CN116005267A - 异形发热体组件及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种异形发热体组件及其制备方法。本发明的异形发热体组件所述异形发热体组件呈两端开口的中空筒状结构，所述中空筒状结构包括多层交替的第一缠绕层与第二缠绕层，所述中空筒状结构两端部的径向尺寸小于所述中空筒状结构中部的径向尺寸，所述第一缠绕层的制备材料为长碳纤维单向布，所述第二缠绕层的制备材料为碳纤维网胎。本发明的异形发热体组件用于碳化硅退火时，能够使碳化硅退火炉能得到更大范围的稳定、均匀的热场，增大产量，降低成本。
Description
技术领域
本发明涉及材料、晶体生长技术领域，特别是涉及一种异形发热体组件及其制备方法。
背景技术
目前碳化硅退火工艺一般采用感应加热的方式，即在发热筒的感应线圈中通入中高频交流电，通过发热筒感应发热对坩埚内需要退火的晶体进行加热，坩埚内热场需要达到稳定、均匀的状态。受限于传统的发热筒结构，一般坩埚内难以保证均匀、稳定的热场范围，且传统的发热筒结构一次操作只能对1-3块晶体进行退火，退火效率低。
另外传统的发热筒采用的是石墨发热筒，它的优点是具有优良的导电、导热性能，但其缺点也比较明显，石墨发热筒导热性能随温度升高而降低，当炉子处于高温运行，石墨发热筒壁厚体积又大时，发石墨发热筒表面与其中心温差大，导致产生较大的热应力，出现石墨发热筒开裂，并且石墨发热筒在高温下长时间运行，会增大挥发速度，进而减少石墨发热筒使用寿命，导致其机械强度降低。
发明内容
基于此，针对传统的石墨退火用发热筒存在的如下问题：1、加热过程中造成的温场不均匀导致中间位置会比两端位置的温度高，易于产生较大的热应力而出现开裂；2、挥发速度大，机械强度降以及使用寿命低；3、石墨退火用发热筒产生的热场可利用范围占比小、单次退火效率低，本发明一实施例提供了一种异形发热体组件。本发明的异形发热体组件能够使碳化硅退火炉能得到更大范围的稳定、均匀的热场，增大产量，降低成本。
一种异形发热体组件，所述异形发热体组件呈两端开口的中空筒状结构，所述中空筒状结构包括多层交替的第一缠绕层与第二缠绕层，所述中空筒状结构两端部的径向尺寸小于所述中空筒状结构中部的径向尺寸，所述第一缠绕层的制备材料为长碳纤维单向布，所述第二缠绕层的制备材料为碳纤维网胎。
在其中一些实施例中，所述中空筒状结构包括靠近于其中一端的第一段位、靠近于另一端的第二段位以及位于所述第一段位与所述第二段位的中间段位。
在其中一些实施例中，所述中间段位呈曲面状，所述中间段位的外径由其中部向所述第一段位与所述第二段位均逐渐收窄。
在其中一些实施例中，所述中空筒状结构的密度为1.3-1.7g/cm3。
在其中一些实施例中，所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为0～60°。
在其中一些实施例中，所述所述异形发热体组件还包括沉积层，所述沉积层通过化学气相沉积方法沉积于所述中空筒状结构的表面。
本发明的另一目的还在于提供一种所述的异形发热体组件的制备方法。
一种所述的异形发热体组件的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层；
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层；
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层；
步骤4、重复步骤2和步骤3若干次，得到粗体毛坯；
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体；
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料；
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构；以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。
在其中一些实施例中，所述异形发热体组件的制备方法还包括如下步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
在其中一些实施例中，所述固化干燥处理时，干燥温度为130℃～200℃，干燥时间为1～10h。
在其中一些实施例中，所述石墨化处理时，石墨化温度为1800℃～2400℃，时间为2～10h。
上述异形发热体组件用于碳化硅退火时，能够使碳化硅退火炉能得到更大范围的稳定、均匀的热场，增大产量，降低成本。
上述异形发热体组件设置第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为0～60°，在感应加热磁场中，长碳纤维的纤维束与水平面的夹角越小，单位长度的纤维束切割磁感线的有效长度越长，加热效率越高；相反夹角越大，加热效率越低，因此，本发明中，第一缠绕层能够增加纤维束切割磁感线的有效长度，提高加热效率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
图1为本发明一实施例所述的异形发热体组件侧面示意图。
附图标记说明
10、异形发热体组件；101、第一段位；102、第二段位；103、中间段位。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本申请实施例提供一种异形发热体组件10，以解决传统的石墨退火用发热筒存在的如下问题：加热过程中造成的温场不均匀导致中间位置会比两端位置的温度高，易于产生较大的热应力而出现开裂；挥发速度大，机械强度降以及使用寿命低；石墨退火用发热筒产生的热场可利用范围占比小、单次退火效率低。以下将结合附图对进行说明。
本申请实施例提供的异形发热体组件10，示例性的，请参阅图1所示，图1为本申请实施例提供的异形发热体组件10的结构示意图。本申请的异形发热体组件10能够用于碳化硅退火工艺用途。
为了更清楚的说明异形发热体组件10的结构，以下将结合附图对异形发热体组件10进行介绍。
示例性的，请参阅图1所示，图1为本申请实施例提供的异形发热体组件10的结构示意图。一种异形发热体组件10，所述异形发热体组件10呈两端开口的中空筒状结构。所述中空筒状结构包括多层交替的第一缠绕层与第二缠绕层。所述中空筒状结构两端部的径向尺寸小于所述中空筒状结构中部的径向尺寸。所述第一缠绕层的制备材料为长碳纤维单向布。所述第二缠绕层的制备材料为碳纤维网胎。
在其中一些实施例中，所述中空筒状结构包括靠近于其中一端的第一段位101、靠近于另一端的第二段位102以及位于所述第一段位101与所述第二段位102的中间段位103。
在其中一些实施例中，参见图1所示，所述中间段位103呈曲面状。所述中间段位103的外径由其中部向所述第一段位101与所述第二段位102均逐渐收窄。
在其中一些实施例中，所述中空筒状结构的密度为1.3-1.7g/cm3。例如，在一个具体示例中，所述中空筒状结构的密度为1.3g/cm3。在另一个具体示例中，所述中空筒状结构的密度为1.7g/cm3。不难理解，在其他具体示例中，所述中空筒状结构的密度还可以是1.4g/cm3、1.45g/cm3、1.5g/cm3、1.55g/cm3、1.6g/cm3、1.65g/cm3或者其他数值。
在其中一些实施例中，所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为0～60°。例如，在一个具体示例中，所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为0°；在另一个具体示例中，所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为60°。不难理解，在其他具体示例中，所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角还可以为30°、45°、55°或者其他数值。上述异形发热体组件10设置第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为0～60°，在感应加热磁场中，长碳纤维的纤维束与水平面的夹角越小，单位长度的纤维束切割磁感线的有效长度越长，加热效率越高；相反夹角越大，加热效率越低，因此，本发明中，第一缠绕层能够增加纤维束切割磁感线的有效长度，提高加热效率。
在其中一些实施例中，所述异形发热体组件10还包括沉积层。所述沉积层通过化学气相沉积方法沉积于所述中空筒状结构的表面。
一实施例还提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层。
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层。
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层。
步骤4、重复步骤2和步骤3若干次，得到粗体毛坯。
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。
在其中一些实施例中，所述异形发热体组件10的制备方法还包括如下步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
在其中一些实施例中，所述固化干燥处理时，干燥温度为130℃～200℃，干燥时间为1～10h。
在其中一些实施例中，所述石墨化处理时，石墨化温度为1800℃～2400℃，时间为2～10h。
实施例1
本实施例提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为60°。
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层。
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为60°。
步骤4、重复步骤2和步骤3各50次，得到粗体毛坯。
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。所述固化干燥处理时，干燥温度为180℃，干燥时间为10h。
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。所述石墨化处理时，石墨化温度为2400℃，时间为2h。
步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
实施例2
本实施例提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为60°。
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层。
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为60°。
步骤4、重复步骤2和步骤3各50次，得到粗体毛坯。
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。所述固化干燥处理时，干燥温度为200℃，干燥时间为1h。
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。所述石墨化处理时，石墨化温度为1800℃，时间为2h。
步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
实施例3
本实施例提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为45°。
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层。
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为45°。
步骤4、重复步骤2和步骤3各50次，得到粗体毛坯。
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。所述固化干燥处理时，干燥温度为150℃，干燥时间为5h。
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。所述石墨化处理时，石墨化温度为2000℃，时间为5h。
步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
实施例4
本实施例提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为45°。
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层。
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层。所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为45°。
步骤4、重复步骤2和步骤3各50次，得到粗体毛坯。
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。所述固化干燥处理时，干燥温度为180℃，干燥时间为4h。
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。所述石墨化处理时，石墨化温度为2000℃，时间为5h。
步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
对比例1
本对比例提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成缠绕层。所述缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为45°。
步骤2：在所述缠绕层的外表面继续缠绕长碳纤维单向布。
步骤3、重复步骤2共100次，得到粗体毛坯。
步骤4、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。所述固化干燥处理时，干燥温度为130℃，干燥时间为4h。
步骤5、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤6、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤7、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。所述石墨化处理时，石墨化温度为2000℃，时间为5h。
步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
对比例2
本对比例提供了一种所述的异形发热体组件10的制备方法。
一种所述的异形发热体组件10的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹碳纤维网胎形成缠绕层。
步骤2：在所述缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎。
步骤3、重复步骤2共100次，得到粗体毛坯。
步骤4、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体。所述固化干燥处理时，干燥温度为130℃，干燥时间为4h。
步骤5、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料。
步骤6、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构。
以及
步骤7、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。所述石墨化处理时，石墨化温度为2000℃，时间为5h。
步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
实施例1-实施例4、对比例1-2中的异形发热体组件10的密度如表1所示。
表1
| 实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 实施例4 | 对比例1 | 对比例2 | |
| 密度 | 1.4-1.7 | 1.4-1.7 | 1.35-1.65 | 1.35-1.65 | 1.5-1.7 | 1.3-1.5 |
本发明异形发热体组件10的生产工艺中，干燥温度、时间一般为180℃、4小时，干燥温度低、时间短会导致固定水分子出不来，难以做到充分干燥，影响后续化学沉积增密等步骤，另外石墨化温度在2000℃、2小时，能够有效提高异形发热体组件10的性能；对比例1中缺少垫碳纤维网胎，会导致异形发热体组件10成品的径向发热和导热效率低，无法满足应用要求；对比例2中缺少长纤维，导致异形发热体组件10成品强度较低，使用寿命减少，同时对碳纤维缠绕的角度不做要求，会导致缠绕后的异形发热体组件10成品密度不均匀，以及各部分发热效率不同，进而导致该异形发热筒热场不均匀，局部发热量大，对生产产生不可控变化，缩短使用寿命。
综上所述，上述异形发热体组件10用于碳化硅退火时，能够使碳化硅退火炉能得到更大范围的稳定、均匀的热场，增大产量，降低成本。
在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种异形发热体组件，其特征在于，所述异形发热体组件呈两端开口的中空筒状结构，所述中空筒状结构包括多层交替的第一缠绕层与第二缠绕层，所述中空筒状结构两端部的径向尺寸小于所述中空筒状结构中部的径向尺寸，所述第一缠绕层的制备材料为长碳纤维单向布，所述第二缠绕层的制备材料为碳纤维网胎。
2.根据权利要求1所述的异形发热体组件，其特征在于，所述中空筒状结构包括靠近于其中一端的第一段位、靠近于另一端的第二段位以及位于所述第一段位与所述第二段位的中间段位。
3.根据权利要求2所述的异形发热体组件，其特征在于，所述中间段位呈曲面状，所述中间段位的外径由其中部向所述第一段位与所述第二段位均逐渐收窄。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的异形发热体组件，其特征在于，所述中空筒状结构的密度为1.3-1.7g/cm3。
5.根据权利要求1-3任意一项所述的异形发热体组件，其特征在于，所述第一缠绕层的长碳纤维与径向面的夹角为0～60°。
6.根据权利要求1-3任意一项所述的异形发热体组件，其特征在于，所述所述异形发热体组件还包括沉积层，所述沉积层通过化学气相沉积方法沉积于所述中空筒状结构的表面。
7.一种权利要求1-6任意一项所述的异形发热体组件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：在模具外层包裹长碳纤维单向布形成第一缠绕层；
步骤2：在所述第一缠绕层的外表面缠绕碳纤维网胎形成第二缠绕层；
步骤3：在所述第二缠绕层的外表面缠绕长碳纤维单向布形成第一缠绕层；
步骤4、重复步骤2和步骤3若干次，得到粗体毛坯；
步骤5、对所述粗体毛坯进行固化干燥处理形成碳纤维预制体；
步骤6、对所述碳纤维预制体通过化学气相沉积方法进行碳沉积，得到碳/碳发热体材料；
步骤7、对所述碳/碳发热体材料进行加工得到两端开口的中空筒状结构；以及
步骤8、对所述中空筒状结构进行石墨化处理。
8.根据权利要求7所述的异形发热体组件的制备方法，其特征在于，还包括如下步骤9：对石墨化处理后的所述空筒状结构进行机加工，达到预设标准尺寸；对机加工后的筒状结构进行纯化处理。
9.根据权利要求7所述的异形发热体组件的制备方法，其特征在于，所述固化干燥处理时，干燥温度为130℃～200℃，干燥时间为1～10h。
10.根据权利要求7-9任意一项所述的异形发热体组件的制备方法，其特征在于，所述石墨化处理时，石墨化温度为1800℃～2400℃，时间为2～10h。
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2022
- 2022-12-28 CN CN202211692866.4A patent/CN116005267A/zh active Pending
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