CN116061579A - 一种用于显示面板喷印的基板输送系统及位姿校正方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，并公开了一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其包括基台以及设置其上的直线运动组件、基板支撑组件、基板固定组件、基板定位组件、基板位置检测组件和控制组件等，其中基板位置检测组件用于检测基板的角度误差，并反馈至控制组件，进而控制基板定位组件对基板的角度偏差进行精确校正。本发明还公开了相应的基板位姿校正方法。通过本发明，能够以全自动、高精度的方式实现大面积基板的位姿纠偏，使基板上图案轴线与输送轴线精确重合，降低喷头图案化的难度和缩短图案化处理的时间，使喷头所喷印的墨滴可以精确地落入基板上待打印的位置，提高了打印的精确性。
Description
技术领域
本发明属于新型显示喷墨打印设备相关技术领域，更具体地，涉及一种用于显示面板喷印的基板输送系统及位姿校正方法。
背景技术
OLED显示器件具有的宽色域、广视角、高对比度、高响应速度等优点，被认为是最具潜力的下一代平面显示技术。传统OLED器件制备中需要采用昂贵蒸镀设备，以很低的材料利用率来制备OLED器件中的功能层。而喷印技术直接将功能材墨水直接打印在所需的位置上，材料利用率高，且设备成本低，易实现大尺寸显示器件的制备，故喷印技术成为OLED等新型器件制备中最具前景的技术之一。
OLED喷印制备过程中，需要把墨滴精确地打印在基板上的像素坑中；且大尺寸基板在打印过程中需要沿垂直打印头运动的方向作直线移动。因而基板的位姿精度就成了影响OLED器件制备质量的重要因素。
然而，进一步的研究表明，现有的基板输送方法中，虽然常采用机械靠边的方法对基板进行了一次定位。然而由于基板的制造精度，其边缘并非精加工面，存在较大的误差。故这种靠基板边缘定位的方式并不精确，会导致基板上的图案轴线与输送动轴线之间存在角度偏差，从而导致打印质量下降。一些设备在也在喷印过程中在图案化和喷头喷射过程对该角度做了一定的补偿。但角度误差的存在将会增加图案化的准备时间，降低了生产率；并且同时会增加面板产生Mura(显示缺陷)的机率。相应地，本领域有必要作出进一步的研究和改进。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或需求，本发明的目的在于提供一种用于显示面板喷印的基板输送系统及位姿校正方法，其中通过对整个系统的构造组成及多个关键组件的针对性改进，相应能够可以全自动、高精度的方式实现大面积基板的位姿纠偏，并使得基板上图案轴线与输送轴线精确重合，进而降低喷头图案化的难度和缩短图案化处理的时间，最终使喷头所喷印的墨滴可以精确地落入基板上待的打印的图案区，保证了打印的精确性，因而尤其适用于臂如大面积OLED器件之类的新型显示器制备应用场合。
为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，该系统包括基台(100)以及设置其上的直线运动组件(200)、基板支撑组件(300)、基板固定组件(400)、基板定位组件(500)、基板位置检测组件(600)和控制组件(700)，其中：
该直线运动组件(200)用于承载所述基板固定组件(400)，并驱动该基板固定组件(400)作直线运动，进而带动基板(800)完成输送动作；
该基板支撑组件(300)用于支撑基板(800)且使其在输送过程中保持平整状态，它包括分别布置在不同区域的多组气浮输送板，并共同配合在气浮输送板表面与基板之间形成一层稳定气垫来托起基板，从而实现基板的无接触移动；
该基板固定组件(400)用于将输送至此的基板(800)予以固定，并在所述基板定位组件(500)的作用下完成位姿校正；
该基板定位组件(500)包括第一定位组件和第二定位组件，所述第一定位组件包括推动机构(510)和定位机构(520)，其中该推动机构(510)用于推动基板且使得基板一侧边缘与所述定位构件保持紧密贴合，该定位机构(520)可相对于基板升降运动，并执行对基板一侧边缘的定位；所述第二定位组件包括连杆机构，通过该连杆机构实现基板的角度调节；
该基板位置检测组件(600)用于对基板(800)的位姿数据进行检测，并获得相应的基板角度误差信息将其反馈至所述控制组件(700)；
该控制组件(700)基于所接收的信息，相应控制所述基板定位组件(500)对基板位姿进行校正。
作为进一步优选地，对于所述基台(100)而言，其优选采用大理石材质制成，并提供所需的安装平面和减震性能。
作为进一步优选地，对于所述基板支撑组件(300)而言，它包括布置在普通输送区的第一气浮输送板(310)和布置在精密打印区的第二气浮输送板(320)，其中所述第一气浮输送板(310)、第二气浮输送板(320)上均设有用于接入正气压的阵列微气孔，所述第二气浮输送板(320)上另外还设有用于接入负气压的阵列微气孔(322)；此外，在所述第一气浮输送板(310)、第二气浮输送板(320)的四周边缘优选还设有调节顶丝(340)，并通过该调节顶丝(340)来确保所有气浮输送板与基台基准面保持平行。
作为进一步优选地，对于所述基板固定组件(400)而言，其包括多组吸附条(410)，这些吸附条(410)上分别设有与气路接口(421)保持可控相连的真空腔室(411)，并且所有吸附条的上表面被机加工处于同一平面，由此依靠接入负压形成真空的方式来将输送至此的基板(800)予以固定。
作为进一步优选地，对于所述第一定位组件而言，它的所述推进机构(510)优选包括推动气缸(511)和推动构件(512)，其中该推动气缸(511)通过安装构件(513)固定在所述基台(100)上，并带动所述推动构件(512)作直线运动，进而使此推动构件(512)与基板一侧边缘接触并推动基板，使基板一侧边缘与所述定位机构(520)的配合几何紧密贴齐，实现基板的粗定位；它的所述定位机构(520)优选包括定位构件(521)、定位气缸(522)、活塞连接构件(523)、第一轴承转轴(524)、摆杆(525)和第二轴承转轴(526)，其中该定位气缸(522)用于推动所述活塞连接构件(523)，使得所述第一轴承转轴(524)在所述摆杆(525)上的滑槽移动，使所述摆杆(525)绕所述第二轴承转轴(526)摆动，由此带动固定在所述摆杆(525)上的所述定位构件(521)升起和降下，从而执行对基板一侧边缘的定位。
作为进一步优选地，对于所述第二定位组件而言，其优选包括驱动组件(531)、直线导向轴组件(532)、旋转轴组件(540)和吸附安装组件(534)，并通过这些组件来共同形成所述连杆机构；其中所述直线驱动组件(531)作直线运动时，可驱动所述吸附安装组件(534)绕着所述旋转轴组件(540)的轴线转动，由此驱动基板(800)及所述基板固定组件(400)绕固定轴线转动，从而实现基板的角度调节。
作为进一步优选地，对于所述基板位置检测组件(600)而言，其优选包括相机组件(610,620)、设置于所述基板定位组件上的视觉标志特征(631,632)和设置在基板(800)上的定位标记图案(641,642)，其中所述视觉相机组件(610,620)用于观测所述定位标记图案和所述视觉标志特征，并基于此计算获得基板纠偏角度。
作为进一步优选地，上述基板优选为承载OLED显示器件结构的无机或有机功能层的大尺寸基板。
按照本发明的另一方面，还提供了相应的基板位姿校正方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
步骤1)所述第一定位组件的定位机构升起；
步骤2)所述第一定位组件的推动机构升起，推动基板使其一侧边缘与所述定位机构的定位集合保持贴齐；
步骤3)所述基板固定组件启动真空吸附，将基板予以固定；
步骤4)所述第一定位组件的定位机构下降；
步骤5)所述基板位置检测组件对基板上的位置特征标记进行检测，并反馈至所述控制组件；
步骤6)所述控制组件计算出基板角度偏差，并相应得出所述第二定位组件需要执行的纠偏距离；
步骤7)所述第二定位组件根据所述控制组件的指令，完成基板的角度调整；
步骤8)所述基板位置检测组件再次计算基板的角度偏差，并当计算结果小于指定值时，完成整个位姿校正过程。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，具有以下
有益效果：
(1)本发明通过对整个系统构造组成及多个关键模块的具体构造及设置方法进行针对性改进，与现有技术相比能够以全自动、高精度的方式实现大面积基板的位姿纠偏；其中通过两组定位组件多次调整，从使而基板上图案轴线与输送轴线精确重合，进而降低喷头图案化的难度和缩短图案化处理的时间，最终使喷头所喷印的墨滴可以精确地落入基板上待的打印的图案区，提高了打印的精确性；
(2)本发明进一步通过采用光学或视觉方法对基板的角度误差进行进自动测量，并反馈至纠编运动构件，实现检测-纠偏的自动化。并且检测装置还对纠偏后的效果进行检测反馈，有效地保证纠偏效果；
(3)本发明进一步通过连杆机构实现基板及基板固定组件绕固定轴线转动，其驱动动作为直线运动，在工程上易于实现，且可保证很高的运动精度；通过连杆机构，可以提高纠偏角度的分辨率。且转轴组件设有间隙消除构，可以消除转轴轴承的游隙，保证了转动精度。
附图说明
图1是用于示范性说明按照本发明的基板输送系统的整体结构示意图；
图2是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板支撑组件的结构示意图；
图3是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板固定组件的结构示意图；
图4是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了第一定位组件的结构示意图；
图5a是图4中所示第一定位组件的结构立体图，图5b是图4中所示第一定位组件的结构爆炸图；
图6是用于显示了第一定位组件中定位机构下降时相对于基板上表面的位置关系图；
图7是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了第二定位组件的结构示意图；
图8是图7中所示第二定位组件的等效机构图；
图9是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了第二定位组件中旋转轴组件的结构示意图；
图10是按照本发明的一个优选实施例、更为具体地显示了基板位置检测组件的结构示意图；
图11是用于示范性说明按照本发明的基板位姿校正过程的流程图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
需要说明的包括，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
需要说明的还包括，在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
图1是用于示范性说明按照本发明的基板输送系统的整体结构示意图。该基板输送系统主要包括基台100以及设置其上的直线运动组件200、基板支撑组件300、基板固定组件400、基板定位组件500、基板位置检测组件600和控制组件700等组成结构，下面将逐一进行具体的解释说明。
对于基台100而言，其作于用于为直线运动组件200，基板支撑组件300提供支撑和固定作用。优选地，其材质为大理石，可以提供良好的减振性能。更具体地其上表面具有精密加工的平面101，作为整个装置的统一基准。平面101与直线运动组件200中的导轨210、驱动组件220、基板支撑组件300中的安装底板330相配合，并通过螺钉组件分别与其固定。
对于直线运动组件200而言，其用于承载所述基板固定组件400，并驱动该基板固定组件400作直线运动，进而带动基板800完成输送动作。
更具体地，如图1所示，直线运动组件200用于承载基板固定组件400，并在控制组件700控制下驱动其作直线运动，进而带动基板800完成输送动作。更具体地，其譬如可以包含与基台100固定的导向组件210，驱动组件220，连接组件230。其导向组件用于引导直线运动组件的运动方向，优选地其可以为气浮直线导轨或精密滚珠导轨。驱运组件202用于提供产生直线运动的动力，优选地，其为直线电机，以实现高精度的运动精度。连接组件230用于与第二定位组件520相连接。
对于基板支撑组件300而言，其用于支撑基板800且使其在输送过程中保持平整状态，它包括分别布置在不同区域的多组气浮输送板，并共同配合在气浮输送板表面与基板之间形成一层稳定气垫来托起基板，从而实现基板的无接触移动。
更具体地，如图2所示，基板支撑组件300用于支撑基板800，使其在输送过程中保持平整状态，从而保证打印的精度。如图2所列举地，其可以包含气浮输送板310，精密气浮输送板320，气浮板安装组件330。其中两组气浮输送板310设置精度要求较低的普通输送区，精密气浮输送板320设置于喷头下方精度要求较高的精密打印区。气浮板安装组件330由多支撑立板组成，其上表面与气浮输送板310、精密气浮输送板320配合并采用螺纹组件固定，其表面与基台配合并采用螺纹组件固定。
此外，气浮输送板310，精密气浮输送板320四周边缘还设有一组调节顶丝340，调过旋转顶丝340，可将气浮输送板310，精密气浮输送板320调整至与基台基准面平行。调平后气浮输送板310，精密气浮输送板320通过螺纹组件350与气浮板安装组件330固定。气浮输送板310、浮输送板320上表面设有阵列微气孔311、321，通过接入正压，在气浮输送板与基板上形成稳定的气垫，将基板托起，从而可无接触地移动。进一步优选地，精密气浮输送板320在上还设有另一组阵列微气孔322，该组微气孔接负压，使精密打印区中的气垫更均匀稳定，进而提高了精密打印区中基板的稳定性。
对于基板固定组件400而言，其用于将输送至此的基板800予以固定，并在所述基板定位组件500的作用下完成位姿校正。
更具体地，如图3所示，对于基板固定组件400而言，它用于将基板800固定在其上，并在定位组件500作用下带动基板完成角度校正，并在直线运动组件200驱动下带动基板完成输送动作。更具体地，其包含一组吸附条410，吸附条安装块420。吸附条上设有真空腔室411，与吸附条安装块420上的气路接口421相连，通过接入负压形成真空，进而将基板吸附固定在吸附条上。这些吸附条410通过与螺纹组件412与吸附块420相连接，然后通过机加工的方法使所有吸附条的上表面处于同一平面，从而避免基板吸附固定时发生变形。吸附条安装块420与第二定位组件的吸附安装组件534用螺纹组件430相连接，传递基板角度校正动作。
对于基板定位组件500而言，其包括第一定位组件和第二定位组件，所述第一定位组件包括推动机构510和定位机构520，其中该推动机构510用于推动基板且使得基板一侧边缘与所述定位构件保持紧密贴合，该定位机构520可相对于基板升降运动，并执行对基板一侧边缘的定位；所述第二定位组件包括连杆机构，通过该连杆机构实现基板的角度调节。
更具体地，如图4所示，第一定位组件譬如可包括安装在基板支撑组件上的推动机构510，以及安装在第二定位组件上的定位机构520。更具体地，其包括推动气缸511，推动构件512，安装构件513。推动气缸511通过安装构件513固定在基台100上，带动推动构件512作直线运动，进而使推动构件512与基板一侧边缘801接触并推动基板，使基板一侧边缘802与定位构件521的配合几何紧密贴齐，实现基板的粗定位。
同样如图5a和图5b所示，定位机构520具体可包括定位构件521、定位气缸522、活塞连接构件523、第一轴承转轴524、摆杆525、第二轴承转轴526、气缸安装板527、定位机构安装板528。其中，定位机构520通过其升降气缸定位机构安装板528固定在第二定位组件上。气缸推动活塞连接构件523，使第一轴承转轴524在摆杆525上的滑槽移动，进而使摆杆525绕第二轴承转轴526摆动，带动固定在摆杆525上的定位构件521升起和降下。其降下时定位机构的最高点低于基板支撑面，从而避免打印时定位组件碰到打印头。
如图7所示，第二定位组件可以包括可作直线运动的直线驱动组件531，直线导向轴组件532，底板533，旋转轴组件540、吸附安装组件534。底板533固定在直线运动组件220。直线驱动组件531、旋转轴组件安装在底板上533。直线导向轴组件532安装于直线驱动组件531上；直线导向轴组件532、旋转轴组件540同时与吸附安装组件534相连接；直线驱动组件531、直线导向轴组件532、旋转轴组件540、吸附安装组件534形成连杆构(等效机构简图如图8所示)。
相应地，当直线驱动组件531作直线运动时，可驱动吸附安装组件534绕旋转轴组件540的轴线转动。通过这种连杆机构实现基板800及基板固定组件400绕固定轴线转动。其驱动动作为直线运动，在工程上易于实现，且可保证很高的运动精度；通过连杆机构，选择合适的机构参数，可使基板转动角度Δθ≈Δs/L，其中Δs为第二直线驱动组件移动的距离，L为旋转轴组件轴线至第二直线驱动组件轴线的垂直距离。即机构的角度灵敏度为Δθ/Δs≈L，因轴线距离L可以设得较大，故该机构可以提高纠偏角度的分辨率。
如图9所示，旋转轴组件540可以更具体地譬如包括：上侧套筒541，下侧套筒542、轴承543，转轴544，游隙消除螺母545；所述游隙消除螺母545与上侧套筒541上的螺纹配合，转动时可挤压轴承543的外圈，使轴承内圈、外圈、滚动体之间的游隙消除，从而提高了转动精度。
此外，对于基板位置检测组件600而言，其用于对基板800的位姿数据进行检测，并获得相应的基板角度误差信息将其反馈至所述控制组件700；该控制组件700基于所接收的信息，相应控制所述基板定位组件500对基板位姿进行校正。
更具体地，基板位置检测组件600用于检测基板的角度偏差，并将偏差信号反馈至控制组件700，作为纠偏电机生成的角度依据。更具体地，如图10所示，基板位置检测组件可以包括视觉相机组件610、620，固定在吸附安装组件534上的视觉标志特征631、632，以及基板上的定位标记图案641、642。下视相机观察用于观测基板上的定位标记641、642与吸附安装组件534上的定位特征631、632的y向相对位置Δy1、Δy2，计算后获得纠偏角度为
其中Lmark为基板上两固定视觉标志特征641、642的间距。换算后纠偏电机应时给的纠偏距离为
该纠偏距离经控制组件700传至直线驱动组件531执行。
按照本发明的另一方面，还提供了相应的基板位姿校正方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
步骤1)所述第一定位组件的定位机构升起；
步骤2)所述第一定位组件的推动机构升起，推动基板使其一侧边缘与所述定位机构的定位集合保持贴齐；
步骤3)所述基板固定组件启动真空吸附，将基板予以固定；
步骤4)所述第一定位组件的定位机构下降；
步骤5)所述基板位置检测组件对基板上的位置特征标记进行检测，并反馈至所述控制组件；
步骤6)所述控制组件计算出基板角度偏差，并相应得出所述第二定位组件需要执行的纠偏距离；
步骤7)所述第二定位组件根据所述控制组件的指令，完成基板的角度调整；
步骤8)所述基板位置检测组件再次计算基板的角度偏差，并当计算结果小于指定值时，完成整个位姿校正过程。
综上，按照本发明的基板输送置整体结构合理，基板校正精度高，自动化程度高，适用于大面积、高效率、高质量地制备新型显示面板，可以有效地保证基板的位姿精度，降低图案化难度，缩短图案化时间，提高打印精度，因而尤其适用于OLED显示器件之类的大尺寸基板制造场合。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，该系统包括基台(100)以及设置其上的直线运动组件(200)、基板支撑组件(300)、基板固定组件(400)、基板定位组件(500)、基板位置检测组件(600)和控制组件(700)，其中：
该直线运动组件(200)用于承载所述基板固定组件(400)，并驱动该基板固定组件(400)作直线运动，进而带动基板(800)完成输送动作；
该基板支撑组件(300)用于支撑基板(800)且使其在输送过程中保持平整状态，它包括分别布置在不同区域的多组气浮输送板，并共同配合在气浮输送板表面与基板之间形成一层稳定气垫来托起基板，从而实现基板的无接触移动；
该基板固定组件(400)用于将输送至此的基板(800)予以固定，并在所述基板定位组件(500)的作用下完成位姿校正；
该基板定位组件(500)包括第一定位组件和第二定位组件，所述第一定位组件包括推动机构(510)和定位机构(520)，其中该推动机构(510)用于推动基板且使得基板一侧边缘与所述定位构件保持紧密贴合，该定位机构(520)可相对于基板升降运动，并执行对基板一侧边缘的定位；所述第二定位组件包括连杆机构，通过该连杆机构实现基板的角度调节；
该基板位置检测组件(600)用于对基板(800)的位姿数据进行检测，并获得相应的基板角度误差信息将其反馈至所述控制组件(700)；
该控制组件(700)基于所接收的信息，相应控制所述基板定位组件(500)对基板位姿进行校正。
2.如权利要求1所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，对于所述基台(100)而言，其优选采用大理石材质制成，并提供所需的安装平面和减震性能。
3.如权利要求1或2所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，对于所述基板支撑组件(300)而言，它包括布置在普通输送区的第一气浮输送板(310)和布置在精密打印区的第二气浮输送板(320)，其中所述第一气浮输送板(310)、第二气浮输送板(320)上均设有用于接入正气压的阵列微气孔，所述第二气浮输送板(320)上另外还设有用于接入负气压的阵列微气孔(322)；此外，在所述第一气浮输送板(310)、第二气浮输送板(320)的四周边缘优选还设有调节顶丝(340)，并通过该调节顶丝(340)来确保所有气浮输送板与基台基准面保持平行。
4.如权利要求1-3任意一项所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，对于所述基板固定组件(400)而言，其包括多组吸附条(410)，这些吸附条(410)上分别设有与气路接口(421)保持可控相连的真空腔室(411)，并且所有吸附条的上表面被机加工处于同一平面，由此依靠接入负压形成真空的方式来将输送至此的基板(800)予以固定。
5.如权利要求1-4任意一项所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，对于所述第一定位组件而言，它的所述推进机构(510)优选包括推动气缸(511)和推动构件(512)，其中该推动气缸(511)通过安装构件(513)固定在所述基台(100)上，并带动所述推动构件(512)作直线运动，进而使此推动构件(512)与基板一侧边缘接触并推动基板，使基板一侧边缘与所述定位机构(520)的配合几何紧密贴齐，实现基板的粗定位；它的所述定位机构(520)优选包括定位构件(521)、定位气缸(522)、活塞连接构件(523)、第一轴承转轴(524)、摆杆(525)和第二轴承转轴(526)，其中该定位气缸(522)用于推动所述活塞连接构件(523)，使得所述第一轴承转轴(524)在所述摆杆(525)上的滑槽移动，使所述摆杆(525)绕所述第二轴承转轴(526)摆动，由此带动固定在所述摆杆(525)上的所述定位构件(521)升起和降下，从而执行对基板一侧边缘的定位。
6.如权利要求5所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，对于所述第二定位组件而言，其优选包括驱动组件(531)、直线导向轴组件(532)、旋转轴组件(540)和吸附安装组件(534)，并通过这些组件来共同形成所述连杆机构；其中所述直线驱动组件(531)作直线运动时，可驱动所述吸附安装组件(534)绕着所述旋转轴组件(540)的轴线转动，由此驱动基板(800)及所述基板固定组件(400)绕固定轴线转动，从而实现基板的角度调节。
7.如权利要求1-6任意一项所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，对于所述基板位置检测组件(600)而言，其优选包括相机组件(610,620)、设置于所述基板定位组件上的视觉标志特征(631,632)和设置在基板(800)上的定位标记图案(641,642)，其中所述视觉相机组件(610,620)用于观测所述定位标记图案和所述视觉标志特征，并基于此计算获得基板纠偏角度。
8.如权利要求1-7任意一项所述的一种用于显示面板喷印的基板输送系统，其特征在于，上述基板优选为承载OLED显示器件结构的无机或有机功能层的大尺寸基板。
9.一种基于如权利要求6所述系统实现的基板位姿校正方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：
步骤1)所述第一定位组件的定位机构升起；
步骤2)所述第一定位组件的推动机构升起，推动基板使其一侧边缘与所述定位机构的定位集合保持贴齐；
步骤3)所述基板固定组件启动真空吸附，将基板予以固定；
步骤4)所述第一定位组件的定位机构下降；
步骤5)所述基板位置检测组件对基板上的位置特征标记进行检测，并反馈至所述控制组件；
步骤6)所述控制组件计算出基板角度偏差，并相应得出所述第二定位组件需要执行的纠偏距离；
步骤7)所述第二定位组件根据所述控制组件的指令，完成基板的角度调整；
步骤8)所述基板位置检测组件再次计算基板的角度偏差，并当计算结果小于指定值时，完成整个位姿校正过程。
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2022
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