CN115896730A - 一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统。它能够更好地检测加热盘盘面的温度是否均匀，确保加热盘盘面温度的均匀，保证加热盘在加热时的使用效果。本镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，包括工作台，工作台上安装有一用于放置加热盘的底盘，底盘上方安装有一用于底盘降温的降温模块，底盘上还设置有一用于加热盘导电的导电模块，底盘底部连接有一用于加热盘盘面温度测量的检测模块，所述工作台上还安装有一用于加热盘上盘的上盘机构，上盘机构旁设置有一用于加热盘降温的冷却机构。本发明能够高效准确的检测出加热盘盘面温度分布的均匀情况。
Description
技术领域
本发明属于温度检测技术领域，涉及一种检测系统，特别是一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统。
背景技术
镀膜设备是一种用于材料科学领域的科学仪器，能够在微颗粒表面沉积各种金属薄膜(包括磁性金属膜)、金属氧化物薄膜、金属氮化物薄膜及合金薄膜，且所镀薄膜致密、均匀、纯度高、附着力强。而在镀膜设备中加热盘盘面的温度是否均匀会影响到镀膜的效果，因此，为了能够检测加热盘盘面的温度分布情况，确保加热盘盘面温度的均匀，保证加热盘在加热时的使用效果，设计出一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统是很有必要的。
发明内容
本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统。
本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，包括工作台，其特征在于，所述工作台上安装有一用于放置加热盘的底盘，所述底盘上方安装有一用于底盘降温的降温模块，底盘上还设置有一用于加热盘导电的导电模块，底盘底部连接有一用于加热盘盘面温度测量的检测模块，所述工作台上还安装有一用于加热盘上盘的上盘机构，上盘机构旁设置有一用于加热盘降温的冷却机构。
所述导电模块包括底座，所述底座上安装有安装块二，安装块二上连接有收纳管，收纳管内设置有导电线，导电线上安装有接头，底座上还开设有用于移动底座的抓取孔。
采用上述结构，在不需要测量时，通过收纳管对导电线进行收纳，且底座上的抓取孔，方便将放入环形部的底座取出。
所述检测模块包括温度传感器、热电信号转换器和处理器，所述温度传感器安装在底盘底部的检测孔内，温度传感器通过传输线连接有处理器，处理器放置在工作台下方，传输线上安装有热电信号转换器。
所述降温模块包括水箱、进水管、出水管和冷却管，所述水箱安装在工作台上方，水箱内安装有水泵，所述冷却管布置在底盘内部，水箱的出水口通过出水管连接冷却管的一端，水箱的进水口通过进水管连接冷却管的另一端。
本发明的工作原理如下：将需要检测的加热盘通过上盘机构盘面向下放置在底盘的内盘上，将收纳管内的导电线拉长，将一端的导电线接通电源，另一端接头连接到加热盘，对加热盘进行导电，同时启动水泵，将水箱内的液体通过出水管输入冷却管，对底盘与底座的接触面进行降温，防止接触面温度过高破坏设备总体结构，冷却管内的液体经过底盘一圈后，通过进水管输送回水箱，待加热盘加热至实际工作温度后，通过内盘底部的温度传感器检测加热盘各点处的温度，并通过热电信号转换器，将热信号转换成电信号并输入处理器，完成温度检测，检测完成后通过上盘机构将加热盘放至冷却机构进行冷却，方便后续处理。
所述上盘机构包括安装架和夹取机构，安装架上的弧形部下方开设有齿槽，通过齿槽连接夹取机构，夹取机构上通过带轮结构连接有夹取模块，夹取模块由夹头和控制器组成。
所述夹取机构包连接件、旋转电机、安装块三、移动电机和夹取模块，所述连接件滑动连接在安装架弧形部上，旋转电机竖直安装在连接件上，旋转电机的输出轴上安装有齿轮，且齿轮能与弧形部上的齿槽相啮合，旋转电机下方连接有安装块三，安装块三内部安装有移动电机。
采用上述结构，将加热盘通过夹取模块夹紧后，通过旋转电机，带动夹取机构运动，从而将加热盘移动到底盘中心位置，再启动移动电机，通过带轮结构带动夹取模块上下移动，实现加热盘的放置；在温度检测完成后，由于加热盘进过加热温度较高，因此，也需要通过上盘机构将检测完的加热盘取下，操作步骤与上述过程原理相同。
所述上盘机构的安装架连接有一辅助支架。
采用上述结构，通过辅助支架使安装架整体更加稳定。
所述冷却机构包括冷却盘、环形风管和冷却风机，冷却盘安装在工作台上，冷却盘上安装有环形风管，环形风管内侧开设有若干出风口，环形风管连接有冷却风机，所述冷却盘上还开设有放置加热盘的放置槽。
采用上述结构，当加热盘加热检测完成后，由于加热盘还带有一定温度，所以需要对加热盘进行冷却处理，此时将加热盘放置在冷却盘上的放置槽内，启动冷却风机将空气送入环形风管，并通过环形风管上的出风口流出，对加热盘进行风冷降温处理。
与现有技术相比，本盘面温度分布检测系统具有该优点：本发明通过将加热盘放置在集成了导电模块、检测模块和降温模块的底盘上，通过各个模块的配合，能够高效准确的检测出加热盘盘面温度分布的均匀情况，并通过设置的上盘机构和冷却机构，实现了上盘、检测和下盘操作的自动化，检测效率高。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明中底盘的结构示意图。
图3是本发明中导电模块的结构示意图。
图4是本发明中检测模块的结构示意图。
图5是本发明中降温模块的结构示意图。
图6是本发明中上盘机构的结构示意图。
图7是本发明中A处的局部放大图。
图8是本发明中冷却机构的结构示意图。
图中，1、工作台；2、底盘；3、外盘；4、内盘；5、安装块一；6、进水孔；7、出水孔；8、安装孔；9、检测孔；10、环形部；11、底座；12、安装块二；13、收纳管；14、导电线；15、接头；16、抓取孔；17、温度传感器；18、热电信号转换器；19、处理器；20、水箱；21、进水管；22、出水管；23、冷却管；24、安装架；24a、辅助支架；25、弧形部；26、连接件；27、旋转电机；28、安装块三；29、移动电机；30、夹头；31、冷却盘；32、环形风管；33、冷却风机；34、出风口；35、放置槽。
具体实施方式
以下是本发明的具体实施例并结合附图，对本发明的技术方案作进一步的描述，但本发明并不限于这些实施例。
如图1-7所示，本镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，包括工作台1，工作台1上安装有一用于放置加热盘的底盘2，所述底盘2上方安装有一用于底盘2降温的降温模块，底盘2上还设置有一用于加热盘导电的导电模块，底盘2底部连接有一用于加热盘盘面温度测量的检测模块，工作台1上还安装有一用于加热盘上盘的上盘机构，上盘机构旁设置有一用于加热盘降温的冷却机构。
本发明中底盘2包括外盘3和内盘4，外盘3上连接有安装块一5，安装块一5上开设有进水孔6和出水孔7，外盘3上还开设有若干安装孔8，内盘4上开设有若干检测孔9，内盘4与外盘3之间开设有用于放置导电模块的环形部10。
本发明中底盘2通过上盘和下盘焊接而成，且底盘2的内盘4与外盘3采用不同材料，内盘4的制作材料相比外盘3耐热性更高。
导电模块包括底座11，所述底座11上安装有安装块二12，安装块二12上连接有收纳管13，收纳管13内设置有导电线14，导电线14上安装有接头15，底座11上还开设有用于移动底座11的抓取孔16。
检测模块包括温度传感器17、热电信号转换器18和处理器19，温度传感器17安装在底盘2底部的检测孔9内，温度传感器17通过传输线连接有处理器19，处理器19放置在工作台1下方，传输线上安装有热电信号转换器18。
本发明中温度传感器17、热电信号转换器18和处理器19采用现有的技术实现温度的热点的转换和测量温度的输出显示。
降温模块包括水箱20、进水管21、出水管22和冷却管23，水箱20安装在工作台1上方，水箱20内安装有水泵，冷却管23布置在底盘2内部，水箱20的出水口通过出水管22连接冷却管23的一端，水箱20的进水口通过进水管21连接冷却管23的另一端。
本发明中水箱20内的液体为冷却液，具有沸点高、防腐防垢的特点，冷却效果好。
本发明中导电模块与底盘2之间不采用橡胶等隔热材质，而在底盘2内加入降温模块的原因是导电模块在加热盘加热后温度能到300℃以上的高温，常用的橡胶等隔热材料并不能承受高温，因此采用降温模块来隔绝热量传递至工作台1。
上盘机构包括安装架24和夹取机构，安装架24上的弧形部25下方开设有齿槽，通过齿槽连接夹取机构，夹取机构上通过带轮结构连接有夹取模块，夹取模块由夹头30和控制器组成。
本发明中齿轮和齿槽采用常见的齿轮齿条啮合方式实现夹取机构的移动。
夹取机构包连接件26、旋转电机27、安装块三28、移动电机29和夹取模块，连接件26滑动连接在安装架24弧形部25上，旋转电机27竖直安装在连接件26上，旋转电机27的输出轴上安装有齿轮，且齿轮能与弧形部25上的齿槽相啮合，旋转电机27下方连接有安装块三28，安装块三28内部安装有移动电机29。
本发明中的带轮结构采用常见的同步带、主带轮和从带轮结构，其中主带轮安装在移动电机29输出轴上，从带轮安装在夹取模块上，通过同步带实现夹取模块的上下移动。
本发明中的夹取模块，夹头30与其控制电路采用现有技术实现抓取控制。
上盘机构的安装架24连接有一辅助支架24a。
本发明中辅助支架24a与安装架24采用螺栓螺母连接，方便拆卸。
冷却机构包括冷却盘31、环形风管32和冷却风机33，冷却盘31安装在工作台1上，冷却盘31上安装有环形风管32，环形风管32内侧开设有若干出风口34，环形风管32连接有冷却风机33，冷却盘31上还开设有放置加热盘的放置槽35。
本发明的工作原理：将需要检测的加热盘通过上盘机构盘面向下放置在底盘2的内盘4上，将收纳管13内的导电线14拉长，将一端的导电线14接通电源，另一端接头15连接到加热盘，对加热盘进行导电，同时启动水泵，将水箱20内的液体通过出水管22输入冷却管23，对底盘2与底座11的接触面进行降温，防止接触面温度过高破坏设备总体结构，冷却管23内的液体经过底盘2一圈后，通过进水管21输送回水箱20，待加热盘加热至实际工作温度后，通过内盘4底部的温度传感器17检测加热盘各点处的温度，并通过热电信号转换器18，将热信号转换成电信号并输入处理器19，完成温度检测。
本发明中导电模块、检测模块、降温模块、上盘机构和夹取模块都采用现有技术实现同步连接，并通过控制面板进行同步控制。
以上部件均为通用标准件或本技术领域人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本发明精神作举例说明。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本发明的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (6)
1.一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)上安装有一用于加热盘上盘的上盘机构，所述工作台(1)上还安装有一用于放置加热盘的底盘(2)，且底盘(2)位于上盘机构下方，所述底盘(2)上方安装有一用于底盘(2)降温的降温模块，底盘(2)上还设置有一用于加热盘导电的导电模块，底盘(2)底部连接有一用于加热盘盘面温度测量的检测模块，所述上盘机构还旁设置有一用于加热盘降温的冷却机构。
2.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，其特征在于，所述上盘机构包括安装架(24)和夹取机构，安装架(24)上的弧形部(25)下方开设有齿槽，通过齿槽连接夹取机构，夹取机构上通过带轮结构连接有夹取模块，夹取模块由夹头(30)和控制器组成。
3.根据权利要求2所述的夹取机构，其特征在于，所述夹取机构包连接件(26)、旋转电机(27)、安装块三(28)、移动电机(29)和夹取模块，所述连接件(26)滑动连接在安装架(24)弧形部(25)上，旋转电机(27)竖直安装在连接件(26)上，旋转电机(27)的输出轴上安装有齿轮，且齿轮能与弧形部(25)上的齿槽相啮合，旋转电机(27)下方连接有安装块三(28)，安装块三(28)内部安装有移动电机(29)。
4.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，其特征在于，所述上盘机构的安装架(24)连接有一辅助支架(24a)。
5.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，其特征在于，所述检测模块包括温度传感器(17)、热电信号转换器(18)和处理器(19)，所述温度传感器(17)安装在底盘(2)底部的检测孔(9)内，温度传感器(17)通过传输线连接有处理器(19)，处理器(19)放置在工作台(1)下方，传输线上安装有热电信号转换器(18)。
6.根据权利要求1所述的一种镀膜设备用加热盘的盘面温度分布检测系统，其特征在于，所述冷却机构包括冷却盘(31)、环形风管(32)和冷却风机(33)，冷却盘(31)安装在工作台(1)上，冷却盘(31)上安装有环形风管(32)，环形风管(32)内侧开设有若干出风口(34)，环形风管(32)连接有冷却风机(33)，所述冷却盘(31)上还开设有放置加热盘的放置槽(35)。
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