CN115816400A - 一种双精度台面水平度调整装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种双精度台面水平度调整装置，所述装置包括上盖、底座、拉簧阵列、球轴承、齐平器和双精度传感器，其中：所述上盖和底座之间通过球轴承、拉簧阵列安装在一起；所述上盖边缘的布置有齐平器和双精度传感器，底座上端面布置有两个V形槽；所述齐平器为两个，齐平器的伸出杆端部安装一小球，小球与底座上端面的V形槽相接触，保持齐平器与底座垂直。本发明采用拉簧阵列来调节上盖与底座之间的距离，并且采用了曲率半径较大的球轴承用于上盖和底座的安装，在维持调节精度的前提下保证该装置具有很好的刚度。该装置只需要两个线性齐平器，调整机构少，并集成了双倾角传感器，结构紧凑。

Description

一种双精度台面水平度调整装置

技术领域

本发明属于超精密装备技术领域，涉及一种双精度台面水平度调整装置。

背景技术

高精度加工平台属于超精密装备领域，是对代加工工件提供支撑和辅助的一种高精度设备。应用高精度加工平台，可以大幅提高工件加工的效率和精度。由于加工平台本身的尺寸误差和工作环境等原因，加工平台容易与水平基准之间形成一定的倾角，出现偏差。保持加工平台的较高水平精度是对加工平台的一项基本要求。

由于上述对加工平台提出的水平精度方面的高要求，所以目前人们主要是采用三点或多点支撑的方式以及利用传感器测量的方式来对加工平台进行调平。三点或多点支撑的方式是通过三个或多个均匀分布在加工平台下侧的高度可调的杆件实现对加工平台的调平。这种装置简单易行，只需要将多个杆件调节成相同的高度即可达到将工作平台调平的目的。但是这种装置刚度较差，可调杆件均为刚性杆件，工作平台因其本身质量分布的不均匀会使得杆件发生一定的弯曲形变，从而对调平的精度产生很大的影响。

而利用传感器测量的方式进行调平可以将工作平台本身的倾角以精确的数值反应，随着传感技术的发展，可以达到很高的精度。但是调整加工平台的高度、倾角需要位移传感器、倾角传感器等相互配合，调节装置的机械结构一般也比较复杂，成本较高。

发明内容

为了提高工作平台水平度的调整精度，本发明提供了一种双精度台面水平度调整装置。该装置刚性高，只需要两个线性齐平器，调整机构少，并集成了双倾角传感器，结构紧凑。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

一种双精度台面水平度调整装置，包括上盖、底座、拉簧阵列、球轴承、齐平器和双精度传感器，其中：

所述上盖和底座之间通过球轴承、拉簧阵列安装在一起；

所述上盖边缘的布置有齐平器和双精度传感器，底座上端面布置有两个V形槽；

所述齐平器为两个，两个齐平器相位间隔90°，两个齐平器的伸出杆端部均安装一小球，小球与底座上端面的V形槽相接触，保持齐平器与底座垂直，通过两个齐平器来调节上盖的pitch角度和roll角度，并根据双精度传感器所示的偏移角度，不断调整直至上盖与底座保持平行的状态。

相比于现有技术，本发明具有如下优点：

1、与传统工程调平装置相比，本发明采用拉簧阵列来调节上盖与底座之间的距离，并且采用了曲率半径较大的球轴承用于上盖和底座的安装，在维持调节精度的前提下保证该装置具有很好的刚度。

2、以往的调平装置对外部装置要求较高，需要激光位移传感器、倾角传感器等，而本发明的双精度台面水平度调整装置仅使用一个双精度传感器，再配合两个齐平器就可以达到目的，结构紧凑，集成度高。

附图说明

图1为本发明双精度台面水平度调整装置的正视图；

图2为本发明双精度台面水平度调整装置的俯视图；

图3为本发明双精度台面水平度调整装置的立体结构示意图；

图中，1、上盖，2、双精度传感器，3、齐平器，4、球轴承，5、拉簧，6、底座。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的技术方案作进一步的说明，但并不局限于此，凡是对本发明技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的保护范围中。

本发明提供了一种双精度台面水平度调整装置，如图1-3所示，所述装置的主体由上盖1、双精度传感器2、齐平器3、球轴承4、拉簧阵列5和底座6构成，其中：

所述球轴承4具有较大的曲率，可以使得该装置具有很好的刚度；

所述拉簧阵列5具有良好的变形、缓冲性能，能够调节上盖1和底座6之间的距离；

所述上盖1和底座6之间通过球轴承4、拉簧阵列5安装在一起；

所述球轴承4安装在底座6的中心位置，拉簧阵列5沿着底座6上表面的边缘均匀布置；

所述齐平器3为线性齐平器，用于调节上盖1的水平度，数量为两个，两个齐平器3均布在上盖边缘，两个齐平器3与上盖1圆心连线成90°角；

所述双倾角传感器2可以对调节的角度进行精确地检验，其布置在上盖1边缘，与两个线性齐平器3距离最远的位置， 线性齐平器3与上盖1圆心连线和双精度传感器2与上盖1圆心连线夹角为135°；

所述底座6上端面布置有两个V形槽，用于齐平器3的安装和调整，拉簧阵列5不得安装在V形槽所处位置；

所述齐平器3与底座6上端面的两个V形槽位置相对应，齐平器3的伸出杆端部安装一金属小球，金属小球与底座6上端面的V形槽接触，令齐平器3与底座6保持垂直状态，而后调节齐平器3，通过调节伸出杆的长度改变上盖1的pitch角度和roll角度，上盖1相对于水平基准的pitch角度和roll角度由双精度传感器2读取，根据双精度传感器2所示的偏移角度，通过齐平器3的不断调节，逐渐使得上盖1的pitch角度和roll角度变为0或接近于0，调平成功。

Claims (4)

1.一种双精度台面水平度调整装置，其特征在于所述装置包括上盖、底座、拉簧阵列、球轴承、齐平器和双精度传感器，其中：

所述上盖和底座之间通过球轴承、拉簧阵列安装在一起；

所述上盖边缘的布置有齐平器和双精度传感器，底座上端面布置有两个V形槽；

所述齐平器为两个，两个齐平器的伸出杆端部均安装一小球，小球与底座上端面的V形槽相接触，保持齐平器与底座垂直。

2.根据权利要求1所述的双精度台面水平度调整装置，其特征在于所述两个齐平器与上盖圆心连线成90°角。

3.根据权利要求1所述的双精度台面水平度调整装置，其特征在于所述线性齐平器与上盖圆心连线和双精度传感器与上盖圆心连线夹角为135°。

4.根据权利要求1所述的双精度台面水平度调整装置，其特征在于所述球轴承安装在底座的中心位置，拉簧阵列沿着底座上表面的边缘均匀布置。

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