CN115970931A - 一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统,属于喷涂技术领域,包括支架和喷涂机构,所述喷涂机构包括:支撑座、搬运组件、固定架、旋转座、旋转盘、加热板、喷涂机、旋转组件和调节组件;所述支撑座位于支架上,方便坩埚进行放置,支撑座上的槽孔便于搬运组件通过,实现将坩埚放置在支撑座上或将坩埚从支撑座上取下,有效避免人工搬运;所述支架上设有固定架、旋转座和旋转盘,通过调节组件可对加热板在旋转盘上的位置进行调节,并使加热板靠近坩埚表面并在靠近过程中对坩埚的位置进行调节,便于喷涂机进行工作,通过旋转组件可使喷涂机和加热板对坩埚表面进行喷涂和加热,操作便捷,有效提高喷涂效果。
Description
技术领域
本发明属于喷涂技术领域,尤其涉及一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统。
背景技术
当前,太阳能多晶硅的铸锭方法一般都是将原料硅材放置于坩埚内并进行加热,当坩埚内的温度超过硅材的熔点后,硅材将受热熔化而形成硅熔融液,当硅熔融液的温度稳定后,即进行冷却以形成硅晶锭;由于坩埚大多为石英材质,硅材在坩埚内受热熔融形成硅熔融液的过程中,石英会与硅熔融液产生反应,使坩埚受到硅熔融液的侵蚀,导致坩埚的损坏,同时也影响了硅晶锭的顺利脱模;为避免这种问题的产生,业内通常是在坩埚的表面涂上一层氮化硅,以起到作为坩埚保护层和硅晶锭脱模介质的作用。
现有的坩埚喷涂大多通过机械进行喷涂,坩埚的放置大多通过人工进行搬运放置,容易导致坩埚放置的位置不一致,在旋转喷涂过程中不能有效保证坩埚位于喷涂装置中心处,容易造成坩埚表面喷涂厚度不一致,影响喷涂效果。
为避免上述技术问题,确有必要提供一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统以克服现有技术中的所述缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种太阳能坩埚喷涂旋转装置,包括支架和喷涂机构,所述喷涂机构包括:
支撑座,安装在所述支架上,用于对坩埚进行支撑,所述支撑座上设有槽孔,所述支撑座侧面设有搬运组件,用于对坩埚进行搬运,使坩埚放置在支撑座上和从支撑座上取下;
所述支架顶端上安装有固定架,所述固定架内侧安装有旋转座,所述旋转座底侧安装有旋转盘,所述旋转盘底侧设有加热板,所述旋转盘底侧中部安装有喷涂机,所述支架和旋转盘之间安装有旋转组件,用于驱动旋转盘、加热板和喷涂机在固定架上进行旋转,对坩埚进行喷涂和加热;
所述旋转盘底侧安装有调节组件,调节组件与加热板连接,用于对加热板的旋转盘上的位置进行调节,并对坩埚在支撑座上的位置进行调节。
作为本发明进一步的技术方案:所述旋转组件包括:
齿轮环,固定安装在旋转盘上,齿轮环中心与旋转盘中心在同一直线上,所述支架上固定安装有第一驱动件,第一驱动件输出端安装有驱动齿,所述驱动齿与齿轮环啮合连接,用于驱动齿轮环和旋转盘在固定架上进行旋转;
所述旋转座上安装有滑轮,滑轮位于固定架内侧,用于减小旋转座与固定架之间的摩擦力。
作为本发明进一步的技术方案:所述调节组件包括:
第二驱动件,固定安装在旋转盘底侧中部,第二驱动件输出端安装有旋转杆,所述旋转杆上安装有滑块,所述滑块与旋转杆螺纹连接,所述滑块与加热板固定连接;
所述加热板底端靠近坩埚一侧安装有定位架,所述定位架的形状为圆弧状,用于跟随加热板进行移动,并驱动坩埚在支撑座上进行位置调节。
作为本发明进一步的技术方案:所述搬运组件包括:
第一限位架,固定安装在支架底端,所述第一限位架内侧安装有转动杆,所述转动杆外侧设有第二限位架,所述第二限位架上安装有旋转齿,所述旋转齿与转动杆连接,旋转齿外侧安装有移动杆,所述移动杆远离旋转齿一端安装有铰接座,所述铰接座上固定安装有支撑板;
所述第二限位架、旋转齿、移动杆和铰接座均设有两组,并与同一个转动杆连接,两个移动杆平行,两个铰接座分别位于支撑板底侧两端。
作为本发明进一步的技术方案:所述搬运组件设有多组并均匀分布在支架上,多组搬运组件之间安装有连接杆,连接杆两端与移动杆转动连接,用于使搬运组件之间位置固定。
作为本发明进一步的技术方案:所述太阳能坩埚喷涂旋转装置还包括:驱动组件,与所述搬运组件连接,用于同时驱动多组搬运组件进行工作;
所述驱动组件包括:
第三驱动件,固定安装在支架上,并与所述转动杆一端连接,所述转动杆靠近第三驱动件一端固定安装有转动齿,多组搬运组件中的转动杆之间设有第三限位架,第三限位架上安装有连接齿,所述连接齿与转动齿啮合连接。
一种太阳能坩埚喷涂系统,包括上述所述的一种太阳能坩埚喷涂旋转装置。
相较于现有技术,本发明的有益效果如下:
本发明提供的一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统,所述支撑座位于支架上,方便坩埚进行放置,支撑座上的槽孔便于搬运组件通过,实现将坩埚放置在支撑座上或将坩埚从支撑座上取下,有效避免人工搬运;所述支架上设有固定架、旋转座和旋转盘,通过调节组件可对加热板在旋转盘上的位置进行调节,并使加热板靠近坩埚表面并在靠近过程中对坩埚的位置进行调节,便于喷涂机进行工作,通过旋转组件可使喷涂机和加热板对坩埚表面进行喷涂和加热,操作便捷,有效提高喷涂效果。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明中旋转组件和调节组件的结构示意图。
图3为本发明中旋转盘底侧加热板和定位架的结构示意图。
图4为本发明中搬运组件与驱动组件之间的结构示意图。
图5为本发明中转动杆、旋转齿和移动杆之间的结构示意图。
图6为本发明中支撑座和槽孔的结构示意图。
附图中:1-支架、2-支撑座、3-槽孔、4-搬运组件、41-第一限位架、42-转动杆、43-第二限位架、44-旋转齿、45-移动杆、46-铰接座、47-支撑板、5-固定架、6-旋转座、7-旋转盘、8-旋转组件、81-齿轮环、82-第一驱动件、83-驱动齿、84-滑轮、9-调节组件、91-第二驱动件、92-旋转杆、93-滑块、94-定位架、10-加热板、11-喷涂机、12-驱动组件、121-第三驱动件、122-转动齿、123-第三限位架、124-连接齿、13-连接杆。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行详细描述。
如图1~6所示,为本发明提供的实施例中,一种太阳能坩埚喷涂旋转装置,包括支架1和喷涂机构,所述喷涂机构包括:
支撑座2,安装在所述支架1上,用于对坩埚进行支撑,所述支撑座2上设有槽孔3,所述支撑座2侧面设有搬运组件4,用于对坩埚进行搬运,使坩埚放置在支撑座2上和从支撑座2上取下;
所述支架1顶端上安装有固定架5,所述固定架5内侧安装有旋转座6,所述旋转座6底侧安装有旋转盘7,所述旋转盘7底侧设有加热板10,所述旋转盘7底侧中部安装有喷涂机11,所述支架1和旋转盘7之间安装有旋转组件8,用于驱动旋转盘7、加热板10和喷涂机11在固定架5上进行旋转,对坩埚进行喷涂和加热;
所述旋转盘7底侧安装有调节组件9,调节组件9与加热板10连接,用于对加热板10的旋转盘7上的位置进行调节,并对坩埚在支撑座2上的位置进行调节。
在本实施例中,所述支撑座2位于支架1上,方便坩埚进行放置,支撑座2上的槽孔3便于搬运组件4通过,实现将坩埚放置在支撑座2上或将坩埚从支撑座2上取下,有效避免人工搬运;所述支架1上设有固定架5、旋转座6和旋转盘7,通过调节组件9可对加热板10在旋转盘7上的位置进行调节,并使加热板10靠近坩埚表面并在靠近过程中对坩埚的位置进行调节,便于喷涂机11进行工作,通过旋转组件8可使喷涂机11和加热板10对坩埚表面进行喷涂和加热,操作便捷,有效提高喷涂效果;所述旋转座6的剖面形状为倒T型,所述固定架5内侧的剖面形状为T型,方便旋转座6位于固定架5内侧进行旋转。
在本发明的一个实施例中,请参阅图1和图2,所述旋转组件8包括:
齿轮环81,固定安装在旋转盘7上,齿轮环81中心与旋转盘7中心在同一直线上,所述支架1上固定安装有第一驱动件82,第一驱动件82输出端安装有驱动齿83,所述驱动齿83与齿轮环81啮合连接,用于驱动齿轮环81和旋转盘7在固定架5上进行旋转;
所述旋转座6上安装有滑轮84,滑轮84位于固定架5内侧,用于减小旋转座6与固定架5之间的摩擦力。
在本实施例中,所述齿轮环81位于在旋转盘7上侧中部,所述齿轮环81与旋转盘7固定连接,所述第一驱动件82固定安装在支架1顶端底侧,所述第一驱动件82可为旋转电机或步进电机等,在本实施例中第一驱动件82为旋转电机,所述第一驱动件82输出端与驱动齿83固定连接,所述驱动齿83与齿轮环81在同一水平线上,通过驱动齿83与齿轮环81啮合连接,可在第一驱动件82控制驱动齿83进行旋转时,实现旋转盘7、齿轮环81和旋转座6在固定架5上进行定点旋转,进一步的实现加热板10在坩埚表面进行旋转,便于加热板10对坩埚进行加热;所述滑轮84设有多组并均匀分布在旋转座6上,方便旋转座6在固定架5上进行稳定旋转。
在本发明的一个实施例中,请参阅图1、图2和图3,所述调节组件9包括:
第二驱动件91,固定安装在旋转盘7底侧中部,第二驱动件91输出端安装有旋转杆92,所述旋转杆92上安装有滑块93,所述滑块93与旋转杆92螺纹连接,所述滑块93与加热板10固定连接;
所述加热板10底端靠近坩埚一侧安装有定位架94,所述定位架94的形状为圆弧状,用于跟随加热板10进行移动,并驱动坩埚在支撑座2上进行位置调节。
在本实施例中,所述第二驱动件91固定安装在旋转盘7底侧中部,所述第二驱动件91可为旋转电机或双轴电机等,在本实施例中第二驱动件91为双轴电机,所述第二驱动件91的两个输出端均安装有旋转杆92,所述旋转杆92在本实施例中为螺纹杆,所述滑块93中部设有螺孔,所述螺孔内侧与旋转杆92外侧螺纹连接,滑块93底侧固定安装有加热板10;所述加热板10底端靠近坩埚一侧设有定位架94,所述加热板10的形状为圆弧状,定位架94靠近坩埚一侧的形状也为圆弧状,方便对坩埚在支撑座2上的位置进行调节;
当第二驱动件91控制两个旋转杆92进行旋转时,便于驱动两个滑块93和加热板10沿着旋转杆92进行相对运动,便于控制加热板10靠近坩埚表面,并通过定位架94对坩埚在支撑座2上的位置进行调节,在旋转盘7进行旋转时,定位架94与坩埚不接触;对坩埚的位置进行调节后,方便喷涂机11对坩埚表面进行喷涂操作。
在本发明的一个实施例中,请参阅图1和图5,所述搬运组件4包括:
第一限位架41,固定安装在支架1底端,所述第一限位架41内侧安装有转动杆42,所述转动杆42外侧设有第二限位架43,所述第二限位架43上安装有旋转齿44,所述旋转齿44与转动杆42连接,旋转齿44外侧安装有移动杆45,所述移动杆45远离旋转齿44一端安装有铰接座46,所述铰接座46上固定安装有支撑板47;
所述第二限位架43、旋转齿44、移动杆45和铰接座46均设有两组,并与同一个转动杆42连接,两个移动杆45平行,两个铰接座46分别位于支撑板47底侧两端。
在本实施例中,所述第一限位架41固定安装在支架1上,所述第一限位架41上安装有转动杆42,所述转动杆42为水平状,所述转动杆42与第一限位架41之间安装有滚动轴承,所述转动杆42可在第一限位架41上进行旋转,所述第二限位架43上安装有旋转齿44,所述旋转齿44在本实施例中为蜗轮,所述旋转齿44和第二限位架43之间安装有滚动轴承,所述转动杆42在本实施例中为蜗杆,所述旋转齿44与转动杆42连接,当转动杆42进行旋转时,方便驱动旋转齿44在第二限位架43上进行旋转,并进一步的带动移动杆45进行旋转;
所述移动杆45与支撑板47之间安装有铰接座46,一根转动杆42外侧设有两组第二限位架43、旋转齿44、移动杆45和铰接座46,两个移动杆45平行,两个第二限位架43之间的距离与两个铰接座46之间的距离相同,所述支撑板47、两个移动杆45和两个第二限位架43之间组成一个平行四边形,当旋转齿44进行旋转时,方便驱动支撑板47进行移动,并在移动过程中始终保持为水平状,所述支撑板47与所述槽孔3凹凸连接,当对坩埚进行支撑。
所述搬运组件4设有多组并均匀分布在支架1上,多组搬运组件4之间安装有连接杆13,连接杆13两端与移动杆45转动连接,用于使搬运组件4之间位置固定;连接杆13两端与两组搬运组件4中的移动杆45之间安装有滚动轴承,便于保持多组搬运组件4之间的距离,并进一步的保持搬运组件4在工作时的稳定,方便使用。
在本发明的一个实施例中,请参阅图1和图4,所述太阳能坩埚喷涂旋转装置还包括:驱动组件12,与所述搬运组件4连接,用于同时驱动多组搬运组件4进行工作;
所述驱动组件12包括:
第三驱动件121,固定安装在支架1上,并与所述转动杆42一端连接,所述转动杆42靠近第三驱动件121一端固定安装有转动齿122,多组搬运组件4中的转动杆42之间设有第三限位架123,第三限位架123上安装有连接齿124,所述连接齿124与转动齿122啮合连接。
在本实施例中,所述第三驱动件121可为旋转电机或步进电机等,在本实施例中第三驱动件121为旋转电机,所述第三驱动件121输出端与多组搬运组件4中的一组连接,所述第三驱动件121输出端与转动杆42一端固定连接,所述转动杆42外侧还安装有转动齿122,多组搬运组件4中的转动杆42上均安装有转动齿122,两个转动齿122之间通过连接齿124连接,连接齿124通过第三限位架123可进行定位旋转,方便使用;当第三驱动件121控制其中一组搬运组件4中的转动杆42进行旋转时,通过转动齿122和连接齿124可实现其他搬运组件4中的转动杆42进行同步旋转,并保持旋转角度相同,能够使多块支撑板47进行同步移动,进一步的提高对坩埚搬运过程中的稳定性。
一种太阳能坩埚喷涂系统,包括上述所述的一种太阳能坩埚喷涂旋转装置,还包括控制器,用于对第一驱动件82、第二驱动件91、第三驱动件121、喷涂机11和加热板10进行控制,使其进行按照设定流程进行工作。
本发明的工作原理是:
在本发明中,首先将待喷涂的坩埚放置在多块支撑板47上,然后控制第三驱动件121进行工作,并使支撑板47带动坩埚进行移动,当支撑板47移动到支撑座2内侧时,支撑板47继续向下移动,坩埚则平稳的放置在支撑座2上,然后开启第二驱动件91,对加热板10和定位架94的位置进行调节,进一步的实现对坩埚在支撑座2上位置稳定调节,当位置调节后,开启第一驱动件82,实现旋转盘7带动加热板10和喷涂机11进行旋转,便于对坩埚进行喷涂和加热操作,在喷涂结束后,使第三驱动件121输出端反转,可便于将坩埚从支撑座2上取下,能够有效避免人工搬运。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种太阳能坩埚喷涂旋转装置,包括支架和喷涂机构,其特征在于,所述喷涂机构包括:
支撑座,安装在所述支架上,用于对坩埚进行支撑,所述支撑座上设有槽孔,所述支撑座侧面设有搬运组件,用于对坩埚进行搬运,使坩埚放置在支撑座上和从支撑座上取下;
所述支架顶端上安装有固定架,所述固定架内侧安装有旋转座,所述旋转座底侧安装有旋转盘,所述旋转盘底侧设有加热板,所述旋转盘底侧中部安装有喷涂机,所述支架和旋转盘之间安装有旋转组件,用于驱动旋转盘、加热板和喷涂机在固定架上进行旋转,对坩埚进行喷涂和加热;
所述旋转盘底侧安装有调节组件,调节组件与加热板连接,用于对加热板的旋转盘上的位置进行调节,并对坩埚在支撑座上的位置进行调节。
2.根据权利要求1所述的太阳能坩埚喷涂旋转装置,其特征在于,所述旋转组件包括:
齿轮环,固定安装在旋转盘上,齿轮环中心与旋转盘中心在同一直线上,所述支架上固定安装有第一驱动件,第一驱动件输出端安装有驱动齿,所述驱动齿与齿轮环啮合连接,用于驱动齿轮环和旋转盘在固定架上进行旋转;
所述旋转座上安装有滑轮,滑轮位于固定架内侧,用于减小旋转座与固定架之间的摩擦力。
3.根据权利要求2所述的太阳能坩埚喷涂旋转装置,其特征在于,所述调节组件包括:
第二驱动件,固定安装在旋转盘底侧中部,第二驱动件输出端安装有旋转杆,所述旋转杆上安装有滑块,所述滑块与旋转杆螺纹连接,所述滑块与加热板固定连接;
所述加热板底端靠近坩埚一侧安装有定位架,所述定位架的形状为圆弧状,用于跟随加热板进行移动,并驱动坩埚在支撑座上进行位置调节。
4.根据权利要求1所述的太阳能坩埚喷涂旋转装置,其特征在于,所述搬运组件包括:
第一限位架,固定安装在支架底端,所述第一限位架内侧安装有转动杆,所述转动杆外侧设有第二限位架,所述第二限位架上安装有旋转齿,所述旋转齿与转动杆连接,旋转齿外侧安装有移动杆,所述移动杆远离旋转齿一端安装有铰接座,所述铰接座上固定安装有支撑板;
所述第二限位架、旋转齿、移动杆和铰接座均设有两组,并与同一个转动杆连接,两个移动杆平行,两个铰接座分别位于支撑板底侧两端。
5.根据权利要求4所述的太阳能坩埚喷涂旋转装置,其特征在于,所述搬运组件设有多组并均匀分布在支架上,多组搬运组件之间安装有连接杆,连接杆两端与移动杆转动连接,用于使搬运组件之间位置固定。
6.根据权利要求5所述的太阳能坩埚喷涂旋转装置,其特征在于,所述太阳能坩埚喷涂旋转装置还包括:驱动组件,与所述搬运组件连接,用于同时驱动多组搬运组件进行工作;
所述驱动组件包括:
第三驱动件,固定安装在支架上,并与所述转动杆一端连接,所述转动杆靠近第三驱动件一端固定安装有转动齿,多组搬运组件中的转动杆之间设有第三限位架,第三限位架上安装有连接齿,所述连接齿与转动齿啮合连接。
7.一种太阳能坩埚喷涂系统,其特征在于,包括权利要求1至6任一所述的一种太阳能坩埚喷涂旋转装置。
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