CN115950248A - 一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光伏制造领域，特别是涉及一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。由于所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤各个外延层层更好配合，提升金属电极的连接效果，提升电池良率。
Description
技术领域
本发明涉及光伏制造领域，特别是涉及一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法。
背景技术
TOPCon电池是指在硅片背面制备1-2nm的超薄隧穿氧化层(SiOx)，然后在SiOx表面沉积厚度为60-160nm的掺杂多晶硅层，最后在掺杂多晶硅层上淀积氮化硅。该结构为硅片的背面提供了良好的表面钝化和场钝化，超薄氧化层可以使电子隧穿进入多晶硅层同时阻挡空穴的输运，降低复合电流。掺杂多晶硅层横向传输特性降低了串联电阻。以上两种特性共同提升了电池的开路电压、填充因子以及电池的转换效率，是最有可能实现大规模量产的下一代高效电池技术。
受制于现有管式高温设备的加热方式，导致电池片边缘的辐射热强，电池片中间的辐射热弱。导致电池片内热场不均匀，进而影响正面硼扩散结深及表面浓度、二氧化硅遂穿层厚度、掺杂多晶硅工艺的片内均匀性。例如，硼扩工艺中由于硅片受热不均，导致电池片边缘扩散结深较中间深，电池片边缘表面浓度较中间低，因此表现边缘方阻低中间高；超薄隧穿氧化层(SiOx)片内均匀性表现出中间薄、边缘厚的贴点；掺杂多晶硅层表现出中间方阻高、边缘方阻低。
由于存在以上电池片的边缘和中间区域的工艺差异，而现有烧结炉加热方式又为电池片边缘温度偏低，中间温度偏高的形式，使烧结结果与电池片在前述步骤处理中由于温度中间低、边缘高形成的层级特征不相符，导致电池黑边及区域发暗等EL不良，降低电池良率，增加了生产成本。
因此，如何减少太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率，是现有技术中亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种太阳能电池烧结炉及太阳能电池的烧结方法，以解决现有技术中减少太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种太阳能电池烧结炉，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；
所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；
所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；
所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述加热单元为加热灯管。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述加热灯管为延伸方向与所述烧结炉腔体的长度方向平行的直灯管。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述环形灯管所在平面与所述烧结炉腔体的长度方向垂直。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述烧结炉腔体为环形腔体；
所述加热单元的铺设密度随铺设位置与所述太阳能电池前驱体所在平面的夹角的增大而减小。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，还包括换热装置；所述换热装置包括热排进气口、热交换腔室及废排出气口；
所述烧结炉腔体的热废气通过所述热排进气口进入所述热交换腔室，并通过所述废排出气口排出；
所述太阳能电池烧结炉的新风管路经过所述热交换腔室，使外部环境中的新风与所述热废气进行热交换。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述换热装置位于所述烧结炉腔体的上方；
相应地，所述热排进气口位于所述烧结炉腔体的顶部。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述换热装置为管式换热装置；
所述管式换热装置与所述烧结炉腔体平行设置；
所述管式换热装置包括多个所述热排进气口，多个所述热排进气口沿所述烧结炉腔体的长度方向间隔设置。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述加热单元仅设置于所述烧结炉腔体的上半部分或下半部分，且与所述太阳能电池前驱体的背面相对。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述太阳能电池烧结炉的新风管路的新风进气口与新风出气口均设置于所述烧结炉腔体的前驱体入口处。
可选地，在所述的太阳能电池烧结炉中，所述新风进气口位于所述烧结炉腔体外侧，且与所述前驱体入口的距离不超过30厘米；
所述新风出气口位于所述烧结炉腔体内侧，且与所述前驱体入口的距离不超过30厘米。
一种太阳能电池的烧结方法，所述太阳能电池的烧结方法为使用如上述任一种所述的太阳能电池烧结炉，进行的太阳能电池的烧结。
本发明所提供的太阳能电池烧结炉，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。
本发明将所述加热单元环绕设置于所述烧结炉腔体内，从各个方向对所述太阳能电池前驱体进行热辐射，通过调整所述加热单元对所述炉带的不同位置的加热温度，实现所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤中边缘与中心位置不同深度与厚度的硼扩散结、遂穿层及掺杂多晶硅层更好配合，提升金属电极的连接效果，大大降低太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率。本发明同时还提供了一种具有上述有益效果的太阳能电池的烧结方法。
附图说明
为了更清楚的说明本发明实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明提供的太阳能电池烧结炉的一种具体实施方式的结构示意图；
图2为本发明提供的太阳能电池烧结炉的另一种具体实施方式的结构示意图；
图3为本发明提供的太阳能电池烧结炉的又一种具体实施方式的结构示意图；
图4为本发明提供的太阳能电池烧结炉的一种具体实施方式的太阳能电池前驱体的输送示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的核心是提供一种太阳能电池烧结炉，其一种具体实施方式的结构示意图如图1所示，称其为具体实施方式一，包括烧结炉腔体20、炉带50及加热单元10；
所述炉带50沿所述烧结炉腔体20的长度方向贯穿所述烧结炉腔体20，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；
所述加热单元10设置于所述烧结炉腔体20内，且环绕所述炉带50；
所述加热单元10对所述炉带50的加热温度从所述炉带50的边缘区域至所述炉带50的中间区域逐渐降低。
作为一种具体实施方式，所述加热单元10为加热灯管。加热灯管成本低，安装自由度高，泛用性好，当然，也可根据实际情况选择加热单元10，如红外灯管、全波段灯管、加热丝等。
更进一步地，所述加热灯管为延伸方向与所述烧结炉腔体20的长度方向平行的直灯管。直灯管加工难度低，安装成本低。当然，所述加热灯管也可沿其他方向设置，如延伸方向垂直于所述烧结炉腔体20的长度方向。图1中的加热单元10即为所述直灯管的截面，同时，图1中的截面图所述烧结炉腔体20不连续，可看作该截面的上下区域为通孔，并非表示所述烧结炉腔体20一定为两片不连续的弧形组成。
烧结炉加热腔室设计可为环形腔式加热，环形腔式里的加热单元10布置形式可以沿着太阳能电池前驱体移动方向，也可以垂直于太阳能电池前驱体移动方向；
烧结炉加热腔室设计4个温区，分别为烘干区、升温区、烧结区和降温区，每个温区根据温度高低不同，环形腔式的加热单元10布置密度也不同。
烘干区、升温区、降温区的灯管布置与烧结区相似，只是烘干区、升温区、降温区所需温度范围较烧结区低，所以灯管(即所述加热单元10)布置密度可以依次降低。
如图1所述的烧结炉腔体20为环形腔体，由于距离所述炉带50的远近距离不同，改进后的烧结炉热区温度分布可以满足烧结时太阳能电池前驱体中间区域需要比边缘区域较低的温度需求，同时给与太阳能电池前驱体边缘区域较大的直接辐射热，满足太阳能电池前驱体中间区域烧结温度低边缘烧结温度高的需求。
太阳能电池前驱体完成丝网印刷后，由金属链条或者陶瓷滚轮传输进烧结炉，烘干去、升温区、烧结区和降温区的加热灯管布置方式均一致，根据各个区域所需的温度不同，设置灯管的布置密度不同。烧结炉的烘干区温度在200℃-400℃之间。升温区温度在400℃-700℃之间，烧结区温度在700℃-870℃之间，降温区温度在700℃-300℃之间。
作为另一种具体实施方式，所述环形灯管所在平面与所述烧结炉腔体20的长度方向垂直。所述环形灯管可保障在各个方向上发散的热能都基本一致，因此仅需要调整所述烧结炉腔体20的长短轴比，即可获得适合的对所述太阳能电池前驱体边缘位置及中心位置各自不同的加热效果。
另外，所述太阳能电池烧结炉还包括换热装置；所述换热装置包括热排进气口31、热交换腔室32及废排出气口33；
所述烧结炉腔体20的热废气通过所述热排进气口31进入所述热交换腔室32，并通过所述废排出气口33排出；
所述太阳能电池烧结炉的新风管路经过所述热交换腔室32，使外部环境中的新风与所述热废气进行热交换。
本具体实施方式可参考图2，增设所述换热装置后，所述太阳能电池烧结炉的新风管路中输送的新风即可在所述热交换腔室32中与所述烧结炉腔体20排出的高温废气进行热交换，使外部的新风进入所述烧结炉腔体20时便具有一定程度的高温，提升了炉内各个区域的温度均匀性，这样进入烧结炉内的新风均为预热完成的，减少了冷风直接进入烧结炉对烧结炉内热场分布的扰动，减少了温度波动对硅片烧结过程稳定性的影响，而且废热排余热被二次充分利用，减少了电能的浪费，也即降低了生产成本。
更进一步地，所述换热装置位于所述烧结炉腔体20的上方；
相应地，所述热排进气口31位于所述烧结炉腔体20的顶部。
当然，所述烧结炉腔体20的热废气会自行上升，因此将所述换热装置设置于所述烧结炉腔体20的上方，有利于所述热废气的顺利从顶部的热排进气口31排出，使气路循环更顺畅。进一步地，所述废排出气口33设置于所述热交换腔室32顶部，方便热废气排出。
当然，即便不安装所述换热装置，所述烧结炉腔体20中的热废气还是需要排气口排出，优选地，所述排气口也设置于所述烧结炉腔体20顶部。
再进一步地，所述换热装置为管式换热装置；
所述管式换热装置与所述烧结炉腔体20平行设置；
所述管式换热装置包括多个所述热排进气口31，多个所述热排进气口31沿所述烧结炉腔体20的长度方向间隔设置。
将所述换热装置设置于延伸方向与所述烧结炉腔体20一致的管式换热装置，更方便设备的安装与空间规划，同时，沿所述烧结炉腔体20的长度方向设置多个所述热排气口，也能使所述热废气在所述热交换腔室32中分布得更加均匀，提升热交换效果，提升所述新风进入所述烧结炉腔体20的初始温度，进一步改善热场。当然，所述新风管路在所述热交换腔室32中折叠蜿蜒前进。
本发明所提供的太阳能电池烧结炉，包括烧结炉腔体20、炉带50及加热单元10；所述炉带50沿所述烧结炉腔体20的长度方向贯穿所述烧结炉腔体20，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元10设置于所述烧结炉腔体20内，且环绕所述炉带50；所述加热单元10对所述炉带50的加热温度从所述炉带50的边缘区域至所述炉带50的中间区域逐渐降低。本发明将所述加热单元10环绕设置于所述烧结炉腔体20内，从各个方向对所述太阳能电池前驱体进行热辐射，通过调整所述加热单元10对所述炉带50的不同位置的加热温度，实现所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤中边缘与中心位置不同深度与厚度的硼扩散结、遂穿层及掺杂多晶硅层更好配合，提升金属电极的连接效果，大大降低太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率。
在具体实施方式一的基础上，进一步对所述加热单元10的密度分布做限定，得到具体实施方式二，其结构示意图如图3所示，包括烧结炉腔体20、炉带50及加热单元10；
所述炉带50沿所述烧结炉腔体20的长度方向贯穿所述烧结炉腔体20，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；
所述加热单元10设置于所述烧结炉腔体20内，且环绕所述炉带50；
所述加热单元10对所述炉带50的加热温度从所述炉带50的边缘区域至所述炉带50的中间区域逐渐降低；
所述烧结炉腔体20为环形腔体；
所述加热单元10的铺设密度随铺设位置与所述太阳能电池前驱体所在平面的夹角的增大而减小。
本具体实施方式与上述具体实施方式的不同之处在于，本具体实施方式中将所述加热单元10的密度随其在内壁上的角度变化而变化，其余结构均与上述具体实施方式相同，在此不再展开赘述。
本发明中的具体实施方式一种，强调了所述太阳能电池前驱体的各个区域位置距离内壁上的所述加热单元10的远近不同，因此能得到不同的加热效果，更进一步来说就是中心区域温度低，边缘区域温度高，因此，在此基础上，本具体实施方式进一步，通过限定所述烧结炉腔体20的形状(环形腔体可为正圆状环形或椭圆状环形)改变所述烧结炉腔体20内壁上的加热单元10在不同位置的分布，强化对所述太阳能电池前驱体中心加热效果不如边缘的特点。图3为所述烧结炉腔体20的四分之一截面图。
具体地，本具体实施方式中，以所述太阳能电池前驱体所在的平面为水平面，随着设置所述加热单元10的内壁位置到所述烧结炉腔体20中心的连线与水平面之间夹角的扩大，所述加热单元10的密度越来越低(也可看作，离所述水平面越远的平面内，所述加热单元10的密度越低)，实现对所述太阳能电池前驱体中心位置加热效果差，边缘加热效果强的特点。
作为一种具体实施方式，所述加热单元10仅设置于所述烧结炉腔体20的上半部分或下半部分，且与所述太阳能电池前驱体的背面相对。目前，TOPCon电池作为一种新型高效的电池越来越受到重视，而又因为TOPCon太阳能电池背面为掺杂多晶硅层结构，掺杂多晶硅层基本不会用在正面，因此所述加热单元只需要对准所述TOPCon太阳能电池前置物的背面设置即可，而所述TOPCon太阳能电池前置物可以背面向上设置于所述炉带50上，此时所述加热单元10仅需设置于所述烧结炉腔体20的上半部分即可；而所述TOPCon太阳能电池前置物背面向下设置于所述炉带50上(所述炉带50为镂空炉带，如铁丝网等)，此时所述加热单元10仅需设置于所述烧结炉腔体20的下半部分，穿透所述炉带50对所述TOPCon太阳能电池前置物背面加热。
作为一种具体实施例，每个温区的上半圆或者下半圆加热器布置密度根据电池片由边缘至中间区域的温度要求确定，例如在烧结区加热器布置密度可以设置为，在0-30°内，沿电池片行进方向在单位长度内布置3个加热器，在30°-60°内布置2个加热器，在60°-90°内布置1个加热器，使得烧结炉腔内电池片表面温度由电池片边缘向电池片中间区域逐渐降低，满足TOPCon前制程设备带来的电池片内不同区域固有特征所需的烧结温度。
在具体实施方式一的基础上，进一步对所述加热单元10的密度分布做限定，得到具体实施方式三，其结构示意图如上述个具体实施方式的结构示意图所示，包括烧结炉腔体20、炉带50及加热单元10；
所述炉带50沿所述烧结炉腔体20的长度方向贯穿所述烧结炉腔体20，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；
所述加热单元10设置于所述烧结炉腔体20内，且环绕所述炉带50；
所述加热单元10对所述炉带50的加热温度从所述炉带50的边缘区域至所述炉带50的中间区域逐渐降低；
所述太阳能电池烧结炉的新风管路的新风进气口41与新风出气口42均设置于所述烧结炉腔体20的前驱体入口21处。
本具体实施方式与上述具体实施方式的不同之处在于，本具体实施方式中限定了所述新风管路的新风进气口41与新风出气口42的位置，其余结构均与上述具体实施方式相同，在此不再展开赘述。
在本具体实施方式中，限定了所述新风管路的新风进气口41与新风出气口42均设置于所述烧结炉腔体20的前驱体入口21附近，请参考图2，所述新风进气口41为吸收外界空气进入的孔洞，所述新风出气口42为将新风排进所述述烧结炉腔体20的孔洞，当然，所述新风出气口42设置于炉外，所述新风进气口41设置于炉内，所述新风出气口42将在炉内形成正压，所述新风进气口41将在炉外形成负压，这就使得外界的冷空气在正压/负压的一推一拉之下，不会通过所述烧结炉腔体20的前驱体入口21直接进入炉内，而是优先进入所述新风进气口41，进而保障所述烧结炉腔体20的前驱体入口21长期处于物理开启状态也不用担心冷风直接进入扰乱热场，大大方便了生产流程中的物料运输，提升了生产效率。
更进一步地，所述新风进气口41位于所述烧结炉腔体20外侧，且与所述前驱体入口21的距离不超过30厘米；
所述新风出气口42位于所述烧结炉腔体20内侧，且与所述前驱体入口21的距离不超过30厘米。
上述参数范围为经过大量理论计算与实际检验后的最佳范围，在上述范围中，使用较少的功耗即可形成较佳的正压/负压效果，避免外界冷空气直接从所述烧结炉腔体20的前驱体入口21处进入炉体，当然，也可根据实际情况作相应变动。
请参考图4，图4为所述太阳能电池前驱体的输送示意图，所述太阳能电池前驱体先通过图4中所示的前置输送带送至所述前驱体入口21，再通过所述炉带50向前运输。
本发明还提供了一种太阳能电池的烧结方法，所述太阳能电池的烧结方法为使用如上述任一种所述的太阳能电池烧结炉，进行的太阳能电池的烧结。本发明所提供的太阳能电池烧结炉，包括烧结炉腔体20、炉带50及加热单元10；所述炉带50沿所述烧结炉腔体20的长度方向贯穿所述烧结炉腔体20，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；所述加热单元10设置于所述烧结炉腔体20内，且环绕所述炉带50；所述加热单元10对所述炉带50的加热温度从所述炉带50的边缘区域至所述炉带50的中间区域逐渐降低。本发明将所述加热单元10环绕设置于所述烧结炉腔体20内，从各个方向对所述太阳能电池前驱体进行热辐射，通过调整所述加热单元10对所述炉带50的不同位置的加热温度，实现所述太阳能电池前驱体的边缘位置温度要高于所述太阳能电池前驱体的中心位置，因此在烧结过程中，边缘处的金属化深度与中心位置不同，能更好地与先前的扩散结节步骤中边缘与中心位置不同深度与厚度的硼扩散结、遂穿层及掺杂多晶硅层更好配合，提升金属电极的连接效果，大大降低太阳能电池的电池黑边、区域发暗等EL不良现象，提升电池良率。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上对本发明所提供的太阳能电池烧结炉进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。
Claims (12)
1.一种太阳能电池烧结炉，其特征在于，包括烧结炉腔体、炉带及加热单元；
所述炉带沿所述烧结炉腔体的长度方向贯穿所述烧结炉腔体，用于运输待处理的太阳能电池前驱体；
所述加热单元设置于所述烧结炉腔体内，且环绕所述炉带；
所述加热单元对所述炉带的加热温度从所述炉带的边缘区域至所述炉带的中间区域逐渐降低。
2.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热单元为加热灯管。
3.如权利要求2所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热灯管为延伸方向与所述烧结炉腔体的长度方向平行的直灯管。
4.如权利要求2所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述环形灯管所在平面与所述烧结炉腔体的长度方向垂直。
5.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述烧结炉腔体为环形腔体；
所述加热单元的铺设密度随铺设位置与所述太阳能电池前驱体所在平面的夹角的增大而减小。
6.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，还包括换热装置；所述换热装置包括热排进气口、热交换腔室及废排出气口；
所述烧结炉腔体的热废气通过所述热排进气口进入所述热交换腔室，并通过所述废排出气口排出；
所述太阳能电池烧结炉的新风管路经过所述热交换腔室，使外部环境中的新风与所述热废气进行热交换。
7.如权利要求6所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述换热装置位于所述烧结炉腔体的上方；
相应地，所述热排进气口位于所述烧结炉腔体的顶部。
8.如权利要求6所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述换热装置为管式换热装置；
所述管式换热装置与所述烧结炉腔体平行设置；
所述管式换热装置包括多个所述热排进气口，多个所述热排进气口沿所述烧结炉腔体的长度方向间隔设置。
9.如权利要求1所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述加热单元仅设置于所述烧结炉腔体的上半部分或下半部分，且与所述太阳能电池前驱体的背面相对。
10.如权利要求1至9任一项所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述太阳能电池烧结炉的新风管路的新风进气口与新风出气口均设置于所述烧结炉腔体的前驱体入口处。
11.如权利要求10所述的太阳能电池烧结炉，其特征在于，所述新风进气口位于所述烧结炉腔体外侧，且与所述前驱体入口的距离不超过30厘米；
所述新风出气口位于所述烧结炉腔体内侧，且与所述前驱体入口的距离不超过30厘米。
12.一种太阳能电池的烧结方法，其特征在于，所述太阳能电池的烧结方法为使用如权利要求1至11任一项所述的太阳能电池烧结炉，进行的太阳能电池的烧结。
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