CN206392321U - 一种坩埚喷涂装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种坩埚喷涂装置，包括有支架，支架上安装有工作箱、第一气缸、第二气缸，工作箱的上部设有开口，第一气缸位于开口上方，第一气缸与工作箱之间设有喷涂杆，喷涂杆的一端固定连接第一气缸的活塞，另一端安装有旋转喷头并通过开口伸入到工作箱内，喷涂杆内具有中空的通道，通道一端连通旋转喷头，另一端通过设置在喷涂杆上的连接管连接高压喷涂料，工作箱的底部设有可活动的托台，托台下端面连接第二气缸，托台上端面设有供叉车的货叉水平插入的插槽，工作箱的侧壁安装有加热器。本实用新型的坩埚喷涂装置具有操作简单，保证了坩埚的安全性以及操作人员的安全性，能够高效率的完成坩埚的氮化硅喷涂作业，节省了人力物力。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体硅铸锭用坩埚处理技术领域，具体涉及一种坩埚喷涂装置。
背景技术
太阳能多晶硅的铸锭方法一般都是将硅料放置于石英坩埚内并进行加热，当坩埚内的温度超过硅料的熔点后，硅料受热熔化而形成硅熔融液，当硅熔融液的温度稳定后，即进行冷却以形成硅晶锭。由石英坩埚在硅料受热熔融形成硅熔融液的过程中，会与硅熔融液产生反应，使坩埚受到硅熔融液的侵蚀，导致坩埚的损坏，同时也影响了硅晶锭的顺利脱模。为避免这种问题的产生，业内通常是在坩埚的表面涂上一层氮化硅，从而起到坩埚保护层和硅晶锭脱模介质的作用。
目前，坩埚的喷涂通常包括人工手动喷涂、机械或机器人自动喷涂等方式。在执行机械或机器人的自动喷涂操作时，坩埚和机械或机器人要保持较近的距离，需要将坩埚通过吊车等放置在置具上，喷涂完成后还需要人工再将坩埚从置具上搬运下来，由于置具是固定不动的，喷涂装置也不易改变位置，从而给搬运工作带来诸多不便，造成工作效率的降低，更重要的是还容易导致由于工作人员的疏忽而造成一些工安事故，存在一定的安全隐患。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型通过将坩埚托台与工作箱可自动分离设置，旋转喷嘴通过气缸控制伸入坩埚旋转喷涂，托台上设置供叉车的货叉插入的插槽，从而提供一种方便坩埚装卸，操作时可靠性高，减少作业事故的坩埚喷涂装置。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是，一种坩埚喷涂装置，包括有支架，支架上安装有工作箱、第一气缸、第二气缸，工作箱的上部设有开口，第一气缸位于开口上方，第一气缸与工作箱之间设有喷涂杆，喷涂杆的一端固定连接第一气缸的活塞，另一端安装有旋转喷头并通过开口伸入到工作箱内，喷涂杆内具有中空的通道，通道一端连通旋转喷头，另一端通过设置在喷涂杆上的连接管连接高压喷涂料，旋转喷头包括有竖直向下的喷嘴及若干水平方向的喷嘴，工作箱的底部设有可活动的托台，托台下端面连接第二气缸，托台上端面设有供叉车的货叉水平插入的插槽，工作箱的侧壁安装有加热器。
托台上端面设有放置坩埚的定位凹槽。
工作箱的上部设有供旋转喷头涂容纳的容纳室。
工作箱的上部设有连通工作箱内部的排风管。
本实用新型的工作原理是：用叉车将坩埚搬运至托台上，坩埚卡在托台上的凹槽内后叉车的货叉可以方便的抽离；启动地二气缸将坩埚抬升至工作箱内，启动工作箱的加热器给坩埚预热；启动第一气缸将停放在容纳室的旋转喷头下降并进行喷涂作业，涂覆完成后将旋转喷头停放在容纳室，工作箱通过排风管排风；最后下降托台，将坩埚移出工作箱，利用叉车将坩埚转移进入下一道工序，完成坩埚的喷涂。
本实用新型的有益效果是，本实用新型的坩埚喷涂装置具有操作简单，保证了坩埚的安全性以及操作人员的安全性，能够高效率的完成坩埚的氮化硅喷涂作业，节省了人力物力。
附图说明
图1是本实用新型的剖面图。
具体实施方式
现结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1所示，一种坩埚喷涂装置，包括有支架1，支架1上安装有工作箱2、第一气缸3、第二气缸4，工作箱2的上部设有开口5，第一气缸3位于开口5上方，第一气缸3与工作箱2之间设有喷涂杆6，喷涂杆6的一端固定连接第一气缸3的活塞，另一端安装有旋转喷头7并通过开口5伸入到工作箱2内，喷涂杆6内具有中空的通道，通道一端连通旋转喷头7，另一端通过设置在喷涂杆6上的连接管8连接喷涂料，工作箱2的底部设有可活动的托台9，托台9下端面连接第二气缸4，托台9上端面设有供叉车的货叉水平插入的插槽10，工作箱2的内壁安装有加热器。
托台9上端面设有放置坩埚11的定位凹槽，使得坩埚11在托台9上的位置固定，保证喷涂作业时涂覆均匀。
工作箱2的上部设有供旋转喷头容纳的容纳室12，喷涂作业完成后第一气缸3带动旋转喷头7上升至容纳室12。工作箱通过排风管13进行排风作业，加快喷涂料快速晾干。
用叉车将坩埚11搬运至托台上，坩埚11卡在托台9上的凹槽内后叉车的货叉可以方便的抽离；启动地二气缸4将坩埚11抬升至工作箱2内，启动工作箱1的加热器给坩埚11预热；启动第一气缸3将停放在容纳室12的旋转喷头7下降并进行喷涂作业，涂覆完成后将旋转喷头7停放在容纳室12，工作箱2通过排风管13排风；最后下降托台9，将坩埚11移出工作箱2，利用叉车将坩埚11转移进入下一道工序，完成坩埚11的喷涂。
以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例，应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化，因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (4)
1.一种坩埚喷涂装置，其特征在于，包括有支架，支架上安装有工作箱、第一气缸、第二气缸，工作箱的上部设有开口，第一气缸位于开口上方，第一气缸与工作箱之间设有喷涂杆，喷涂杆的一端固定连接第一气缸的活塞，另一端安装有旋转喷头并通过开口伸入到工作箱内，喷涂杆内具有中空的通道，通道一端连通旋转喷头，另一端通过设置在喷涂杆上的连接管连接高压喷涂料，工作箱的底部设有可活动的托台，托台下端面连接第二气缸，托台上端面设有供叉车的货叉水平插入的插槽，工作箱的侧壁安装有加热器。
2.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述托台上端面设有放置坩埚的定位凹槽。
3.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述工作箱的上部设有供旋转喷涂容纳的容纳室。
4.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述工作箱的上部设有连通工作箱内部的排风管。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109550623A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-04-02 | 中材江苏太阳能新材料有限公司 | 一种提高多晶硅铸锭用坩埚内表面粗糙度的方法 |
| WO2022247807A1 (zh) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 万华化学集团股份有限公司 | 喷淋杆组件以及喷淋杆系统 |
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| CN115970931B (zh) * | 2022-12-18 | 2023-08-18 | 东海县太阳光新能源有限公司 | 一种太阳能坩埚喷涂旋转装置及喷涂系统 |
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