electro Luminescence,电致发光)发出的光,其中,PL是指待检测物体依赖外界光源进行照射从而获得能量,产生激发导致发光的现象,光致发光最普遍的应用为日光灯,EL是指加在两电极的电压产生电场,被电场激发的电子碰击发光中心,而引致电子解级的跃进、变化、复合导致发光;所述标准光谱信息可以包括标准光谱功率分布。
作为一种示例,步骤S10至步骤S50包括:当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域,其中,可以根据所述待检测MicroLED样品的样品类型定位到对应的检测区域;通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束,其中,所述出射光为所述检测区域内的待检测MicroLED样品自身发出的光,可以通过图3中的分束镜3对出射光进行光线分离,得到第一光束和第二光束,还可以使用可调反射镜或者带有中心通孔的反射镜进行光线分离,在进行光谱校正前两束光属性是一致的;将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱,其中,第一束光会经过光束处理单元进行处理后到达光谱仪,以供光谱仪进行光谱采集;将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果,其中,光谱校正是指对第二光束的光谱参数进行相应的调整,以得到与标准光谱一致的目标光谱;基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
其中,所述光谱检测模块包括光谱仪和光束处理单元,所述将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱的步骤包括:
步骤S31,通过所述光束处理单元对所述第一光束进行光线过滤和光线缩束,生成第三光束;
步骤S32,通过所述光谱仪对所述第三光束进行光谱采集,得到所述标准光谱。
在本实施例中,需要说明的是,所述第三光束是指第一光束经过光束处理单元后投射至光谱仪的光束;所述光束处理单元包括透镜1、透镜2、小孔、滤光片和分束镜1。
作为一种示例,步骤S31至步骤S32包括:通过所述光束处理单元对所述第一光束进行光线过滤和光线缩束,生成第三光束,其中,所述光线过滤是指通过滤光片过滤掉第一光束中的噪声,光线缩束是指缩小第一光束尺寸以实现最佳测量与分析;通过所述光谱仪对所述第二光束进行光谱采集,获得所述标准光谱信息。
例如,如图3所示,待检测MicroLED样品的出射光经过分束镜3被分割成第一光束和第二光束,第一光束首先进入分束镜1又分成A光束和B光束,A光束经过分束镜2,再由管镜1进入光照成像模块中的彩色相机中成像,用于观察待检测MicroLED样品的整个光源色检测过程,B光束则进入光谱检测模块,首先通过陷波滤光片滤波后穿过小孔,通过透镜1和透镜2组成的缩束系统后进入光谱仪进行光谱采集,得到标准光谱,而第二光束则是进入光源色检测模块进行光源色检测,第二光束首先通过液晶可调谐滤光片或窄带滤光片滤波后变为窄带宽光,经由管镜2后成像到单色相机上,相机与计算机控制相连,以对采集到的光谱图像进行图像分析,计算出光谱的三刺激值,由于光谱仪在出厂前已使用标准光源进行矫正,出厂后针对不同的样品,无需进行矫正,测量值即为标准值,因此可以利用光谱仪提供超高精度的检测结果并用于光谱校正,也即预设光源色检测设备的系统校正,校正后可直接利用该光源色检测设备进行光源色检测,提高了光源色检测的精准度。
其中,所述光源色检测模块包括调谐单元和单色相机,所述对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果的步骤包括:
步骤S51,通过所述调谐单元对所述第二光束进行光波调谐,得到窄带宽光束;
步骤S52,通过所述单色相机获取所述窄带宽光束的光谱图像,对所述光谱图像进行光源分类,得到光源分类信息;
步骤S53,依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
在本实施例中,需要说明的是,所述谐调单元包括滤光片和管镜2,其中,所述调谐单元可以包括调谐滤光片和管镜2,调谐滤光片可以为液晶可调滤光片、窄带滤光片、轮盘式窄带滤光片组或CIE检测滤光片,液晶可调滤光片在可见光波段窄带宽连续可调,单色相机内可以包括CCD(Charge-coupled Device,电荷耦合元件)传感器,CCD能够产生更高分辨率的图像,并具有较低的噪点,通过适当的滤光片和校正,基于CCD的图像可以为每个像素提供CIE色彩值,通过CCD快照方式,可以一次性对视场内所有待检测MicroLED(1000个以上)进行检测,提高光源色检测的效率;所述光谱图像是由单色相机探测窄带宽信号强度后得到的光谱成像。
作为一种示例,步骤S51至步骤S53包括:通过所述调谐单元对所述第二光束进行光波调谐,得到窄带宽光束;通过所述单色相机获取所述窄带宽光束的光谱图像,对所述光谱图像进行光源分类,得到光源分类信息,其中,光源分类用于检测所述光谱图像的光源色是属于红光、蓝光或者绿光;依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果,其中,不同光源色的光束会进入到不同的光源色检测通道进行光源色检测。
其中,所述光源色检测模块还包括至少一个光源色检测通道,所述依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果的步骤包括:
步骤S531,依据所述光源分类信息,在各所述光源色检测通道中选择目标检测通道,其中,所述目标检测通道至少对应一个光源色匹配函数;
步骤S532,基于所述光源色匹配函数,确定所述光源色检测结果。
在本实施例中,需要说明的是,所述光源色检测通道包括红绿蓝三个检测通道,用于针对性的进行待检测MicroLED的光源色检测;所述光源色匹配函数用于计算光谱图像的三刺激值。
作为一种示例,步骤S531至步骤S532包括:依据所述光源分类信息,在各所述光源色检测通道中选择目标检测通道,其中,所述目标检测通道至少对应一个光源色匹配函数,光源分类可以依据预设光源分类标签进行分类,预设光源分类标签用于表征光源类型属于红光、蓝光还是绿光;基于所述光源色匹配函数,计算出所述光源色检测结果,其中,通过将光谱图像中的光谱功率分布以及波长数据输入光源色匹配函数中,计算出对应的三刺激值。
在一可行实施例中,所述光源色匹配函数为:
Figure SMS_1
Figure SMS_2
Figure SMS_3
Figure SMS_4
Figure SMS_5
Figure SMS_6
其中,
Figure SMS_7
)、/>
Figure SMS_8
)、/>
Figure SMS_9
)是CIE规定的色度匹配函数,/>
Figure SMS_10
)为光谱功率分布,/>
Figure SMS_11
)即待检测MicroLED的目标光束,a、b分别为可见光波段范围380nm和780nm,k为比例系数,用于比例修正,为提高光谱分辨能力,获得在微小光谱变化的检测能力,本实施例在特征光谱段窄带进行多光谱检测,不进行可见光范围380至780nm的全波段成像检测。
其中,所述通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域的步骤包括:
步骤S11,获取所述待检测MicroLED样品的样品类型,其中,所述样品类型包括单点类型、缺陷类型和正常类型;
步骤S12,依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域。
作为一种示例,步骤S11至步骤S12包括:获取所述待检测MicroLED样品的样品类型,其中,所述样品类型包括单点类型、缺陷类型和正常类型,其中,单点类型是指待检测MicroLED需单点激发进行检测,缺陷类型是指待检测MicroLED存在缺陷处,需对缺陷处进行检测,正常类型是指待检测MicroLED正常,可以自行设定目标检测区域或者对整个区域进行检测;依据所述样品类型,选择所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域,其中,可以通过使用不同倍率的物镜或者转动物镜转台定位所述检测区域。
例如,如图3所示,分辨率调节模块主要由物镜转台和不同倍率物镜构成,通过转台控制更换不同倍率物镜可以调节光源色检测视场和分辨率。
其中,所述依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域的步骤包括:
步骤S121,若所述样品类型为单点类型,则确定对应的单点检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述单点检测区域;
步骤S122,若所述样品类型为缺陷类型,则确定对应的缺陷检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述缺陷检测区域;
步骤S123,若所述样品类型为正常类型,则确定对应的目标检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述目标检测区域。
作为一种示例,步骤S121至步骤S123包括:若所述样品类型为单点类型,则选择对应的单点检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述单点检测区域,其中,此时可以选择高倍物镜定位单点检测区域;若所述样品类型为缺陷类型,则选择对应的缺陷检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述缺陷检测区域;若所述样品类型为正常类型,则选择对应的目标检测区域,也称ROI区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述目标检测区域。
其中,所述光源色检测系统还包括照明成像模块,所述照明成像模块包括照明光源和成像处理单元,所述MicroLED光源色检测方法还包括:
步骤A10,将所述照明光源发送至所述成像处理单元,进行光源缩束,得到照明光路;
步骤A20,将所述照明光路投射到所述待检测MicroLED样品,以对所述待检测MicroLED样品进行观察。
在本实施例中,需要说明的是,为了更好的观察待检测MicroLED样品的光源色检测过程,设置了照明成像模块,所述照明成像模块包括照明光源和成像处理单元,照明光源可以为白光光源,成像处理单元包括透镜3、透镜4、透镜5、视场光阑和孔径光阑。
作为一种示例,步骤A10至步骤A20包括:所述照明光源发送至所述成像处理单元,进行光源缩束,得到照明光路,其中,所述照明光路为均匀光路,可以采用科勒照明系统进行均匀光照,还可以更换为安装在物镜上的环形光照明,相比于环形光照明,科勒照明均匀度更高、眩光更少,伴随着复杂的安装和相对大的空间占有,尽管环形光照明安装简单、体积小,但是容易形成圆形眩光,影响照光效果;将所述照明光路投射到所述待检测MicroLED样品,得到所述第一光束和所述第二光束。
例如,如图3所示,白光光源发出的光(虚线箭头表示)由透镜3收束,经过视场光阑限制照明视场,透镜4、透镜5和物镜组成的光学系统将视场光阑成像到样品台完成科勒照明,孔径光阑设置在透镜4和透镜5的中间可以调节照明亮度,彩色相机用于观察样品的检测过程。
本申请提供了一种MicroLED光源色检测方法,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块、照明模块和光源色检测模块,与目前采用成像色度计、单点彩色分析仪或者测量中心光谱偏移进行MicroLED光源色检测的方式相比,本申请首先当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。实现了通过光源色检测系统对待检测MicroLED样品进行光源色检测的目的,提高了光源色检测的效率,且通过光谱校正能够保证光源色检测的精度,解决了目前因不能同时保证光源色度的检测精度和检测效率,从而导致实际生产过程中对于MicroLED光源色检测存在局限性的技术缺陷,所以,降低了MicroLED光源色检测的局限性。
此外,本申请实施例还提供一种MicroLED光源色检测装置,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块和光源色检测模块,如图4所示,所述MicroLED光源色检测装置包括:
定位检测区域模块10,用于当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;
光束分离模块20,用于通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;
光谱采集模块30,用于将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;
光谱校正模块40,用于将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;
光源色检测模块50,用于基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可选的,所述光谱采集模块30还用于:
通过所述光束处理单元对所述第一光束进行光线过滤和光线缩束,生成第三光束;
通过所述光谱仪对所述第三光束进行光谱采集,得到所述标准光谱。
可选的,所述光源色检测模块50还用于:
通过所述调谐单元对所述第二光束进行光波调谐,得到窄带宽光束;
通过所述单色相机获取所述窄带宽光束的光谱图像,对所述光谱图像进行光源分类,得到光源分类信息;
依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可选的,所述光源色检测模块50还用于:
依据所述光源分类信息,在各所述光源色检测通道中选择目标检测通道,其中,所述目标检测通道至少对应一个光源色匹配函数;
基于所述光源色匹配函数,确定所述光源色检测结果。
可选的,所述定位检测区域模块10还用于:
获取所述待检测MicroLED样品的样品类型,其中,所述样品类型包括单点类型、缺陷类型和正常类型;
依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域。
可选的,所述定位检测区域模块10还用于:
若所述样品类型为单点类型,则确定对应的单点检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述单点检测区域;
若所述样品类型为缺陷类型,则确定对应的缺陷检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述缺陷检测区域;
若所述样品类型为正常类型,则确定对应的目标检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述目标检测区域。
可选的,所述MicroLED光源色检测装置还用于:
将所述照明光源发送至所述成像处理单元,进行光源缩束,得到照明光路;
将所述照明光路投射到所述待检测MicroLED样品,以对所述待检测MicroLED样品进行观察。
本申请提供的MicroLED光源色检测装置,采用上述实施例中的MicroLED光源色检测方法,解决目前MicroLED光源色检测存在局限性的技术问题。与现有技术相比,本申请实施例提供的MicroLED光源色检测装置的有益效果与上述实施例提供的MicroLED光源色检测方法的有益效果相同,且该MicroLED光源色检测装置中的其他技术特征与上述实施例方法公开的特征相同,在此不做赘述。
本申请实施例提供一种电子设备,电子设备包括:至少一个处理器;以及,与至少一个处理器通信连接的存储器;其中,存储器存储有可被至少一个处理器执行的指令,指令被至少一个处理器执行,以使至少一个处理器能够执行上述实施例一中的MicroLED光源色检测方法。
下面参考图5,其示出了适于用来实现本公开实施例的电子设备的结构示意图。本公开实施例中的电子设备可以包括但不限于诸如移动电话、笔记本电脑、数字广播接收器、PDA(个人数字助理)、PAD(平板电脑)、PMP(便携式多媒体播放器)、车载终端(例如车载导航终端)等等的移动终端以及诸如数字TV、台式计算机等等的固定终端。图5示出的电子设备仅仅是一个示例,不应对本公开实施例的功能和使用范围带来任何限制。
如图5所示,电子设备可以包括处理装置(例如中央处理器、图形处理器等),其可以根据存储在只读存储器(ROM)中的程序或者从存储装置加载到随机访问存储器(RAM)中的程序而执行各种适当的动作和处理。在RAM中,还存储有电子设备操作所需的各种程序和数据。处理装置、ROM以及RAM通过总线彼此相连。输入/输出(I/O)接口也连接至总线。
通常,以下系统可以连接至I/O接口:包括例如触摸屏、触摸板、键盘、鼠标、图像传感器、麦克风、加速度计、陀螺仪等的输入装置;包括例如液晶显示器(LCD)、扬声器、振动器等的输出装置;包括例如磁带、硬盘等的存储装置;以及通信装置。通信装置可以允许电子设备与其他设备进行无线或有线通信以交换数据。虽然图中示出了具有各种系统的电子设备,但是应理解的是,并不要求实施或具备所有示出的系统。可以替代地实施或具备更多或更少的系统。
特别地,根据本公开的实施例,上文参考流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如,本公开的实施例包括一种计算机程序产品,其包括承载在计算机可读介质上的计算机程序,该计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。在这样的实施例中,该计算机程序可以通过通信装置从网络上被下载和安装,或者从存储装置被安装,或者从ROM被安装。在该计算机程序被处理装置执行时,执行本公开实施例的方法中限定的上述功能。
本申请提供的电子设备,采用上述实施例中的MicroLED光源色检测方法,解决了目前MicroLED光源色检测存在局限性的技术问题。与现有技术相比,本申请实施例提供的电子设备的有益效果与上述实施例提供的MicroLED光源色检测方法的有益效果相同,且该电子设备中的其他技术特征与上述实施例方法公开的特征相同,在此不做赘述。
应当理解,本公开的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上所述,仅为本申请的具体实施方式,但本申请的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此,本申请的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
本实施例提供一种计算机可读存储介质,具有存储在其上的计算机可读程序指令,计算机可读程序指令用于执行上述实施例一中的MicroLED光源色检测方法。
本申请实施例提供的计算机可读存储介质例如可以是U盘,但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、系统或器件,或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于:具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本实施例中,计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质,该程序可以被指令执行系统、系统或者器件使用或者与其结合使用。计算机可读存储介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输,包括但不限于:电线、光缆、RF(射频)等等,或者上述的任意合适的组合。
上述计算机可读存储介质可以是电子设备中所包含的;也可以是单独存在,而未装配入电子设备中。
上述计算机可读存储介质承载有一个或者多个程序,当上述一个或者多个程序被电子设备执行时,使得电子设备:当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
可以以一种或多种程序设计语言或其组合来编写用于执行本公开的操作的计算机程序代码,上述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、Smalltalk、C++,还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中,远程计算机可以通过任意种类的网络——包括局域网(LAN)或广域网(WAN)—连接到用户计算机,或者,可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。
附图中的流程图和框图,图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上,流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分,该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意,在有些作为替换的实现中,方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如,两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行,它们有时也可以按相反的顺序执行,这依所涉及的功能而定。也要注意的是,框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合,可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现,或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。
描述于本公开实施例中所涉及到的模块可以通过软件的方式实现,也可以通过硬件的方式来实现。其中,模块的名称在某种情况下并不构成对该单元本身的限定。
本申请提供的计算机可读存储介质,存储有用于执行上述MicroLED光源色检测方法的计算机可读程序指令,解决了目前MicroLED光源色检测存在局限性的技术问题。与现有技术相比,本申请实施例提供的计算机可读存储介质的有益效果与上述实施例提供的MicroLED光源色检测方法的有益效果相同,在此不做赘述。
本申请还提供一种计算机程序产品,包括计算机程序,所述计算机程序被处理器执行时实现如上述的MicroLED光源色检测方法的步骤。
本申请提供的计算机程序产品解决了目前MicroLED光源色检测存在局限性的技术问题。与现有技术相比,本申请实施例提供的计算机程序产品的有益效果与上述实施例提供的MicroLED光源色检测方法的有益效果相同,在此不做赘述。
以上仅为本申请的优选实施例,并非因此限制本申请的专利范围,凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本申请的专利处理范围内。

Claims (10)

1.一种MicroLED光源色检测方法,其特征在于,应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块和光源色检测模块,所述MicroLED光源色检测方法包括:
当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;
通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;
将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;
将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;
基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
2.如权利要求1所述的MicroLED光源色检测方法,其特征在于,所述光谱检测模块包括光谱仪和光束处理单元,所述将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱的步骤包括:
通过所述光束处理单元对所述第一光束进行光线过滤和光线缩束,生成第三光束;
通过所述光谱仪对所述第三光束进行光谱采集,得到所述标准光谱。
3.如权利要求1所述的MicroLED光源色检测方法,其特征在于,所述光源色检测模块包括调谐单元和单色相机,所述对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果的步骤包括:
通过所述调谐单元对所述第二光束进行光波调谐,得到窄带宽光束;
通过所述单色相机获取所述窄带宽光束的光谱图像,对所述光谱图像进行光源分类,得到光源分类信息;
依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
4.如权利要求3所述的MicroLED光源色检测方法,其特征在于,所述光源色检测模块还包括至少一个光源色检测通道,所述依据所述光源分类信息,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果的步骤包括:
依据所述光源分类信息,在各所述光源色检测通道中选择目标检测通道,其中,所述目标检测通道至少对应一个光源色匹配函数;
基于所述光源色匹配函数,确定所述光源色检测结果。
5.如权利要求1所述的MicroLED光源色检测方法,其特征在于,所述通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域的步骤包括:
获取所述待检测MicroLED样品的样品类型,其中,所述样品类型包括单点类型、缺陷类型和正常类型;
依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域。
6.如权利要求5所述的MicroLED光源色检测方法,其特征在于,所述依据所述样品类型,确定所述待检测MicroLED样品的待检测区域,并通过所述分辨率调节模块定位所述检测区域的步骤包括:
若所述样品类型为单点类型,则确定对应的单点检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述单点检测区域;
若所述样品类型为缺陷类型,则确定对应的缺陷检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述缺陷检测区域;
若所述样品类型为正常类型,则确定对应的目标检测区域,通过所述分辨率调节模块进行视野分辨率调节,定位所述目标检测区域。
7.如权利要求1所述的MicroLED光源色检测方法,其特征在于,所述光源色检测系统还包括照明成像模块,所述照明成像模块包括照明光源和成像处理单元,所述MicroLED光源色检测方法还包括:
将所述照明光源发送至所述成像处理单元,进行光源缩束,得到照明光路;
将所述照明光路投射到所述待检测MicroLED样品,以对所述待检测MicroLED样品进行观察。
8.一种MicroLED光源色检测装置,其特征在于,MicroLED光源色检测装置应用于光源色检测系统,所述光源色检测系统包括光谱检测模块、分辨率调节模块和光源色检测模块,所述MicroLED光源色检测装置包括:
定位检测区域模块,用于当检测到待检测MicroLED样品放置样品台后,通过所述分辨率调节模块定位所述待检测MicroLED样品的检测区域;
光束分离模块,用于通过对所述检测区域的出射光进行光线分离,得到所述待检测MicroLED样品的第一光束和第二光束;
光谱采集模块,用于将所述第一光束发送至所述光谱检测模块,进行光谱采集,得到所述待检测MicroLED样品的标准光谱;
光谱校正模块,用于将所述第二光束发送至所述光源色检测模块,依据所述标准光谱,对所述第二光束进行光谱校正,得到光谱校正结果;
光源色检测模块,用于基于所述光谱校正结果,对所述第二光束进行光源色检测,得到光源色检测结果。
9.一种电子设备,其特征在于,所述电子设备包括:
至少一个处理器;以及,
与所述至少一个处理器通信连接的存储器;其中,
所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令,所述指令被所述至少一个处理器执行,以使所述至少一个处理器能够执行权利要求1至7中任一项所述的MicroLED光源色检测方法的步骤。
10.一种可读存储介质,其特征在于,所述可读存储介质上存储有实现MicroLED光源色检测方法的程序,所述实现MicroLED光源色检测方法的程序被处理器执行以实现如权利要求1至7中任一项所述的MicroLED光源色检测方法的步骤。
CN202310065575.0A 2023-02-06 2023-02-06 MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质 Pending CN116296277A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310065575.0A CN116296277A (zh) 2023-02-06 2023-02-06 MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202310065575.0A CN116296277A (zh) 2023-02-06 2023-02-06 MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116296277A true CN116296277A (zh) 2023-06-23

Family

ID=86777001

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202310065575.0A Pending CN116296277A (zh) 2023-02-06 2023-02-06 MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN116296277A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117664933A (zh) * 2024-01-31 2024-03-08 季华实验室 激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质
CN117894706A (zh) * 2024-03-15 2024-04-16 季华实验室 多模态晶圆检测系统及方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117664933A (zh) * 2024-01-31 2024-03-08 季华实验室 激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质
CN117664933B (zh) * 2024-01-31 2024-05-07 季华实验室 激光光谱检测装置、方法、电子设备及存储介质
CN117894706A (zh) * 2024-03-15 2024-04-16 季华实验室 多模态晶圆检测系统及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN116296277A (zh) MicroLED光源色检测方法、装置、设备及介质
JP5232245B2 (ja) レーザ投影のホワイトバランスのトラッキング
KR102069935B1 (ko) 디스플레이를 테스트하기 위한 색채측정기 시스템
JP2014519045A (ja) 端末デバイス中の発光デバイスを制御するための方法と装置、ならびに端末デバイス
JP2006292421A (ja) 蛍光検出装置
JP3800326B2 (ja) 光検出装置、光検出方法、プログラムおよび記録媒体
CN112005153B (zh) 用于利用单色传感器生成彩色视频的设备、系统和方法
CN104980650B (zh) 波形监视器和生成针对来自测量仪器的输出的显示的方法
CN111707453B (zh) 光源测试方法与系统
CN101154371A (zh) 显示设备及其图像处理方法
KR102377250B1 (ko) 분수 픽셀들을 사용하여 전자 시각 디스플레이들을 측정하기 위한 방법들 및 시스템들
JP2016138749A (ja) 分光測定装置
WO2021128229A1 (zh) 一种待转移led芯片的筛选方法及装置
WO2021021834A1 (en) Control design for perceptually uniform color-tuning
KR101570616B1 (ko) 모바일 앱을 이용한 측색 방법
JP6223373B2 (ja) 病理標本型光デバイス及びカラーバランスの較正方法
US11523482B2 (en) Control design for perceptually uniform color tuning
US11333554B2 (en) Spectrometry method and spectrometry apparatus
KR101517554B1 (ko) 공액구배 알고리즘을 이용한 비전시스템의 컬러 조명 제어방법
JP2011188319A (ja) 色補正方法及び色補正装置
JP4759772B2 (ja) 薄膜膜厚計測方法及び薄膜膜厚計測装置
KR102064755B1 (ko) 이미지 데이터 처리 방법 및 장치
Moore et al. Performance characterization of low light level color imaging sensors
US11441947B2 (en) Spectrometry method and spectrometry apparatus
JP2010145097A (ja) 色ムラ検査方法、および検査用画像データ生成装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination