CN116097000A - 化学品供应装置及其操作方法 - Google Patents
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Abstract
一种化学品供应装置，其包括保护结构、蠕动泵以及流体管。保护结构具有第一开口以及第二开口，且第二开口位于第一开口上方。蠕动泵配置于保护结构上。流体管配置于保护结构以及蠕动泵中。第一开口以及第二开口朝向相同的方向。流体管连接第一开口以及第二开口。蠕动泵用以控制流体管中的溶液。保护结构适于覆盖化学溶液容器的出口。本公开还提供了一种化学品供应装置的操作方法。
Description
技术领域
本公开总体上涉及一种供应装置。更确切地说，本公开涉及一种化学品供应装置。
背景技术
近年来，对高电子迁移率晶体管(HEMT)的深入研究已经很普遍，特别是对于高功率开关和高频应用来说。Ⅲ族氮化物基HEMT利用两种不同带隙材料之间的异质结界面形成量子阱状结构，用于容纳二维电子气(2DEG)区，满足高功率/高频率装置的需求。除了HEMT之外，具有异质结构的装置的实例进一步包含异质结双极晶体管(HBT)、异质结场效应晶体管(HFET)和调制掺杂的FET(MODFET)。
制造过程需要金属离子。目前，可以制造高纯度的金属离子溶液并储存于材料桶中，而操作员可以利用像是滴管、移液管、虹吸管等输送装置输送这些溶液。然而，这些溶液可能会在输送过程中受到污染，而金属离子中的杂质会对包含多个HEMT的晶片的电性造成影响。如果操作员直接接触这些输送装置的管线或材料桶的开口，这些溶液也会被污染。因此，需要一种可携式且输送管线不会被污染的输送装置。
发明内容
本公开在一个方面提供了一种化学品供应装置。此化学品供应装置包括保护结构、蠕动泵以及流体管。保护结构具有第一开口以及第二开口，且第二开口位于第一开口上方。蠕动泵配置于保护结构上。流体管配置于保护结构以及蠕动泵中。第一开口以及第二开口朝向相同的方向。流体管连接第一开口以及第二开口。蠕动泵用以控制流体管中的溶液。保护结构适于覆盖化学溶液容器的出口。
本公开在另一个方面提供了一种化学品供应装置的操作方法。此操作方法包括以下步骤：配置化学品供应装置在化学溶液容器上；自化学品供应装置的保护结构伸长部分流体管，通过化学溶液容器的出口进入化学溶液容器中；并且开启安装至流体管的蠕动泵。化学品供应装置覆盖化学溶液容器的出口。化学品供应装置包括保护结构、流体管以及蠕动泵。蠕动泵配置在保护结构上。流体管配置在保护结构以及蠕动泵中。保护结构的第二开口位于保护结构的第一开口的上方。第一开口与第二开口朝向相同的方向。流体管连接第一开口与第二开口。蠕动泵用以控制流体管中的溶液。
本公开在另一个方面提供了一种化学品供应装置。化学品供应装置包括保护结构、蠕动泵以及流体管。保护结构具有第一开口以及第二开口。第二开口位于第一开口上方。蠕动泵配置在保护结构上。流体管配置在保护结构以及蠕动泵中。流体管的第二末端位于邻近第二开口的位置。保护结构通过减少蠕动泵以及第一开口之间的距离，来伸出流体管的第二末端。
基于上述配置，制作了更佳的配置。因为保护结构可以覆盖化学溶液容器的出口，改善对流体管的保护，且操作员可以在没有接触流体管的情况下输送流体。
附图说明
当结合附图阅读时，根据以下详细描述可以很容易理解本公开的各方面。应注意，各种特征可以不按比例绘制。也就是说，为了讨论清楚起见，各种特征的尺寸可以任意增大或减小。在下文中参照图式更详细地描述本公开的实施例，在图式中：
图1为本公开的一些实施例中化学品供应装置的立体图；
图2为根据图1中的割面线2绘制的剖面图；
图3及图4为本公开的一些实施例中化学品供应装置以及化学溶液容器的剖面图；
图5为根据图1中的割面线5绘制的剖面图；以及
图6为本公开的一些实施例中化学品供应装置的立体图。
具体实施方式
在整个附图和详细描述中使用共同参考标号来指示相同或相似的组件。通过结合附图进行的以下详细描述，可以很容易理解本公开的实施例。
相对于某一组件或组件群组或组件或组件群组的某一平面为相关联图中所示的组件的定向指定空间描述，例如“上”、“上方”、“下方”、“向上”、“左”、“右”、“向下”、“顶部”、“底部”、“竖直”、“水平”、“侧面”、“较高”、“较低”、“上部”、“之上”、“之下”等等。应理解，本文中所使用的空间描述仅出于说明的目的，且本文中所描述的结构的实际实施方案可以任何定向或方式进行空间布置，前提为本公开的实施例的优点是不会因此布置而有偏差。
此外，应注意，在实际装置中，由于装置制造条件，描绘为近似矩形的各种结构的实际形状可能是弯曲的、具有圆形边缘、具有略微不均匀的厚度等。使用直线和直角只是为了方便表示层和特征。
在以下描述中，化学品供应装置及其操作方法等作为优选实例进行阐述。所属领域的技术人员将清楚，可在不脱离本公开的范围和精神的情况下进行包含添加和/或替代在内的修改。可省略特定细节以免使本公开模糊不清；然而，编写本公开是为了使所属领域的技术人员能够在不进行不当实验的情况下实践本文中的教示。
图1为本公开的一些实施例中化学品供应装置的立体图，且图2为根据图1中割面线2绘制的剖面图。化学品供应装置1包括保护结构10、蠕动泵(滚子泵)11以及流体管12。蠕动泵11配置在保护结构10上。流体管12配置在保护结构10以及蠕动泵11中。
在本实施例中，保护结构10具有开口100以及开口105。开口105位于开口100上方，且开口100和开口105朝向相同方向。举例而言，开口100位于保护结构10的较低部分，且开口100朝向下方。开口105位于保护结构10的较高部分，且开口105也是朝向下方。换句话说，保护结构10覆盖开口100上方的区域以及开口105上方的区域，且在开口100上方的区域与在开口105上方的区域相邻。
蠕动泵11用以控制流体管12中的流体。流体管12可弯折(可挠)，且流体管12装进蠕动泵11的壳体中。蠕动泵11具有多个滚子110，其在滚动的过程中挤压流体管12。蠕动泵11抽送流体管12中的流体。举例而言，蠕动泵11可以具有三个滚子110，且这些滚子110压缩并抽送流体管12中的流体。
流体管12连接开口100以及开口105，且保护结构10系用以伸出邻近开口100的流体管12。流体管12用以输送流体通过开口100、保护结构10以及蠕动泵11，并自开口105释放。
具体而言，流体管12具有末端123以及末端124。末端123用以通过开口100，而末端124位于邻近开口105的位置。保护结构10通过减少蠕动泵11和开口100之间的距离，来使流体管12的末端123通过开口100伸出。
保护结构10适于覆盖化学溶液容器的出口。溶液容器可以是圆桶，且圆桶装着化学溶液。图3及图4是化学品供应装置1以及化学溶液容器的另外两张剖面图。化学溶液容器2具有出口20，且保护结构10适于覆盖化学溶液容器2的出口20。
举例而言，化学溶液容器2装着用于氮基半导体器件的湿法清洗或湿蚀刻的硫酸(H2SO4)。在一些实施例中，化学溶液容器2可以装着盐酸(HCl)、氢氧化铵(NH4OH)、过氧化氢(H2O2)或氟化氢(HF)，且化学品供应装置1只输送供氮基半导体器件的湿法清洗或湿蚀刻制程的化学品。氮基半导体器件包括氮化镓(GaN)层以及氮化铝镓(AlGaN)层。氮化铝镓层配置在氮化镓层上。氮化铝镓层的能带隙(bandgap)和氮化镓层的能带隙不同，因此可以形成二维电子气区域(2DEG region)。
在本实施例中，开口100具有宽度W1，而出口20具有宽度W2。宽度W1比宽度W2大，因此保护结构10可以通过开口100完整的覆盖出口20。举例而言，开口100的宽度W1可以是15厘米，而出口20的宽度W2可以是10厘米。在一些实施例中，开口100的宽度W1落在10厘米至20厘米的范围，而出口20的宽度W2落在5厘米至15厘米的范围。
参照图2至图4，化学品供应装置1的操作方法包括以下步骤：配置化学品供应装置1在化学溶液容器2上；从化学品供应装置1的保护结构10伸长部分流体管12，使其通过出口20进入化学品溶液容器2中；启动安装至流体管12的蠕动泵11。
保护结构10覆盖化学溶液容器2的出口20以及流体管12。因此，保护结构10可以保护出口20以及流体管12。通过启动蠕动泵11，化学品供应装置1可以通过流体管12以及蠕动泵11抽送化学流体21。当操作员利用化学品供应装置1输送化学流体21时，操作员不会接触到流体管12，因此可以避免污染。
具体而言，化学品供应装置1可以从化学溶液容器2往瓶子3输送化学流体21，而瓶子3可以从邻近开口105的流体管12的末端124接收化学流体21。在过程中，流体管12以及化学品溶液容器2的出口20可以被保护结构10保护，以避免污染。
同时，化学品供应装置1可以轻易的从化学溶液容器2移开。因此，化学品供应装置1是可携的。举例而言，化学品供应装置1的高度H1可以是50厘米，而化学品供应装置1的宽度W3可以是30厘米。在一些实施例中，化学品供应装置1的高度H1可以落在40厘米至60厘米的范围，而化学品供应装置1的宽度W3可以落在20厘米至40厘米的范围。因此，此化学品供应装置1便于携带。
在本实施例中，保护结构10包括中空部101、中空部102、中空部103以及中空部104。中空部102耦接中空部101。中空部103连接中空部102。中空部104连接中空部103。
开口100位于中空部101，而开口105位于中空部104。具体而言，开口100形成在中空部101的底部，而开口105形成在中空部104的底部。
蠕动泵11配置在中空部103上。具体而言，蠕动泵11位于中空部103的顶部上，且中空部102连接中空部103的底部。中空部101、中空部102以及中空部103位于开口100以及蠕动泵11之间。部分流体管12自蠕动泵11身延伸，其通过中空部103进入中空部102。
中空部102适于进入中空部101。具体而言，保护结构10通过将中空部102移动至中空部101中，以减少蠕动泵11以及开口100之间的距离。
中空部102连接中空部101以及中空部103。当中空部102进入中空部101时，中空部103覆盖中空部101的顶部。通过将中空部102移动至中空部101中，可以调整中空部103以及中空部101之间的距离。当大部分的中空部102进入中空部101时，开口100和蠕动泵11之间的距离会比流体管12的末端123和蠕动泵11之间的距离短。因此，部分的流体管12会从开口100伸出。换句话说，流体管12的末端123从中空部101伸出。换句话说，伸长部分流体管12的步骤包括：将中空部102移动至中空部101中。
参照图4，通过伸长流体管12的末端123，化学品供应装置1可以将部分的流体管12放入化学溶液容器2中的化学流体21中，而蠕动泵11可以在保护结构10的保护下抽送流体管12中的化学流体21。
通过调整中空部103以及中空部101之间的距离，操作员可以在不接触流体管12的情况下伸长流体管12，而操作员可以在不接触流体管12以及出口20的情况下输送化学溶液容器2中的化学流体21。
在本实施例中，中空部101的形状是平截头体(frustum)。因此，化学品供应装置1可以通过中空部101稳定地站立，并稳定地固定中空部102、中空部103、中空部104以及蠕动泵11。
中空部101具有顶部开口1010。顶部开口1010位于中空部101的顶部，且开口100位于中空部101的底部。顶部开口1010直接位于开口100的正上方，因此流体管12可以在不接触中空部101的情况下通过顶部开口1010以及开口100。
顶部开口1010较中空部102的截面大。顶部开口1010的宽度W4较中空部102的宽度W5大，且中空部102通过顶部开口1010进入中空部101。通过将中空部102移入中空部101，蠕动泵11和开口100之间的距离减少，而部分流体管12可以从开口100伸出。
顶部开口1010较中空部103的截面小。顶部开口1010的宽度W4较中空部103的宽度W6小，所以中空部103适于覆盖顶部开口1010。中空部102与中空部103连接。当中空部102进入中空部101时，中空部101和中空部103之间的距离会减少。当顶部开口1010的边缘碰触到中空部103时，中空部102会停在中空部101中。换句话说，顶部开口1010的边缘是用以停住中空部103，而中空部103用以停住中空部102。因此，中空部102和中空部103可以控制流体管12自开口100伸长的部分的长度。
参照图4，自开口100伸长的部分流体管12的长度L1可以是20厘米。然而，本公开并不限于此。在一些实施例中，长度L1的范围可以落在15厘米至25厘米，使流体管12可以插入化学溶液容器2中的化学流体21中。
参照图1及图4，在中空部101中，顶部开口1010比开口100小。开口100的宽度W1比顶部开口1010的宽度W4大。因此，开口100适于覆盖大部分的化学溶液容器2的出口20，而顶部开口1010适于围绕、引导中空部102。同时，化学品供应装置1通过中空部101可以稳定地站在化学溶液容器2上。
进一步而言，中空部101在开口100四周形成边缘1012。边缘1012朝内水平地凸出。因此，化学品供应装置1可以通过中空部101稳定地站立。
在本实施例中，中空部102的形状是长方体(cuboid)。在水平面上，中空部102的截面可以是正方形，其具有四个相同长度的边。在垂直面上，中空部102的截面可以是矩形，其具有两个较长的边与方向d1平行。中空部102系用以沿着方向d1移动。
中空部101的顶部开口1010也是正方形，且此正方形与中空部102的截面的形状相似。因此，中空部102可以平稳地进入中空部101。
中空部103的形状也是长方体，且中空部103的水平截面较中空部102的水平截面以及顶部开口1010的面积大。因此，中空部103可以被中空部101的顶部开口1010的边缘停止。
在本实施例中，中空部102的长度L2较中空部101的高度H2短。因此，当中空部102插入中空部101时，中空部101可以容置中空部102。
具体而言，在方向d1上，中空部102的长度L2较中空部101的高度H2短。中空部102用以沿着方向d1移动并进入中空部101。
在本实施例中，中空部101具有多个紧固件1011。举例而言，中空部101具有四个紧固件1011，且这些紧固件1011位于邻近顶部开口1010的四个边的位置。
具体而言，这些紧固件1011通过中空部101邻近顶部开口1010的多个侧表面1013。这些紧固件1011为哑铃状的按钮。每个紧固件1011具有两个由一条状件连接的扩大件。条状件穿过侧表面1013，且两个扩大件的其中之一位于中空部101的外侧，剩下这一个广大件位于中空部101的内侧。条状件的长度超过中空部101邻近顶部开口1010的侧壁。因此，侧壁可以垂直站立，而这些紧固件1011可以水平移动。
这些紧固件1011用以在中空部102自中空部101伸出时将中空部102固定至中空部101。中空部102具有多个固定结构1020，且这些固定结构1020配置在邻近中空部102的底部的位置。这些固定结构1020适于与这些紧固件1011耦接。
当中空部102的底部位于顶部开口1010中时，这些固定结构1020会与中空部101的这些紧固件1011对位。通过推动这些紧固件1011，每个固定结构1020会接收部分的紧固件1011，使这些紧固件1011固定至这些固定结构1020，使中空部101和中空部102之间的位置固定。
当这些紧固件1011固定至这些固定结构1020时，大部分的中空部102不位于中空部101中，而保护结构10可以覆盖并保护整个流体管12。同时，操作员可以在不接触流体管的情况下移动化学品供应装置1，使流体管不会被污染。
在本实施例中，中空部102连接中空部103的底部，且中空部104连接中空部103的侧边。中空部103是一个长方体，且中空部102连接中空部103的底面1030，且中空部104连接中空部103的侧面1032。流体管的延伸方向在保护结构10中从方向d1换到方向d2，使操作员可以轻易取得化学溶液容器2中的化学流体。
中空部103具有底部开口1031，其形成在底面1030上。因此，流体管12可以通过中空部103。
中空部102沿着方向d1延伸，而中空部104沿着方向d2延伸。方向d1和方向d2垂直，因此中空部104提供足够的空间来在下方放置瓶子3。
在本实施例中，化学品供应装置1包括泵壳体13以及泵开关14。泵壳体13覆盖蠕动泵11，而泵开关14配置于泵壳体13上方。泵开关14电性连接蠕动泵11。泵开关14控制蠕动泵11。
泵壳体13以及蠕动泵11配置在中空部103的顶部上。流体管12从蠕动泵11延伸并穿过中空部103的顶部。泵开关14配置于泵壳体13的顶部，所以操作员可以轻易控制蠕动泵11。蠕动泵11被泵壳体13覆盖，因此蠕动泵11在操作中不会被碰触。流体管12中的流体可以通过泵开关14控制，且流体管12和蠕动泵11被保护结构10以及泵壳体13保护。
在本实施例中，流体管12具有部分120、部分121以及部分122。部分120穿过中空部101、中空部102以及中空部103的内部。部分121连接部分120，且部分121配置在蠕动泵11中。部分121连接部分120和部分122，且部分122穿过中空部103以及中空部104的内部。因此，蠕动泵11可以将流体从部分120通过部分121抽送到部分122。
保护结构10以及蠕动泵11围住流体管12，且保护结构10或蠕动泵11没有形成其他开口。因此，保护结构10以及蠕动泵11可以完整保护流体管12，也可以在操作过程中避免污染。
在本实施例中，化学品供应装置1包括遮蔽物15。图5是根据图1中割面线5绘制的剖面图。中空部104具有一对导向沟槽1040。这些导向沟槽1040形成在开口105的内壁。遮蔽物15用以沿着这些导向沟槽1040滑动并遮蔽开口105。
因此，当化学品供应装置1没有在供应化学流体时，流体管12的部分122可以被遮蔽物15遮蔽。遮蔽物15可以提供进一步的保护。
参照图1，中空部102用以沿着方向d1移动，且这些导向沟槽1040沿着方向d2延伸。方向d1与方向d2垂直。因此，遮蔽物15可以完全遮蔽开口105，也可以轻易地移开遮蔽物15。
通过用遮蔽物15遮蔽开口105，在储藏或移动的过程中，遮蔽物15可以保护流体管12的部分122。在启动蠕动泵11之前，化学品供应装置1的操作方法包括：移除遮蔽开口105的遮蔽物15。参照图4，流体管12的末端124被露出，使流体可以通过流体管12提供。
参照图2，化学品供应装置1包括遮蔽开口100的遮蔽物16。通过遮蔽物15以及遮蔽物16，保护结构10可以完全围住流体管12。遮蔽物16遮蔽开口100，并保护流体管12的末端123。
通过用遮蔽物16遮蔽开口100，在储藏或移动的过程中，遮蔽物16可以保护流体管12的部分120。在化学溶液容器2配置化学品供应装置1上之前，化学品供应装置1的操作方法包括：移除遮蔽开口100的遮蔽物16。
图6为本公开的一些实施例中化学品供应装置的立体图。化学品供应装置1A和上述的化学品供应装置1相似，关于相同器件的描述在此不再重复。在本实施例中，保护结构10A具有中空部101、中空部102A、中空部103、以及中空部104。中空部102A为圆柱状结构，其不同于化学品供应装置1的中空部102。具体而言，中空部102A的水平截面是圆形。因此，中空部102A可以滑顺地进入中空部101。
选择和描述实施例是为了最佳地解释本公开的原理及其实际应用，使得所属领域的其他技术人员能够理解本公开的各种实施例，并且能够进行适合于预期的特定用途的各种修改。
如本文中所使用且不另外定义，术语“大体上(substantially/substantial)”、“大致”和“约”用于描述并考虑较小变化。当与事件或情形结合使用时，所述术语可涵盖事件或情形明确发生的情况以及事件或情形近似于发生的情况。例如，当结合数值使用时，所述术语可涵盖小于或等于所述数值的±10％的变化范围，例如小于或等于±5％、小于或等于±4％、小于或等于±3％、小于或等于±2％、小于或等于±1％、小于或等于±0.5％、小于或等于±0.1％、或小于或等于±0.05％。术语“大体上共面”可指沿同一平面定位的在数微米内的两个表面，例如沿同一平面定位的在40μm内、30μm内、20μm内、10μm内或1μm内的两个表面。
如本文中所使用，除非上下文另外明确规定，否则单数术语“一(a/an)”和“所述”可包含多个提及物。在描述一些实施例时，一个组件设置“在另一组件上或之上”可涵盖前者组件直接在后者组件上(例如，与后者组件物理接触)的情况，以及一个或多个中间组件定位在前者组件和后者组件之间的情况。
虽然已参考本公开的具体实施例描述并说明本公开，但这些描述和说明并非限制性的。所属领域的技术人员应理解，可在不脱离如由所附权利要求书定义的本公开的真实精神和范围的情况下，进行各种改变及取代等效物。图示可能未必按比例绘制。归因于制造工艺和公差，本公开中的工艺再现与实际设备之间可能存在区别。此外，应理解，实际装置和层可能会偏离附图中的矩形层描绘，并且由于共形沉积、蚀刻等制造工艺，可能包含角、表面或边缘、圆角等。可能存在未具体说明的本公开的其它实施例。应将本说明书和图式视为说明性而非限制性的。可进行修改，以使特定情形、材料、物质组成、方法或工艺适宜于本公开的目标、精神和范围。所有此类修改都既定在所附权利要求书的范围内。虽然本文中公开的方法已参考按特定次序执行的特定操作加以描述，但应理解，可在不脱离本公开的教示的情况下将这些操作组合、细分或重新排序以形成等效方法。因此，除非在本文中具体指示，否则操作的次序和分组并非限制性的。
Claims (25)
1.一种化学品供应装置，其特征在于，包括：
保护结构，具有：
第一开口；以及
第二开口，位于所述第一开口上方；
蠕动泵，配置在所述保护结构上；以及
流体管，配置在所述保护结构以及所述蠕动泵中；
其中所述第一开口以及所述第二开口朝向相同的方向；
其中所述流体管连接所述第一开口以及所述第二开口；
其中所述蠕动泵用以控制所述流体管中的流体；
其中所述保护结构适于覆盖化学溶液容器的出口。
2.根据权利要求1所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述保护结构包括：
第一中空部；
第二中空部，耦接所述第一中空部；
第三中空部，连接所述第二中空部；以及
第四中空部，连接所述第三中空部；
其中所述第一开口位于所述第一中空部上，所述第二开口位于所述第四中空部上；
其中所述第二中空部适于进入所述第一中空部；
其中，当所述第二中空部进入所述第一中空部时，所述第三中空部覆盖所述第一中空部的顶部，且所述流体管的末端自所述第一中空部伸出。
3.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第一中空部的形状为平截头体。
4.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第一中空部具有第一顶部开口，且所述第一开口位于所述第一中空部的底部，且所述第一顶部开口较所述第二中空部的截面大，且所述第一顶部开口较所述第三中空部的截面小。
5.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第一顶部开口较所述第一开口小。
6.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第一中空部具有多个紧固件，且所述多个紧固件穿过所述第一中空部邻近所述第一顶部开口的多个侧表面，且所述第二中空部具有多个固定结构，其配置于邻近所述第二中空部的底部的位置，且所述多个固定结构适于与所述多个紧固件耦接。
7.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第二中空部的形状为长方体。
8.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第二中空部的长度较所述第一中空部的高度短。
9.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第二中空部连接所述第三中空部的底部，且所述第四中空部连接所述第三中空部的侧边。
10.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，还包括：
泵壳体，覆盖所述蠕动泵；以及
泵开关，配置于所述泵壳体上；
其中所述泵开关电性连接所述蠕动泵。
11.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第二中空部沿着第一方向延伸，且所述第四中空部沿着第二方向延伸，且所述第一方向和所述第二方向互相垂直。
12.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述流体管包括：
第一部分，穿过所述第一中空部、所述第二中空部以及所述第三中空部的内部；
第二部分，连接所述第一部分并配置于所述蠕动泵中；以及
第三部分，穿过所述第三中空部以及所述第四中空部的内部。
13.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，还包括第二遮蔽物，其中所述第四中空部具有一对导向沟槽，其形成在所述第二开口的内壁，且所述第二遮蔽物用以沿着所述导向沟槽滑动并遮蔽所述第二开口。
14.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第二中空部用以沿着第一方向移动，且所述多个导向沟槽沿着第二方向延伸，且所述第一方向垂直于所述第二方向。
15.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，还包括第一遮蔽物，其遮蔽所述第一开口。
16.一种化学品供应装置的操作方法，其特征在于，包括：
配置所述化学品供应装置在化学溶液容器上，其中所述化学品供应装置覆盖所述化学溶液容器的出口；
自所述化学品供应装置的保护结构延伸部分流体管，通过所述化学溶液容器的出口进入所述化学溶液容器；
启动安装至所述流体管的蠕动泵；
其中所述化学品供应装置包括所述保护结构、所述流体管、以及所述蠕动泵，且所述蠕动泵配置在所述保护结构上，且所述流体管配置在所述保护结构以及所述蠕动泵中；
其中所述保护结构的第二开口位于所述保护结构的第一开口的上方，所述第一开口以及所述第二开口朝向相同的方向；
其中所述流体管连接所述第一开口以及所述第二开口；
其中所述蠕动泵用以控制所述流体管中的流体。
17.根据前述权利要求16所述的操作方法，其特征在于，其中所述保护结构包括：
第一中空部；
第二中空部，耦接所述第一中空部；
第三中空部，连接所述第二中空部；以及
第四中空部，连接所述第三中空部；
其中所述第一开口位于所述第一中空部上，所述第二开口位于所述第四中空部上，且延伸部分所述流体管的步骤包括：
移动所述第二中空部至所述第一中空部中。
18.根据前述权利要求中任一项所述的操作方法，其特征在于，其中，当所述第二中空部进入所述第一中空部时，所述第三中空部覆盖所述第一中空部的顶部。
19.根据前述权利要求中任一项所述的操作方法，其特征在于，在配置化学品供应装置至所述化学溶液容器上之前，还包括：
移除覆盖所述第一开口的第一遮蔽物。
20.根据前述权利要求中任一项所述的操作方法，其特征在于，在启动所述蠕动泵之前，还包括：
移除覆盖所述第二开口的第二遮蔽物。
21.一种化学品供应装置，其特征在于，包括：
保护结构，具有：
第一开口；以及
第二开口，位于所述第一开口上方；
蠕动泵，配置在所述保护结构上；以及
流体管，配置在所述保护结构以及所述蠕动泵中；
其中所述流体管的第二末端位于邻近所述第二开口的位置；
其中所述保护结构通过减少所述蠕动泵以及所述第一开口之间的距离，来伸出所述流体管的第二末端。
22.根据前述权利要求21所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述保护结构包括：
第一中空部，包括所述第一开口；
第二中空部，耦接所述第一中空部；以及
第三中空部，连接所述第二中空部；
其中所述蠕动泵配置在所述第三中空部上，且所述第一中空部、所述第二中空部以及所述第三中空部位于所述第一开口以及所述蠕动泵之间；
其中所述保护结构通过将所述第二中空部移动至所述第一中空部中，来减少所述蠕动泵以及所述第一开口之间的距离。
23.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述第一中空部具有多个紧固件，当所述第二中空部自所述第一中空部伸出时，所述多个紧固件用以将所述第二中空部固定至所述第一中空部。
24.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述保护结构包括第四中空部，且所述第四中空部连接所述第三中空部，所述第四中空部包括所述第二开口，且所述第二中空部连接所述第三中空部的底部，而所述第四中空部连接所述第三中空部的侧边。
25.根据前述权利要求中任一项所述的化学品供应装置，其特征在于，其中所述保护结构以及所述蠕动泵围住所述流体管，且所述保护结构以及所述蠕动泵没有形成其他开口。
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