CN116000955B - 一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆加工用机械手技术领域，公开了一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，该具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手包括机械手驱动主体，所述机械手驱动主体上安装有托盘，所述托盘上开设有料槽，所述料槽内通过连接轴承安装有限位套环，所述限位套环的环内壁上开设有环槽，所述环槽内安装有压力传感器，所述机械手驱动主体上设置有偏压调节组件，通过所述偏压调节组件安装有驱动盘，所述驱动盘用于驱动限位套环的旋转，当托盘进行快速旋转转运时，通过压力传感器检测晶圆对限位套环的挤压力，与此同时，通过偏压调节组件控制驱动盘的旋转速度，让驱动盘带动限位套环进行旋转，从而可以将晶圆对限位套环的挤压力进行分散。

Description

一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手

技术领域

本发明涉及晶圆加工用机械手技术领域，具体为一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手。

背景技术

随着半导体产业的迅速发展，集成电路特征尺寸不断趋于微细化，半导体晶片不断地朝小体积、高电路密集度、快速、低耗电方向发展，集成电路现已进入超大规模集成电路(Ultra-Large-scale integration，ULSI)亚微米级的技术阶段。伴随着硅晶片直径的逐渐增大，元件内刻线宽度逐步缩小，金属层数的增多，因此半导体薄膜表面的高平坦化对器件的高性能、低成本、高成品率有着重要的影响，这导致对硅晶片生产要求将日趋严格，在晶圆加工行业中，经常需要在不同的处理单元中搬送晶圆，随着制程精度的提高，晶圆生产过程对洁净度、稳定度、可靠性的要求近乎苛刻，在生产线上已经采用自动化晶圆传输系统来代替人工来对晶圆进行传输。晶圆传输系统的核心在于如何使机械手准确、安全的对晶圆执行取送以及运输操作。

但现有的机械手在快速转运过程中不具备偏压调节夹持功能，容易使机械手在快速旋转转运过程中形成偏压，导致晶圆侧壁在应力集中作用下发生损坏，从而造成晶圆的生产品质降低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，该具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手包括机械手驱动主体，所述机械手驱动主体上设置有机械手展臂机构，所述机械手展臂机构上安装有托盘，所述托盘上开设有料槽，所述料槽内通过连接轴承安装有限位套环，所述限位套环的环内壁上开设有环槽，所述环槽内安装有压力传感器，所述机械手驱动主体上设置有偏压调节组件，通过所述偏压调节组件安装有驱动盘，所述驱动盘用于驱动限位套环的旋转，当托盘进行快速旋转转运时，通过压力传感器检测晶圆对限位套环的挤压力，与此同时，通过偏压调节组件控制驱动盘的旋转速度，让驱动盘带动限位套环进行旋转，从而可以将晶圆对限位套环的挤压力进行分散，能保障晶圆在转运过程中不会发生损伤。

作为优选技术方案，所述偏压调节组件包括立柱、支板、驱动电机、传动盘和传动杆；

所述机械手驱动主体上固定安装有立柱，所述立柱上安装有支板，所述支板上安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端上安装有传动盘，所述传动盘上安装有传动杆，所述传动杆上安装有驱动盘，当机械手展臂机构处于收缩状态时，所述驱动盘与限位套环接触，当压力传感器检测到压力时，驱动电机启动，驱动电机控制传动盘进行旋转，使传动盘通过传动杆带动驱动盘进行同步转动，让驱动盘在转动过程中带动限位套环进行同步运动，当晶圆在离心作用力下偏移挤压限位套环时，利用限位套环的旋转可以将晶圆的挤压力进行分散，实现对晶圆转运过程中的偏压调节。

作为优选技术方案，所述压力传感器与驱动电机电性连接，且压力传感器对驱动电机为正反馈调节，能够根据压力传感器所受到的挤压力的变化直接控制驱动电机的驱动速率。

作为优选技术方案，所述机械手驱动主体上设置有偏压调节增强组件和复位组件，所述偏压调节增强组件为复位组件提供运行驱动力。

作为优选技术方案，所述偏压调节增强组件包括转孔、固定轴承、转柱和转盘，所述料槽的底部开设有转孔，所述转孔内安装有固定轴承，所述固定轴承内转动安装有转柱，所述转柱的上端安装有转盘，由于转盘通过转柱与固定轴承的转动润滑作用能够进行旋转，当晶圆挤压限位套环时，晶圆能够在限位套环的带动下进行同步旋转，从而能够避免晶圆单一侧壁持续受力发生损坏，有利于晶圆与限位套环作用力的分散。

作为优选技术方案，所述偏压调节增强组件还包括移动块、丝孔、联动杆和联动块，所述传动杆为丝杠，所述传动杆上安装有移动块，所述移动块上开设有丝孔，所述传动杆贯穿丝孔，且传动杆与丝孔为螺纹配合，所述移动块上安装有联动杆，所述联动杆上安装有联动块，当传动杆带动驱动盘进行旋转时，传动杆在旋转过程中通过与丝孔的螺纹配合，可以使移动块进行下移，从而使移动块通过联动杆带动联动块进行同步位移，能够利用联动块的移动为复位组件提供运行驱动力。

作为优选技术方案，所述复位组件包括转杆、转块、滑块、固定杆、滑板、滑孔、套筒、螺纹轨道、下压杆和连接弹簧；

所述转柱的下端固定安装有转杆，所述转杆的底部安装有转块，所述转块的一侧安装有滑块，所述托盘的底部安装有固定杆，所述固定杆上安装有滑板，所述滑板上开设有滑孔，所述固定杆贯穿滑孔，且固定杆与滑孔为滑动配合，所述滑板与托盘通过连接弹簧相连接，所述滑板的一侧安装有套筒，所述套筒套设在转块上，且套筒的内壁上设有螺纹轨道，所述滑块契合在螺纹轨道内，且为滑动配合，所述联动块上安装有下压杆，当联动块进行下移时，联动块通过下压杆按压固定杆上的滑板拉伸连接弹簧，使滑板沿着固定杆进行相应的位移，与此同时，当滑板进行下移时，滑板在移动过程中能够带动套筒进行同步位移，利用滑块与螺纹轨道之间的螺纹配合，可以使套筒在下移过程中驱动转块进行旋转，从而使转块通过转杆带动转盘的驱动，有利于转盘带动晶圆的旋转，并且，能够对转盘的旋转过程中进行记录，当转运状态中结束时，滑板能在连接弹簧的带动下进行复位，此时，滑板带动套筒进行上移复位，进而在滑块与螺纹轨道之间的螺纹配合作用力，利用套筒的上移，使转块通过转杆带动转盘进行复位旋转，让转盘带动晶圆进行复原转动，直到恢复原位，进行自动复原定位，从而能避免晶圆在料槽中位置在转运过程中发生大幅度位置调整。

作为优选技术方案，所述滑块上设有凹槽，所述凹槽内滚动嵌合有滚珠，由于滚珠能够在凹槽内进行滚动，有利于螺纹轨道的作用力集中在滚珠上，当套筒进行位移时，使得滑块可以沿着螺纹轨道进行转动，所述套筒上设置有定位组件。

作为优选技术方案，所述定位组件包括气孔、第一连孔、第二连孔、接孔、接头、气泵、气管和穿孔；

所述转盘上开设有气孔，所述转柱上开设有第一连孔，所述转杆上开设有第二连孔，所述转块上开设有接孔，所述气孔、第一连孔、第二连孔和接孔形成气流通道，所述套筒的内底部安装有接头，且套筒的底部安装有气泵，所述接头与接孔相对接，所述气泵与接头通过气管相连接，所述套筒的底部开设有穿孔，所述气管贯穿穿孔，启动气泵，通过气管和接头进行抽吸气流，利用气孔、第一连孔、第二连孔和接孔形成气流通道，能够对转盘上的晶圆进行吸附固定，当套筒在滑板的带动下进行下移时，接头与接孔连接断开，保障限位套环对晶圆的偏压调节效果，当套筒复位操作完成时，此时，接头与接孔紧密对接，使得转盘能够紧密吸附晶圆，保障晶圆不会在转盘的旋转急停状态下受到惯性影响而发生继续转动。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果是：

当托盘进行快速旋转转运时，通过压力传感器检测晶圆对限位套环的挤压力，驱动电机启动，驱动电机控制传动盘进行旋转，使传动盘通过传动杆带动驱动盘进行同步转动，让驱动盘在转动过程中带动限位套环进行同步运动，当晶圆在离心作用力下偏移挤压限位套环时，利用限位套环的旋转可以将晶圆的挤压力进行分散，实现对晶圆转运过程中的偏压调节，可以将晶圆对限位套环的挤压力进行分散，能保障晶圆在转运过程中不会发生损伤。

当联动块进行下移时，联动块通过下压杆按压固定杆上的滑板拉伸连接弹簧，使滑板沿着固定杆进行相应的位移，与此同时，当滑板进行下移时，滑板在移动过程中能够带动套筒进行同步位移，利用滑块与螺纹轨道之间的螺纹配合，可以使套筒在下移过程中驱动转块进行旋转，从而使转块通过转杆带动转盘的驱动，有利于转盘带动晶圆的旋转，并且，能够对转盘的旋转过程中进行记录，当转运状态中结束时，滑板能在连接弹簧的带动下进行复位，此时，滑板带动套筒进行上移复位，进而在滑块与螺纹轨道之间的螺纹配合作用力，利用套筒的上移，使转块通过转杆带动转盘进行复位旋转，让转盘带动晶圆进行复原转动，直到恢复原位，进行自动复原定位，从而能避免晶圆在料槽中位置在转运过程中发生大幅度位置调整。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明的主体结构示意图；

图2是本发明的局部结构示意图；

图3是本发明的剖切结构示意图；

图4是图3的A处放大结构示意图；

图5是图3的B处放大结构示意图；

图6是图3的C处放大结构示意图；

图7是图6的D处放大结构示意图。

图中：1、机械手驱动主体；2、机械手展臂机构；3、托盘；4、料槽；5、连接轴承；6、限位套环；7、环槽；8、压力传感器；10、驱动盘；

9、偏压调节组件；901、立柱；902、支板；903、驱动电机；904、传动盘；905、传动杆；

11、偏压调节增强组件；1101、转孔；1102、固定轴承；1103、转柱；1104、转盘；1105、移动块；1106、丝孔；1107、联动杆；1108、联动块；

12、复位组件；1201、转杆；1202、转块；1203、滑块；1204、固定杆；1205、滑板；1206、滑孔；1207、套筒；1208、螺纹轨道；1209、下压杆；1210、连接弹簧；1211、凹槽；1212、滚珠；

13、定位组件；1301、气孔；1302、第一连孔；1303、第二连孔；1304、接孔；1305、接头；1306、气泵；1307、气管；1308、穿孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：如图1-图3所示，本发明提供如下技术方案：一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，该具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手包括机械手驱动主体1，所述机械手驱动主体1上设置有机械手展臂机构2，所述机械手驱动主体1和机械手展臂机构2均为现有技术，因此，不进行过多的阐述，所述机械手展臂机构2上安装有托盘3，所述托盘3上开设有料槽4，所述料槽4内通过连接轴承5安装有限位套环6，所述限位套环6的环内壁上开设有环槽7，所述环槽7内安装有压力传感器8，所述机械手驱动主体1上设置有偏压调节组件9，通过所述偏压调节组件9安装有驱动盘10，所述驱动盘10用于驱动限位套环6的旋转，当机械手驱动主体1控制机械手展臂机构2进行伸展，使晶圆落入到托盘3的料槽4中，之后，通过机械手驱动主体1控制机械手展臂机构2带动托盘3进行收缩，再在机械手驱动主体1的控制下，使托盘3进行以机械手驱动主体1为圆心、机械手展臂机构2位为半径的快速旋转转运，当托盘3进行快速旋转转运时，由于料槽4中的晶圆侧壁会在离心作用力下会形成偏压，导致应力集中，从而导致晶圆在转运过程中发生损坏，此时，通过压力传感器8检测到晶圆对限位套环6的挤压力，通过偏压调节组件9控制驱动盘10的旋转速度，让驱动盘10带动限位套环6进行旋转，从而可以将晶圆对限位套环6的挤压力进行分散，能保障晶圆在转运过程中不会发生损伤。

如图1-图4所示，所述偏压调节组件9包括立柱901、支板902、驱动电机903、传动盘904和传动杆905；

所述机械手驱动主体1上固定安装有立柱901，所述立柱901上安装有支板902，所述支板902上安装有驱动电机903，所述驱动电机903为慢速电机，所述驱动电机903的输出端上安装有传动盘904，所述传动盘904上安装有传动杆905，所述传动杆905上安装有驱动盘10，当机械手展臂机构2处于收缩状态时，所述驱动盘10与限位套环6接触，当压力传感器8检测到压力时，驱动电机903启动，驱动电机903控制传动盘904进行旋转，使传动盘904通过传动杆905带动驱动盘10进行同步转动，让驱动盘10在转动过程中带动限位套环6进行同步运动，当晶圆在离心作用力下偏移挤压限位套环6时，利用限位套环6的旋转可以将晶圆的挤压力进行分散，实现对晶圆转运过程中的偏压调节。

所述压力传感器8与驱动电机903电性连接，且压力传感器8对驱动电机903为正反馈调节，能够根据压力传感器8所受到的挤压力的变化直接控制驱动电机903的驱动速率。

所述机械手驱动主体1上设置有偏压调节增强组件11和复位组件12，所述偏压调节增强组件11为复位组件12提供运行驱动力。

如图1-图3所示，所述偏压调节增强组件11包括转孔1101、固定轴承1102、转柱1103和转盘1104，所述料槽4的底部开设有转孔1101，所述转孔1101内安装有固定轴承1102，所述固定轴承1102内转动安装有转柱1103，所述转柱1103的上端安装有转盘1104，由于转盘1104通过转柱1103与固定轴承1102的转动润滑作用能够进行旋转，当晶圆挤压限位套环6时，晶圆能够在限位套环6的带动下进行同步旋转，从而能够避免晶圆单一侧壁持续受力发生损坏，有利于晶圆与限位套环6作用力的分散。

所述偏压调节增强组件11还包括移动块1105、丝孔1106、联动杆1107和联动块1108，所述传动杆905为丝杠，所述传动杆905上安装有移动块1105，所述移动块1105上开设有丝孔1106，所述传动杆905贯穿丝孔1106，且传动杆905与丝孔1106为螺纹配合，所述移动块1105上安装有联动杆1107，所述联动杆1107上安装有联动块1108，当传动杆905带动驱动盘10进行旋转时，传动杆905在旋转过程中通过与丝孔1106的螺纹配合，可以使移动块1105进行下移，从而使移动块1105通过联动杆1107带动联动块1108进行同步位移，能够利用联动块1108的移动为复位组件12提供运行驱动力。

如图1-图3和图5-图7所示，所述复位组件12包括转杆1201、转块1202、滑块1203、固定杆1204、滑板1205、滑孔1206、套筒1207、螺纹轨道1208、下压杆1209和连接弹簧1210；

所述转柱1103的下端固定安装有转杆1201，所述转杆1201的底部安装有转块1202，所述转块1202的一侧安装有滑块1203，所述托盘3的底部安装有固定杆1204，所述固定杆1204上安装有滑板1205，所述滑板1205上开设有滑孔1206，所述固定杆1204贯穿滑孔1206，且固定杆1204与滑孔1206为滑动配合，所述滑板1205与托盘3通过连接弹簧1210相连接，所述滑板1205的一侧安装有套筒1207，所述套筒1207套设在转块1202上，且套筒1207的内壁上设有螺纹轨道1208，所述滑块1203契合在螺纹轨道1208内，且为滑动配合，所述联动块1108上安装有下压杆1209，当联动块1108进行下移时，联动块1108通过下压杆1209按压固定杆1204上的滑板1205拉伸连接弹簧1210，使滑板1205沿着固定杆1204进行相应的位移，与此同时，当滑板1205进行下移时，滑板1205在移动过程中能够带动套筒1207进行同步位移，利用滑块1203与螺纹轨道1208之间的螺纹配合，可以使套筒1207在下移过程中驱动转块1202进行旋转，从而使转块1202通过转杆1201带动转盘1104的驱动，有利于转盘1104带动晶圆的旋转，并且，能够对转盘1104的旋转过程中进行记录，当转运状态中结束时，滑板1205能在连接弹簧1210的带动下进行复位，此时，滑板1205带动套筒1207进行上移复位，进而在滑块1203与螺纹轨道1208之间的螺纹配合作用力，利用套筒1207的上移，使转块1202通过转杆1201带动转盘1104进行复位旋转，让转盘1104带动晶圆进行复原转动，直到恢复原位，进行自动复原定位，从而能避免晶圆在料槽4中位置在转运过程中发生大幅度位置调整。

所述滑块1203上设有凹槽1211，所述凹槽1211内滚动嵌合有滚珠1212，由于滚珠1212能够在凹槽1211内进行滚动，有利于螺纹轨道1208的作用力集中在滚珠1212上，当套筒1207进行位移时，使得滑块1203可以沿着螺纹轨道1208进行转动，所述套筒1207上设置有定位组件13。

如图1-图3和图5-图6所示，所述定位组件13包括气孔1301、第一连孔1302、第二连孔1303、接孔1304、接头1305、气泵1306、气管1307和穿孔1308；

所述转盘1104上开设有气孔1301，所述转柱1103上开设有第一连孔1302，所述转杆1201上开设有第二连孔1303，所述转块1202上开设有接孔1304，所述气孔1301、第一连孔1302、第二连孔1303和接孔1304形成气流通道，所述套筒1207的内底部安装有接头1305，且套筒1207的底部安装有气泵1306，所述接头1305与接孔1304相对接，所述气泵1306与接头1305通过气管1307相连接，所述套筒1207的底部开设有穿孔1308，所述气管1307贯穿穿孔1308，启动气泵1306，通过气管1307和接头1305进行抽吸气流，利用气孔1301、第一连孔1302、第二连孔1303和接孔1304形成气流通道，能够对转盘1104上的晶圆进行吸附固定，当套筒1207在滑板1205的带动下进行下移时，接头1305与接孔1304连接断开，保障限位套环6对晶圆的偏压调节效果，当套筒1207复位操作完成时，此时，接头1305与接孔1304紧密对接，使得转盘1104能够紧密吸附晶圆，保障晶圆不会在转盘1104的旋转急停状态下受到惯性影响而发生继续转动。

本发明的工作原理：

当托盘3进行快速旋转转运时，通过压力传感器8检测晶圆对限位套环6的挤压力，驱动电机903启动，驱动电机903控制传动盘904进行旋转，使传动盘904通过传动杆905带动驱动盘10进行同步转动，让驱动盘10在转动过程中带动限位套环6进行同步运动，当晶圆在离心作用力下偏移挤压限位套环6时，利用限位套环6的旋转可以将晶圆的挤压力进行分散，实现对晶圆转运过程中的偏压调节，可以将晶圆对限位套环6的挤压力进行分散，能保障晶圆在转运过程中不会发生损伤。

当传动杆905带动驱动盘10进行旋转时，传动杆905在旋转过程中通过与丝孔1106的螺纹配合，可以使移动块1105进行下移，从而使移动块1105通过联动杆1107带动联动块1108进行同步位移，当联动块1108进行下移时，联动块1108通过下压杆1209按压固定杆1204上的滑板1205拉伸连接弹簧1210，使滑板1205沿着固定杆1204进行相应的位移，与此同时，当滑板1205进行下移时，滑板1205在移动过程中能够带动套筒1207进行同步位移，利用滑块1203与螺纹轨道1208之间的螺纹配合，可以使套筒1207在下移过程中驱动转块1202进行旋转，从而使转块1202通过转杆1201带动转盘1104的驱动，有利于转盘1104带动晶圆的旋转，并且，能够对转盘1104的旋转过程中进行记录，当转运状态中结束时，滑板1205能在连接弹簧1210的带动下进行复位，此时，滑板1205带动套筒1207进行上移复位，进而在滑块1203与螺纹轨道1208之间的螺纹配合作用力，利用套筒1207的上移，使转块1202通过转杆1201带动转盘1104进行复位旋转，让转盘1104带动晶圆进行复原转动，直到恢复原位，进行自动复原定位，从而能避免晶圆在料槽4中位置在转运过程中发生大幅度位置调整。

启动气泵1306，通过气管1307和接头1305进行抽吸气流，利用气孔1301、第一连孔1302、第二连孔1303和接孔1304形成气流通道，能够对转盘1104上的晶圆进行吸附固定，当套筒1207在滑板1205的带动下进行下移时，接头1305与接孔1304连接断开，保障限位套环6对晶圆的偏压调节效果，当套筒1207复位操作完成时，此时，接头1305与接孔1304紧密对接，使得转盘1104能够紧密吸附晶圆，保障晶圆不会在转盘1104的旋转急停状态下受到惯性影响而发生继续转动。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (4)

1.一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，其特征在于：该具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手包括机械手驱动主体（1），所述机械手驱动主体（1）上设置有机械手展臂机构（2），所述机械手展臂机构（2）上安装有托盘（3），所述托盘（3）上开设有料槽（4），所述料槽（4）内通过连接轴承（5）安装有限位套环（6），所述限位套环（6）的环内壁上开设有环槽（7），所述环槽（7）内安装有压力传感器（8），所述机械手驱动主体（1）上设置有偏压调节组件（9），通过所述偏压调节组件（9）安装有驱动盘（10），所述驱动盘（10）用于驱动限位套环（6）的旋转；

所述偏压调节组件（9）包括立柱（901）、支板（902）、驱动电机（903）、传动盘（904）和传动杆（905）；

所述机械手驱动主体（1）上固定安装有立柱（901），所述立柱（901）上安装有支板（902），所述支板（902）上安装有驱动电机（903），所述驱动电机（903）的输出端上安装有传动盘（904），所述传动盘（904）上安装有传动杆（905），所述传动杆（905）上安装有驱动盘（10），当机械手展臂机构（2）处于收缩状态时，所述驱动盘（10）与限位套环（6）接触；

所述机械手驱动主体（1）上设置有偏压调节增强组件（11）和复位组件（12），所述偏压调节增强组件（11）为复位组件（12）提供运行驱动力；

所述偏压调节增强组件（11）包括转孔（1101）、固定轴承（1102）、转柱（1103）和转盘（1104），所述料槽（4）的底部开设有转孔（1101），所述转孔（1101）内安装有固定轴承（1102），所述固定轴承（1102）内转动安装有转柱（1103），所述转柱（1103）的上端安装有转盘（1104）；

所述偏压调节增强组件（11）还包括移动块（1105）、丝孔（1106）、联动杆（1107）和联动块（1108），所述传动杆（905）为丝杠，所述传动杆（905）上安装有移动块（1105），所述移动块（1105）上开设有丝孔（1106），所述传动杆（905）贯穿丝孔（1106），且传动杆（905）与丝孔（1106）为螺纹配合，所述移动块（1105）上安装有联动杆（1107），所述联动杆（1107）上安装有联动块（1108）；

所述复位组件（12）包括转杆（1201）、转块（1202）、滑块（1203）、固定杆（1204）、滑板（1205）、滑孔（1206）、套筒（1207）、螺纹轨道（1208）、下压杆（1209）和连接弹簧（1210）；

所述转柱（1103）的下端固定安装有转杆（1201），所述转杆（1201）的底部安装有转块（1202），所述转块（1202）的一侧安装有滑块（1203），所述托盘（3）的底部安装有固定杆（1204），所述固定杆（1204）上安装有滑板（1205），所述滑板（1205）上开设有滑孔（1206），所述固定杆（1204）贯穿滑孔（1206），且固定杆（1204）与滑孔（1206）为滑动配合，所述滑板（1205）与托盘（3）通过连接弹簧（1210）相连接，所述滑板（1205）的一侧安装有套筒（1207），所述套筒（1207）套设在转块（1202）上，且套筒（1207）的内壁上设有螺纹轨道（1208），所述滑块（1203）契合在螺纹轨道（1208）内，且为滑动配合，所述联动块（1108）上安装有下压杆（1209）。

2.根据权利要求1所述的一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，其特征在于：所述压力传感器（8）与驱动电机（903）电性连接，且压力传感器（8）对驱动电机（903）为正反馈调节。

3.根据权利要求1所述的一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，其特征在于：所述滑块（1203）上设有凹槽（1211），所述凹槽（1211）内滚动嵌合有滚珠（1212），所述套筒（1207）上设置有定位组件（13）。

4.根据权利要求3所述的一种具有偏压调节夹持功能的免损伤式机械手，其特征在于：所述定位组件（13）包括气孔（1301）、第一连孔（1302）、第二连孔（1303）、接孔（1304）、接头（1305）、气泵（1306）、气管（1307）和穿孔（1308）；

所述转盘（1104）上开设有气孔（1301），所述转柱（1103）上开设有第一连孔（1302），所述转杆（1201）上开设有第二连孔（1303），所述转块（1202）上开设有接孔（1304），所述气孔（1301）、第一连孔（1302）、第二连孔（1303）和接孔（1304）形成气流通道，所述套筒（1207）的内底部安装有接头（1305），且套筒（1207）的底部安装有气泵（1306），所述接头（1305）与接孔（1304）相对接，所述气泵（1306）与接头（1305）通过气管（1307）相连接，所述套筒（1207）的底部开设有穿孔（1308），所述气管（1307）贯穿穿孔（1308）。

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