CN115885056A - 用于蒸发金属的蒸发舟 - Google Patents

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Abstract

本公开涉及一种用于蒸发金属的蒸发舟并且涉及蒸发舟用于蒸发选自由铝、铜和银组成的组的金属的用途。

Description

用于蒸发金属的蒸发舟
技术领域
本公开涉及用于蒸发金属的蒸发舟。
背景技术
用金属涂布柔性基底诸如聚合物膜或纸材的最常见方法是使用物理气相沉积技术的所谓的真空幅材涂布。经过涂布的柔性基底用于广泛的应用领域，诸如食品包装、用于装饰目的和制造电容器。
在真空幅材涂布机中，待涂布的基底经过冷却的金属转筒，在该金属转筒中该基底暴露于金属蒸气。因此，金属以薄层形式沉积在基底上。
为了产生所需的恒定金属蒸气，将沿待涂布的膜的整个宽度对齐的一系列陶瓷蒸发舟放置在冷却的铜夹中并且通过直流电流在通常10-4毫巴的真空中加热至1400℃-1550℃的温度。金属线材被连续地馈送到蒸发舟的表面，在该表面处金属线材熔化并蒸发。在该工艺中使用的最常见的金属是铝。陶瓷蒸发舟通常由二硼化钛(TiB2)和氮化硼(BN)的混合物组成，此外有时使用氮化铝(AlN)。通常，蒸发舟是具有矩形横截面区域、约120mm至150mm的长度、25mm至40mm的宽度和8mm至12mm的高度的棱柱形主体，在蒸发舟的上侧上具有填充有待蒸发的液态金属的腔。
大多数金属化膜用于包装工业中以延长食品的寿命。在塑料膜上涂布铝层改善了基底的阻隔特性，例如对于氧、芳香物质、光、热或湿气的不可渗透性。涂布膜的阻隔特性与铝箔相当，但生产成本较低。
金属化膜中的缺陷(即所谓的针孔)以非所需方式影响阻隔特性。因此，尽可能避免针孔是必要的。
在过去几年中，金属化工艺的生产率已变得至关重要。高幅材速度与优异阻隔特性的组合是关键因素。
DE 10 2008 016 619 B3公开了一种在蒸发表面中具有多个凹部的蒸发舟，每个凹部中的开口具有大于或等于1.5mm的面积/周长比。凹部的形状可以是例如圆形、矩形、三角形或椭圆形。此蒸发舟的主要益处被描述为在蒸发舟的蒸发表面的纵向和横向两者上改善了铝的润湿。此蒸发舟的缺点是其不允许无针孔操作，即具有很少或没有针孔的操作。
EP 1 688 514 A1公开了一种蒸发舟，该蒸发舟在蒸发舟的腔中具有沟槽，以改善液态铝在蒸发金属的蒸发舟的上表面上的润湿。此蒸发舟的缺点是，如果所谓的线材进料点(即铝线材撞击腔的点)不在腔的中心，则液态铝在腔中的润湿会不均匀。由于不均匀的润湿，没有可能进行无针孔操作。
DE 10 2013 211 034 A1公开了一种蒸发舟，该蒸发舟在蒸发舟的上侧上具有内腔和外腔，以避免铝溢出到铜夹中。此设计的缺点是其不允许无针孔操作，即具有很少或没有针孔的操作。另外，内腔的较小区域限制了蒸发大量铝的能力。
当操作蒸发舟时，仍然需要针对实现良好的膜质量(即较高光学密度和减少的针孔，以及较高金属蒸发速率，即高幅材速度)进一步改善用于蒸发金属的蒸发舟。
如本文所用，“一个”、“一种”、“该/所述”、“至少一个(种)”和“一个(种)或多个(种)”可互换使用。为术语添加复数形式“(s)”意指该术语应该包括单数和复数形式。术语“包含”还应包括术语“基本上由......组成”和“由......组成”。
发明内容
在第一方面，本公开涉及一种用于蒸发金属的蒸发舟，其中蒸发舟具有上侧、下侧、两个侧表面和两个夹紧表面，并且其中金属从蒸发舟的上侧蒸发，并且其中蒸发舟的上侧包括腔，并且其中腔在蒸发舟的上侧处具有外轮廓，并且其中腔的外轮廓具有最短外接轮廓，并且其中外轮廓具有周向长度，并且其中最短外接轮廓具有周向长度，并且其中最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率小于1，优选地至多0.8。
在另一方面，本公开涉及一种用于蒸发金属的蒸发舟，其中蒸发舟具有上侧、下侧、两个侧表面和两个夹紧表面，并且其中金属从蒸发舟的上侧蒸发，并且其中蒸发舟的上侧包括腔，并且其中蒸发舟的腔在蒸发舟的上侧中包括多个凹部，并且其中多个凹部中的每个单独的凹部在蒸发舟的上侧处具有外轮廓，并且其中每个单独的凹部的外轮廓具有最短外接轮廓，并且其中每个单独的凹部的外轮廓具有周向长度，并且其中对于至少一个单独的凹部，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率小于1，优选地至多0.8。
在又一方面，本公开涉及如本文所公开的蒸发舟用于蒸发选自由铝、铜和银组成的组的金属的用途。
利用本公开的蒸发舟，可以减小液态金属溢出到水冷铜夹中的趋势。此外，由熔融金属覆盖的区域被最大化，并且实现了金属线材的平稳熔融。另外，液态金属池的厚度可以保持尽可能薄。因此，即使对于高蒸发速率，也可以很大程度上防止在金属化膜中出现针孔。本文中所公开的蒸发舟的另一优点是功率消耗减少。
附图说明
在附图的基础上更详细地解释本公开，在附图中，
图1A至图1D示出了参考蒸发舟的各种视图；
图2A至图2F示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图3A至图3F示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图4A至图4F示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图4G至图4J示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图5A至图5E示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图6A至图6E示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图7A至图7E示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图；
图8至图12示出了如本文所公开的蒸发舟的上侧；并且
图13A至图13D示出了如本文所公开的蒸发舟的各种视图。
具体实施方式
如本文所公开的蒸发舟具有上侧、下侧、两个侧表面和两个夹紧表面。金属从上侧蒸发。
本文中所公开的蒸发舟的上侧包括腔。腔包括位于蒸发舟的上侧中的凹部。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。
蒸发舟的腔在蒸发舟的上侧处具有外轮廓。外轮廓在腔的外部与蒸发舟的上侧处于同一平面中。
腔的外轮廓具有最短外接轮廓。最短外接轮廓是外接该外轮廓的最短轮廓，即具有最短长度并且外接该外轮廓的轮廓。换句话说，最短外接轮廓是外接腔的区域的最短轮廓，该腔可具有任何可能的形状。外轮廓具有周向长度，并且最短外接轮廓具有周向长度。对于本文中所公开的蒸发舟，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率小于1。此比率小于1意味着腔的外轮廓的最短外接轮廓的周向长度小于腔的外轮廓的周向长度。
对于诸如圆形或正多边形的标准形状，这些标准形状的外轮廓的最短外接轮廓对应于这些标准形状的外轮廓。对于具有矩形横截面区域以及具有矩形外轮廓的腔的标准蒸发舟，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为1，因为外轮廓对应于最短外接轮廓。
本文中所公开的蒸发舟的腔的外轮廓的最短外接轮廓可以是例如圆形、多边形(例如矩形)或多边形与一个或多个曲线或圆形的部分的组合。在一些实施方案中，蒸发舟的腔的外轮廓的最短外接轮廓是矩形，或具有圆角的矩形，或矩形与两个半圆形的组合，即其中一个半圆形替代矩形的两个较小边中的每个边的矩形。
优选地，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为至多0.8。在一些实施方案中，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为至多0.75，或至多0.70，或至多0.65，或至多0.60。
最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率可为至少0.1。在一些实施方案中，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为至少0.2，或至少0.35。
在一些实施方案中，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为至少0.1并且至多0.8。在一些实施方案中，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为至少0.2并且至多0.8。在一些实施方案中，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率为至少0.35并且至多0.70。
由腔的外轮廓包围的区域与蒸发舟的上侧的总表面区域的比率小于1，优选地至多0.95。由腔的外轮廓包围的区域与蒸发舟的上侧的总表面区域的比率可为至少0.15。在一些实施方案中，由腔的外轮廓包围的区域与蒸发舟的上侧的总表面区域的比率可为至少0.15并且至多0.95。
由腔的外轮廓包围的区域可包括与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域。与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的具有上侧的这种区域也可被称为“岛”。在一些实施方案中，由腔的外轮廓包围的区域不包括与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域。换句话说，对于这些实施方案，由腔的外轮廓包围的区域不包括岛。
优选地，由腔的外轮廓包围的区域不包括与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域，即由腔的外轮廓包围的区域不包括岛。
在本文中所公开的蒸发舟的一些实施方案中，腔包括位于蒸发舟的上侧中的单个凹部，并且由腔的外轮廓包围的区域是连续区域。“单个凹部”意指在蒸发舟的上侧上仅存在填充有待蒸发的液态金属的一个凹部，并且在蒸发舟的上侧上除了该单个凹部之外没有其他凹部。在本文中所公开的蒸发舟的一些实施方案中，腔由位于蒸发舟的上侧中的单个凹部组成，并且由腔的外轮廓包围的区域是连续区域。
在本文中所公开的蒸发舟的一些实施方案中，蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的多个凹部。多个凹部中的每个单独的凹部在蒸发舟的上侧处具有外轮廓。每个单独的凹部的外轮廓具有最短外接轮廓。每个单独的凹部的外轮廓具有周向长度，并且每个单独的凹部的最短外接轮廓具有周向长度。对于至少一个单独的凹部，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率小于1，优选地至多0.8。
如本文中所使用，“多个凹部”意指在蒸发舟的上侧中存在至少两个凹部。在蒸发舟的上侧中也可以存在三个、四个或五个凹部。在蒸发舟的上侧中也可以存在多于五个凹部。
对于多个凹部中的至少一个单独的凹部，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率小于1，优选地至多0.8。最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率可小于1，优选地至多0.8，对于多个凹部中的单独的凹部中的多于一个凹部也是如此。最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率可小于1，优选地至多0.8，对于多个凹部中的每个单独的凹部也是如此。例如，如本文所公开的蒸发舟的腔可由4个单独的凹部构成。四个单独的凹部中的一个凹部可接近蒸发舟的两个夹紧区中的一个夹紧区定位，四个单独的凹部中的第二凹部可接近两个夹紧区中的另一夹紧区定位，并且第三和第四单独的凹部可位于蒸发舟的中心区中，即在两个凹部之间靠近夹紧区的区中。蒸发舟的夹紧区靠近蒸发舟的夹紧表面定位。对于靠近夹紧区中的一个夹紧区的两个单独的凹部中的一个凹部，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率可小于1。同样，对于接近两个夹紧区中的一个夹紧区定位的第二凹部，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率可小于1，优选地至多0.8。对于其他两个凹部，最短外接轮廓的周向长度与外轮廓的周向长度的比率可为1，或者也可小于1，优选地至多0.8。
蒸发舟具有纵向轴线。纵向轴线平行于蒸发舟的侧表面。纵向轴线也平行于蒸发舟的上侧和下侧。腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最大宽度，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最小宽度。腔的最大宽度和腔的最小宽度在蒸发舟的上侧的平面中进行测量，即蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的平面中进行测量。腔的最小宽度通常小于腔的最大宽度。对于蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的单个凹部的实施方案，腔的最小宽度与腔的最大宽度的比率可为至少0.15。腔的最小宽度与腔的最大宽度的比率也可为至少0.2，或至少0.5。
腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度通过在腔在垂直于纵向轴线的方向上的每个位置处确定腔在垂直于纵向轴线的方向上的宽度来测量，其中所有测量宽度中的最小宽度是腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度。“在腔在垂直于纵向轴线的方向上的每个位置处”意指在每个蒸发舟的上侧的在垂直于纵向轴线的方向上的凹陷或凹部处。腔在垂直于纵向轴线的方向上的最大宽度通过在腔在垂直于纵向轴线的方向上的每个位置处确定腔在垂直于纵向轴线的方向上的宽度来测量，其中所有测量宽度中的最大宽度是腔在垂直于纵向轴线的方向上的最大宽度。
腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。在一些实施方案中，腔在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的最小宽度为至少10mm。在一些实施方案中，腔在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的最小宽度是腔的最大宽度的一半减3mm至7mm。
对于蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的多个凹部的实施方案，腔的最小宽度和腔的最大宽度可针对每个单独的凹部进行测量。腔的最小宽度是单独的凹部的最小宽度的个别值的最小宽度。单独的凹部的最小宽度在垂直于纵向轴线的方向上进行测量。腔的最大宽度是单独的凹部的最大宽度的个别值的最大宽度。单独的凹部的最大宽度在垂直于纵向轴线的方向上进行测量。腔的最小宽度通常小于腔的最大宽度。
如上文所描述，腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且腔在平行于纵向轴线的方向上也具有最小宽度。腔在平行于纵向轴线的方向上的最小宽度通过在腔在平行于纵向轴线的方向上的每个位置处确定腔在平行于纵向轴线的方向上的宽度来测量，其中所有测量宽度中的最小宽度是腔在平行于纵向轴线的方向上的最小宽度。
腔在平行于纵向轴线的方向上的最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。
对于蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的多个凹部的实施方案，腔的最小宽度和腔的最大宽度可针对每个单独的凹部进行测量。腔的最小宽度是单独的凹部的最小宽度的个别值的最小宽度。单独的凹部的最小宽度分别在垂直于纵向轴线的方向上或在平行于纵向轴线的方向上进行测量。腔的最大宽度是单独的凹部的最大宽度的个别值的最大宽度。单独的凹部的最大宽度在垂直于纵向轴线的方向上进行测量。腔的最小宽度通常小于腔的最大宽度。
在一些实施方案中，蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的单个凹部，并且由腔的外轮廓包围的区域是连续区域，并且由腔的外轮廓包围的区域不包括与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域，并且蒸发舟具有纵向轴线，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。
本文中所公开的蒸发舟的腔的外轮廓包括向内指向(即朝向由外轮廓包围的区域)的多个延伸部。多个延伸部也可被视为腔的外轮廓的最短外接轮廓的延伸部，即从外轮廓的最短外接轮廓向内(即朝向由外轮廓包围的区域)延伸的延伸部。换句话说，从腔的外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的多个延伸部由蒸发舟的块体材料的在腔的外轮廓的外部的延伸部产生，该延伸部指向由外轮廓包围的区域。由于外轮廓的这多个延伸部，外轮廓的最短外接轮廓具有比外轮廓的周向长度更短的周向长度。
本文中所公开的蒸发舟还可被描述为用于蒸发金属的蒸发舟，其中蒸发舟具有上侧、下侧、两个侧表面和两个夹紧表面，并且其中金属从蒸发舟的上侧蒸发，并且其中蒸发舟的上侧包括腔，并且其中腔在蒸发舟的上侧处具有外轮廓，并且其中本文中所公开的蒸发舟的腔的外轮廓包括向内指向(即朝向由外轮廓包围的区域)的多个延伸部。本文中所公开的蒸发舟的描述不包括腔的外轮廓的最短外接轮廓。最短外接轮廓是用于解释目的的理论轮廓。
如本文中所使用，“多个延伸部”意指至少2个延伸部。外轮廓可包括至少4个、至少6个、至少8个、至少10个、至少12个、至少20个或至少50个延伸部。通常，外轮廓包括至多100个延伸部。
通常，延伸部沿腔的最短外接轮廓的靠近蒸发舟的两个侧表面的区定位。在一些实施方案中，延伸部还沿腔的最短外接轮廓的靠近蒸发舟的两个夹紧表面的区定位。
延伸部可沿腔的完整的最短外接轮廓定位。延伸部也有可能可以仅沿最短外接轮廓的一个或多个部分定位。
腔的外轮廓可包括规则形状的线、不规则形状的线或其组合。规则形状的线是包括基本图案的重复的线。通常，规则形状的线包括基本图案的至少三个、至少四个或至少六个重复。规则形状的线的基本图案可包括圆形线的区段、多边形线的区段、曲折线、诸如波形或正弦线的曲线或者其组合。不具有基本图案的重复的不规则形状的线以及不规则形状的线与规则形状的线的组合也是可能的。
在一些实施方案中，腔的外轮廓以波纹轮廓的形式规则地成形。在一些实施方案中，腔的外轮廓不规则地成形为具有不同形状和大小的延伸部。
如本文所公开的蒸发舟的腔具有沿腔的外轮廓的底表面和侧表面。通常，腔的底表面平行于蒸发舟的上侧。腔的侧表面在蒸发舟的上侧处从腔的外轮廓延伸到腔的底表面。通常，腔的侧表面是平坦的。由蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域和腔的侧表面所围合的角度可为45°至135°。在一些实施方案中，由蒸发舟的上侧的在腔的外部的表面区域和侧表面所围合的角度为90°。在腔的侧表面的与腔的底表面相邻的下端处，从腔的侧表面到底表面的过渡可以是圆化的，例如由于通过铣削进行机加工。在腔的侧表面的上端处，可存在针对蒸发舟的陶瓷材料适当设计的斜面。
在一些实施方案中，腔的侧表面从腔的底表面到腔的外轮廓向上倾斜。腔的侧表面可以带曲率地或以不规则的方式向上倾斜。腔的侧表面可以仅在夹紧区附近向上倾斜，或者也可以在腔的其他区中向上倾斜。
如本文所公开的蒸发舟的腔具有一定深度。腔的深度是从蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的平面到腔的底表面的深度，该深度垂直于蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的平面进行测量。腔的深度通常为0.5mm至5mm，优选地1mm至3mm。腔的深度与蒸发舟的高度的比率可为0.03至0.65，并且优选地为0.05至0.3。蒸发舟的高度在腔的外轮廓的外部的区中进行测量。
腔的侧表面具有一定高度。腔的侧表面的高度垂直于蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的平面进行测量。腔的侧表面的高度对应于腔的深度，并且通常为0.5mm至5mm，优选地1mm至3mm。
由于外轮廓的向内指向的多个延伸部，腔的侧表面也包括腔的侧表面的延伸部。
在本文中所公开的蒸发舟的一些实施方案中，腔的底表面不平行于蒸发舟的上侧，并且腔的深度在腔的底表面的不同位置处可以不同。例如，腔的深度可在腔的外轮廓附近较大，并且可在腔的中心区中(即在更远离外轮廓的位置处)较小。可能的是，腔的深度例如在腔的外轮廓附近为3mm，并且腔的深度例如在腔的中心区中为1mm或者甚至0mm。腔的底表面也可以具有几个峰部和凹陷。例如，腔可具有波形底表面。腔的底表面还可以具有以其他规则图案分布的峰部和凹陷。腔的底表面也可以是具有不规则分布的峰部和凹陷的自由表面。
如果底面不平行于蒸发舟的上侧，并且腔的深度在腔的底表面的不同位置处不同，则腔的深度在具有最大深度的位置处进行测量，即腔的深度应理解为腔的最大深度。腔的深度通常为0.5mm至5mm，优选地1mm至3mm，对于腔的底表面不平行于蒸发舟的上侧的实施方案也是如此。
在本文中所公开的蒸发舟的一些实施方案中，腔包括位于蒸发舟的上侧中的凹部和中心区。凹部沿腔的外轮廓定位，并且中心区由凹部包围。在凹部的位置处测量的腔的深度可为0.5mm至5mm，并且不同于在中心区的位置处测量的腔的深度。在中心区的位置处测量的腔的深度可为0mm至5mm。如果在凹部的位置处测量的腔的深度在凹部的不同位置处不同，则在凹部的位置处测量的腔的深度在具有最大深度的位置处进行测量，即在凹部的位置处测量的腔的深度应理解为腔的凹部的最大深度。如果在中心区的位置处测量的腔的深度在中心区的不同位置处不同，则在中心区的位置处测量的腔的深度在具有最大深度的位置处进行测量，即在中心区的位置处测量的腔的深度应理解为腔的中心区的最大深度。
在本文中所公开的蒸发舟的一些实施方案中，腔具有曲折形形式。优选地，曲折形形式具有圆角。曲折形腔的外轮廓可由圆形线的通过直线连接的区段形成。曲折形腔的外轮廓具有曲折形线的形式，优选地具有圆角。优选地，曲折形线沿着蒸发舟的两个侧表面。
在一些实施方案中，腔具有曲折形形式，优选地具有圆角的曲折形形式，并且蒸发舟具有纵向轴线，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。
本文中所公开的蒸发舟的腔的外轮廓包括向内指向的多个延伸部。多个延伸部是从外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的延伸部。通常，延伸部沿腔的最短外接轮廓的靠近蒸发舟的两个侧表面的区定位。腔的外轮廓可包括向内指向的至少四个，优选地至少六个，更优选地至少八个延伸部。一半数量的延伸部可沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。
延伸部在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为至少1mm。延伸部在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为至多10mm。在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上，两个相邻延伸部的距离可为至少2mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。两个相邻延伸部的距离在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上可以是恒定的。
延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为至少1mm，优选地至少5mm，更优选地至少10mm。延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为至多腔的最大宽度减3mm，优选地减5mm，更优选地减10mm。延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度从腔的外轮廓的最短外接轮廓到延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的端部进行测量。多个延伸部中的个别延伸部的长度对于腔的外轮廓的所有延伸部可以是相同的，或者对于腔的外轮廓的个别延伸部可以是不同的。延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的平均长度(即个别延伸部的长度的算术平均值)可为腔的最大宽度的10至90％，或20至80％，或30至70％，或40至60％。优选地，延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的平均长度为腔的最大宽度的30％至70％，更优选地40％至60％。在优选示例中，延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的平均长度是腔的最大宽度的一半。
多个延伸部中的个别延伸部可具有两个或三个或者更多个不同长度。至少一个，优选地至少两个延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为腔的最大宽度的至少50％，优选地至少60％。
优选地，腔的外轮廓的个别延伸部存在三个不同长度。延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的三个不同长度中的第一长度对应于腔的最大宽度的10％至90％。延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的三个不同长度中的第二长度对应于三个长度中的第一长度减0.1mm至10mm，优选地减3mm至7mm。延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的三个不同长度中的第三长度对应于三个长度中的第一长度加0.1mm至10mm，优选地加3mm至7mm。优选地，三个长度中的第一长度与第二长度之间的长度差等于三个长度中的第一长度与第三长度之间的长度差。优选地，延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的三个不同长度中的第一长度、第二长度和第三长度分别为12mm至22mm、7mm至17mm和17mm至27mm。
腔的外轮廓的各个延伸部可沿蒸发舟的两个侧表面以交替方式布置。
在一些实施方案中，蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的单个凹部，并且由腔的外轮廓包围的区域是连续区域，并且由腔的外轮廓包围的区域不包括与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域，并且蒸发舟具有纵向轴线，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm，并且腔的外轮廓包括向内指向的至少四个延伸部，至少四个延伸部是从外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的延伸部，并且延伸部在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为至少1mm并且至多10mm，并且延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为至少1mm，并且至多为腔的最大宽度减3mm。
在一些实施方案中，蒸发舟的腔具有曲折形形式，优选地具有圆角的曲折形形式，并且蒸发舟的腔包括位于蒸发舟的上侧中的单个凹部，并且由腔的外轮廓包围的区域是连续区域，并且由腔的外轮廓包围的区域不包括与蒸发舟的上侧的在腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域，并且蒸发舟具有纵向轴线，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm，并且腔的外轮廓包括向内指向的至少四个延伸部，至少四个延伸部是从外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的延伸部，并且延伸部在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为至少1mm并且至多10mm，并且延伸部在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为至少1mm，并且至多为腔的最大宽度减3mm。
蒸发舟的上侧可相对于蒸发舟的上侧的中心点是点对称的。在一些实施方案中，蒸发舟的上侧相对于蒸发舟的上侧的中心点是点对称的，并且蒸发舟的上侧相对于蒸发舟的上侧的中轴不是镜像对称的。
在优选实施方案中，腔的外轮廓在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上具有带有三个不同长度的八个延伸部，并且八个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面以交替方式布置，并且蒸发舟的上侧相对于蒸发舟的上侧的中心点是点对称的，并且延伸部中具有三个不同长度中的第二长度的一个延伸部被布置成紧邻于蒸发舟的上侧的中心点，并且延伸部中具有三个不同长度中的第三长度的一个延伸部被布置成与紧邻于中心点的延伸部相邻，并且延伸部中具有三个不同长度中的第一长度的两个延伸部部布置在腔的靠近夹紧区的端部处。
对于现有技术中已知的具有标准腔(即腔的最短外接轮廓的周向长度与腔的外轮廓的周向长度一样长的腔)的标准蒸发舟，腔的侧表面是熔融金属的边界。在腔的两个较长侧处，熔融金属不会从腔的侧表面溢出到蒸发舟的上侧。对于较高蒸发速率，存在熔融金属将在腔的在夹紧区附近的两个较小侧处溢出腔的侧表面的风险。
对于如本文所公开的蒸发舟，腔的侧表面的表面区域大于标准蒸发舟的腔的侧表面。与标准蒸发舟相比，腔的侧表面的表面区域增大是由于腔的外轮廓的延伸部，即由于与标准蒸发舟相比，腔的外轮廓的周向长度增加。如本文所公开的蒸发舟的腔的增大的侧表面区域是可蒸发熔融金属的额外表面区域。因此，单位面积的蒸发速率(例如每平方毫米的蒸发速率)由于腔的侧表面增大而在腔的外轮廓处局部地增加。局部增加的蒸发速率有助于将熔融金属从线材进料点(即铝线材撞击腔的点)引导或抽吸到腔的侧表面，并且超过腔的外轮廓，在腔的外轮廓的外部到达蒸发舟的上侧。腔的侧表面不是熔融金属的边界，而是熔融金属可以溢出腔的外轮廓，并且还可以在腔的外轮廓的外部润湿蒸发舟的上表面。这也可以被描述为一种“抽吸效应”，该抽吸效应使得由熔融金属润湿的区域更宽。对于如本文所公开的蒸发舟，润湿的表面区域比标准蒸发舟更宽，即润湿的表面区域在垂直于纵向轴线的方向上更广。即使腔的底表面小于标准腔，由腔的侧表面的表面区域增大引起的抽吸效应也会导致由熔融金属润湿的区域更宽。由腔的侧表面的表面区域增大引起的抽吸效应还有助于改善熔融金属在腔内的分布，而对于标准蒸发舟，流体位移是用于使熔融金属散布在腔上的主要机制。作为其效果，当使用相同的金属线材进料速率和相同的总蒸发速率时，与具有标准腔的标准蒸发舟相比，本文中所公开的蒸发舟的熔融金属池更薄。由于更薄的熔融金属池，如本文所公开的蒸发舟的过热和针孔形成的趋势更小。另一优点是更薄的熔融金属池提高了能量效率，并且减少了蒸发舟的功率消耗，因为熔融金属池的并联电阻增大了。
由于与腔的最短外接轮廓的周向长度相比，腔的外轮廓的周向长度更长，因而如本文所公开的蒸发舟在蒸发舟的上侧处具有可用于蒸发的额外表面区域。蒸发舟的上侧的可用于蒸发的额外表面面积等于腔的外轮廓的周向长度与腔的最短外接轮廓的周向长度的差乘以腔的深度。
如本文所公开的蒸发舟可具有带有矩形形状的横截面区域。矩形横截面区域垂直于蒸发舟的纵向轴线。其他横截面区域也是可能的。
本文中所公开的蒸发舟的两个夹紧表面通常彼此平行，并且纵向轴线垂直于蒸发舟的两个夹紧表面。矩形横截面区域通常平行于夹紧表面。
在一些实施方案中，蒸发舟的至少一个部分具有梯形形状的横截面区域。梯形横截面区域垂直于蒸发舟的纵向轴线，这意味着通常平行于夹紧表面。对于这些实施方案，蒸发舟的上侧平行于蒸发舟的下侧，并且蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面可在蒸发舟的具有带梯形形状的横截面区域的至少一个部分中相对于蒸发舟的上侧以30度至小于90度的角度倾斜。
在一些实施方案中，蒸发舟的至少一个部分具有带有三角形形状的横截面区域。三角形横截面区域垂直于蒸发舟的纵向轴线，即通常平行于夹紧表面。在此情况下，蒸发舟的下侧对应于蒸发舟的相对于蒸发舟的上侧倾斜的两个侧面。
在一些实施方案中，蒸发舟的至少一个部分具有带有半椭圆形形式的横截面区域。在此情况下，蒸发舟的下侧具有半椭圆形的形式。蒸发舟的两个侧表面对应于蒸发舟的下侧的二等分椭圆的右部和左部。
如本文所公开的蒸发舟可具有90mm至170mm的长度、上侧处的15mm至50mm的宽度以及6mm至12mm的高度。
如本文所公开的蒸发舟通过直流电流加热。
本文中还公开了一种使用如本文所公开的蒸发舟来蒸发金属的方法，该方法包括
将呈固体形式的金属连续供应到蒸发舟的上侧，
通过直流电流对如本文所公开的蒸发舟进行加热。
使金属在蒸发舟的腔中熔化，以及
使金属从蒸发舟的上侧蒸发。
在附图中示出了根据本公开的蒸发舟的各种实施方案。
图1A示出了参考蒸发舟1的上侧2的平面图。图1B示出了图1A的蒸发舟1的3D视图。图1C示出了图1A至图1B的蒸发舟1在图1A和图1B中由“1C”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图1B中，还示出了参考蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。
图1A的蒸发舟1的上侧2包括腔4。腔4是位于蒸发舟的上侧中的凹部。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。底表面11平行于蒸发舟1的下侧3。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。腔4的外轮廓5对应于腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓6的周向长度对应于外轮廓5的周向长度，并且最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为1.0。
图1D示意性地示出了处于操作下的图1B的蒸发舟1的上侧2的平面图。蒸发舟的上侧2已由熔融铝润湿。由熔融铝润湿的区域13示被意性地示出为阴影区域。
图2A示出了如本文所公开的蒸发舟1的上侧2的平面图。图2B示出了图2A的蒸发舟1的3D视图。图2C示出了图2A至图2B的蒸发舟1在图2A和图2B中由“2C”表示的截线处的横剖视图。图2D示出了图2A至图2B的蒸发舟在图2A和图2B中由“2D”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图2B中，还示出了蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4是位于蒸发舟的上侧中的凹部。图2A至图2D的蒸发舟1的腔4包括单个凹部20。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。外轮廓5由圆形线的区段形成。腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。底表面11平行于蒸发舟1的下侧3。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。
图2E示出了图2B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图2A的平面图以外，图2E中还示出了腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图2E中，最短外接轮廓6以虚线示出。如在图2E中可见，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为0.93。腔4的外轮廓5包括向内指向的八个延伸部10。这些延伸部中的四个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。外轮廓的向内指向的八个延伸部可被视为外轮廓5的最短外接轮廓6的延伸部。由于这些延伸部，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。外轮廓的向内指向的八个延伸部也可被视为腔的侧表面的延伸部。
如图2B和图2E中所示出，由腔4的外轮廓5包围的区域与蒸发舟1的上侧2的总表面区域的比率为0.28。由腔4的外轮廓5包围的区域也可以大于图2B和图2E中所示出的区域，并且由腔4的外轮廓5包围的区域与蒸发舟1的上侧2的总表面区域的比率也可以高达0.7或高达0.95。例如，该区域的在最短外接轮廓的外部并且沿蒸发舟的侧表面的宽度可以小至1mm，并且该区域的在最短外接轮廓的外部并且靠近蒸发舟的夹紧区的宽度可以仅为5mm。对于图2A至图2E中所示出的蒸发舟，腔4的最小宽度与腔4的最大宽度的比率为0.75。
图2F示意性地示出了处于操作下的图2B的蒸发舟1的上侧2的平面图。蒸发舟的上侧2已由熔融铝润湿。由熔融铝润湿的区域13示被意性地示出为阴影区域。
对于如图1D中所示出的具有标准腔的参考蒸发舟，腔的侧表面是熔融金属的边界。在腔的两个较长侧处，熔融金属不会从腔的侧表面溢出到蒸发舟的上侧。对于较高蒸发速率，存在熔融金属将在腔的在夹紧区附近的两个较小侧处溢出腔的侧表面的风险。
对于如图2A至图2F中所示出的本文中所公开的蒸发舟，腔的侧表面的表面区域大于图1A至图1D的参考蒸发舟的腔的侧表面。与图1A至图1D的参考蒸发舟相比，腔的侧表面的表面区域增大是由于腔4的外轮廓5的八个延伸部10，即由于与图1A至图1D的参考蒸发舟相比，腔的外轮廓的周向长度增加。图2A至图2F的蒸发舟的腔的增大的侧表面区域是可蒸发熔融金属的额外表面区域。因此，单位面积的蒸发速率(例如每平方毫米的蒸发速率)由于腔的侧表面增大而在腔4的外轮廓5处局部地增加。局部增加的蒸发速率有助于将熔融金属从线材进料点(即铝线材撞击腔的点)引导或抽吸到腔的侧表面，并且超过腔的外轮廓，在腔的外轮廓的外部到达蒸发舟的上侧。由于腔的侧表面的表面区域增大，因而腔的侧表面不是熔融金属的边界，而是熔融金属可以溢出腔的外轮廓，并且还可以在腔的外轮廓的外部润湿蒸发舟的上表面。这也可以被描述为一种“抽吸效应”，该抽吸效应使得由熔融金属润湿的区域更宽。对于如图2A至图2F中所示出的本文中所公开的蒸发舟，润湿的表面区域比图1A至图1D的参考蒸发舟更宽，即润湿的表面区域在垂直于纵向轴线的方向上更广。这可以在与图1D相比的图2F中看出。由腔的侧表面的表面区域增大引起的抽吸效应还有助于改善熔融金属在腔内的分布，而对于参考蒸发舟，流体位移是用于使熔融金属散布在腔上的主要机制。作为其效果，当使用相同的金属线材进料速率和相同的总蒸发速率时，与图1D的参考蒸发舟相比，图2F的蒸发舟的熔融金属池更薄。由于更薄的熔融金属池，如本文所公开的蒸发舟的过热和针孔形成的趋势更小。更薄的熔融金属池提高了能量效率，并且减少了蒸发舟的功率消耗，因为熔融金属池的并联电阻增大了。
图3A示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图3B示出了图3A的蒸发舟1的3D视图。图3C示出了图3A至图3B的蒸发舟1在图3A和图3B中由“3C”表示的截线处的横剖视图。图3D示出了图3A至图3B的蒸发舟在图3A和图3B中由“3D”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图3B中，还示出了蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4是位于蒸发舟的上侧中的凹部。图3A至图3D的蒸发舟1的腔4包括单个凹部20。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。外轮廓5由圆形线的通过平行于蒸发舟的侧表面14的直线连接的区段形成。腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。底表面11平行于蒸发舟1的下侧3。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。
图3E示出了图3B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图3A的平面图以外，图3E中还示出了腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图3E中，最短外接轮廓6以虚线示出。如在图3E中可见，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为0.96。腔4的外轮廓5包括向内指向的六个延伸部10。这些延伸部中的三个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。外轮廓的向内指向的六个延伸部可被视为外轮廓5的最短外接轮廓6的延伸部。由于这些延伸部，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。外轮廓的向内指向的六个延伸部也可被视为腔的侧表面的延伸部。
如图3B和图3E中所示出，由腔4的外轮廓5包围的区域与蒸发舟1的上侧2的总表面区域的比率为0.29。由腔4的外轮廓5包围的区域也可以大于图3B和图3E中所示出的区域，并且由腔4的外轮廓5包围的区域与蒸发舟1的上侧2的总表面区域的比率也可以高达0.7或高达0.95。对于图3A至图3E中所示出的蒸发舟，腔4的最小宽度与腔4的最大宽度的比率为0.65。
图3F示意性地示出了处于操作下的图3B的蒸发舟1的上侧2的平面图。蒸发舟的上侧2已由熔融铝润湿。由熔融铝润湿的区域13示被意性地示出为阴影区域。对于如图3F中所示出的本文中所公开的蒸发舟，润湿的表面区域比图1D的参考舟更宽。这可以通过蒸发舟的上侧的额外表面区域来解释，该额外表面区域可用于蒸发，并且通过腔的侧表面的增大的表面区域来产生，该增大的表面区域大于图1D的参考蒸发舟的腔的侧表面。与图1D的参考舟相比，腔的侧表面的表面区域增大是由于腔的外轮廓的六个延伸部。上文已针对图2A至图2F的蒸发舟解释了由腔的侧表面的表面区域增大引起的进一步效果。
图4A示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图4B示出了图4A的蒸发舟1的3D视图。图4C示出了图4A至图4B的蒸发舟1在图4A和图4B中由“4C”表示的截线处的横剖视图。图4D示出了图4A至图4B的蒸发舟在图4A和图4B中由“4D”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图4B中，还示出了蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4是位于蒸发舟的上侧中的凹部。图4A至图4D的蒸发舟1的腔4包括单个凹部20。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。外轮廓5由圆形线的通过平行于蒸发舟的侧表面14的直线连接的区段形成。腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。底表面11平行于蒸发舟1的下侧3。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。
图4E示出了图4B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图4A的平面图以外，图4E中还示出了腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图4E中，最短外接轮廓6以虚线示出。如在图4E中可见，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为0.74。腔4的外轮廓5包括向内指向的十四个延伸部10。这些延伸部中的七个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。外轮廓的向内指向的十四个延伸部可被视为外轮廓5的最短外接轮廓6的延伸部。由于这些延伸部，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。外轮廓的向内指向的十四个延伸部也可被视为腔的侧表面的延伸部。
如图4B和图4E中所示出，由腔4的外轮廓5包围的区域与蒸发舟1的上侧2的总表面区域的比率为0.29。由腔4的外轮廓5包围的区域也可以大于图4B和图4E中所示出的区域，并且由腔4的外轮廓5包围的区域与蒸发舟1的上侧2的总表面区域的比率也可以高达0.7或高达0.95。对于图4A至图4E中所示出的蒸发舟，腔4的最小宽度与腔4的最大宽度的比率为0.60。
图4F示意性地示出了处于操作下的图4B的蒸发舟1的上侧2的平面图。蒸发舟的上侧2已由熔融铝润湿。由熔融铝润湿的区域13示被意性地示出为阴影区域。对于如图4F中所示出的本文中所公开的蒸发舟，润湿的表面区域比图1D的参考舟更宽。这可以通过蒸发舟的上侧的额外表面区域来解释，该额外表面区域可用于蒸发，并且通过腔的侧表面的增大的表面区域来产生，该增大的表面区域大于图1D的参考蒸发舟的腔的侧表面。与图1D的参考舟相比，腔的侧表面的表面区域增大是由于腔的外轮廓的十四个延伸部。上文已针对图2A至图2F的蒸发舟解释了由腔的侧表面的表面区域增大引起的进一步效果。
图4G示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图4H示出了图4G的蒸发舟1的3D视图。图4I示出了图4G至图4H的蒸发舟1在图4G和图4H中由“4I”表示的截线处的横剖视图。图4J示出了图4G至图4H的蒸发舟在图4G和图4H中由“4J”表示的截线处的横剖视图。图4G中所示出的图4G至图4J的蒸发舟的上侧2对应于图4A。从图4H至图4J可以看出，此实施方案的蒸发舟的横截面区域具有梯形形状。如图4E中所示出，腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6对应于图4A至图4E的蒸发舟的最短外接轮廓6。在操作下，蒸发舟的平面图对应于图4A至图4E的蒸发舟的平面图，如图4F中所示出。
图5A示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图5B示出了图5A的蒸发舟1的3D视图。图5C示出了图5A至图5B的蒸发舟1在图5A和图5B中由“5C”表示的截线处的横剖视图。图5D示出了图5A至图5B的蒸发舟在图5A和图5B中由“5D”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图5B中，还示出了蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4是位于蒸发舟的上侧中的凹部。图5A至图5D的蒸发舟1的腔4包括单个凹部20。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。外轮廓5由沿蒸发舟的侧表面14的波形线形成。腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。底表面11平行于蒸发舟1的下侧3。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。
图5E示出了图5B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图5A的平面图以外，图5E中还示出了腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图5E中，最短外接轮廓6以虚线示出。如在图5E中可见，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为0.52。腔4的外轮廓5包括向内指向的十六个延伸部10。这些延伸部中的八个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。外轮廓的向内指向的十六个延伸部也可被视为外轮廓5的最短外接轮廓6的延伸部。由于这些延伸部，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。外轮廓的向内指向的十六个延伸部也可被视为腔的侧表面的延伸部。
图6A示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图6B示出了图6A的蒸发舟1的3D视图。图6C示出了图6A至图6B的蒸发舟1在图6A和图6B中由“6C”表示的截线处的横剖视图。图6D示出了图6A至图6B的蒸发舟在图6A和图6B中由“6D”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图6B中，还示出了蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4包括位于蒸发舟的上侧2中的凹部16以及由凹部16包围的区17。由凹部16包围的区17是腔4的中心区。凹部16沿腔4的外轮廓5定位。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。外轮廓5由圆形线的区段形成。
图6A至6D的蒸发舟的腔的深度在腔的外轮廓附近较大，并且在腔的中心区中(即在更远离外轮廓的位置处)较小。在靠近腔的外轮廓的位置16处，腔的深度可为0.5mm至5mm，例如3mm。在图6A至图6D中所示出的实施方案中，腔在腔的中心区17中的深度为0mm。在腔的中心区17中，腔的深度也可以更大，例如1mm至2mm。
腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。腔的中心区17也是腔4的底表面11的中心区，并且在外轮廓4的外部的区中与蒸发舟的上侧2处于同一平面中。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。
腔的外轮廓5对应于凹部16的外轮廓。凹部16具有内轮廓18。腔5在内轮廓18的外部的位置处的深度与腔5在内轮廓18的内部的位置处的深度不同。腔在凹部16的位置处(即在内轮廓18的外部)的深度可为0.5mm至5mm，并且大于腔在腔的中心区17的位置处(即在内轮廓18的内部的位置处)的深度。
由腔的外轮廓5包围的区域包括与蒸发舟的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域处于同一平面中的区域17，换句话说，区域17也可被称为“岛”。
图6E示出了图6B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图6A的平面图以外，图6E中还示出了腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图6E中，最短外接轮廓6以虚线示出。如在图6E中可见，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为0.93。腔4的外轮廓5包括向内指向的八个延伸部10。这些延伸部中的四个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。外轮廓的向内指向的八个延伸部可被视为外轮廓5的最短外接轮廓6的延伸部。由于这些延伸部，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。外轮廓的向内指向的八个延伸部也可被视为腔的侧表面的延伸部。
图7A示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图7B示出了图7A的蒸发舟1的3D视图。图7C示出了图7A至图7B的蒸发舟1在图7A和图7B中由“7C”表示的截线处的横剖视图。图7D示出了图7A至图7B的蒸发舟在图7A和图7B中由“7D”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4由蒸发舟的上侧2中的三个凹部7构成。三个凹部7中的每个凹部在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓8。蒸发舟1的腔4的外轮廓5由三个单独的凹部7的外轮廓8构成。
图7E示出了图7B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图7A的平面图以外，图7E中还示出了三个单独的凹部7中的每个凹部的外轮廓8的最短外接轮廓9。最短外接轮廓9是外接外轮廓8的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图7E中，最短外接轮廓6以虚线示出。最短外接轮廓9具有圆形形状，即该最短外接轮廓是外接圆。如在图7E中可见，对于三个凹部7中的每个凹部，最短外接轮廓9的周向长度短于外轮廓8的周向长度。单独的凹部7的外轮廓8的周向长度的总和是蒸发舟1的腔4的外轮廓5的周向长度。单独的凹部7的最短外接轮廓9的周向长度的总和是蒸发舟1的腔4的最短外接轮廓6的周向长度。
三个凹槽7的外轮廓8各自包括向内指向外接圆的中心的十二个延伸部10。向内指向的十二个延伸部可被视为外轮廓8的最短外接轮廓9的延伸部。凹部7还有可能具有比十二个更多或更少的延伸部，例如三至二十个延伸部。延伸部10具有圆化形状，该圆化形状靠近外接圆，并且位于延伸部的最接近外接圆的中心的最内部分处。由于这些延伸部，最短外接轮廓9的周向长度短于外轮廓8的周向长度。
图8和图9各自示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。这些实施方案类似于图7B的实施方案，其中腔4由三个单独的凹部7构成。图9的延伸部10具有圆化形状，该圆化形状靠近外接圆，并且位于延伸部的最接近外接圆的中心的最内部分处。图8的延伸部10具有三角形形状。
图10至图12各自示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。这些实施方案具有腔4，该腔由蒸发舟1的上侧2中的单个凹部组成。图10的实施方案的腔4的外轮廓5包括曲折线，图11的实施方案的腔4的外轮廓5包括向内指向的延伸部10，该延伸部具有圆化形状，并且在平行于蒸发舟的夹紧表面的方向上(即在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上)具有不同长度的延伸部，并且图12的实施方案的腔4的外轮廓5包括也在腔4的靠近夹紧区的两个较小侧处从最短外接轮廓6延伸的延伸部10。腔在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的最小宽度以及腔在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的最大宽度在延伸部19的靠近夹紧区的外侧的位置处进行测量。
图13A示出了如本文所公开的蒸发舟1的另一实施方案的上侧2的平面图。图13B示出了图13A的蒸发舟1的3D视图。图13C示出了图13A至图13B的蒸发舟1在于图13A中由“13C”表示的截线处的横剖视图。金属从蒸发舟1的上侧2蒸发。上侧2具有矩形形状。蒸发舟1的下侧3也具有矩形形状。在图13B中，还示出了蒸发舟1的两个侧表面14中的一个侧表面和两个夹紧表面15中的一个夹紧表面。蒸发舟的上侧2包括腔4。腔4是位于蒸发舟的上侧中的凹部。图13A至图13C的蒸发舟1的腔4包括单个凹部20。在蒸发舟的操作下，腔被待蒸发的液态金属润湿。腔4在蒸发舟1的上侧2处具有外轮廓5。外轮廓5由圆形线的通过直线连接的区段形成。沿蒸发舟的两个侧表面14，外轮廓5具有带有圆角的曲折形线的形式。另外，腔4具有带有圆角的曲折形形式。
腔4具有沿腔4的外轮廓5的底表面11和侧表面12。腔4的侧表面12在蒸发舟1的上侧2处从腔4的外轮廓5延伸到腔4的底表面11。底表面11平行于蒸发舟1的下侧3。由蒸发舟1的上侧2的在腔4的外轮廓5的外部的表面区域和腔4的侧表面12所围合的角度为90°。
图13D示出了图13B的蒸发舟的上侧2的平面图。除了图13A的平面图以外，图13D中还示出了腔4的外轮廓5的最短外接轮廓6。最短外接轮廓6是外接外轮廓5的最短轮廓。最短外接轮廓当然不是存在于蒸发舟1的上侧2处的真实轮廓，而是用于解释目的的理论轮廓。在图13D中，最短外接轮廓6以虚线示出。如在图13D中可见，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。最短外接轮廓6的周向长度与外轮廓5的周向长度的比率为0.57。腔4的外轮廓5包括向内指向的八个延伸部10。八个延伸部是从外轮廓5的最短外接轮廓6向内延伸的延伸部。这些延伸部中的四个延伸部沿蒸发舟的两个侧表面中的每个侧表面定位。外轮廓的向内指向的八个延伸部也可被视为外轮廓5的最短外接轮廓6的延伸部。由于这些延伸部，最短外接轮廓6的周向长度短于外轮廓5的周向长度。外轮廓的向内指向的八个延伸部也可被视为腔的侧表面的延伸部。
延伸部在平行于蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为3mm。延伸部分在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度分别为12mm、17mm和22mm。蒸发舟的宽度为38mm，腔在垂直于蒸发舟的纵向轴线的方向上的最大宽度为34mm。腔在垂直于纵向轴线的方向上的最小宽度为12mm，并且腔在平行于纵向轴线的方向上的最小宽度为8mm。
制成本文中所公开的蒸发舟的材料可包括二硼化钛和氮化硼。在一些实施方案中，制成蒸发舟的材料还包括二硼化钛、氮化硼和氮化铝。制成蒸发舟的材料中的二硼化钛含量通常介于25体积％至40体积％的范围内。
本文中所公开的蒸发舟的体积通常在约25cm3至85cm3的范围内。
本文中所公开的蒸发舟可通过常规方法制成，这些常规方法诸如将包含二硼化钛和氮化硼的粉末混合物热压成热压体并且从热压体机加工成蒸发舟。具有矩形、梯形或其他横截面区域的蒸发舟可通过机加工诸如锯切来产生。蒸发舟的金属从其蒸发的上侧可通过机加工诸如磨削和铣削等来产生。蒸发舟的腔可通过机加工诸如磨削和铣削等来产生。
根据陶瓷材料的常见实践，如本文所公开的蒸发舟的边缘可以是倒角的，即圆化的。
如本文所公开的蒸发舟可用于蒸发选自由铝、铜和银组成的组的金属。在本公开的一些实施方案中，蒸发舟用于蒸发用于透明氧化铝(AlOx)涂层的铝。
实施例
实施例1至3(EX1至EX3)和比较例(CEX)
如图2A至图2E(实施例1)、3A至图3E(实施例2)和4A至图4E(实施例3)中所示出的根据本公开的蒸发舟在实验室涂布机中在标准幅材涂布工艺的典型条件下进行制备和测试。
为了比较，还测试了具有根据图1A至图1C的腔的参考蒸发舟(比较例)。所有所测试的蒸发舟的尺寸为9mm×38mm×130mm。所有蒸发舟由一个批次的包含二硼化钛和氮化硼的粉末混合物制得，其中二硼化钛含量为47.0重量％。
将铝进料速率(其为在一分钟内向舟进料的铝的量)逐步增加至11g/min的最大速率。
功率消耗获得的结果在表1中示出。将比较例的功率消耗设定为100％作为参考。实施例1至3的功率消耗被表示为比较例的功率消耗的百分比。表1中针对特定铝进料速率的功率消耗的值是当运行此特定铝进料速率(例如4.1g/min，如表1中所指示)时三个蒸发舟在整个时间内的平均值。
表1：
Figure BDA0004082668540000321
从表1可以看出，在较高铝进料速率处，实施例1、2和3的总功率消耗低于参考蒸发舟(比较例)的总功率消耗。这表明实施例1、2和3的蒸发舟的腔中的液态铝的厚度低于参考蒸发舟的厚度。通过该效果，可以使金属化膜中所谓的针孔最小化。
另外，示意性地绘制了具有液态金属池的所测试的蒸发舟的上侧。在图1D、图2F、图3F和图4F中，由熔融铝润湿的区域13被示意性地示出为阴影区域。从这些图可以看出，对于实施例1、2和3，在舟宽度上存在比该比较例的参考蒸发舟宽得多的润湿区域，而对于比较例的参考蒸发舟，与实施例1、2和3相比，铝朝向铜夹具流动的趋势高得多。

Claims (24)

1.一种用于蒸发金属的蒸发舟(1)，其中所述蒸发舟(1)具有上侧(2)、下侧(3)、两个侧表面(14)和两个夹紧表面(15)，并且其中金属从所述蒸发舟的上侧(2)蒸发，并且其中所述蒸发舟的上侧(2)包括腔(4)，并且其中所述腔(4)在所述蒸发舟的上侧(2)处具有外轮廓(5)，并且其中所述腔(4)的外轮廓(5)具有最短外接轮廓(6)，并且其中所述外轮廓(5)具有周向长度，并且其中所述最短外接轮廓(6)具有周向长度，并且其中所述最短外接轮廓(6)的周向长度与所述外轮廓(5)的周向长度的比率为至多0.8。
2.一种用于蒸发金属的蒸发舟(1)，其中所述蒸发舟(1)具有上侧(2)、下侧(3)、两个侧表面(14)和两个夹紧表面(15)，并且其中金属从所述蒸发舟的上侧(2)蒸发，并且其中所述蒸发舟的上侧(2)包括腔(4)，并且其中所述蒸发舟(1)的所述腔(4)包括位于所述蒸发舟的上侧(2)中的多个凹部(7)，并且其中所述多个凹部中的每个单独的凹部(7)在所述蒸发舟(1)的上侧(2)处具有外轮廓(8)，并且其中每个单独的凹部(7)的外轮廓(8)具有最短外接轮廓(9)，并且其中每个单独的凹部(7)的外轮廓(8)具有周向长度，并且其中每个单独的凹部(7)的最短外接轮廓(9)具有周向长度，并且其中对于至少一个单独的凹部(7)，所述最短外接轮廓(9)的周向长度与所述外轮廓(8)的周向长度的比率为至多0.8。
3.根据权利要求1或2所述的蒸发舟，其中所述最短外接轮廓(6,9)是圆形、多边形或者多边形与一个或多个曲线或圆形的部分的组合。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸发舟，其中由所述腔的外轮廓(5,8)包围的区域不包括与所述蒸发舟的上侧的在所述腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的蒸发舟，其中所述最短外接轮廓(6,9)的周向长度与所述外轮廓(5,8)的周向长度的比率为至多0.75，或至多0.70，或至多0.65，或至多0.60。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸发舟，其中所述最短外接轮廓(6,9)的周向长度与所述外轮廓(5,8)的周向长度的比率为至少0.1，或至少0.2，或至少0.35。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸发舟，其中所述最短外接轮廓(6,9)的周向长度与所述外轮廓(5,8)的周向长度的比率为至少0.1并且至多0.8。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸发舟，其中由所述腔(4)的外轮廓(5,8)包围的区域与所述蒸发舟(1)的上侧(2)的总表面区域的比率为至多0.95。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸发舟，其中所述腔(4)包括位于所述蒸发舟(1)的上侧(2)中的单个凹部(20)，并且其中由所述腔(4)的外轮廓(5)包围的区域是连续区域。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的蒸发舟(1)，其中所述蒸发舟具有纵向轴线，并且其中所述腔(4)在垂直于所述纵向轴线的方向上具有最大宽度，并且其中所述腔(4)在垂直于所述纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且其中所述腔(4)的所述最小宽度小于所述腔的所述最大宽度，并且其中所述腔(4)的所述最小宽度与所述腔(4)的所述最大宽度的比率为至少0.15。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的蒸发舟，其中所述蒸发舟(1)具有纵向轴线，并且其中所述腔(4)在垂直于所述纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且其中所述腔在垂直于所述纵向轴线的方向上的所述最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的蒸发舟，其中所述腔(4)包括位于所述蒸发舟(1)的上侧(2)中的单个凹部(20)，并且其中由所述腔(4)的外轮廓(5)包围的区域是连续区域，并且其中由所述腔的外轮廓(5,8)包围的区域不包括与所述蒸发舟的上侧的在所述腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域，并且其中所述蒸发舟(1)具有纵向轴线，并且其中所述腔(4)在垂直于所述纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且其中所述腔在垂直于所述纵向轴线的方向上的所述最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的蒸发舟(1)，其中所述腔(4)的外轮廓(5,8)包括向内指向的多个延伸部(10)，并且其中所述多个延伸部是从所述外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的延伸部。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的蒸发舟，其中所述腔(4)具有曲折形形式，并且其中所述曲折形形式优选地具有圆角。
15.根据权利要求14所述的蒸发舟，其中所述蒸发舟(1)具有纵向轴线，并且其中所述腔(4)在垂直于所述纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且其中所述腔在垂直于所述纵向轴线的方向上的所述最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm。
16.根据权利要求1至15中任一项所述的蒸发舟，其中所述腔(4)的外轮廓(5)包括向内指向的多个延伸部(10)，优选地至少四个延伸部(10)，并且其中所述多个延伸部是从所述外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的延伸部，并且其中所述延伸部在平行于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为至少1mm并且至多10mm，并且其中所述延伸部在垂直于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为至少1mm，并且至多为所述腔的最大宽度减3mm。
17.根据权利要求16所述的蒸发舟，其中所述腔(4)的外轮廓(5)的各个延伸部(10)具有三个不同长度，并且其中所述延伸部在垂直于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的平均长度为所述腔的最大宽度的10％至90％，并且其中所述延伸部在垂直于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的所述三个不同长度中的第一长度对应于所述腔的最大宽度的10％至90％，并且其中所述延伸部在垂直于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的所述三个不同长度中的第二长度对应于三个长度中的所述第一长度减0.1mm至10mm，并且其中所述延伸部在垂直于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的所述三个不同长度中的第三长度对应于三个长度中的所述第一长度加0.1mm至10mm。
18.根据权利要求16或17所述的蒸发舟，其中所述腔(4)的外轮廓(5)的各个延伸部(10)沿所述蒸发舟(1)的两个侧表面(14)以交替方式布置。
19.根据权利要求1至18中任一项所述的蒸发舟，其中所述腔(4)包括位于所述蒸发舟(1)的上侧(2)中的单个凹部(20)，并且其中由所述腔(4)的外轮廓(5)包围的区域是连续区域，并且其中由所述腔的外轮廓(5,8)包围的区域不包括与所述蒸发舟的上侧的在所述腔的外轮廓的外部的表面区域处于同一平面中的区域，并且其中所述蒸发舟(1)具有纵向轴线，并且其中所述腔(4)在垂直于所述纵向轴线的方向上具有最小宽度，并且其中所述腔在垂直于所述纵向轴线的方向上的所述最小宽度为至少3mm，优选地至少5mm，更优选地至少7mm，并且其中所述腔(4)的外轮廓(5)包括向内指向的至少四个延伸部，并且其中所述至少四个延伸部是从所述外轮廓的最短外接轮廓向内延伸的延伸部，并且其中所述延伸部在平行于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的宽度为至少1mm并且至多10mm，并且其中所述延伸部在垂直于所述蒸发舟的纵向轴线的方向上的长度为至少1mm，并且至多为所述腔的最大宽度减3mm。
20.根据权利要求1至19中任一项所述的蒸发舟(1)，其中所述腔(4)具有底表面(11)，并且其中所述腔(4)具有沿所述腔(4)的外轮廓(5)的侧表面(12)，并且其中所述腔(4)的所述侧表面(12)从所述腔(4)的在所述蒸发舟(1)的上侧(2)处的外轮廓(5)延伸到所述腔(4)的底表面(11)，并且其中由所述蒸发舟(1)的上侧(2)的在所述腔(4)的外轮廓(5)的外部的表面区域和所述腔(4)的所述侧表面(12)所围合的角度为45°至135°。
21.根据权利要求1至20中任一项所述的蒸发舟(1)，其中所述腔(4)的深度与所述蒸发舟(1)的高度的比率为0.03至0.65，优选地0.05至0.3。
22.根据权利要求1至21中任一项所述的蒸发舟(1)，其中所述腔(4)包括位于所述蒸发舟(1)的上侧(2)中的凹部(16)和中心区(17)，并且其中所述凹部(16)沿所述腔(4)的外轮廓(5)定位，并且其中所述中心区(17)由所述凹部(16)包围，并且其中在所述凹部(16)的位置处测量的所述腔(4)的深度不同于在所述中心区(17)的位置处测量的所述腔(4)的深度，并且其中在所述凹部(16)的位置处测量的所述腔(4)的深度为0.5mm至5mm，并且其中在所述中心区(17)的位置处测量的所述腔(4)的深度为0mm至5mm。
23.根据权利要求1至22中任一项所述的蒸发舟(1)，其中制成所述蒸发舟(1)的材料包括二硼化钛和氮化硼。
24.根据权利要求1至23中任一项所述的蒸发舟(1)的用途，用于蒸发选自由铝、铜和银组成的组的金属。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2962538A (en) * 1958-01-30 1960-11-29 Continental Can Co Vaporizing heater for vacuum deposition and method of employing the same
DE4128382C1 (zh) * 1991-08-27 1992-07-02 Leybold Ag, 6450 Hanau, De
JPH0773460A (ja) * 1993-08-31 1995-03-17 Kao Corp 磁気記録媒体の製造装置
JP4425860B2 (ja) 2003-11-20 2010-03-03 電気化学工業株式会社 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法
US7494616B2 (en) * 2005-11-04 2009-02-24 Momentive Performance Materials Inc. Container for evaporation of metal and method to manufacture thereof
DE102008016619B3 (de) 2008-04-01 2009-11-05 Kennametal Sintec Keramik Gmbh Verdampferkörper
KR101225318B1 (ko) * 2012-09-21 2013-02-01 주식회사 야스 하이브리드 가열방식 증발원
DE102013211034B4 (de) 2013-06-13 2024-03-28 Kennametal Inc. Verdampferkörper sowie Verfahren zum Bedampfen eines Gegenstandes mit Hilfe eines solchen Verdampferkörpers

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