CN116008597A - 一种半导体元件用测试装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体元件用测试装置,涉及半导体元件测试领域,包括工作台和设置在工作台顶面的测试面板,所述工作台的顶部且位于测试面板正上方安装有安装座,所述安装座的底部设置有防护装置,所述防护装置包括设置在安装座内部的反应机构,所述反应机构包括设置在安装座内部的驱动组件;该半导体元件用测试装置,通过电流传感器对测试面板检测过程中的电流状态进行检测,并在测试元件故障时,通过电机快速驱动齿轮转动,使得齿条移动带动安装块向上移动,从而可以使得测试元件在极短的时间内快速与测试面板进行分离,避免了测试元件故障后,持续与测试面板接触,导致容易发生严重事故的情况。
Description
技术领域
本发明涉及半导体元件测试技术,具体涉及一种半导体元件用测试装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。而一般而言,为实现半导体晶片上的集成电路元件的制备测试,必须先行对其进行测试电气特性,以判定集成电路元件是否良好。良好的集成电路将被选出以进行后续的封装工艺,而不良品将被舍弃以避免增加额外的封装成本。完成封装的集成电路元件也必须再进行另一次电性测试以筛选出封装不良品,进而提升最终成品良率。
现有的半导体测试装置测试其内的元件故障后,往往无法快速地使元件与测试面板分离,需要人为干预进行分离,由于人为干预存在滞后性,从而极容易导致元件持续发热短路,发生安全隐患。
发明内容
本发明的目的是提供一种半导体元件用测试装置,以解决现有技术中的上述不足之处。
为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种半导体元件用测试装置,包括工作台和设置在工作台顶面的测试面板,所述工作台的顶部且位于测试面板正上方安装有安装座,所述安装座的底部设置有防护装置;
所述防护装置包括设置在安装座内部的反应机构,所述反应机构包括设置在安装座内部的驱动组件,所述驱动组件的外部设置有卡接组件,所述安装座的内部设置有固定机构;
所述驱动组件驱动固定机构和其内的测试元件向上移动至固定机构运动行程末端后,固定机构抵压于安装座的底面,且上升过程中,测试元件与测试面板相互远离。
进一步地,驱动组件包括转动连接在安装座内部的转轴,所述转轴的外部固定安装有齿轮,所述齿轮的外部啮合连接有齿条,所述安装座的内部固定安装有电机一,所述电机与转轴之间设置有容错件。
进一步地,容错件包括固定连接在电机一输出轴上的转动盒,所述转动盒的内侧面滑动连接有压块,所述压块的表面固定连接有若干挡条,所述压块与转动盒内壁之间固定连接有缓冲弹簧,所述转轴的端部固定连接有圆盘,所述圆盘靠近转动盒的一侧固定连接有若干斜面块,所述斜面块的规格与压块相对应,所述齿轮驱动齿条向下移动时,所述斜面块转动并通过斜面与挡条进行挤压导向,所述斜面块转动从挡条表面通过。
进一步地,卡接组件包括固定连接在齿条外部的横板,所述横板的两侧自上而下依次开设有上活动槽和下活动槽,所述上活动槽的内侧面转动连接有挡杆,所述挡杆与上活动槽内壁之间固定安装有扭簧,所述上活动槽内部固定连接有电磁块一,所述电磁块一的外部固定连接有连接弹簧,所述连接弹簧的外部固定连接有支撑块,所述支撑块滑动连接在上活动槽的内侧面,所述安装座的内侧面开设有竖槽,所述竖槽的内侧面自上而下依次设置有若干弧面齿,所述挡杆的支撑端延伸至竖槽的内部,且完全进入上下弧面齿之间,所述弧面齿上弧面向下设置。
进一步地,固定机构包括固定连接在齿条底端的上压板,所述上压板的底部固定连接有竖板,所述竖板的表面自上而下依次设置有若干弧面块,且所述弧面块上弧面向下设置,所述上压板的底部设置有安装块,所述安装块的内侧面固定连接有电磁块二,所述电磁块二的外部固定连接有挤压弹簧,所述挤压弹簧的外部固定连接有限制板,所述限制板的端部形状为圆弧状,且延伸至相邻两个弧面块之间。
进一步地,固定机构还包括开设在安装块内部的导向槽,所述导向槽的内侧面滑动连接有固定条,所述固定条的外部固定连接有施压弹簧,所述施压弹簧的外部固定连接有推动条,所述推动条与竖板之间转动连接有联动板,所述竖板向下时,所述联动板转动并推动推动条与固定条水平移动,所述安装块的底部开设有嵌入槽,所述测试元件设置在嵌入槽中。
进一步地,所述防护装置还包括固定安装在测试面板外部的电流传感器,所述电流传感器,所述工作台的内部设置有PLC控制器,所述电流传感器将检测到的测试面板内部电路电流信号传递至PLC控制器,PLC控制器控制电机一启动,所述工作台的外部设置有取料机械臂以及物料框,所述取料机械臂吸附物料框中的测试元件后,可以水平转动180°对测试元件进行翻转,并将测试元件向上输送至嵌入槽中,所述安装座的内侧面固定安装有电动气缸,所述电动气缸的伸缩端与横板的顶面接触连接。
进一步地,安装座的底部设置有硅脂涂抹机构,所述硅脂涂抹机构包括设置在安装座内部的驱动件,所述驱动件包括固定安装在安装座内部的电机二,所述电机二输出轴的外部固定安装有螺杆,所述螺杆的外部螺纹连接有连接块,所述安装座的底面开设有方形槽,所述方形槽的底部贯穿上压板和安装块,所述连接块与方形槽的内侧面滑动连接,所述螺杆的两端分别转动连接在方形槽内壁的两侧。
进一步地,连接块的底部设置有涂抹组件,所述涂抹组件包括固定连接在连接块底部的立杆,所述立杆的底部固定连接有推板,所述推板的底部固定连接有缓压弹簧,所述缓压弹簧的底部固定连接有施压板,所述推板的外部设置有储料盒,所述施压板以及推板均滑动连接在储料盒的内侧面,所述储料盒的外部开设有缺口,所述储料盒的底部开设有出料弧槽,且其底部贯穿储料盒,所述出料弧槽的内侧面转动连接涂抹辊,所述涂抹辊的底部延伸至出料弧槽的外部,所述涂抹辊向上移动进入出料弧槽中时,所述出料弧槽与涂抹辊之间形成有排液槽,所述出料弧槽的两端均开设有短槽,所述短槽的内侧面滑动连接有滑块,所述滑块与短槽顶部之间设置有压缩弹簧,所述涂抹辊的两端均设置有短柱,所述短柱与滑块的内侧面滑动连接。
进一步地,所述安装块内部设置有散热件,所述散热件包括滑动连接在安装块内侧面的L型杆,所述L型杆的一端延伸至方形槽中,所述L型杆的一端位于安装块的内部,且表面固定连接有牵引绳,所述安装块的内侧面开设有导线槽,所述安装块的内侧面开设有引导槽,所述引导槽的内侧面滑动连接有导热板,所述导热板的位置以及规格均与缺口相对应,所述导线槽的进线端与L型杆相对应,所述导向槽的出线端设置在引导槽的底部,所述牵引绳的一端穿过导线槽与导热板的底面固定连接,所述导热板的顶面与引导槽顶面之间固定连接有拉簧,所述L型杆移动对牵引绳的一端进行拉扯时,所述牵引绳的另一端带动导热板向下移动靠近测试元件,并直至导热板与测试元件表面接触。
1、本发明提供的一种半导体元件用测试装置,通过电流传感器对测试面板检测过程中的电流状态进行检测,并在测试元件故障时,通过电机快速驱动齿轮转动,使得齿条移动带动安装块向上移动,从而可以使得测试元件在极短的时间内快速与测试面板进行分离,避免了测试元件故障后,持续与测试面板接触,导致容易发生严重事故的情况。
2、本发明提供的一种半导体元件用测试装置,通过上移的测试元件与涂抹辊接触并挤压,使得涂料辊与出料弧槽之间形成有排液槽,从而在电机二的驱动下,使得螺杆可以带动储料盒移动,储料盒移动带动涂抹辊沿着测试元件的表面滚动并对其表面进行硅脂的涂抹。
3、本发明提供的一种半导体元件用测试装置,通过储料盒的移动对L型杆进行挤压,使得L型杆可以对牵引绳的一端进行牵引,在导线槽的引导作用下,使得牵引绳的另一端可以带动导热板下移与测试元件涂抹硅脂后的表面接触,从而可以在测试过程中模拟测试元件正常的工作环境,使得最终测试结果精准性更高。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的整体结构示意图;
图2为本发明实施例提供的防护机构整体结构示意图;
图3为本发明实施例提供的安装座内部结构示意图;
图4为本发明实施例提供的图3中A处放大结构示意图;
图5为本发明实施例提供的图3中B处放大结构示意图;
图6为本发明实施例提供的储料盒内部结构示意图;
图7为本发明实施例提供的图6中C处放大结构示意图;
图8为本发明实施例提供的安装座侧向剖视结构示意图;
图9为本发明实施例提供的图8中D处放大结构示意图;
图10为本发明实施例提供的容错件整体结构示意图;
图11为本发明实施例提供的转动盒与圆盘内部结构示意图;
图12为本发明实施例提供的安装块横向剖视结构示意图;
图13为本发明实施例提供的图12中E处放大结构示意图。
附图标记说明:
1、工作台;2、测试面板;3、安装座;4、防护装置;41、反应机构;411、驱动组件;4111、转轴;4112、齿轮;4113、齿条;4114、电机一;4115、容错件;41151、转动盒;41152、压块;41153、挡条;41154、缓冲弹簧;41155、圆盘;41156、斜面块;412、卡接组件;4121、横板;4122、上活动槽;4123、下活动槽;4124、挡杆;4125、扭簧;4126、电磁块一;4127、连接弹簧;4128、支撑块;4129、弧面齿;42、固定机构;421、上压板;422、竖板;423、弧面块;424、安装块;425、电磁块二;426、挤压弹簧;427、限制板;428、固定条;429、施压弹簧;4210、推动条;4211、联动板;43、电流传感器;5、取料机械臂;6、硅脂涂抹机构;61、驱动件;611、电机二;612、螺杆;613、连接块;62、涂抹组件;621、立杆;622、推板;623、缓压弹簧;624、施压板;625、储料盒;626、出料弧槽;627、涂抹辊;628、滑块;629、压缩弹簧;6210、缺口;63、散热件;631、L型杆;632、牵引绳;633、导线槽;634、导热板;635、拉簧;7、电动气缸。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面将结合附图对本发明作进一步的详细介绍。
实施例一:
请参阅图1-图5和图8-图11,一种半导体元件用测试装置,包括工作台1和设置在工作台1顶面的测试面板2,工作台1的顶部且位于测试面板2正上方安装有安装座3,安装座3的底部设置有防护装置4;
防护装置4包括设置在安装座3内部的反应机构41,反应机构41包括设置在安装座3内部的驱动组件411,驱动组件411的外部设置有卡接组件412,安装座3的内部设置有固定机构42;
本实施例中,防护装置4可以是伸缩气缸,伸缩气缸的固定端与安装座3固定连接,其伸缩端与检测元件连接,伸缩气缸为现有技术下的公知常识,且在此作无更改直接应用,因此在该技术方案中不做具体赘述,且基于本领域下不会对该技术方案造成困扰,通过伸缩气缸伸缩端收缩测试元件向上移动与测试面板2分离。
在本实施例中,驱动组件411还可以包括转动连接在安装座3内部的转轴4111,转轴4111的外部固定安装有齿轮4112,齿轮4112的外部啮合连接有齿条4113,安装座3的内部固定安装有电机一4114,容错件4115包括固定连接在电机一4114输出轴上的转动盒41151,转动盒41151的内侧面滑动连接有压块41152,压块41152的四周等角度设置有导向块,转动盒41151的内侧面开设有与导向块相对应的槽体,导向块与沿着槽体的内侧面滑动,使得转动盒41151转动时,压块41152与其同步转动,压块41152的表面固定连接有若干挡条41153,压块41152与转动盒41151内壁之间固定连接有缓冲弹簧41154,转轴4111的端部固定连接有圆盘41155,圆盘41155靠近转动盒41151的一侧固定连接有若干斜面块41156,斜面块41156的规格与压块41152相对应,斜面块41156包括斜面部与凸起部,齿轮4112驱动齿条4113向下移动时,斜面块41156转动并通过斜面部与挡条41153进行挤压导向,使得挡条41153受到向转动盒41151内部移动的力,使其可以向其内部运动并克服缓冲弹簧41154的形变力,使得斜面块41156转动过程中可以从挡条41153表面通过,通过容错件4115中斜面块41156、挡条41153以及缓冲弹簧41154之间的相互配合,可以在齿条4113向下移动带动齿轮4112转动并使得转轴4111转动时,使得圆盘41155与转动盒41151之间发生错位转动,即两者不同时转动,从而可以对电机一4114的输出轴起到很好的防护作用,可以有效降低输出轴的磨损,当电机一4114驱动转动盒41151转动时,转动盒41151内部的压块41152同步转动,并使其表面的挡条41153随之转动,此时挡条41153在转动过程中会与斜面块41156上的凸起部接触,使得凸起部不会对挡条41153施加向转动盒41151内部移动的分力,从而使得挡条41153转动带动斜面块41156转动,斜面块41156转动带动圆盘41155转动,圆盘41155转动带动转轴4111转动,卡接组件412包括固定连接在齿条4113外部的横板4121,横板4121的两侧自上而下依次开设有上活动槽4122和下活动槽4123,上活动槽4122的内侧面转动连接有挡杆4124,挡杆4124与上活动槽4122内壁之间固定安装有扭簧4125,扭簧4125的一端固定连接在挡杆4124表面,其另一端固定连接在上活动槽4122的内壁上,上活动槽4122内部固定连接有电磁块一4126,电磁块一4126的外部固定连接有连接弹簧4127,连接弹簧4127的外部固定连接有支撑块4128,支撑块4128由金属材料制成,在电磁块一4126通电后,电磁块一4126具有磁性并对支撑块4128进行吸引,使得支撑块4128可以克服连接弹簧4127的形变力进行位置移动,使其不再对挡杆4124的转动进行限制,支撑块4128滑动连接在上活动槽4122的内侧面,挡杆4124处于水平状态时,挡杆4124与支撑块4128的表面充分接触,且在支撑块4128的支撑作用下,挡杆4124无法转动,安装座3的内侧面开设有竖槽,竖槽的内侧面自上而下依次设置有若干弧面齿4129,挡杆4124的支撑端延伸至竖槽的内部,且完全进入上下弧面齿4129之间,弧面齿4129上弧面向下设置,便于挡杆4124向下移动时,挡杆4124可以更好地向上转动从相邻两个弧面齿4129中退出,便于横板4121在电动气缸7的推动下向下移动,通过支撑块4128、挡杆4124以及弧面齿4129之间的相互配合,可以在安装块424等构件处于非工作状态时对其进行稳定支撑,使其可以保持稳定抬高状态;固定机构42包括固定连接在齿条4113底端的上压板421,上压板421的底部固定连接有竖板422,竖板422的表面自上而下依次设置有若干弧面块423,且弧面块423上弧面向下设置,上压板421的底部设置有安装块424,安装块424的内侧面固定连接有电磁块二425,电磁块二425的外部固定连接有挤压弹簧426,挤压弹簧426的外部固定连接有限制板427,限制板427由金属铁材料制成,在电磁块二425接电后具有磁性时,可以对限制板427进行吸引,使得限制板427可以克服挤压弹簧426的形变力进行位置移动并对弧面块423进行分离,从而使得竖板422可以向上移动进行复位,同时也可以去除对测试元件的固定,限制板427的端部形状为圆弧状,且延伸至相邻两个弧面块423之间;固定机构42还包括开设在安装块424内部的导向槽,导向槽的内侧面滑动连接有固定条428,固定条428的外部固定连接有施压弹簧429,施压弹簧429的外部固定连接有推动条4210,推动条4210与竖板422之间转动连接有联动板4211,竖板422向下时,联动板4211转动并推动推动条4210与固定条428水平移动,安装块424的底部开设有嵌入槽,测试元件设置在嵌入槽中,防护装置4还包括固定安装在测试面板2外部的电流传感器43,电流传感器43,工作台1的内部设置有PLC控制器,电流传感器43将检测到的测试面板2内部电路电流信号传递至PLC控制器,PLC控制器控制电机一4114启动,工作台1的外部设置有取料机械臂5以及物料框,取料机械臂5吸附物料框中的测试元件后,可以水平转动180°对测试元件进行翻转,并将测试元件向上输送至嵌入槽中,安装座3的内侧面固定安装有电动气缸7,电动气缸7的伸缩端与横板4121的顶面接触连接,安装座3的内侧面固定安装有电动气缸7,电动气缸7的伸缩端与横板4121的顶面接触连接,当PLC控制器接收到测试元件故障信号后控制电机一4114启动,电机一4114快速响应并驱动转轴4111转动,使得齿轮4112转动带动齿条4113向上移动并带动安装块424、上压板421以及测试元件向上移动与测试面板2分离,从而可以平稳且快速的带动测试元件从测试面板2表面脱离,使得故障后的测试元件与测试面板2之间的接触时间较短,可以防止严重事故发生的概率。
实施例二:
请参阅图6-图7和图12-图13,本实施例在实施例一的基础上提供了一种技术方案:安装座3的底部设置有硅脂涂抹机构6,硅脂涂抹机构6包括设置在安装座3内部的驱动件61,驱动件61包括固定安装在安装座3内部的电机二611,电机二611输出轴的外部固定安装有螺杆612,螺杆612的外部螺纹连接有连接块613,安装座3的底面开设有方形槽,方形槽的底部贯穿上压板421和安装块424,连接块613与方形槽的内侧面滑动连接,螺杆612的两端分别转动连接在方形槽内壁的两侧。
连接块613的底部设置有涂抹组件62,涂抹组件62包括固定连接在连接块613底部的立杆621,立杆621的底部固定连接有推板622,推板622的底部固定连接有缓压弹簧623,缓压弹簧623的底部固定连接有施压板624,推板622的外部设置有储料盒625,施压板624以及推板622均滑动连接在储料盒625的内侧面,储料盒625的外部开设有缺口6210,储料盒625的底部开设有出料弧槽626,且其底部贯穿储料盒625,出料弧槽626的内侧面转动连接涂抹辊627,涂抹辊627的底部延伸至出料弧槽626的外部,涂抹辊627向上移动进入出料弧槽626中时,出料弧槽626与涂抹辊627之间形成有排液槽,出料弧槽626的两端均开设有短槽,短槽的内侧面滑动连接有滑块628,滑块628与短槽顶部之间设置有压缩弹簧629,涂抹辊627的两端均设置有短柱,短柱与滑块628的内侧面滑动连接。
安装块424内部设置有散热件63,散热件63包括滑动连接在安装块424内侧面的L型杆631,L型杆631的一端延伸至方形槽中,L型杆631的一端位于安装块424的内部,且表面固定连接有牵引绳632,安装块424的内侧面开设有导线槽633,安装块424的内侧面开设有引导槽,引导槽的内侧面滑动连接有导热板634,导热板634的位置以及规格均与缺口6210相对应,导线槽633的进线端与L型杆631相对应,导线槽633的出线端设置在引导槽的底部,牵引绳632的一端穿过导线槽633与导热板634的底面固定连接,导热板634的顶面与引导槽顶面之间固定连接有拉簧635,L型杆631移动对牵引绳632的一端进行拉扯时,牵引绳632的另一端带动导热板634向下移动靠近测试元件,并直至导热板634与测试元件表面接触。
工作原理:在对测试元件进行检测时,通过取料机械臂5取件并将其自下往上送至嵌入槽中,并继续带动向上推动测试元件,当测试元件完全进入嵌入槽中后,测试元件的继续向上移动会带动安装块424向上移动,安装块424向上移动时会与上压板421以及竖板422之间发生相对运动,使得竖板422会向着安装块424的内部移动,在联动板4211传动的作用下,可以向外推动推动条4210,推动条4210移动时会带动挤压弹簧426移动,挤压弹簧426移动带动固定条428移动与测试元件的侧面接触,固定条428与测试元件接触后无法继续移动,此时推动条4210的继续移动会对挤压弹簧426进行压缩,从而使得挤压弹簧426会对固定条428施加较大的压力,使得固定条428可以对测试元件进行稳定连接固定,并且,在弧面块423与限制板427的配合作用下,可以对竖板422的向上移动进行限制,使得测试元件与安装块424之间连接稳定性更好;
安装块424向上移动靠近上压板421的过程中,测试元件会与涂抹辊627接触,随着安装块424的继续移动,涂抹辊627继续移动并带动滑块628移动并对压缩弹簧629进行压缩,使得涂抹辊627局部进入出料弧槽626中,使得涂抹辊627与出料弧槽626之间形成后排液槽,当压缩弹簧629移动至极限位置时,安装块424的继续移动会带动储料盒625移动并带动施压板624移动与推板622之间发生相对运动,在该过程中,施压板624的移动会对缓压弹簧623进行压缩,使得施压板624受到持续压力并对其内部的硅脂进行挤压,使得硅脂可以通过排液槽持续流出,此时,通过电机二611驱动螺杆612转动,螺杆612转动带动连接块613移动,连接块613移动带动储料盒625移动,储料盒625移动带动涂抹辊627沿着测试元件的表面进行滚动移动对其表面进行涂抹硅脂,当储料盒625移动完全经过导热板634时,储料盒625与L型杆631接触并挤压,使得L型杆631移动并对牵引绳632的一端进行拉扯,在导线槽633的导向作用下,牵引绳632的另一端会带动导热板634向下移动,使得导热板634可以与测试元件表面涂抹硅脂后的表面接触,可以在测试元件进行质量检测过程中,对其表面进行有效散热,使得可以模拟正常工作状态下,测试元件的正常工作状态,从而使得测试元件的测试结果精确度更高;
当测试元件固定完成后,通过给电磁块一4126通电,使得电磁块一4126具有磁性并与支撑块4128之间相互吸引,使得支撑块4128移动与挡杆4124分离,不再对挡杆4124的转动进行阻碍,使得齿条4113的正常向下移动不会受阻,此时通过电动气缸7启动,使其伸缩端向下伸出并带动上压板421以及安装块424向下移动,从而带动测试元件移动与测试面板2接触进行检测;
在检测过程中,通过与测试面板2电性连接的电流传感器43对测试元件的工作状态进行检测,当测试元件故障时,电流传感器43检测线路异常,此时通过PLC控制器控制电机一4114启动,电机一4114驱动转轴4111转动,转轴4111转动带动齿轮4112转动,齿轮4112转动带动齿条4113向上移动,齿条4113向上移动带动上压板421移动,上压板421移动带动安装块424移动,安装块424移动带动测试元件向上移动并与测试面板2分离,这样就可以在测试元件故障时快速反应将其与测试面板2分离,避免了故障后的测试元件长时间与测试面板2贴合导致容易出现危险事故的情况发生。
以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例,毋庸置疑,对于本领域的普通技术人员,在不偏离本发明的精神和范围的情况下,可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此,上述附图和描述在本质上是说明性的,不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。
Claims (10)
1.一种半导体元件用测试装置,包括工作台(1)和设置在工作台(1)顶面的测试面板(2),其特征在于,所述工作台(1)的顶部且位于测试面板(2)正上方安装有安装座(3),所述安装座(3)的底部设置有防护装置(4);
所述防护装置(4)包括设置在安装座(3)内部的反应机构(41),所述反应机构(41)包括设置在安装座(3)内部的驱动组件(411),所述驱动组件(411)的外部设置有卡接组件(412),所述安装座(3)的内部设置有固定机构(42);
所述驱动组件(411)驱动固定机构(42)和其内的测试元件向上移动至固定机构(42)运动行程末端后,固定机构(42)抵压于安装座(3)的底面,且上升过程中,测试元件与测试面板(2)相互远离。
2.根据权利要求1所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,驱动组件(411)包括转动连接在安装座(3)内部的转轴(4111),所述转轴(4111)的外部固定安装有齿轮(4112),所述齿轮(4112)的外部啮合连接有齿条(4113),所述安装座(3)的内部固定安装有电机一(4114),所述电机(4114)与转轴(4111)之间设置有容错件(4115)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,容错件(4115)包括固定连接在电机一(4114)输出轴上的转动盒(41151),所述转动盒(41151)的内侧面滑动连接有压块(41152),所述压块(41152)的表面固定连接有若干挡条(41153),所述压块(41152)与转动盒(41151)内壁之间固定连接有缓冲弹簧(41154),所述转轴(4111)的端部固定连接有圆盘(41155),所述圆盘(41155)靠近转动盒(41151)的一侧固定连接有若干斜面块(41156),所述斜面块(41156)的规格与压块(41152)相对应。
4.根据权利要求2所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,卡接组件(412)包括固定连接在齿条(4113)外部的横板(4121),所述横板(4121)的两侧自上而下依次开设有上活动槽(4122)和下活动槽(4123),所述上活动槽(4122)的内侧面转动连接有挡杆(4124),所述挡杆(4124)与上活动槽(4122)内壁之间固定安装有扭簧(4125),所述上活动槽(4122)内部固定连接有电磁块一(4126),所述电磁块一(4126)的外部固定连接有连接弹簧(4127),所述连接弹簧(4127)的外部固定连接有支撑块(4128),所述支撑块(4128)滑动连接在上活动槽(4122)的内侧面,所述安装座(3)的内侧面开设有竖槽,所述竖槽的内侧面自上而下依次设置有若干弧面齿(4129),所述挡杆(4124)的支撑端延伸至竖槽的内部,且完全进入上下弧面齿(4129)之间,所述弧面齿(4129)上弧面向下设置。
5.根据权利要求4所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,固定机构(42)包括固定连接在齿条(4113)底端的上压板(421),所述上压板(421)的底部固定连接有竖板(422),所述竖板(422)的表面自上而下依次设置有若干弧面块(423),且所述弧面块(423)上弧面向下设置,所述上压板(421)的底部设置有安装块(424),所述安装块(424)的内侧面固定连接有电磁块二(425),所述电磁块二(425)的外部固定连接有挤压弹簧(426),所述挤压弹簧(426)的外部固定连接有限制板(427),所述限制板(427)的端部形状为圆弧状,且延伸至相邻两个弧面块(423)之间。
6.根据权利要求5所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,固定机构(42)还包括开设在安装块(424)内部的导向槽,所述导向槽的内侧面滑动连接有固定条(428),所述固定条(428)的外部固定连接有施压弹簧(429),所述施压弹簧(429)的外部固定连接有推动条(4210),所述推动条(4210)与竖板(422)之间转动连接有联动板(4211),所述竖板(422)向下时,所述联动板(4211)转动并推动推动条(4210)与固定条(428)水平移动,所述安装块(424)的底部开设有嵌入槽,所述测试元件设置在嵌入槽中。
7.根据权利要求5所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,所述防护装置(4)还包括固定安装在测试面板(2)外部的电流传感器(43),所述电流传感器(43),所述工作台(1)的内部设置有PLC控制器,所述电流传感器(43)将检测到的测试面板(2)内部电路电流信号传递至PLC控制器,PLC控制器控制电机一(4114)启动,所述工作台(1)的外部设置有取料机械臂(5)以及物料框,所述取料机械臂(5)吸附物料框中的测试元件后,可以水平转动180°对测试元件进行翻转,并将测试元件向上输送至嵌入槽中,所述安装座(3)的内侧面固定安装有电动气缸(7),所述电动气缸(7)的伸缩端与横板(4121)的顶面接触连接。
8.根据权利要求5所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,安装座(3)的底部设置有硅脂涂抹机构(6),所述硅脂涂抹机构(6)包括设置在安装座(3)内部的驱动件(61),所述驱动件(61)包括固定安装在安装座(3)内部的电机二(611),所述电机二(611)输出轴的外部固定安装有螺杆(612),所述螺杆(612)的外部螺纹连接有连接块(613),所述安装座(3)的底面开设有方形槽,所述方形槽的底部贯穿上压板(421)和安装块(424),所述连接块(613)与方形槽的内侧面滑动连接,所述螺杆(612)的两端分别转动连接在方形槽内壁的两侧。
9.根据权利要求8所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,连接块(613)的底部设置有涂抹组件(62),所述涂抹组件(62)包括固定连接在连接块(613)底部的立杆(621),所述立杆(621)的底部固定连接有推板(622),所述推板(622)的底部固定连接有缓压弹簧(623),所述缓压弹簧(623)的底部固定连接有施压板(624),所述推板(622)的外部设置有储料盒(625),所述施压板(624)以及推板(622)均滑动连接在储料盒(625)的内侧面,所述储料盒(625)的外部开设有缺口(6210),所述储料盒(625)的底部开设有出料弧槽(626),且其底部贯穿储料盒(625),所述出料弧槽(626)的内侧面转动连接涂抹辊(627),所述涂抹辊(627)的底部延伸至出料弧槽(626)的外部,所述涂抹辊(627)向上移动进入出料弧槽(626)中时,所述出料弧槽(626)与涂抹辊(627)之间形成有排液槽,所述出料弧槽(626)的两端均开设有短槽,所述短槽的内侧面滑动连接有滑块(628),所述滑块(628)与短槽顶部之间设置有压缩弹簧(629),所述涂抹辊(627)的两端均设置有短柱,所述短柱与滑块(628)的内侧面滑动连接。
10.根据权利要求9所述的一种半导体元件用测试装置,其特征在于,所述安装块(424)内部设置有散热件(63),所述散热件(63)包括滑动连接在安装块(424)内侧面的L型杆(631),所述L型杆(631)的一端延伸至方形槽中,所述L型杆(631)的一端位于安装块(424)的内部,且表面固定连接有牵引绳(632),所述安装块(424)的内侧面开设有导线槽(633),所述安装块(424)的内侧面开设有引导槽,所述引导槽的内侧面滑动连接有导热板(634),所述导热板(634)的位置以及规格均与缺口(6210)相对应,所述导线槽(633)的进线端与L型杆(631)相对应,所述导线槽(633)的出线端设置在引导槽的底部,所述牵引绳(632)的一端穿过导线槽(633)与导热板(634)的底面固定连接,所述导热板(634)的顶面与引导槽顶面之间固定连接有拉簧(635),所述L型杆(631)移动对牵引绳(632)的一端进行拉扯时,所述牵引绳(632)的另一端带动导热板(634)向下移动靠近测试元件,并直至导热板(634)与测试元件表面接触。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1841693A (zh) * | 2005-03-31 | 2006-10-04 | 富士通株式会社 | 半导体器件的测试装置以及测试方法 |
KR101307422B1 (ko) * | 2012-05-25 | 2013-09-11 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 검사장치 |
CN113078079A (zh) * | 2020-03-26 | 2021-07-06 | Tse有限公司 | 半导体封装的测试装置 |
CN214895647U (zh) * | 2021-07-16 | 2021-11-26 | 苏州翼云电子科技有限公司 | 一种全自动电子功能测试机 |
CN215236022U (zh) * | 2021-06-25 | 2021-12-21 | 广东歌得智能装备有限公司 | 半导体元件长时间测试装置 |
WO2022048039A1 (zh) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 苏州艾宾斯信息技术有限公司 | 一种计算机芯片封装测试设备 |
CN114910230A (zh) * | 2022-05-06 | 2022-08-16 | 嘉兴市扬佳科技合伙企业(有限合伙) | 一种半导体器件的使用耐久性能测试装置 |
CN217820513U (zh) * | 2022-07-19 | 2022-11-15 | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) | 一种半导体功率器件测试装置 |
CN218215261U (zh) * | 2022-09-30 | 2023-01-03 | 日月科技(辽阳)有限公司 | 一种基于super220半导体封装元件的测试装置 |
CN115616371A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-17 | 佛山市联动科技股份有限公司 | 一种半导体器件测试装置和测试分类机 |
-
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1841693A (zh) * | 2005-03-31 | 2006-10-04 | 富士通株式会社 | 半导体器件的测试装置以及测试方法 |
KR101307422B1 (ko) * | 2012-05-25 | 2013-09-11 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 검사장치 |
CN113078079A (zh) * | 2020-03-26 | 2021-07-06 | Tse有限公司 | 半导体封装的测试装置 |
WO2022048039A1 (zh) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 苏州艾宾斯信息技术有限公司 | 一种计算机芯片封装测试设备 |
CN215236022U (zh) * | 2021-06-25 | 2021-12-21 | 广东歌得智能装备有限公司 | 半导体元件长时间测试装置 |
CN214895647U (zh) * | 2021-07-16 | 2021-11-26 | 苏州翼云电子科技有限公司 | 一种全自动电子功能测试机 |
CN114910230A (zh) * | 2022-05-06 | 2022-08-16 | 嘉兴市扬佳科技合伙企业(有限合伙) | 一种半导体器件的使用耐久性能测试装置 |
CN217820513U (zh) * | 2022-07-19 | 2022-11-15 | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) | 一种半导体功率器件测试装置 |
CN218215261U (zh) * | 2022-09-30 | 2023-01-03 | 日月科技(辽阳)有限公司 | 一种基于super220半导体封装元件的测试装置 |
CN115616371A (zh) * | 2022-12-15 | 2023-01-17 | 佛山市联动科技股份有限公司 | 一种半导体器件测试装置和测试分类机 |
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