CN116204004A - 一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质。本发明涉及运动台减振技术领域。该方法包括：第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。
Description
技术领域
本发明实施例涉及运动台减振技术领域，尤其涉及一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质。
背景技术
随着集成电路制造业的不断发展，以半导体制造为代表的微米、纳米级精密加工设备集成了光、机、电、控等多个学科的尖端技术。但半导体加工设备的运动精度、产率等指标严格受限于外部扰动力对内部的干扰。
现有的半导体制造设备一般采用被动减震和主动减震结合的方式进行减震。其中，被动减振器用于隔离地基的高频振动，一般由一个段的弹簧或者阻尼构成。主动减振器可以用来衰减大部分内部干扰(中低频)。
在理想情况下，通过引入外界能量，可以将被动减振器的固有频率压制为0dB，即不增益也不衰减，但实际情况中，由于整个机电系统的非线性因素，当运动台没有参与运动的时候，即使开启主动减振，仍然会从外部世界传入振动，导致运动台存在振动，安装在内外部世界之间的主被动减振器很难大幅度衰减该扰动力，故在实际应用中，减振效果一般，难以应用在高要求的设备中。
发明内容
本发明提供了一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质，以解决外部扰动对半导体制造设备造成的低频振动问题。
根据本发明的一方面，提供了一种振动抑制方法，包括：
第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；
第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；
所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；
所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。
根据本发明的另一方面，提供了一种振动抑制控制板卡，包括：减震器控制子板卡、运动台控制子板卡、核间通信模块；
所述减震器控制子板卡中设置有第一处理器，用于执行减振器控制算法，以及如权利要求1所述的振动抑制方法；
所述运动台控制子板卡中设置有第二处理器，用于执行运动台控制算法，以及如权利要求1所述的振动抑制方法；
所述核间通信模块设置有共享内存，所述第一处理器与所述第二处理器均与所述共享内存相连接，用于实现第一处理器和第二处理器间的数据共享。
根据本发明的另一方面，一种电子设备，所述电子设备包括：
第一处理器和第二处理器；以及
与所述第一处理器和/或所述第二处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述第一处理器和所述第二处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述第一处理器和所述第二处理器执行，以使所述第一处理器和所述第二处理器能够执行本发明任一实施例所述的振动抑制方法。
根据本发明的另一方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现本发明任一实施例所述的振动抑制方法。
本发明实施例的技术方案，通过第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。本发明的技术方案，第二处理器在能够获取运动台的运动数据的基础上，还能通过共享内存获取承载台的运动数据，能够同时基于运动台和承载台的运动数据对运动台的振动进行抑制，有利于准确有效的抑制运动台振动，提高运动台的工作精度。
应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一提供的一种振动抑制的流程图；
图2是本发明实施例一提供的一种半导体制造设备的结构示意图；
图3为本发明实施例二提供的另一种振动抑制的流程图；
图4为本发明实施例三提供的一种振动抑制控制板卡的结构示意图；
图5是本发明实施例三提供的一种传统减振架构的结构示意图；
图6为本发明实施例四提供的一种电子设备结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
实施例一
图1为本发明实施例一提供的一种振动抑制的流程图，本实施例可适用于抑制半导体制造设备因外部扰动产生的低频振动的情况，该方法可以由振动抑制控制板卡来执行，该振动抑制控制板卡可以采用硬件和/或软件的形式实现，该振动抑制控制板卡可配置于电子设备中。例如，电子设备可以为服务器或服务器集群等。
如图1所示，该方法包括：
步骤110、第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存。
需要说明的是，本申请是为了对运动台的低频振动进行抑制，其中，运动台以及承载台为半导体制造设备中的部件，图2是本发明实施例一提供的一种半导体制造设备的结构示意图。
如图2所示，所述半导体制造设备包括：光学处理单元201、光学处理单元支撑承载台202、运动台203、承载台204、减振器传感器单元205、刚度阻尼组件206、减振器执行器单元207、地基208、刚度阻尼组件209。
具体的，地基208为整个设备的固定装置，与大地相连，承载台204通过刚度阻尼组件206和209、减振器执行器单元207与地基208相连，其中，减振器执行器单元207的电机定子安装在地基208上，动子安装在承载台204下面，用以抵消承载台204受到的运动台的反作用力。减振器传感器单元205安装在地基208和承载台204之间，用以采集承载台204的速度信号和位移信号，以及地基的加速度信号。承载台204承载运动台203和光学处理单元支撑承载台202，光学处理单元支撑大理202上方连接光学处理单元201。
其中，承载台可以是大理石材质的载重台。承载台的运动数据包括承载台的位移、位置、速度、加速度。预处理包括低通滤波。
具体的，当外部扰动通过地基208、刚度阻尼组件206和209对载重台204造成振动时，第一处理器获取载重台204的位移、位置等运动数据，并进行低通滤波处理，随后将处理后的数据发送至共享内存。
所述方法还包括：所述第一处理器获取所述承载台的运动数据后，根据所述承载台的运动数据执行减振器控制算法，并根据所述算法的计算结果输出电机力以抑制所述承载台的振动。
其中，减振器控制算法包括减振器速度和位置闭环算法、前馈计算和解耦矩阵的运算。
具体的，第一处理器根据承载台的运动数据进行减振器控制算法，执行器根据第一处理器的计算结果向承载台输出电机力，以抵消承载台受到的外部振动。
步骤120、第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据。
其中，运动台的运动数据包括运动台的位移、位置、速度、加速度。
具体的，运动台在半导体制造设备的工作流程中用于交接片、调焦调平、硅片对准、掩模对准以及曝光等，其工作精度严格受限于内部外扰动。由于运动台位于承载台上，当承载台受到外来扰动时，运动台通过承载台也会受到干扰。当运动台不工作时受到外部干扰后会产生振动，第二处理器获取运动台的运动数据，并通过第一处理器和第二处理器之间连接的共享内存获取第一处理器传输的预处理后的承载台的运动数据。
在第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据之前，所述方法还包括：传感器采集所述承载台的运动数据和所述运动台的运动数据。
具体的，可以通过传感器分别采集承载台和运动台的实时运动数据，然后通过硬件连接传输分别至第一处理器和第二处理器。
步骤130、所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点。
所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点，包括：
所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换得到所述运动台和所述承载台的速度频域数据以及位移频域数据；所述第二处理器根据所述速度频域数据和所述位移频域数据确定所述运动台和所述承载台的共振点。
在本步骤中，运动数据指的是速度和位移数据。共振是指系统受到外界激励时产生的响应表现为大幅度的振动，此时外界激励频率与系统的固有振动频率相同或者非常接近。
具体的，第二处理器对运动台的速度、位移数据以及预处理后的承载台的速度、位移数据分别进行傅里叶变换得到运动台的速度频域数据和位移频域数据以及承载台的速度频域数据和位移频域数据。
其中，在判断共振点时，一般采用的方法是，当监测点的响应值(速度、位移)是控制点控制值(速度、位移)的6dB(2倍)以上时，监测点响应值对应的频率f即为共振点。因此，可以根据运动台的速度频域数据和位移频域数据以及承载台的速度频域数据和位移频域数据自动识别共振点。
步骤140、所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。
具体的，当受到外界扰动时，运动台会通过承载台受到扰动力，通过向运动台叠加减振力可以抵消运动台受到的扰动力。
在本步骤中，第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，包括：
所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位确定所述运动台受到的振动力；所述第二处理器将与所述运动台受到的振动力相位相反的力作为所述运动台的减振力。
进一步的，第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位确定所述运动台受到的振动力，包括：若所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位一致，所述第二处理器根据振动力计算公式确定所述运动台受到的振动力；若所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位不一致，所述第二处理器对所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位取平均值，根据所述平均值和所述振动力计算公式确定所述运动台受到的振动力。
具体的，振动力计算公式为：F＝sin(wt+a)，其中，F为运动台受到的振动力，w为频率，a为相位。
本实施例中，通过第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。本实施例的技术方案，第二处理器在能够获取运动台的运动数据的基础上，还能通过共享内存获取承载台的运动数据，能够同时基于运动台和承载台的运动数据对运动台的振动进行抑制，有利于准确有效的抑制运动台振动，提高运动台的工作精度。
实施例二
本发明实施例提供了一种振动抑制的流程。图3为本发明实施例二提供的另一种振动抑制的流程图，本实施例在上述实施例的基础上对振动抑制方法进行进一步细化。如图3所示，所述方法还包括：
步骤301、判断主动减振器是否启动。
具体的，减振模式通常包括被动减振和主动减振，其中，被动减振可以通过被动减震器来实现，被动减振器一般由一段弹簧或者阻尼组成，用来隔离地基的高频振动。主动减振可以通过主动减震器来实现，主动减振器可以输出减振力，用以衰减中低频干扰。
步骤302、若是，输入承载台和运动台的位移和速度。
步骤303、若否，返回开始状态。
步骤304、对输入的位移和速度分别进行傅里叶变换。
步骤305、判断两组数据是否存在共振点。
步骤306、若是，计算共振点的频率和相位。
步骤307、若否，返回步骤304。
步骤308、对共振点的频率和相位执行运动台控制算法得到振动力的大小。
步骤309、输出与振动力相位相反的减振力，通过减振力对运动台进行实时调整。
步骤310、判断运动台的振动是否衰减至阈值。
步骤311、若是，结束。
步骤312、若否，返回步骤309。
实施例三
图4为本发明实施例三提供的一种振动抑制控制板卡的结构示意图。该振动抑制控制板卡可以采用硬件和/或软件的形式实现，该振动抑制控制板卡可用于执行上述任一实施例的振动抑制方法。
如图4所示，401为振动抑制控制板卡，其将传统的两块板卡集成为一块板卡，402为减震器控制子板卡，403为运动台控制子板卡，404为核间通信模块。
所述减震器控制子板卡402中设置有第一处理器，用于执行减振器控制算法，以及如权利要求1所述的振动抑制方法；
所述运动台控制子板卡403设置有第二处理器，用于执行运动台控制算法，以及如权利要求1所述的振动抑制方法；
所述核间通信模块404设置有共享内存，所述第一处理器与所述第二处理器均与所述共享内存相连接，用于实现第一处理器和第二处理器间的数据共享。
需要说明的是，在传统减振架构中承载台和运动台的速度和位移是无法同时获得的，原因如下：
图5是本发明实施例三提供的一种传统减振架构的结构示意图。如图5所示，减振器控制器板卡501，运行减振器控制算法，其输入为来自运动台通过硬件连接传输过来的XY轴的加速度和位置以及速度和位置传感器采集的大理石的速度和位移，执行减振器速度和位置闭环算法、前馈计算和解耦矩阵的运算后，输出电机力对大理石进行振动抑制；运动台控制板卡502，其输入为运动台的各个轴的位置传感器采集的轴的速度，执行运动台的运动控制算法，其中包括位置环、速度环和各类滤波器算法等，输出电机力对运动台进行控制。但是，其中的减振器控制板卡501与运动台控制板卡502之间无硬线连接，即使有硬线连接，基于当前的总线通信带宽(SRIO总线的带宽为30个字节微秒级)也很难实现大量数据(上千字节)的实时通信，因此，减振器控制板卡501内的位移传感器和加速度传感器信号无法传输给运动台控制板卡502内部。
而在图4中，运动台控制子板卡403可以通过核间通信获取承载台的实时速度和位移数据，从而实现对振动的有效抑制，进而提高半导体制造过程中运动台的控制精度。
本实施例中，通过第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。本实施例的技术方案，第二处理器在能够获取运动台的运动数据的基础上，还能通过共享内存获取承载台的运动数据，能够同时基于运动台和承载台的运动数据对运动台的振动进行抑制，有利于准确有效的抑制运动台振动，提高运动台的工作精度。
本发明实施例所提供的振动抑制控制板卡可执行本发明任意实施例所提供的方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。
实施例四
图6为本发明实施例四提供的一种电子设备结构示意图。电子设备旨在表示各种形式的数字计算机，诸如，膝上型计算机、台式计算机、工作台、个人数字助理、服务器、刀片式服务器、大型计算机、和其它适合的计算机。电子设备还可以表示各种形式的移动装置，诸如，个人数字处理、蜂窝电话、智能电话、可穿戴设备(如头盔、眼镜、手表等)和其它类似的计算装置。本文所示的部件、它们的连接和关系、以及它们的功能仅仅作为示例，并且不意在限制本文中描述的和/或者要求的本发明的实现。
如图6所示，所述电子设备610包括：第一处理器611和第二处理器612；以及与所述第一处理器611和/或所述第二处理器612通信连接的存储器；如只读存储器(ROM)613、随机访问存储器(RAM)614等，其中，存储器存储有可被至少一个处理器执行的计算机程序，第一处理器611和第二处理器612可以根据存储在只读存储器(ROM)613中的计算机程序或者从存储单元619加载到随机访问存储器(RAM)614中的计算机程序，来执行各种适当的动作和处理。在RAM 614中，还可存储电子设备610操作所需的各种程序和数据。第一处理器611、第二处理器612、ROM 613以及RAM 614通过总线615彼此相连。输入/输出(I/O)接口616也连接至总线615。
电子设备610中的多个部件连接至I/O接口616，包括：输入单元617，例如键盘、鼠标等；输出单元618，例如各种类型的显示器、扬声器等；存储单元619，例如磁盘、光盘等；以及通信单元620，例如网卡、调制解调器、无线通信收发机等。通信单元620允许电子设备610通过诸如因特网的计算机网络和/或各种电信网络与其他设备交换信息/数据。
第一处理器611和第二处理器612可以是各种具有处理和计算能力的通用和/或专用处理组件。第一处理器611和第二处理器612的一些示例包括但不限于中央处理单元(CPU)、图形处理单元(GPU)、各种专用的人工智能(AI)计算芯片、各种运行机器学习模型算法的处理器、数字信号处理器(DSP)、以及任何适当的处理器、控制器、微控制器等。第一处理器611和第二处理器612执行上文所描述的各个方法和处理，例如振动抑制方法。
在一些实施例中，振动抑制方法可被实现为计算机程序，其被有形地包含于计算机可读存储介质，例如存储单元619。在一些实施例中，计算机程序的部分或者全部可以经由ROM 613和/或通信单元620而被载入和/或安装到电子设备610上。当计算机程序加载到RAM 614并由第一处理器611和第二处理器612执行时，可以执行上文描述的振动抑制方法的一个或多个步骤。备选地，在其他实施例中，第一处理器611和第二处理器612可以通过其他任何适当的方式(例如，借助于固件)而被配置为执行振动抑制方法。
本文中以上描述的系统和技术的各种实施方式可以在数字电子电路系统、集成电路系统、场可编程门阵列(FPGA)、专用集成电路(ASIC)、专用标准产品(ASSP)、芯片上系统的系统(SOC)、负载可编程逻辑设备(CPLD)、计算机硬件、固件、软件、和/或它们的组合中实现。这些各种实施方式可以包括：实施在一个或者多个计算机程序中，该一个或者多个计算机程序可在包括至少一个可编程处理器的可编程系统上执行和/或解释，该可编程处理器可以是专用或者通用可编程处理器，可以从存储系统、至少一个输入装置、和至少一个输出装置接收数据和指令，并且将数据和指令传输至该存储系统、该至少一个输入装置、和该至少一个输出装置。
用于实施本发明的方法的计算机程序可以采用一个或多个编程语言的任何组合来编写。这些计算机程序可以提供给通用计算机、专用计算机或其他可编程数据处理装置的处理器，使得计算机程序当由处理器执行时使流程图和/或框图中所规定的功能/操作被实施。计算机程序可以完全在机器上执行、部分地在机器上执行，作为独立软件包部分地在机器上执行且部分地在远程机器上执行或完全在远程机器或服务器上执行。
在本发明的上下文中，计算机可读存储介质可以是有形的介质，其可以包含或存储以供指令执行系统、装置或设备使用或与指令执行系统、装置或设备结合地使用的计算机程序。计算机可读存储介质可以包括但不限于电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外的、或半导体系统、装置或设备，或者上述内容的任何合适组合。备选地，计算机可读存储介质可以是机器可读信号介质。机器可读存储介质的更具体示例会包括基于一个或多个线的电气连接、便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM或快闪存储器)、光纤、便捷式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光学储存设备、磁储存设备、或上述内容的任何合适组合。
为了提供与用户的交互，可以在电子设备上实施此处描述的系统和技术，该电子设备具有：用于向用户显示信息的显示装置(例如，CRT(阴极射线管)或者LCD(液晶显示器)监视器)；以及键盘和指向装置(例如，鼠标或者轨迹球)，用户可以通过该键盘和该指向装置来将输入提供给电子设备。其它种类的装置还可以用于提供与用户的交互；例如，提供给用户的反馈可以是任何形式的传感反馈(例如，视觉反馈、听觉反馈、或者触觉反馈)；并且可以用任何形式(包括声输入、语音输入或者、触觉输入)来接收来自用户的输入。
可以将此处描述的系统和技术实施在包括后台部件的计算系统(例如，作为数据服务器)、或者包括中间件部件的计算系统(例如，应用服务器)、或者包括前端部件的计算系统(例如，具有图形用户界面或者网络浏览器的用户计算机，用户可以通过该图形用户界面或者该网络浏览器来与此处描述的系统和技术的实施方式交互)、或者包括这种后台部件、中间件部件、或者前端部件的任何组合的计算系统中。可以通过任何形式或者介质的数字数据通信(例如，通信网络)来将系统的部件相互连接。通信网络的示例包括：局域网(LAN)、广域网(WAN)、区块链网络和互联网。
计算系统可以包括客户端和服务器。客户端和服务器一般远离彼此并且通常通过通信网络进行交互。通过在相应的计算机上运行并且彼此具有客户端-服务器关系的计算机程序来产生客户端和服务器的关系。服务器可以是云服务器，又称为云计算服务器或云主机，是云计算服务体系中的一项主机产品，以解决了传统物理主机与VPS服务中，存在的管理难度大，业务扩展性弱的缺陷。
应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发明中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本发明的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。
上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。
Claims (9)
1.一种振动抑制方法，其特征在于，包括：
第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；
第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据；
所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点；
所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，通过所述运动台的减振力抵消所述运动台受到的力以抑制所述运动台产生的振动。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在第一处理器获取承载台的运动数据后对所述承载台的运动数据进行预处理，并将预处理后的承载台的运动数据发送至共享内存；第二处理器获取运动台的运动数据，并通过共享内存获取所述预处理后的承载台的运动数据之前，所述方法还包括：
传感器采集所述承载台的运动数据和所述运动台的运动数据。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
所述第一处理器获取所述承载台的运动数据后，根据所述承载台的运动数据执行减振器控制算法，并根据所述算法的计算结果输出电机力以抑制所述承载台的振动。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换，得到变换后的数据，并根据所述变换后的数据确定所述运动台和所述承载台的共振点，包括：
所述第二处理器对所述运动台的运动数据和所述预处理后的承载台的运动数据进行傅里叶变换得到所述运动台和所述承载台的速度频域数据以及位移频域数据；
所述第二处理器根据所述速度频域数据和所述位移频域数据确定所述运动台和所述承载台的共振点。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点确定所述运动台的减振力，包括：
所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位确定所述运动台受到的振动力；
所述第二处理器将与所述运动台受到的振动力相位相反的力作为所述运动台的减振力。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二处理器根据所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位确定所述运动台受到的振动力，包括：
若所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位一致，所述第二处理器根据振动力计算公式确定所述运动台受到的振动力；
若所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位不一致，所述第二处理器对所述运动台和所述承载台的共振点的频率和相位取平均值，根据所述平均值和所述振动力计算公式确定所述运动台受到的振动力。
7.一种振动抑制控制板卡，其特征在于，包括：减震器控制子板卡、运动台控制子板卡、核间通信模块；
所述减震器控制子板卡中设置有第一处理器，用于执行减振器控制算法，以及如权利要求1所述的振动抑制方法；
所述运动台控制子板卡中设置有第二处理器，用于执行运动台控制算法，以及如权利要求1所述的振动抑制方法；
所述核间通信模块设置有共享内存，所述第一处理器与所述第二处理器均与所述共享内存相连接，用于实现第一处理器和第二处理器间的数据共享。
8.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：
第一处理器和第二处理器；以及
与所述第一处理器和/或所述第二处理器通信连接的存储器；其中，
所述存储器存储有可被所述第一处理器和所述第二处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述第一处理器和所述第二处理器执行，以使所述第一处理器和所述第二处理器能够执行权利要求1-6中任一项所述的方法。
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使处理器执行时实现权利要求1-6中任一项所述的方法。
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|---|---|---|---|
| CN202310208359.7A CN116204004A (zh) | 2023-03-06 | 2023-03-06 | 一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质 |
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| CN116204004A true CN116204004A (zh) | 2023-06-02 |
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| CN202310208359.7A Pending CN116204004A (zh) | 2023-03-06 | 2023-03-06 | 一种振动抑制方法、控制板卡、设备及存储介质 |
Country Status (1)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116822157A (zh) * | 2023-06-05 | 2023-09-29 | 哈尔滨工业大学 | 一种柔性基础激振台共振抑制方法 |
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2023
- 2023-03-06 CN CN202310208359.7A patent/CN116204004A/zh active Pending
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN116822157A (zh) * | 2023-06-05 | 2023-09-29 | 哈尔滨工业大学 | 一种柔性基础激振台共振抑制方法 |
| CN116822157B (zh) * | 2023-06-05 | 2024-05-07 | 哈尔滨工业大学 | 一种柔性基础激振台共振抑制方法 |
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