CN116190286A - 一种多规格晶片盒及其定位机构 - Google Patents

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陆宇琦
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Abstract

本发明提供了一种多规格晶片盒及其定位机构，晶片盒包括晶片盒本体，晶片盒本体包括两块侧板以及设置在所述两块侧板上的顶板，顶板上设置有开口，两块侧板之间形成用于放置晶片的放置腔，晶片盒本体根据两块侧板之间的间距形成不同规格的晶片盒本体，两块侧板之间设置有定位横杆，两块侧板底部还设有定位槽，定位机构包括固定承载台、晶片盒定位块以及横杆定位块，晶片盒定位块和横杆定位块均固定在固定承载台上表面，横杆定位块上设有用于卡接定位横杆的水平卡槽，晶片盒定位块的两侧分别设有与不同规格晶片盒本体的定位槽配合的梯形台，本发明提供的晶片盒可以放置不同规格的晶片，且定位机构可以对不同尺寸规格的晶片盒进行工装定位。

Description

一种多规格晶片盒及其定位机构
技术领域
本发明涉及晶片加工领域，特别是一种多规格晶片盒及其定位机构。
背景技术
在半导体领域中，目前通常将晶片装在晶片盒内，固定承载台只能放置一种规格的晶片盒，不能兼容多种规格的晶片盒。晶片加工厂在生产多种规格的晶片时，需要分别采用与相应晶片盒规格的固定承载台进行生产晶片。生产多种规格晶片则需要多套与之相应的承载台，造成设备固定投入高，在光刻设备实际生产制造过程中，针对不同规格的晶片盒可设置相应的工装，生产相应规格的晶片时，在固定承载台上安装和更换相应工装，使一个固定承载台能生产多种规格的晶片，然而每个规格的晶片盒制作相应的工装，生产中更换工装，需要投入大量的人力和物力，投入成本高且生产效率低。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种多规格晶片盒及其定位机构，以解决上述背景技术中所提出的技术问题。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种多规格晶片盒，包括晶片盒本体，所述晶片盒本体包括两块侧板以及设置在所述两块侧板上的顶板，所述顶板上设置有开口，两块侧板之间形成用于放置晶片的放置腔，晶片盒本体根据两块侧板之间的间距形成不同规格的晶片盒本体，两块侧板之间设置有定位横杆，两块侧板底部还设有定位槽。
一种多规格晶片盒的定位机构，所述定位机构包括固定承载台、晶片盒定位块以及横杆定位块，所述晶片盒定位块和横杆定位块均固定在固定承载台上表面，横杆定位块上设有用于卡接定位横杆的水平卡槽，晶片盒定位块的两侧分别设有与不同规格晶片盒本体的定位槽配合的梯形台。
上述发明内容中，进一步的，所述晶片定位块上对称设置有台阶孔，固定承载台与所述台阶孔对应的表面设有螺孔，台阶孔内还设有旋转块，所述旋转块置于台阶孔内并可沿台阶孔内壁转动，旋转块上设有通槽，锁紧螺栓穿过所述通槽并通过螺孔将晶片定位块固定在固定承载台上表面。
上述发明内容中，进一步的，所述旋转块包括第一旋转部和第二旋转部，所述第一旋转部和第二旋转部的侧壁均为弧形结构，第一旋转部的弧形侧壁与台阶孔上端内壁配合，第二旋转部的弧形侧壁与台阶孔下端内壁配合。
上述发明内容中，进一步的，所述梯形台包括第一梯形台和第二梯形台，所述第一梯形台和第二梯形台分别能配合两种尺寸晶片盒本体的定位槽。
上述发明内容中，进一步的，所述横杆定位块通过螺钉固定在固定承载台上表面。
本发明的有益效果是：
本发明提供的晶片盒可以放置不同规格的晶片，且定位机构可以对不同尺寸规格的晶片盒进行工装定位，提升了操作便捷性，提高光刻机生产效率，其次，定位机构的晶片定位块上对称设置有台阶孔，台阶孔内设有旋转块，旋转块上设有通槽，在固定晶片定位块时，可以在台阶孔对应的固定承载台上表面任一位置灵活设置螺孔，通过旋转旋转块便可以使通槽快速与螺孔对准，进而可以快速的利用锁紧螺栓固定晶片定位块，进而在不影响晶片定位块固定精度的条件下不仅降低了螺孔的开孔精度，而且加快了晶片定位块的固定效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明晶体盒本体结构示意图；
图3为本发明晶体盒本体另一结构示意图；
图4为本发明晶体盒本体与晶片盒定位块和横杆定位块连接示意图；
图5为本发明晶片盒定位块与固定承载台连接示意图；
图6为本发明旋转块结构示意图。
图中，1-晶体盒本体，1.1-侧板，1.2-顶板，1.3-开口，1.4-放置腔，1.5-定位横杆，1.6-定位槽，2-定位机构，2.1-固定承载台，2.2-晶片盒定位块，2.3-横杆定位块，2.4-水平卡槽，2.5-梯形台，2.51-第一梯形台，2.52-第二梯形台，2.6-台阶孔，2.7-螺孔，2.8-旋转块，2.81-第一旋转部，2.82-第二旋转部，2.9-通槽，2.10-锁紧螺栓。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
实施例1：
本发明提供了一种多规格晶片盒，请参阅附图1-附图4所示，包括晶片盒本体1，所述晶片盒本体1包括两块侧板1.1以及设置在所述两块侧板1.1上的顶板1.2，所述顶板1.2上设置有开口1.3，两块侧板1.1之间形成用于放置晶片的放置腔1.4，晶片盒本体1根据两块侧板1.1之间的间距形成不同规格的晶片盒本体1，两块侧板1.1之间设置有定位横杆1.5，两块侧板1.1底部还设有定位槽1.6。
在本发明中，还提供了用于定位多规格晶片盒本体1的定位机构2，定位机构2包括固定承载台2.1、晶片盒定位块2.2以及横杆定位块2.3，所述晶片盒定位块2.2和横杆定位块2.3均固定在固定承载台2.1上表面，横杆定位块2.3上设有用于卡接定位横杆的水平卡槽2.4，晶片盒定位块2.2的两侧分别设有与不同规格晶片盒本体1的定位槽配合的梯形台2.5，在对晶片盒本体1进行定位时，将晶片盒本体1的定位横杆1.5卡接在横杆定位块2.3的水平卡槽2.4中，再将侧板1.1底部的定位槽1.6卡接在晶片盒定位块2.2的梯形台2.5，进而达到固定晶片盒本体1的目的。
请参阅附图5所示，在本实施例中，梯形台2.5包括第一梯形台2.51和第二梯形台2.52，第一梯形台2.51和第二梯形台2.52的定位尺寸不同，因此，在本实施例中，第一梯形台2.51和第二梯形台2.52分别能配合两种尺寸晶片盒本体1的定位槽1.6，进而可以对两种规格尺寸的晶片盒本体1进行定位，在具体实施过程中，还可以设置其他尺寸和其他数量的的梯形台，以适应更多尺寸的晶片盒本体1的定位。
实施例2：
请继续参阅附图5和附图6所示，晶片定位块2.2上对称设置有台阶孔2.6，固定承载台2.1与所述台阶孔2.6对应的表面设有螺孔2.7，台阶孔2.6内还设有旋转块2.8，所述旋转块2.8置于台阶孔2.6内并可沿台阶孔2.6内壁转动，旋转块2.8上设有通槽2.9，锁紧螺栓2.10穿过所述通槽2.9并通过螺孔2.7将晶片定位块2.2固定在固定承载台2.1上表面，横杆定位块2.3通过螺钉固定在固定承载台2.1上表面。具体的，在本实施例中，螺孔2.7可以设置在固定承载台2.1与台阶孔2.6对应的表面的任一位置，在固定晶片定位块2.2时，当锁紧螺栓2.10的通槽2.9与螺孔2.7没有对准时，可以在台阶孔2.6内快速转动旋转块2.8，使通槽2.9与螺孔2.7对准，随后便可以通过锁紧螺栓2.10将晶片定位块2.2固定在固定承载台2.1上，因此，在本实施例中，可以在台阶孔2.6对应的固定承载台2.1上表面任一位置灵活设置螺孔2.7来固定晶片定位块2.2，进而在不影响晶片定位块2.2固定精度的条件下不仅降低了螺孔2.7的开孔精度，而且加快了晶片定位块2.2的固定效率。
在上述实施例中，作为一个优选的实施例，为加强旋转块2.8与台阶孔2.6之间的配合效果，旋转块2.8设置有第一旋转部2.81和第二旋转部2.82，第一旋转部2.81和第二旋转部2.82的侧壁均为弧形结构，并且第一旋转部2.81的弧形侧壁与台阶孔2.6上端内壁配合，第二旋转部2.82的弧形侧壁与台阶孔2.6下端内壁配合，在转动旋转块2.8时，第一旋转部2.81的侧壁沿着台阶孔2.6上端内壁转动，第二旋转部2.82沿着台阶孔2.6下端内壁转动，使得旋转块2.8不易从台阶孔2.6中脱落。
以上所述实施例仅表达了本发明的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种多规格晶片盒，其特征在于，包括晶片盒本体，所述晶片盒本体包括两块侧板以及设置在所述两块侧板上的顶板，所述顶板上设置有开口，两块侧板之间形成用于放置晶片的放置腔，晶片盒本体根据两块侧板之间的间距形成不同规格的晶片盒本体，两块侧板之间设置有定位横杆，两块侧板底部还设有定位槽。
2.一种用于定位权利要求1所述的多规格晶片盒的定位机构，其特征在于，所述定位机构包括固定承载台、晶片盒定位块以及横杆定位块，所述晶片盒定位块和横杆定位块均固定在固定承载台上表面，横杆定位块上设有用于卡接定位横杆的水平卡槽，晶片盒定位块的两侧分别设有与不同规格晶片盒本体的定位槽配合的梯形台。
3.根据权利要求2所述的一种定位机构，其特征在于，所述晶片定位块上对称设置有台阶孔，固定承载台与所述台阶孔对应的表面设有螺孔，台阶孔内还设有旋转块，所述旋转块置于台阶孔内并可沿台阶孔内壁转动，旋转块上设有通槽，锁紧螺栓穿过所述通槽并通过螺孔将晶片定位块固定在固定承载台上表面。
4.根据权利要求3所述的一种定位机构，其特征在于，所述旋转块包括第一旋转部和第二旋转部，所述第一旋转部和第二旋转部的侧壁均为弧形结构，第一旋转部的弧形侧壁与台阶孔上端内壁配合，第二旋转部的弧形侧壁与台阶孔下端内壁配合。
5.根据权利要求3所述的一种定位机构，其特征在于，所述梯形台包括第一梯形台和第二梯形台，所述第一梯形台和第二梯形台分别能配合两种尺寸晶片盒本体的定位槽。
6.根据权利要求2所述的一种定位机构，其特征在于，所述横杆定位块通过螺钉固定在固定承载台上表面。
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