CN116256116A - 一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法，属于气体输送柜安全防护领域。一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体，所述柜体的内部放置有气瓶，所述气瓶的顶部安装有启闭阀，所述柜体的内壁设置有用于锁紧气瓶的锁紧组件；本发明通过锁紧组件、铜板、往复组件、排气组件的相互配合，在柜体内部发生漏气时，通过锁紧组件对气瓶顶部出气口及时的关闭锁紧，防止更多的气体跑出，同时利用锁紧组件运行产生的动力源带动往复组件同步运行对铜板往复敲击，及时的提醒工作人员及时进行维修检查，减小工作等待的时间，提高工作效率，同时将排气组件处的通风口打开，保持空气流通，对维修人员起到很好的防护效果。

Description

一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法

技术领域

本发明涉及气体输送柜安全防护技术领域，尤其涉及一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法。

背景技术

气体工业是国民经济基础工业之一，它涉及到国民经济的各个领域、涉及到人民的日常生活，牵动着高科技的发展，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域，在对硅烷气体的使用过程中，通常将储存气体的气瓶放置在柜体内，对气瓶进行很好的防护，防止外界物体的撞击，起到很好的防护效果，在柜体表面安装输送管，从而将气瓶内的硅烷气体输送至另一端方便供给使用。

现有的硅烷气体输送柜在使用时，将气瓶安装在柜体内后，需要将输出管与气瓶上设置的启闭阀进行连接安装，但是连接接口处由于经常更换，容易出现松动漏气的现象发生，浪费气体资源，因此在连接部位安装气体传感器用于检测是否有漏气现象发生，传统的硅烷气体输送柜漏气检测装置大多只对于输气管连接处进行检测，在气体泄露时，不便对气瓶源头处进行及时的切断锁紧，防止气体泄露浪费，在气体泄露时，柜体内积留泄露的气体，不便散出，导致工作人员检查时误吸入，损坏人体健康。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中传统的硅烷气体输送柜漏气检测装置大多只对于输气管连接处进行检测，在气体泄露时，不便对气瓶源头处进行及时的切断锁紧，防止气体泄露浪费，在气体泄露时，柜体内积留泄露的气体，不便散出，导致工作人员检查时误吸入，损坏人体健康问题，而提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体，所述柜体的内部放置有气瓶，所述气瓶的顶部安装有启闭阀，所述柜体的内壁设置有用于锁紧气瓶的锁紧组件，所述柜体的一侧内壁嵌入安装有铜板，所述锁紧组件上联动有用于敲击铜板的往复组件，所述往复组件上联动对柜体内通风排气的排气组件，所述气瓶的底部放置有缓冲垫，所述柜体的内部设置有用于对气瓶夹持限位的夹持组件。

优选的，所述锁紧组件包括固定在柜体一侧内壁的电动推杆，所述电动推杆的端部固定有活动杆，所述活动杆的端部滑动连接在滑槽内，所述滑槽开设在柜体的内壁上，所述活动杆的端部固定有连接杆，所述连接杆的一端固定有齿条，所述齿条的表面啮合有齿盘，所述齿盘设置启闭阀上。

优选的，所述连接杆的一侧表面固定有移动杆，所述移动杆的底部表面固定有齿牙，所述齿牙的表面啮合有转动齿轮，所述转动齿轮的轴心处固定有转动轴，所述转动轴的端部固定有转动轮，所述转动轮的表面通过销轴转动有连动杆，所述连动杆的端部通过销轴转动有滑块，所述滑块的表面固定有L型杆，所述L型杆的端部固定有敲击锤，所述敲击锤位于铜板的一侧。

优选的，所述移动杆的顶部固定有固定杆，所述固定杆的表面固定有拉动绳，所述拉动绳的端部固定有固定块，所述固定块的一侧表面固定有密封板，所述密封板滑动连接在密封槽内，所述密封槽开设在密封框的表面上，所述密封框固定连接在柜体的内壁上。

优选的，所述拉动绳的表面缠绕有限位轮，所述限位轮的端部通过销轴转动有与柜体的内壁固定连接的凹型块，所述柜体的背面开设有通风口，所述通风口的内部固定有防尘网，所述密封板的一端固定有对称分布的挤压弹簧，所述挤压弹簧的端部与柜体的内壁固定相连。

优选的，所述转动轴的表面通过轴承转动连接有支撑杆，所述支撑杆的端部与柜体的内壁固定连接，所述滑块滑动连接在移动槽内，所述移动槽开设在支撑板的一侧表面上，所述支撑板的一端与柜体的内壁固定连接。

优选的，所述夹持组件包括对称固定在柜体内壁的固定板，两个所述固定板的内部均螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端固定有转动盘，所述螺杆的另一端通过轴承转动有限位槽，所述限位槽的一端固定有弧形夹块，所述弧形夹块滑动连接在限位杆内，所述限位杆开设在柜体的内壁上。

优选的，所述启闭阀上嵌入安装有气体传感器，所述启闭阀的一端通过软管固定有输气管，所述输气管安装在柜体的一侧表面上，所述柜体的一侧表面固定有控制器，所述控制器与气体传感器电性连接，所述柜体的一侧表面通过合页转动有柜门，所述柜门的表面固定有把手。

一种硅烷气体输送柜漏气检测装置的检测方法，包括以下步骤：

步骤A：使用时，将准备好的气瓶放置在柜体得内部，利用柜体上设置的夹持组件，可将气瓶进行夹持限位，放置气瓶在柜体的内部位移、倾倒，同时可对不同大小的气瓶进行夹持限位，在放置好气瓶后，工作人员可将输气管的一端与启闭阀进行连接安装，进而使用时，开启气瓶，即可将气瓶内的硅烷气体通过输气管输送出去；

步骤B：在实际使用过程中，经常更换气瓶后，输气管与启闭阀之间的连接处，发生松动出现漏气现象，通过启闭阀上设置的气体传感器，方便对启闭阀与输气管之间的连接处进行实时监测，当发生漏气现象时，通过气体传感器反馈电信号至控制器，而控制器与锁紧组件上的电动推杆电性连接，启动锁紧组件运行，将气瓶顶部出气口处的阀门锁紧关闭，对气体输送的源头进行及时切断，防止气瓶内部的硅烷气体跑出，当锁紧组件运行的过程中，通过锁紧组件与往复组件的相互配合，使得往复组件做左右往复运动，使得往复组件上的敲击锤往复敲击柜体上安装的铜板，铜板受敲击震动发出警示声音，提醒旁边的工作人员及时的对柜体内进行检查维修，在使用当往复组件运行时，同时带动排气组件产生联动，使得柜体的一侧表产生缺口，使得柜体内部与外部保持空气流通，避免柜体内部因漏气聚积的硅烷气体停留在柜体内部，影响维修人员的检查，防止维修人员误吸入体内造成伤害。

与现有技术相比，本发明提供了一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，具备以下有益效果：

1、该一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，通过在柜体上设置的锁紧组件，方便对气瓶上的出气口处进行及时的锁紧，防止气瓶的气体跑出，有效避免气体泄露造成更多的浪费，节约成本。

2、该一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，通过锁紧组件、铜板和往复组件的相会配合，利用锁紧组件运行产生的动力带动往复组件运行，使得往复组件对铜板往复运动敲击，及时的提醒工作人员，发生泄露需检查维修，提高装置的工作效率，减小维修等待的时间。

3、该一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，通过在锁紧组件、往复组件和排气组件的相互配合，在往复组件运行的过程中带动排气组件运行，使得排气组件上的通风口处于打开状态，使得柜体外部空气与内部空气流通，冲散柜体内部因漏气产生的气体，避免聚积在一起防止维修人员误吸入体内。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本发明通过锁紧组件、铜板、往复组件、排气组件的相互配合，在柜体内部发生漏气时，通过锁紧组件对气瓶顶部出气口及时的关闭锁紧，防止更多的气体跑出，同时利用锁紧组件运行产生的动力源带动往复组件同步运行对铜板往复敲击，及时的提醒工作人员及时进行维修检查，减小工作等待的时间，提高工作效率，同时将排气组件处的通风口打开，保持空气流通，对维修人员起到很好的防护效果。

附图说明

图1为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置的结构示意图；

图2为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置的结构示意图；

图3为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置其中锁紧组件局部结构示意图；

图4为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置其中往复组件局部结构示意图；

图5为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置其中往复组件又一结构示意图；

图6为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置的俯视剖面结构示意图；

图7为本发明提出的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置其中排气组件局部结构示意图。

图中：1、柜体；2、气瓶；3、启闭阀；4、锁紧组件；401、电动推杆；402、活动杆；403、滑槽；404、连接杆；405、齿条；406、齿盘；5、铜板；6、往复组件；601、移动杆；602、齿牙；603、转动齿轮；604、转动轴；605、转动轮；606、连动杆；607、滑块；608、L型杆；609、敲击锤；610、支撑杆；611、移动槽；612、支撑板；7、排气组件；701、固定杆；702、拉动绳；703、固定块；704、密封板；705、密封槽；706、密封框；707、限位轮；708、凹型块；709、通风口；710、防尘网；711、挤压弹簧；8、缓冲垫；9、夹持组件；901、固定板；902、螺杆；903、转动盘；904、弧形夹块；905、限位杆；906、限位槽；10、气体传感器；11、输气管；12、控制器；13、柜门；14、把手。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

实施例1：

参照图1-7，一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体1，柜体1的内部放置有气瓶2，气瓶2的顶部安装有启闭阀3，柜体1的内壁设置有用于锁紧气瓶2的锁紧组件4，柜体1的一侧内壁嵌入安装有铜板5，锁紧组件4上联动有用于敲击铜板5的往复组件6，往复组件6上联动对柜体1内通风排气的排气组件7，气瓶2的底部放置有缓冲垫8，柜体1的内部设置有用于对气瓶2夹持限位的夹持组件9。

本发明中，使用时，将准备好的气瓶2放置在柜体1得内部，利用柜体1上设置的夹持组件9，可将气瓶2进行夹持限位，放置气瓶2在柜体1的内部位移、倾倒，同时可对不同大小的气瓶进行夹持限位，提高装置的适用范围，在柜体1内部设置的缓冲垫8，可对气瓶2底部起到缓冲减震的作用，在放置好气瓶2后，工作人员可将输气管11的一端与启闭阀3进行连接安装，进而使用时，开启气瓶2，即可将气瓶2内的硅烷气体通过输气管11输送出去，在实际使用过程中，经常更换气瓶2后，输气管11与启闭阀3之间的连接处，发生松动出现漏气现象，通过启闭阀3上设置的气体传感器10，方便对启闭阀3与输气管11之间的连接处进行实时监测，当发生漏气现象时，通过气体传感器10反馈电信号至控制器12，而控制器12与锁紧组件4上的电动推杆401电性连接，启动锁紧组件4运行，将气瓶2顶部出气口处的阀门锁紧关闭，对气体输送的源头进行及时切断，防止气瓶2内部的硅烷气体跑出，造成气体的浪费，有效节约硅烷气体的成本，当锁紧组件4运行的过程中，通过锁紧组件4与往复组件6的相互配合，产生联动效果，使得往复组件6做左右往复运动，使得往复组件6上的敲击锤609往复敲击柜体1上安装的铜板5，铜板5受敲击震动发出警示声音，提醒旁边的工作人员及时的对柜体1内进行检查维修，减小装置故障需等待的时间，提高工作效率，在使用当往复组件6运行时，同时带动排气组件7产生联动，使得柜体1的一侧表产生缺口，使得柜体1内部与外部保持空气流通，避免柜体1内部因漏气聚积的硅烷气体停留在柜体1内部，影响维修人员的检查，防止维修人员误吸入体内，造成伤害，提高装置的防护效果。

实施例2：

参照图1-7，一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体1，柜体1的内部放置有气瓶2，气瓶2的顶部安装有启闭阀3，柜体1的内壁设置有用于锁紧气瓶2的锁紧组件4，柜体1的一侧内壁嵌入安装有铜板5，锁紧组件4上联动有用于敲击铜板5的往复组件6，往复组件6上联动对柜体1内通风排气的排气组件7，气瓶2的底部放置有缓冲垫8，柜体1的内部设置有用于对气瓶2夹持限位的夹持组件9，锁紧组件4包括固定在柜体1一侧内壁的电动推杆401，电动推杆401的端部固定有活动杆402，活动杆402的端部滑动连接在滑槽403内，滑槽403开设在柜体1的内壁上，活动杆402的端部固定有连接杆404，连接杆404的一端固定有齿条405，齿条405的表面啮合有齿盘406，齿盘406设置启闭阀3上。

本发明中，当检测出柜体1内发生漏气时，启动电动推杆401，带动活动杆402移动，通过活动杆402带动连接杆404移动，而连接杆404的端部连接有齿条405，齿条405与齿盘406啮合，带动齿盘406转动，而齿盘406与安装在气瓶2顶部的启闭阀3表面，从而代替人工手动转动，将气瓶2出气口处进行及时的关闭锁紧，防止气瓶2的存储的硅烷气体跑出，从源头对气体输送的连接部位进行切断，减小不必要的损失，节约成气体浪费的成本，自动化操作，方便快捷。

实施例3：

参照图1-7，一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体1，柜体1的内部放置有气瓶2，气瓶2的顶部安装有启闭阀3，柜体1的内壁设置有用于锁紧气瓶2的锁紧组件4，柜体1的一侧内壁嵌入安装有铜板5，锁紧组件4上联动有用于敲击铜板5的往复组件6，往复组件6上联动对柜体1内通风排气的排气组件7，气瓶2的底部放置有缓冲垫8，柜体1的内部设置有用于对气瓶2夹持限位的夹持组件9，连接杆404的一侧表面固定有移动杆601，移动杆601的底部表面固定有齿牙602，齿牙602的表面啮合有转动齿轮603，转动齿轮603的轴心处固定有转动轴604，转动轴604的端部固定有转动轮605，转动轮605的表面通过销轴转动有连动杆606，连动杆606的端部通过销轴转动有滑块607，滑块607的表面固定有L型杆608，L型杆608的端部固定有敲击锤609，敲击锤609位于铜板5的一侧，转动轴604的表面通过轴承转动连接有支撑杆610，支撑杆610的端部与柜体1的内壁固定连接，滑块607滑动连接在移动槽611内，移动槽611开设在支撑板612的一侧表面上，支撑板612的一端与柜体1的内壁固定连接，移动杆601的顶部固定有固定杆701，固定杆701的表面固定有拉动绳702，拉动绳702的端部固定有固定块703，固定块703的一侧表面固定有密封板704，密封板704滑动连接在密封槽705内，密封槽705开设在密封框706的表面上，密封框706固定连接在柜体1的内壁上，拉动绳702的表面缠绕有限位轮707，限位轮707的端部通过销轴转动有与柜体1的内壁固定连接的凹型块708，柜体1的背面开设有通风口709，通风口709的内部固定有防尘网710，密封板704的一端固定有对称分布的挤压弹簧711，挤压弹簧711的端部与柜体1的内壁固定相连。

本发明中，当锁紧组件4在运行时，通过锁紧组件4上的连接杆404位移产生的作用力，带动移动杆601同步移动，再利用移动杆601、齿牙602、转动齿轮603、转动轴604、转动轮605、连动杆606、滑块607、L型杆608、敲击锤609和支撑杆610的相互配合，使得敲击锤609左右往复运动，对柜体1一侧表面安装的铜板5往复敲击，铜板5受敲击震动发出声音，工作人员听到警示音即可知晓柜体1内气体发生漏气，即可及时的对柜体1内进行检查维修，避免工作人员因长时间因装置故障无法作业现象发生，提高工作效率，在往复组件6运行的过程中，通过支撑杆610可对转动轴604进行支撑限位，使得齿牙602与转动齿轮603紧密的啮合在一起，起到支撑限位的作用，保障结构运行更加顺畅，而滑块607在左右滑动时，滑动连接在移动槽611内，可对滑块607进行移动限位，确保敲击锤609做左右直线往复运动，精准的敲击铜板5，当往复组件6运行时，移动杆601的表面固定有固定杆701，而固定杆701表面安装有拉动绳702，带动拉动绳702移动，通过拉动绳702、固定块703、密封板704、密封槽705、密封框706、限位轮707、凹型块708、通风口709、防尘网710和挤压弹簧711的相互配合，使得拉动绳702拉动密封板704在密封槽705的内部滑动，打开通风口709，使得柜体1内部与外部空气保持流通，将漏出的气体散出，避免集中在柜体1内部，防止维修人员在检查维修时误吸入，对身体造成伤害，当工作人员检查更换完毕后，锁紧组件4启动后打开气瓶2再次将内部存储的硅烷气体输送，此时，利用排气组件7上的挤压弹簧711的弹性回弹，挤压密封板704，使得密封板704对通风口709进行阻隔密封，而通风口709内部设置的防尘网710，可在打开通风口709后，防止外部灰尘异物吹入柜体1的内部，保持柜体1内部的干净卫生。

实施例4：

参照图1-7，一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体1，柜体1的内部放置有气瓶2，气瓶2的顶部安装有启闭阀3，柜体1的内壁设置有用于锁紧气瓶2的锁紧组件4，柜体1的一侧内壁嵌入安装有铜板5，锁紧组件4上联动有用于敲击铜板5的往复组件6，往复组件6上联动对柜体1内通风排气的排气组件7，气瓶2的底部放置有缓冲垫8，柜体1的内部设置有用于对气瓶2夹持限位的夹持组件9，夹持组件9包括对称固定在柜体1内壁的固定板901，两个固定板901的内部均螺纹连接有螺杆902，螺杆902的一端固定有转动盘903，螺杆902的另一端通过轴承转动有限位槽906，限位槽906的一端固定有弧形夹块904，弧形夹块904滑动连接在限位杆905内，限位杆905开设在柜体1的内壁上，启闭阀3上嵌入安装有气体传感器10，启闭阀3的一端通过软管固定有输气管11，输气管11安装在柜体1的一侧表面上，柜体1的一侧表面固定有控制器12，控制器12与气体传感器10电性连接，柜体1的一侧表面通过合页转动有柜门13，柜门13的表面固定有把手14。

本发明中，在气瓶2放置在柜体1内后，工作人员手动转动转动盘903带动螺杆902转动，通过螺杆902带动两个限位槽906对气瓶2的两侧表面进行夹持固定，防止气瓶2位移倾倒，且对气瓶2夹持固定限位后，方便锁紧组件4的正常运行，在移动搬运该装置时，防止柜体1内气瓶2晃动，对气瓶2起到很好的防护效果，在使用时，当通过锁紧组件4将气瓶2出气口处开启，气瓶2内的气体经过启闭阀3和输气管11排出，利用启闭阀3上安装的气体传感器10，可对输气管11与启闭阀3之间的连接处进行实时监测，防止气体漏气现象发生，其中气体传感器10和控制器12为现有技术，采用市场上常用的型号即可，在此不做赘述。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体(1)，其特征在于，所述柜体(1)的内部放置有气瓶(2)，所述气瓶(2)的顶部安装有启闭阀(3)，所述柜体(1)的内壁设置有用于锁紧气瓶(2)的锁紧组件(4)，所述柜体(1)的一侧内壁嵌入安装有铜板(5)，所述锁紧组件(4)上联动有用于敲击铜板(5)的往复组件(6)，所述往复组件(6)上联动对柜体(1)内通风排气的排气组件(7)，所述气瓶(2)的底部放置有缓冲垫(8)，所述柜体(1)的内部设置有用于对气瓶(2)夹持限位的夹持组件(9)。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述锁紧组件(4)包括固定在柜体(1)一侧内壁的电动推杆(401)，所述电动推杆(401)的端部固定有活动杆(402)，所述活动杆(402)的端部滑动连接在滑槽(403)内，所述滑槽(403)开设在柜体(1)的内壁上，所述活动杆(402)的端部固定有连接杆(404)，所述连接杆(404)的一端固定有齿条(405)，所述齿条(405)的表面啮合有齿盘(406)，所述齿盘(406)设置启闭阀(3)上。

3.根据权利要求2所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述连接杆(404)的一侧表面固定有移动杆(601)，所述移动杆(601)的底部表面固定有齿牙(602)，所述齿牙(602)的表面啮合有转动齿轮(603)，所述转动齿轮(603)的轴心处固定有转动轴(604)，所述转动轴(604)的端部固定有转动轮(605)，所述转动轮(605)的表面通过销轴转动有连动杆(606)，所述连动杆(606)的端部通过销轴转动有滑块(607)，所述滑块(607)的表面固定有L型杆(608)，所述L型杆(608)的端部固定有敲击锤(609)，所述敲击锤(609)位于铜板(5)的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述移动杆(601)的顶部固定有固定杆(701)，所述固定杆(701)的表面固定有拉动绳(702)，所述拉动绳(702)的端部固定有固定块(703)，所述固定块(703)的一侧表面固定有密封板(704)，所述密封板(704)滑动连接在密封槽(705)内，所述密封槽(705)开设在密封框(706)的表面上，所述密封框(706)固定连接在柜体(1)的内壁上。

5.根据权利要求4所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述拉动绳(702)的表面缠绕有限位轮(707)，所述限位轮(707)的端部通过销轴转动有与柜体(1)的内壁固定连接的凹型块(708)，所述柜体(1)的背面开设有通风口(709)，所述通风口(709)的内部固定有防尘网(710)，所述密封板(704)的一端固定有对称分布的挤压弹簧(711)，所述挤压弹簧(711)的端部与柜体(1)的内壁固定相连。

6.根据权利要求3所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述转动轴(604)的表面通过轴承转动连接有支撑杆(610)，所述支撑杆(610)的端部与柜体(1)的内壁固定连接，所述滑块(607)滑动连接在移动槽(611)内，所述移动槽(611)开设在支撑板(612)的一侧表面上，所述支撑板(612)的一端与柜体(1)的内壁固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述夹持组件(9)包括对称固定在柜体(1)内壁的固定板(901)，两个所述固定板(901)的内部均螺纹连接有螺杆(902)，所述螺杆(902)的一端固定有转动盘(903)，所述螺杆(902)的另一端通过轴承转动有限位槽(906)，所述限位槽(906)的一端固定有弧形夹块(904)，所述弧形夹块(904)滑动连接在限位杆(905)内，所述限位杆(905)开设在柜体(1)的内壁上。

8.根据权利要求1所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，其特征在于，所述启闭阀(3)上嵌入安装有气体传感器(10)，所述启闭阀(3)的一端通过软管固定有输气管(11)，所述输气管(11)安装在柜体(1)的一侧表面上，所述柜体(1)的一侧表面固定有控制器(12)，所述控制器(12)与气体传感器(10)电性连接，所述柜体(1)的一侧表面通过合页转动有柜门(13)，所述柜门(13)的表面固定有把手(14)。

9.根据权利要求5所述的一种硅烷气体输送柜漏气检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤A：使用时，将准备好的气瓶(2)放置在柜体(1)得内部，利用柜体(1)上设置的夹持组件(9)，可将气瓶(2)进行夹持限位，放置气瓶(2)在柜体(1)的内部位移、倾倒，同时可对不同大小的气瓶进行夹持限位，在放置好气瓶(2)后，工作人员可将输气管(11)的一端与启闭阀(3)进行连接安装，进而使用时，开启气瓶(2)，即可将气瓶(2)内的硅烷气体通过输气管(11)输送出去；

步骤B：在实际使用过程中，经常更换气瓶(2)后，输气管(11)与启闭阀(3)之间的连接处，发生松动出现漏气现象，通过启闭阀(3)上设置的气体传感器(10)，方便对启闭阀(3)与输气管(11)之间的连接处进行实时监测，当发生漏气现象时，通过气体传感器(10)反馈电信号至控制器(12)，而控制器(12)与锁紧组件(4)上的电动推杆(401)电性连接，启动锁紧组件(4)运行，将气瓶(2)顶部出气口处的阀门锁紧关闭，对气体输送的源头进行及时切断，防止气瓶(2)内部的硅烷气体跑出，当锁紧组件(4)运行的过程中，通过锁紧组件(4)与往复组件(6)的相互配合，使得往复组件(6)做左右往复运动，使得往复组件(6)上的敲击锤(609)往复敲击柜体(1)上安装的铜板(5)，铜板(5)受敲击震动发出警示声音，提醒旁边的工作人员及时的对柜体(1)内进行检查维修，在使用当往复组件(6)运行时，同时带动排气组件(7)产生联动，使得柜体(1)的一侧表产生缺口，使得柜体(1)内部与外部保持空气流通，避免柜体(1)内部因漏气聚积的硅烷气体停留在柜体(1)内部，影响维修人员的检查，防止维修人员误吸入体内造成伤害。

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