CN115990741B - 一种基块焊接固定工装 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种基块焊接固定工装，涉及半导体设备技术领域，以解决焊接不同的接头和基块的不同流道口位置时，需要不同工装的问题。所述基块焊接固定工装包括接头固定件、第一夹具和第二夹具，第一夹具上设置有第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽，当基块的第三流道口所在的面与第一限位凸起抵接时，基块的第一流道口与第一接头同轴，当基块的第三流道口所在的面与第二限位凸起抵接时，基块的第二流道口与第二接头同轴，第一凹槽具有第一侧壁，当基块的底面与第一侧壁抵接时，基块的第三流道口与第三接头同轴；第二夹具与第一夹具可拆卸连接。本发明提供的基块焊接固定工装用于无需更换不同工装，即可实现一个基块和多个接头的焊接固定。

Description

一种基块焊接固定工装

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种基块焊接固定工装。

背景技术

流体输送系统被用于许多现代工业过程中，以调节和操纵流体流量，从而使所需介质按需求流通。而在半导体加工设备中，也需要流体输送系统进行气体输送和分流等。

在半导体设备中的流体输送系统中，气体分流部件，一般需要在一个基块上焊接多个接头，进而通过不同接头分别连通基块内部的流道，实现气体的分流、汇聚等。

在基块上焊接接头时，需要通过固定工装将基块和接头固定，然后通过焊接设备进行焊接，在对同一基块进行多组接头焊接时，已焊接在基块上的接头会影响基块的固定位置，为了保证基块的流道口和对应的接头同轴，目前，基块与接头焊接时所使用的固定工装存在唯一性，即一套固定工装对应一种焊接位置，当需要焊接其他的接头和基块的不同流道口位置时，需要另换工装进行焊接。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基块焊接固定工装，用于在基块和接头焊接时，能够对基块的不同位置进行定位，保证不同的焊接位置，基块的流道口均能和对应的接头同轴，无需更换不同工装，即可实现一个基块和多个接头的焊接固定。

为了实现上述目的，本发明提供如了一种基块焊接固定工装，用于对基块进行固定，基块包括第一流道口、第二流道口和第三流道口中的一个或多个，配合焊接工装对基块分别和第一接头、第二接头和第三接头中的一个或多个进行焊接，基块焊接固定工装包括：

接头固定件，接头固定件用于对第一接头、第二接头或第三接头进行限位；

第一夹具，第一夹具设置于接头固定件的一侧，且与接头固定件可拆卸连接，第一夹具上设置有第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽，当基块的第三流道口所在的面与第一限位凸起抵接时，基块的第一流道口与第一接头同轴，当基块的第三流道口所在的面与第二限位凸起抵接时，基块的第二流道口与第二接头同轴，第一凹槽具有第一侧壁，当基块的底面与第一侧壁抵接时，基块的第三流道口与第三接头同轴；

第二夹具，第二夹具设置于第一夹具的上方，且第二夹具与第一夹具可拆卸连接，用于对基块进行限位。

相较于现有技术，本发明提供的一种基块焊接固定工装在焊接过程中，第一夹具和接头固定件的位置相对固定，即，第一夹具分别与第一接头、第二接头或第三接头的位置相对固定，通过调节基块位置，当第一流道口朝向接头固定件且基块的第三流道口所在的面与第一限位凸起抵接时，使第一流道口的中心轴与待焊接的第一接头的中心轴重合；当第二流道口朝向接头固定件且基块的第三流道口所在的面与第二限位凸起抵接时，使第二流道口的中心轴与待焊接的第二接头的中心轴重合；当第三流道口朝向接头固定件，并使基块的底面与第一侧壁抵接时，使第三流道口的中心轴与待焊接的第三接头的中心轴重合；进而通过一套固定工装完成第一接头、第二接头和第三接头分别与基块的焊接。基于此，本发明提供的一种基块焊接固定工装的第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽的第一侧壁分别能够对基块进行定位，保证在不同的焊接位置，基块的流道口均能和对应的接头同轴，无需更换不同工装，通过一套基块焊接固定工装即可实现一个基块和多个接头的焊接固定。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，第一夹具上还设置有接头导槽，接头导槽用于容纳已经焊接在基块上的第一接头或第二接头。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，基块还包括第四流道口，第一凹槽具有第二侧壁，当基块的底面与第二侧壁抵接时，基块的第四流道口与第四接头同轴。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，第二夹具上还设置有第二凹槽，第二凹槽用于容纳已焊接在基块上的第四接头。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，第二夹具上设置有第三凹槽，第三凹槽的底面与第一凹槽的底面的垂直距离等于基块的宽度。

可选地，上述的基块焊接固定工装还包括：

定位挡块，定位挡块与第一夹具可拆卸连接，定位挡块用于对在基块提供支撑力。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，定位挡块上设置具有方形通孔，方形通孔具有第三侧壁和第四侧壁；

当基块的第一流道口所在的面与方形通孔的第三侧壁或第四侧壁抵接时，基块的第四流道口与第四接头同轴；

或者，当基块的第二流道口所在的面与方形通孔的第三侧壁或第四侧壁抵接时，基块的第四流道口与第四接头同轴。

可选地，上述的基块焊接固定工装还包括：

夹具固定件，第一夹具和第二夹具均与夹具固定件可拆卸连接。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，夹具固定件为环形，且夹具固定件的内侧设置有第一螺纹，第一夹具和第二夹具的外侧均为半圆形，第一夹具的外侧具有第二螺纹，第二夹具的外侧具有第三螺纹，第二螺纹和第三螺纹分别与第一螺纹螺纹配合。

可选地，上述的基块焊接固定工装中，接头固定件的外侧为半圆形，接头固定件的外侧具有第四螺纹，第四螺纹与第一螺纹螺纹配合。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为现有技术中的一种基块的结构示意图；

图2为现有技术中的一种基块、第一接头、第二接头、第三接头和第四接头的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装的第一夹具的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装在第一接头和基块焊接过程中的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装在第二接头和基块焊接过程中的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装在一端已焊接在其它基块上的第二接头和基块焊接过程中的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装在第三接头和基块焊接过程中的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装在第四接头和基块焊接过程中的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的另一种基块焊接固定工装在第四接头和基块焊接过程中的结构示意图。

附图标记：

1-基块；11-第一流道口；12-第三流道口；2-第一接头3-第二接头；4-第三接头；5-第四接头；6-接头固定件；7-第一夹具；71-第一限位凸起；72-第二限位凸起；73-第一凹槽；731-第一侧壁；732-第二侧壁；74-接头导槽；75-第四凹槽；76-第五凹槽；8-第二夹具；81-第二凹槽；82-第三凹槽；9-定位挡块；91-方形通孔；911-第三侧壁；912-第四侧壁；10-夹具固定件。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在半导体设备中的流体输送系统中，气体分流部件，一般需要在一个基块上焊接多个接头，进而通过不同接头分别连通基块内部的流道，实现气体的分流、汇聚等。在基块上焊接接头时，需要通过固定工装将基块和接头固定，然后通过焊接设备进行焊接，在对同一基块进行多组接头焊接时，已焊接在基块上的接头会影响基块的固定位置，为了保证基块的流道口和对应的接头同轴，目前，基块与接头焊接时所使用的固定工装存在唯一性，即一套固定工装对应一种焊接位置，当需要焊接其他的接头和基块的不同流道口位置时，需要另换工装进行焊接。

为了解决上述技术问题，请参阅图1至图8，本发明实施例提供了一种基块焊接固定工装，用于对基块1进行固定，基块1包括第一流道口11、第二流道口和第三流道口12中的一个或多个，配合焊接工装对基块1分别和第一接头2、第二接头3和第三接头4中的一个或多个进行焊接，示例性地，基块1包括第一流道口11和第二流道口，第一接头2、第二接头3分别与基块1进行焊接；或者，基块1包括第一流道口11和第三流道口12，第一接头2、第三接头4分别与基块1进行焊接；或者，基块1包括第二流道口和第三流道口12，第二接头3、第三接头4分别与基块1进行焊接；或者，基块1包括第一流道口11、第二流道口和第三流道口12，第一接头2、第二接头3、第三接头4分别与基块1进行焊接；基块焊接固定工装包括接头固定件6、第一夹具7和第二夹具8，接头固定件6用于对第一接头2、第二接头3或第三接头4进行限位；第一夹具7设置于接头固定件6的一侧，且第一夹具7上设置有第一限位凸起71、第二限位凸起72和第一凹槽73，当基块1的第三流道口12所在的面与第一限位凸起71抵接时，基块1的第一流道口11与第一接头2同轴，当基块1的第三流道口12所在的面与第二限位凸起72抵接时，基块1的第二流道口与第二接头3同轴，第一凹槽73具有第一侧壁731，当基块1的底面与第一侧壁731抵接时，基块1的第三流道口12与第三接头4同轴；第二夹具8设置于第一夹具7的上方，第二夹具8与第一夹具7可拆卸连接，用于对基块1进行限位。

在焊接过程中，将基块1放置在第一夹具7上，基块1底面与第一夹具7抵接，使第一流道口11朝向接头固定件6，并使基块1的第三流道口12所在的面与第一限位凸起71抵接，将第一夹具7和第二夹具8固定连接，然后通过接头固定件6将第一接头2固定，此时第一接头2与第一流道口11同轴，然后对第一接头2与基块1进行焊接，完成焊接后，将第一夹具7和第二夹具8拆离，调整基块1位置，使基块1的第二流道口朝向接头固定件6，并使基块1的第三流道口12所在的面与第二限位凸起72抵接，将第一夹具7和第二夹具8固定连接，然后通过接头固定件6将第二接头3固定，此时第二接头3与第二流道口同轴，然后对第二接头3与基块1进行焊接，完成焊接后，将第一夹具7和第二夹具8拆离，再次调整基块1位置，使基块1的第三流道口12朝向接头固定件6，并使基块1的底面与第一侧壁731抵接，将第一夹具7和第二夹具8固定连接，然后通过接头固定件6将第三接头4固定，此时第三接头4与第三流道口12同轴，然后对第三接头4与基块1进行焊接，完成焊接后，将第一夹具7和第二夹具8拆离，取出基块1；需要说明的是，上述第一接头2、第二接头3和第三接头4的焊接顺序可变换，另外，请参阅图7，第一接头2、第二接头3或第三接头4也可为一端已经焊接在其他基块1上的接头。

通过上述的基块焊接固定工装的结构和具体实施过程可知，本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装在焊接过程中，第一夹具7和接头固定件6的位置相对固定，即，第一夹具7分别与第一接头2、第二接头3或第三接头4的位置相对固定，通过调节基块1位置，当第一流道口11朝向接头固定件6且基块1的第三流道口12所在的面与第一限位凸起71抵接时，使第一流道口11的中心轴与待焊接的第一接头2的中心轴重合；当第二流道口朝向接头固定件6且基块1的第三流道口12所在的面与第二限位凸起72抵接时，使第二流道口的中心轴与待焊接的第二接头3的中心轴重合；当第三流道口12朝向接头固定件6，并使基块1的底面与第一侧壁731抵接时，使第三流道口12的中心轴与待焊接的第三接头4的中心轴重合；进而通过一套固定工装完成第一接头2、第二接头3和第三接头4分别与基块1的焊接。相较于现有技术，本发明实施例提供的一种基块焊接固定工装的第一限位凸起71、第二限位凸起72和第一凹槽73的第一侧壁731分别能够对基块1进行定位，保证在不同的焊接位置，基块1的流道口均能和对应的接头同轴，无需更换不同工装，通过一套本发明实施例提供的基块焊接固定工装即可实现一个基块1和多个接头的焊接固定。

具体地，上述的基块焊接固定工装中，当第一接头2固定在接头固定件6上后，第一限位凸起71与基块1的抵接面所在的平面距第一接头2的中心轴的垂直距离等于基块1与第一限位凸起71的抵接面所在的平面距第一流道口11的中心轴的垂直距离；当第二接头3固定在接头固定件6上后，第二限位凸起72与基块1的抵接面所在的平面距第二接头3的中心轴的垂直距离等于基块1与第二限位凸起72的抵接面所在的平面距第二流道口的中心轴的垂直距离；当第三接头4固定在接头固定件6上后，第一侧壁731所在的平面距第三接头4的中心轴的垂直距离等于基块1与第一侧壁731的抵接面所在的平面距第三流道口12的中心轴的垂直距离。如此设置，在基块1在不同安装位置时，保证基块1的流道口均能和对应的接头同轴。

具体地，请参阅图4，上述的基块焊接固定工装中，第一夹具7上还设置有接头导槽74，接头导槽74用于容纳已经焊接在基块1上的第一接头2或第二接头3。如此设置，保证已经焊接在基块1上的第一接头2或第二接头3不会对基块1的定位产生干扰。

作为一种可选地方式，请参阅图3、图4和图9，上述的基块焊接固定工装中，基块1还包括第四流道口，第一凹槽73具有第二侧壁732，当基块1的底面与第二侧壁732抵接时，基块1的第四流道口与第四接头5同轴。调整基块1位置，使基块1的第四流道口朝向接头固定件6，并使基块1的底面与第二侧壁732抵接，将第一夹具7和第二夹具8固定连接，然后通过接头固定件6将第四接头5固定，此时第四接头5与第四流道口同轴，然后对第四接头5与基块1进行焊接，实现第四接头5与基块1的焊接固定。

具体地，上述的基块焊接固定工装中，当第四接头5固定在接头固定件6上后，第二侧壁732所在的平面距第四接头5的中心轴的垂直距离等于基块1与第二侧壁732的抵接面所在的平面距第四流道口的中心轴的垂直距离。如此设置，保证基块1的第四流道口能和第四接头5同轴。

在一些实施例中，上述的基块焊接固定工装中，第二夹具8上还设置有第二凹槽81，第二凹槽81用于容纳已焊接在基块1上的第四接头5。

具体地，上述的基块焊接固定工装中，第二夹具8上设置有第三凹槽82，第三凹槽82的底面与第一凹槽73的底面的垂直距离等于基块1的宽度。当基块1的宽度和基块1的高度不相等时，在基块1侧放至第一夹具7上时，第一凹槽73能够容纳一部分基块1，保证第一夹具7和第二夹具8固定后，能够对基块1进行限位。

具体地，上述的基块焊接固定工装还包括定位挡块9，定位挡块9与第一夹具7可拆卸连接。定位挡块9能够对在基块1提供支撑力，尤其在基块1上已经焊接有接头时，定位挡块9还能够与已焊接在基块1上的接头抵接，为其提供支撑力，避免因为基块1一侧重量较大，导致基块1脱离第一夹具7和第二夹具8。

在一些实施例中，定位挡块9与第一夹具7通过螺栓连接。

作为另一种可选地方式，请参阅图3和图10，上述的基块焊接固定工装中，基块1还包括第四流道口，定位挡块9上设置具有方形通孔91，方形通孔91具有第三侧壁911和第四侧壁912；当基块1的第一流道口11所在的面与方形通孔91的第三侧壁911或第四侧壁912抵接时，基块1的第四流道口与第四接头5同轴；或者，当基块1的第二流道口所在的面与方形通孔91的第三侧壁911或第四侧壁912抵接时，基块1的第四流道口与第四接头5同轴。调整基块1位置，使基块1的第四流道口朝向接头固定件6，通过方形通孔91的第三侧壁911或第四侧壁912对基块1进行定位，使第四接头5与第四流道口同轴，实现第四接头5与基块1的焊接定位。

具体地，上述的基块焊接固定工装还包括夹具固定件10，第一夹具7和第二夹具8均与夹具固定件10可拆卸连接。如此设置，保证对第一夹具7和第二夹具8进行限位的同时，能够便于拆卸，进而便于调节基块1位置。

作为一种可能的方式，上述的基块焊接固定工装中，夹具固定件10为环形，且夹具固定件10的内侧设置有第一螺纹，第一夹具7和第二夹具8的外侧均为半圆形，第一夹具7的外侧具有第二螺纹，第二夹具8的外侧具有第三螺纹，第二螺纹和第三螺纹分别与第一螺纹螺纹配合。螺纹连接的连接稳定，且便于拆卸。

在一些实施例中，接头固定件6的外侧为半圆形，接头固定件6的外侧具有第四螺纹，第四螺纹与第一螺纹螺纹配合。如此设置，便于更换接头固定件6。

在一些实施例中，请参阅图4，第一夹具7上还设置有第四凹槽75和第五凹槽76。通过设置第四凹槽75和第五凹槽76，能够减轻装置质量，减少拆装使的劳动强度。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种基块焊接固定工装，用于对基块进行固定，基块包括第一流道口、第二流道口和第三流道口中的一个或多个，配合焊接工装对基块分别和第一接头、第二接头和第三接头中的一个或多个进行焊接，其特征在于，包括：

接头固定件，所述接头固定件用于对第一接头、第二接头或第三接头进行限位；

第一夹具，所述第一夹具设置于所述接头固定件的一侧，且与所述接头固定件可拆卸连接，所述第一夹具上设置有第一限位凸起、第二限位凸起和第一凹槽，当所述基块的所述第三流道口所在的面与所述第一限位凸起抵接时，所述基块的所述第一流道口与所述第一接头同轴，当所述基块的所述第三流道口所在的面与所述第二限位凸起抵接时，所述基块的所述第二流道口与所述第二接头同轴，所述第一凹槽具有第一侧壁，当所述基块的底面与所述第一侧壁抵接时，所述基块的所述第三流道口与所述第三接头同轴；

第二夹具，所述第二夹具设置于所述第一夹具的上方，且所述第二夹具与所述第一夹具可拆卸连接，用于对所述基块进行限位。

2.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述第一夹具上还设置有接头导槽，所述接头导槽用于容纳已经焊接在所述基块上的所述第一接头或所述第二接头。

3.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块还包括第四流道口，所述第一凹槽具有第二侧壁，当所述基块的底面与所述第二侧壁抵接时，所述基块的所述第四流道口与第四接头同轴。

4.根据权利要求3所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述第二夹具上还设置有第二凹槽，所述第二凹槽用于容纳已焊接在所述基块上的所述第四接头。

5.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述第二夹具上设置有第三凹槽，所述第三凹槽的底面与所述第一凹槽的底面的垂直距离等于所述基块的宽度。

6.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块焊接固定工装还包括：

定位挡块，所述定位挡块与所述第一夹具可拆卸连接，所述定位挡块用于对在所述基块提供支撑力。

7.根据权利要求6所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块还包括第四流道口，所述定位挡块上设置具有方形通孔，所述方形通孔具有第三侧壁和第四侧壁；

当所述基块的所述第一流道口所在的面与所述方形通孔的所述第三侧壁或所述第四侧壁抵接时，所述基块的所述第四流道口与第四接头同轴；

或者，当所述基块的所述第二流道口所在的面与所述方形通孔的所述第三侧壁或所述第四侧壁抵接时，所述基块的所述第四流道口与所述第四接头同轴。

8.根据权利要求1所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述基块焊接固定工装还包括：

夹具固定件，所述第一夹具和所述第二夹具均与所述夹具固定件可拆卸连接。

9.根据权利要求8所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述夹具固定件为环形，且所述夹具固定件的内侧设置有第一螺纹，所述第一夹具和所述第二夹具的外侧均为半圆形，所述第一夹具的外侧具有第二螺纹，所述第二夹具的外侧具有第三螺纹，所述第二螺纹和所述第三螺纹分别与所述第一螺纹螺纹配合。

10.根据权利要求9所述的基块焊接固定工装，其特征在于，所述接头固定件的外侧为半圆形，所述接头固定件的外侧具有第四螺纹，所述第四螺纹与所述第一螺纹螺纹配合。

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