CN115876801B - 一种微纳光栅阴极组件产品检验治具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种AVGG产品检验治具，用以夹持AVGG。该AVGG产品检验治具包括底座和治具。底座与治具轴孔配合，以使底座与治具能够相对旋转。治具上设有用以夹持防光晕玻璃输入窗边缘的卡槽。底座具有正立姿态和侧立姿态。在正立姿态，AVGG为水平状态，在侧立姿态，AVGG为竖直状态。与现有技术相比，本发明的检验治具在检验过程中能够匹配两种检验设备，无需更换治具，检验过程中治具与AVGG不作相对转动，治具采用柔性材质，从而降低了使AVGG在检验过程中引入缺陷的可能性。
Description
技术领域
本发明涉及微纳光栅阴极组件产品检验技术领域，特别是涉及一种微纳光栅阴极组件产品检验治具。
背景技术
作为超二代微光夜视仪的重要组成部件，微纳光栅阴极组件（AVGG）由防光晕玻璃输入窗和微纳光栅基片键合而成，由于在微纳光栅阴极组件的后续使用中，防光晕输入窗的中间面和柱面上不允许有膜层沉积或毛刺异物，这些（膜层沉积或毛刺异物）会引起放电，这就对产品制造过程提出了更为严格的要求。
微纳光栅阴极组件作为光学元件，对其外观质量有较高的要求，检验前后的取放片需要避免造成产品的外观损伤，以避免良率的损失。在检验过程中，应尽量减少产品和治具的相对运动，这就要求能使用一种治具尽可能多的完成多种检测要求，从而减少样品转移过程中因操作方式造成的缺陷。
在产品实际检验过程中，在投影仪中观察微纳光栅阴极组件边缘毛刺时，将微纳光栅阴极组件置于治具上，通过旋转微纳光栅阴极组件观察边缘质量，这极有可能在旋转过程中造成微纳光栅阴极组件划伤不良。在显微镜下观察微纳光栅阴极组件边缘是否崩边时，将微纳光栅阴极组件置于治具上，通过旋转显微镜载物台观察边缘质量，这就造成检验效率的降低。因此需要重新设计一种治具既要解决检测过程中引入的微纳光栅阴极组件不良，又要提高检验效率。
发明内容
本发明的目的是提供一种微纳光栅阴极组件产品检验治具，本着一种治具匹配多种检验设备的理念，尽可能减少在检验过程中微纳光栅阴极组件与治具的摩擦，从而降低在检验过程中引入缺陷的可能性。
为实现上述目的，本发明提供了如下方案：
本发明公开了一种微纳光栅阴极组件产品检验治具，用以夹持微纳光栅阴极组件，所述微纳光栅阴极组件包括防光晕玻璃输入窗和键合于所述防光晕玻璃输入窗上的微纳光栅基片，所述微纳光栅阴极组件产品检验治具包括底座和治具；所述底座与所述治具轴孔配合，以使所述底座与所述治具能够相对旋转；所述治具上设有用以夹持防光晕玻璃输入窗边缘的卡槽；所述底座具有正立姿态和侧立姿态，在所述正立姿态，所述微纳光栅阴极组件为水平状态，在所述侧立姿态，所述微纳光栅阴极组件为竖直状态。
优选地，所述底座具有圆柱销，所述治具中心位置设有圆孔，所述圆柱销用于插入所述圆孔内并与所述圆孔滑动接触。
优选地，在所述治具的旋转轴线方向上，所述底座与所述治具相互限位。
优选地，所述底座上设有凹槽，所述治具上设有环形凸起，所述环形凸起与所述圆孔共轴线；所述底座与所述治具轴孔配合后，所述环形凸起伸入所述凹槽内并与所述凹槽滑动接触。
优选地，所述治具为柔性材质。
优选地，所述柔性材质为聚四氟乙烯、聚酰亚胺或聚醚醚酮材质。
优选地，所述治具的侧面为圆柱面；所述底座具有限位面和部分圆柱面，所述限位面用于和所述治具上远离所述卡槽的一个端面限位接触，所述部分圆柱面用于和所述圆柱面滑动接触。
优选地，所述圆柱面与所述部分圆柱面共轴线。
优选地，所述限位面为平面。
优选地，所述卡槽的中间位置具有缺口，以通过所述缺口将所述微纳光栅阴极组件从所述卡槽内推出。
本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：
本发明的检验治具在检验过程中能够匹配两种检验设备，无需更换治具，避免了因更换治具使微纳光栅阴极组件引入缺陷，并提高了检验效率。同时，检验过程中通过旋转治具实现微纳光栅阴极组件的旋转，治具与微纳光栅阴极组件不作相对转动，进一步降低了使微纳光栅阴极组件引入缺陷的可能性。
本发明的优选方案中，键合治具使用柔性材质加工，进一步降低微纳光栅阴极组件的磨损。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为微纳光栅阴极组件的结构示意图；
图2为微纳光栅阴极组件拆分后的示意图；
图3为一种现有检验治具的示意图；
图4为另一种现有检验治具的示意图；
图5为底座的示意图；
图6为治具的示意图；
图7为本实施例微纳光栅阴极组件产品检验治具的示意图；
图8为本实施例微纳光栅阴极组件产品检验治具在正立姿态安装微纳光栅阴极组件后的示意图；
图9为本实施例微纳光栅阴极组件产品检验治具在侧立姿态安装微纳光栅阴极组件后的示意图；
附图标记说明：1-微纳光栅阴极组件；11-防光晕玻璃输入窗；12-微纳光栅基片；2-底座；21-圆柱销；22-凹槽；23-部分圆柱面；24-限位面；31-圆孔；32-环形凸起；33-圆柱面；34-卡槽；35-缺口。
实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的目的是提供一种微纳光栅阴极组件产品检验治具，本着一种治具匹配多种检验设备的理念，尽可能减少在检验过程中微纳光栅阴极组件与治具的摩擦，从而降低在检验过程中引入缺陷的可能性。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
参照图1、图2，微纳光栅阴极组件包括防光晕玻璃输入窗和键合于防光晕玻璃输入窗11上的微纳光栅基片12。现有技术中，在对微纳光栅阴极组件1进行检验时，通常使用两套治具。在投影仪下观察微纳光栅阴极组件1侧面是否存在边缘毛刺等缺陷时，使用图3所示的治具，并需要转动微纳光栅阴极组件1，微纳光栅阴极组件1转动过程中会与治具发生相对滑动。在金相显微镜下观察微纳光栅阴极组件1正面是否存在崩边等缺陷时，使用图4所示的治具。由于上述过程需要对微纳光栅阴极组件1进行旋转和两次装拆，从而增大微纳光栅阴极组件1磨损的可能性。
参照图5~图9，本实施例提供一种微纳光栅阴极组件产品检验治具（以下简称为检验治具），用以夹持微纳光栅阴极组件1。该微纳光栅阴极组件1产品检验治具包括底座2和治具。底座2与治具轴孔配合，以使底座2与治具能够相对旋转。治具上设有用以夹持防光晕玻璃输入窗11边缘的卡槽34。底座2具有正立姿态和侧立姿态，在正立姿态，微纳光栅阴极组件1为水平状态，在侧立姿态，微纳光栅阴极组件1为竖直状态。
通过将该检验治具调整至图8所示的正立姿态，即可在金相显微镜下观察微纳光栅阴极组件1正面是否存在崩边等缺陷。通过将该检验治具调整至图9所示的侧立姿态，即可在投影仪下观察微纳光栅阴极组件1侧面是否存在边缘毛刺等缺陷。因此，本实施例的检验治具能够匹配两种检验设备，避免了因更换治具使微纳光栅阴极组件1引入缺陷，并提高了检验效率。此外，参照图9，在侧立姿态下，本实施例通过旋转治具即可实现微纳光栅阴极组件1的旋转，微纳光栅阴极组件1与治具之间不会发生相对旋转，从而进一步降低了使微纳光栅阴极组件1引入缺陷的可能性。
作为一种可能的示例，本实施例中，底座2具有圆柱销21，治具中心位置设有圆孔31，圆柱销21用于插入圆孔31内并与圆孔31滑动接触。然而，实际实施方式不限于此。例如，还可以使圆柱销21位于治具上，圆孔31位于底座2上，同样可以实现底座2与治具之间的轴孔配合。
为了更好地定位治具，本实施例中，在治具的旋转轴线方向上，底座2与治具相互限位。具体的，本实施例中，底座2上设有凹槽22，治具上设有环形凸起32，环形凸起32与圆孔31共轴线。底座2与治具轴孔配合后，环形凸起32伸入凹槽22内。随着治具的旋转，环形凸起32与凹槽22滑动接触。然而，实际实施方式不限于此。例如，可以使圆孔31为阶梯孔，圆柱销21靠近卡槽34的一端安装有螺钉，螺钉与圆柱销21之间设置垫片，通过垫片与阶梯孔的端面（阶梯孔内与阶梯孔轴线垂直的面）限位接触，实现在治具的旋转轴线方向上，底座2与治具的相互限位。
为了进一步降低微纳光栅阴极组件1的磨损，本实施例中，治具为柔性材质。具体的，柔性材质可以是聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚醚醚酮材质或其它常用柔性材质。
本实施例中，治具的侧面为圆柱面33。底座2具有限位面24和部分圆柱面23，限位面24用于和治具上远离卡槽34的一个端面限位接触，部分圆柱面23用于和圆柱面33滑动接触。圆柱面33与部分圆柱面23优选为共轴线，限位面24优选为平面。由于本实施例中治具为柔性材质，当治具沿圆柱销21滑动时，通过环形凸起32自身形变，即可保证环形凸起32能够卡入凹槽22内。此外，在实际装配时，也可以先使环形凸起32伸入凹槽22内，再将圆柱销21穿过圆孔31并固定在底座2上，以保证环形凸起32能够伸入凹槽22内。
为了在检验完成后能够快速便捷地将微纳光栅阴极组件1从卡槽34内取出，本实施例中，卡槽34的中间位置具有缺口35，通过在缺口35位置推动微纳光栅阴极组件1，即可将微纳光栅阴极组件1从卡槽34内推出。
本说明书中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (6)
1.一种微纳光栅阴极组件产品检验治具，用以夹持微纳光栅阴极组件，所述微纳光栅阴极组件包括防光晕玻璃输入窗和键合于所述防光晕玻璃输入窗上的微纳光栅基片，其特征在于，所述微纳光栅阴极组件产品检验治具包括底座和治具；所述底座与所述治具轴孔配合，以使所述底座与所述治具能够相对旋转；所述治具上设有用以夹持防光晕玻璃输入窗边缘的卡槽；
所述治具的侧面为圆柱面；所述底座具有限位面和部分圆柱面，所述限位面用于和所述治具上远离所述卡槽的一个端面限位接触，所述部分圆柱面用于和所述治具的圆柱面滑动接触；
所述底座具有圆柱销，所述治具中心位置设有圆孔，所述圆柱销用于插入所述圆孔内并与所述圆孔滑动接触；所述底座上设有凹槽，所述治具上设有环形凸起，所述环形凸起与所述圆孔共轴线；所述底座与所述治具轴孔配合后，所述环形凸起伸入所述凹槽内并与所述凹槽滑动接触；
所述底座具有正立姿态和侧立姿态，在所述正立姿态，所述微纳光栅阴极组件为水平状态，在所述侧立姿态，所述微纳光栅阴极组件为竖直状态。
2.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件产品检验治具，其特征在于，所述治具为柔性材质。
3.根据权利要求2所述的微纳光栅阴极组件产品检验治具，其特征在于，所述柔性材质为聚四氟乙烯、聚酰亚胺或聚醚醚酮材质。
4.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件产品检验治具，其特征在于，所述治具的圆柱面与所述部分圆柱面共轴线。
5.根据权利要求3所述的微纳光栅阴极组件产品检验治具，其特征在于，所述限位面为平面。
6.根据权利要求1所述的微纳光栅阴极组件产品检验治具，其特征在于，所述卡槽的中间位置具有缺口，以通过所述缺口将所述微纳光栅阴极组件从所述卡槽内推出。
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Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06185954A (ja) * | 1992-11-04 | 1994-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | テーパー状ワークの測定用治具 |
| KR19980026409U (ko) * | 1996-11-09 | 1998-08-05 | 오상수 | 공작기계용 테이블의 회전 테이블 클램프 구조 |
| JP2000266638A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
| CN204843649U (zh) * | 2015-08-13 | 2015-12-09 | 苏州凯富精密模具有限公司 | 一种辅助加工治具 |
| CN204913669U (zh) * | 2015-07-17 | 2015-12-30 | 深圳中元电子有限公司 | 一种毛刺检测专用治具 |
| CN106200048A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种用于显示模组检测的治具 |
| CN207263195U (zh) * | 2017-10-14 | 2018-04-20 | 歌尔科技有限公司 | 一种产品检验治具 |
| CN211494268U (zh) * | 2019-12-06 | 2020-09-15 | 昆山信杰汽车部件有限公司 | 一种空间固定支架 |
| CN211856319U (zh) * | 2020-02-26 | 2020-11-03 | 立讯智造(浙江)有限公司 | 一种外观检查治具 |
| JP7152086B1 (ja) * | 2021-07-30 | 2022-10-12 | 有限会社ピーシー・テクニクス | 回転軸線校正用治具、回転軸線校正方法、メンテナンス治具 |
| CN217586877U (zh) * | 2022-06-14 | 2022-10-14 | 四川旭虹光电科技有限公司 | 一种玻璃面板检验治具 |
| CN217655011U (zh) * | 2022-02-11 | 2022-10-25 | 长沙瑶华半导体科技有限公司 | 一种专用检验治具 |
| WO2022227557A1 (zh) * | 2021-04-30 | 2022-11-03 | 无锡先导智能装备股份有限公司 | 治具及装配设备 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7616301B2 (en) * | 2004-03-03 | 2009-11-10 | N&K Technology, Inc. | Disc clamping device for multiple standard discs |
-
2022
- 2022-12-15 CN CN202211614040.6A patent/CN115876801B/zh active Active
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06185954A (ja) * | 1992-11-04 | 1994-07-08 | Mitsubishi Materials Corp | テーパー状ワークの測定用治具 |
| KR19980026409U (ko) * | 1996-11-09 | 1998-08-05 | 오상수 | 공작기계용 테이블의 회전 테이블 클램프 구조 |
| JP2000266638A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 基板検査装置 |
| CN204913669U (zh) * | 2015-07-17 | 2015-12-30 | 深圳中元电子有限公司 | 一种毛刺检测专用治具 |
| CN204843649U (zh) * | 2015-08-13 | 2015-12-09 | 苏州凯富精密模具有限公司 | 一种辅助加工治具 |
| CN106200048A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种用于显示模组检测的治具 |
| CN207263195U (zh) * | 2017-10-14 | 2018-04-20 | 歌尔科技有限公司 | 一种产品检验治具 |
| CN211494268U (zh) * | 2019-12-06 | 2020-09-15 | 昆山信杰汽车部件有限公司 | 一种空间固定支架 |
| CN211856319U (zh) * | 2020-02-26 | 2020-11-03 | 立讯智造(浙江)有限公司 | 一种外观检查治具 |
| WO2022227557A1 (zh) * | 2021-04-30 | 2022-11-03 | 无锡先导智能装备股份有限公司 | 治具及装配设备 |
| JP7152086B1 (ja) * | 2021-07-30 | 2022-10-12 | 有限会社ピーシー・テクニクス | 回転軸線校正用治具、回転軸線校正方法、メンテナンス治具 |
| CN217655011U (zh) * | 2022-02-11 | 2022-10-25 | 长沙瑶华半导体科技有限公司 | 一种专用检验治具 |
| CN217586877U (zh) * | 2022-06-14 | 2022-10-14 | 四川旭虹光电科技有限公司 | 一种玻璃面板检验治具 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| Double-Diffracted Spatially Separated Heterodyne Grating Interferometer and Analysis on its Alignment Tolerance;Di Chang等;applied sciences;1-11 * |
| 检验圆孔轴线到实体边界专用检具设计;杨顺利;伦安国;马文朋;王振中;王翠青;;汽车电器(第06期);74-75、78 * |
| 键齿厚度快速检验夹具;赵忠兴;杨正瑛;王燕;唐大春;;汽车工艺与材料(第06期);61-63 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115876801A (zh) | 2023-03-31 |
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Legal Events
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