CN115803617A - 物理量测量装置 - Google Patents

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三好麻子
松田正誉
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Abstract

提供即使被测量流体含有微细的水滴等液滴也能够进行成分测量的物理量测量装置。在物理量测量装置中，在副流路(7)的入口开口部(5)设有流入方向限制部(13)，该流入方向限制部(13)配置有相对于主流路(1)的流动方向具有预定的倾斜角θ的引导片(12)，该流入方向限制部(13)的倾斜角θ在与主流路(1)的流动方向的关系中为比90°大的值。通过这样构成物理量测量装置，即使在被测量流体含有微细的水滴等液滴的情况下，也能够大幅抑制水滴等液滴向副流路(7)进入，向副流路(7)供给稳定的流动的流体。因而，在副流路(7)中，能够大幅减小水滴等的影响而提高流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。

Description

物理量测量装置
技术领域
本公开涉及一种将流动的使用流体的一部分提样并测量流体所含有的成分的浓度等物理量的物理量测量装置。
背景技术
作为以往技术的测定流体的成分的测量装置，已知将在超声波流量计的流量测量部流动的流体提样的成分测量部一并设置于流量测量部的测量装置(例如，参照专利文献1)。
图8是表示以往技术的超声波流量计的成分测量部的测量流路的结构的局部剖视图。
在该流量计中，测量流路100的主流路101被分隔板102分割为多层而形成多层流路103。在该多层流路103部一并设置测量流体的成分的副流路104。为了使在主流路101流动的流体向该副流路104流入，在多层流路103部的入口侧配置向主流路101突出的突出部105而局部地缩小流路截面。副流路104形成为利用该构造的喷射器效果从多层流路103a的上游侧的流出口106引导流体而使流体从流入口(未图示)流入。
并且，在该副流路104中，利用红外线测定气体成分。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2018/185034号
发明内容
然而，在以往技术的结构中，在向测量流体的成分的副流路104引导主流路101的流体时，当在主流路101流动的流体含有微细的水滴等液滴的情况下，存在该液滴向副流路104进入而对成分测量造成不良影响这样的问题。此外，为了发挥喷射器效果，产生对在主流路101流动的流体造成影响的压力损耗。但是，若减小该压力损耗，则存在无法获得足以使流体向副流路104流入的吸引力这样的问题。
本公开能够提供以下测量装置：大幅抑制水滴等液滴向测量流体所含有的成分的浓度等特性的副流路进入，并且，在减小在主流路产生的流体的流动的紊乱的状态下，在副流路中，高精度地进行流体所含有的成分的浓度测量。
本公开的物理量测量装置包括：主流路，其供被测量流体流动；入口开口部和出口开口部，其设于主流路的流路壁；副流路，其将入口开口部和出口开口部连接；流入方向限制部，其设于入口开口部；腔室部，其设于副流路；一对超声波发送接收器，其配置于腔室部；温度传感器，其检测被测量流体的温度；以及信号处理部，其接收来自一对超声波发送接收器的信号和来自温度传感器的信号并计算被测量流体的成分浓度。流入方向限制部构成为配置有相对于主流路的流动方向具有预定的倾斜角的引导片。预定的倾斜角在与在主流路流动的流体的流动方向的关系中为比90°大的值。腔室部的截面积具有比入口开口部的有效截面积大的截面积。在这样构成的物理量测量装置中，即使在被测量流体含有微细的水滴等液滴的情况下，也能够大幅抑制水滴等液滴的进入而将实质上不含有液滴的流体向副流路供给。由此，能够大幅减小水滴等的影响而提高流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，在设于副流路的腔室部中，实现流体的流入流速的降低，因此能够减小在主流路产生的流体的流动的紊乱。由此，在副流路中，能够在流体的流动的紊乱较少的状态下实施针对被测量流体的测量。此外，该物理量测量装置成为在将在主流路流动的流体向副流路引导时不缩小主流路的截面积的结构，因此对在主流路流动的流体不产生特别的压力损耗。
此外，本公开的物理量测量装置包括：主流路，其供被测量流体流动；入口开口部和出口开口部，其设于主流路的流路壁；副流路，其将入口开口部和出口开口部连接；流入方向限制部，其设于入口开口部；以及成分浓度测量部，其配置于副流路。所述流入方向限制部构成为配置有相对于在主流路流动的流体的流动方向具有预定的倾斜角的引导片。预定的倾斜角在与在主流路流动的流体的流动方向的关系中为比90°大的值，并且，引导片间的间隔h与主流路的高度H的关系为H＞h。在这样构成的物理量测量装置中，即使在被测量流体含有微细的水滴等液滴的情况下，也能够大幅抑制水滴等液滴的进入而将实质上不含有液滴的流体向副流路供给。由此，能够大幅减小液滴等的影响而提高流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，通过利用百叶窗状的引导片分割流体的流动，能够减小在主流路产生的流体的流动的紊乱。由此，在副流路中，能够在流体的流动的紊乱较少的状态下实施针对被测量流体的测量。此外，该物理量测量装置成为在将在主流路流动的流体向副流路引导时不缩小主流路的截面积的结构，因此对在主流路流动的流体不产生特别的压力损耗。
本公开的物理量测量装置构成为，在入口开口部设有流入方向限制部，该流入方向限制部配置有相对于主流路的流动方向具有预定的倾斜角的引导片，该引导片的倾斜角在与在主流路流动的流体的流动方向的关系中成为比90°大的值。因而，在该物理量测量装置中，即使在被测量流体含有微细的水滴等液滴的情况下，也能够大幅抑制水滴等液滴的进入而将实质上不含有液滴的流体向副流路供给。由此，能够大幅减小液滴等的影响而提高流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，在设于副流路的腔室部中，实现流体的流入流速的降低，因此能够减小在主流路产生的流体的流动的紊乱。由此，在副流路中，能够在流体的流动的紊乱较少的状态下实施针对被测量流体的测量。此外，成为在将在主流路流动的流体向副流路引导时不缩小主流路的截面积的结构，因此对在主流路流动的流体不产生特别的压力损耗。
此外，通过利用百叶窗状的引导片分割流体的流动，能够减小在主流路产生的流体的流动的紊乱。由此，在副流路中，能够在流体的流动的紊乱较少的状态下实施针对被测量流体的测量。此外，成为在将在主流路流动的流体向副流路引导时不缩小主流路的截面积的结构，因此对在主流路流动的流体不产生特别的压力损耗。
附图说明
图1是表示实施方式1的物理量测量装置的结构的一例的剖视图。
图2是图1的A-A线剖视图。
图3是表示实施方式2的物理量测量装置的结构的一例的外观立体图。
图4是表示实施方式2的物理量测量装置的结构要素的一例的分解组装图。
图5是表示实施方式3的物理量测量装置的结构的一例的剖视图。
图6是图5的A-A线剖视图。
图7是表示图5的A-A线截面的其他形状的图。
图8是表示以往技术的超声波流量计的成分测量部的测量流路的结构的局部剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图，说明本发明的实施方式。
但是，有时省略过于详细的说明。例如，有时省略已经熟知的事项的详细说明或针对实质上相同的结构的重复说明。
另外，附图和以下的说明是为了使本领域技术人员充分地理解本公开而提供的，并非意图由此限定权利要求书所记载的主题。
(实施方式1)
使用图1～图2，说明实施方式1。
图1是表示实施方式1的物理量测量装置的结构的一例的剖视图。图2是图1的A-A线剖视图。
在图1、图2中，供被测量流体(以下，也简称为“流体”)流动的主流路1是其截面形状为直径D的圆形的流路。主流路1具备入口2和出口3。
在主流路1的流路壁4，在上游侧设有入口开口部5。在入口开口部5的下游侧设有出口开口部6。将入口开口部5和出口开口部6连接的副流路7与主流路1并列地配置。副流路7由距入口开口部5较近的一侧的腔室部7a和其下游侧的流路部7b形成。
向被测量流体发送超声波信号并接收该超声波信号的一对超声波发送接收器8、9配置于副流路7的腔室部7a。检测流体的温度的温度传感器10配置于主流路1。
一对超声波发送接收器8、9和温度传感器10与信号处理部11电连接(未图示)。信号处理部11接收来自一对超声波发送接收器8、9的信号和来自温度传感器10的信号并计算被测量流体的成分浓度。
在副流路7的入口开口部5设有流入方向限制部13，该流入方向限制部13构成为相对于在主流路1流动的流体的流动方向以预定的倾斜角θ配置有多个板状或百叶窗状的引导片12。引导片12构成为倾斜角θ在与在主流路1流动的流体的流动方向的关系中(即，从主流路1的下游侧朝向上游侧)如图1所示那样成为比90°大的值。
配置于副流路7的一对超声波发送接收器8、9在与副流路7中的流体的流动Ff大致正交的方向上相对配置，并且设于处于副流路7的上游附近的腔室部7a。
配置有超声波发送接收器8、9的副流路7的腔室部7a的截面积具有比在入口开口部5处流体流入的部分的实质上的截面积(有效截面积)大的截面积。
流入方向限制部13配置为不从流路壁4向主流路1突出。副流路7在弯曲部的内壁面B、C等设有角部R(带有圆角)，以使流体的流动变得顺畅。
接着，说明本实施方式的物理量测量装置的动作。
在主流路1流动的被测量流体从入口2如图1的空心箭头Y所示那样流入。在主流路1流动的流体的大部分成为流动Fm，最终从出口3如图1的黑色箭头Z所示那样流出。
在设有流入方向限制部13的入口开口部5，构成流入方向限制部13的多个板状或百叶窗状的引导片12设定为相对于主流路1中的流体的流动方向的角度θ成为比90°大的值。由此，即使主流路1的被测量流体含有水滴等微细的液滴，水滴也会与引导片12碰撞而滴下或附着，能够防止水滴向副流路7流入。
这样，从主流路1流入的流体的副流路7中的流动Ff利用设于弯曲部的角部R(带有圆角)等而成为顺畅的流动并从出口开口部6向主流路1流出。
因而，在副流路7中进行成分浓度的测量的被测量流体在水滴等液滴实质上被去除的状态下进入副流路7的腔室部7a。而且，腔室部7a具有比入口开口部5的有效截面积大的截面积，因此通过了引导片12的流体在腔室部7a中流速变小，能够减少在主流路1中产生的流动的紊乱。
这样，通过使被测量流体成为水滴等液滴实质上被去除且流动的紊乱减少的状态，能够减少在超声波发送接收器8、9间的超声波的发送接收时的信号的紊乱。由此，能够使用一对超声波发送接收器8、9稳定地测量被测量流体的声速。信号处理部11使用这样获得的声速和利用温度传感器10测量的流体的温度，通过公知的方法计算被测量流体所含有的成分浓度。
此外，通过使一对超声波发送接收器8、9在与在副流路7流动的被测量流体的流动正交的方向上相对配置，能够使副流路7紧凑化，能够实现物理量测量装置的小型化。
这样，在副流路7中，关于在副流路7流动的被测量流体，能够大幅抑制水滴等液滴的混入，此外，能够实现流动的紊乱较少的状态。因此，在具备副流路7的物理量测量装置中，能够提高被测量流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，在该物理量测量装置中，主流路1的截面不缩小，因此不对在主流路1流动的流体产生特别的压力损耗。
(实施方式2)
使用图3～图4，说明实施方式2。
图3是表示实施方式2的物理量测量装置的结构的一例的外观立体图。图4是表示图3所示的物理量测量装置的结构要素的一例的分解组装图。
另外，在本实施方式中，对具有与实施方式1相同的功能的结构要素标注相同的附图标记并省略说明。
主流路壳体块14具有：主流路1，其贯通内部而形成；入口连接部14a，其形成主流路1的入口2；出口连接部14b，其形成主流路1的出口3；副流路安装部14c，其用于安装副流路壳体块15；以及温度传感器安装部14d，其用于安装温度传感器10。
副流路壳体块15借助气密密封构件(未图示)组装有一对超声波发送接收器8、9，在内部形成有副流路7。并且，副流路壳体块15借助气密密封用的密封件16安装于主流路壳体块14的副流路安装部14c。副流路壳体块15通过在内部收纳副流路形成块17而形成副流路7的流路形状。此外，在副流路壳体块15设有组装有超声波发送接收器8、9的超声波发送接收器组装部15a和组装有信号处理部11的信号处理部组装部15b。在副流路形成块17一体地形成有流入方向限制部13。
信号处理部11设置于副流路壳体块15的信号处理部组装部15b，信号处理部11的上侧被保护块18覆盖而固定于副流路壳体块15。
温度传感器10借助O型圈等气密密封构件(未图示)组装于主流路壳体块14的温度传感器安装部14d。
这样，本实施方式的物理量测量装置设为以下结构：在具有主流路1的主流路壳体块14组装副流路壳体块15，该副流路壳体块15收纳一体地形成流入方向限制部13的副流路形成块17。通过将物理量测量装置设为这样的结构，能够将副流路的结构设为更小型的形状而具体化，能够减少将用于测量在主流路流动的流体的物理量的装置组装于主流路的工时而提高生产物理量测量装置时的生产率。而且，通过减少构成物理量测量装置的部件个数，能够实现生产物理量测量装置时的成本降低。
另外，在实施方式1、2中，说明了主流路1的截面形状为圆形的结构，但本公开的物理量测量装置完全不限定于该结构。主流路1的截面形状也可以是矩形等圆形以外的形状。此外，在实施方式1、2中，说明了温度传感器10配置于主流路1的结构，但温度传感器10也可以配置于副流路7。
此外，在实施方式1、2中，将物理量测量装置作为测量流体的成分的测量装置而进行了说明，但本公开的物理量测量装置完全不限定于该结构。本公开的物理量测量装置也可以构成为在主流路1的上游侧或下游侧串联地配置流量测量部的流量计或在具有副流路7的主流路1并列配置流量测量部的流量计。
(实施方式3)
使用图5～图6，说明实施方式3。另外，实施方式3所示的物理量测量装置具有与实施方式1、2所示的物理量测量装置实质上相同的功能，但存在几个不同点。以下，说明该差异。
图5是表示实施方式3的物理量测量装置的结构的一例的剖视图。图6是图5的A-A线剖视图。
在图5、图6中，供被测量流体(以下，也简称为“流体”)流动的主流路201是其截面形状为将长边设为宽度W且将短边设为高度H的矩形的流路。主流路201具备入口202和出口203。
在主流路201的流路壁204，在上游侧设有入口开口部205。在入口开口部205的下游侧设有出口开口部206。将入口开口部205和出口开口部206连接的副流路207与主流路201并列地配置。在副流路207配置有以沿着流体流动的方向(即，上游侧和下游侧)相对的方式配置的一对超声波发送接收器208、209和检测流体的温度的温度传感器210。
一对超声波发送接收器208、209和温度传感器210与信号处理部211电连接。信号处理部211接收来自一对超声波发送接收器208、209的信号和来自温度传感器210的信号并计算流体的成分浓度。
在本实施方式中，成分浓度测量部构成为包括一对超声波发送接收器208、209、温度传感器210、信号处理部211。
在副流路207的入口开口部205设有流入方向限制部213，该流入方向限制部213构成为相对于在主流路201流动的流体的流动方向以预定的倾斜角θ配置有多个板状或百叶窗状的引导片212。引导片212构成为倾斜角θ在与在主流路201流动的流体的流动方向的关系中(即，从主流路201的下游侧朝向上游侧)如图5所示那样成为比90°大的值。
引导片212构成为引导片212间的间隔h相对于主流路201的高度H成为H＞h。在此的引导片212间的间隔h和主流路的高度H是相当于雷诺数的代表长度的值。
流入方向限制部213配置为不从流路壁204向主流路201突出。副流路207在弯曲部的内壁面B、C等设有角部R(带有圆角)，以使流体的流动变得顺畅。
接着，说明本实施方式的物理量测量装置的动作。
在主流路201流动的被测量流体从入口202如图5的空心箭头Y所示那样流入。在主流路201流动的流体的大部分成为流动Fm，最终从出口203如图5的黑色箭头Z所示那样流出。
在设有流入方向限制部213的入口开口部205，构成流入方向限制部213的多个板状或百叶窗状的引导片212设定为相对于主流路201中的流体的流动方向的角度θ成为比90°大的值。由此，即使主流路201的被测量流体含有水滴等微细的液滴，液滴也会与引导片212碰撞而滴下或附着，能够防止液滴向副流路207流入。此外，关于灰尘等异物，也通过由与引导片212的碰撞引起的落下等而获得与针对液滴的效果同样的效果。
此外，引导片212构成为引导片212间的间隔h与主流路201的高度H的关系成为H＞h。通过该结构，关于在主流路201流动的流体产生的流动的紊乱，在流体通过百叶窗状的引导片212时，在主流路201流动的流体产生的较大规模的涡流、紊乱成为较小规模的涡流、紊乱。此外，副流路207中的流体的流动的紊乱变得比主流路201中的流体的流动的紊乱小。
这样，通过使被测量流体成为水滴等液滴实质上被去除且流动的紊乱减少的状态，能够减少在超声波发送接收器208、209间的超声波的发送接收时的信号的紊乱。由此，能够使用一对超声波发送接收器208、209稳定地测量被测量流体的声速。信号处理部211使用这样获得的声速和利用温度传感器210测量的流体的温度，通过公知的方法计算被测量流体所含有的成分浓度。
这样，在副流路207中，关于在副流路207流动的被测量流体，大幅抑制水滴等液滴、异物的混入，此外，能够实现流动的紊乱较少的状态。因此，在具备副流路207的物理量测量装置中，即使在使用受到被测量流体所含有的微细的水滴等液滴的影响或受到被测量流体的流动的紊乱的影响的测量方法的情况下，也能够减小上述的影响，提高被测量流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，在这样构成的物理量测量装置中，主流路201的截面不缩小，因此不对在主流路201流动的流体产生特别的压力损耗。
此外，通过使一对超声波发送接收器208、209沿着在副流路207流动的流体的流动的方向(即，上游侧和下游侧)相对配置，能够与必要的测量精度对应地延长作为超声波的传输距离的副流路207的直线部的长度。而且，能够还进行使用传输时间倒数差分法的流量测量。
另外，在实施方式3中，如图6所示，说明了副流路207的宽度(图5的进深方向)与主流路201的宽度W相等的结构，但本公开完全不限定于该结构。图7是表示图5的A-A线截面的其他形状的图。例如，也可以是，如图7所示，代替副流路207，设置具有比宽度W窄的宽度W1的副流路207’。
此外，在实施方式3中，说明了主流路201的截面形状为矩形的结构，但本公开的物理量测量装置完全不限定于该结构。主流路201的截面形状也可以是圆形等矩形以外的形状。在主流路201的截面形状为圆形的情况下，若将其直径设为D，则引导片212间的间隔h与直径D的关系成为D＞h。
此外，在实施方式3中，说明了温度传感器210配置于副流路207的结构，但温度传感器210也可以配置于主流路201。
此外，在实施方式3中，将物理量测量装置作为测量流体的成分的测量装置而进行了说明，但本公开的物理量测量装置完全不限定于该结构。本公开的物理量测量装置也可以构成为在主流路201的上游侧或下游侧串联地配置流量测量部的流量计或在具有副流路207的主流路201并列配置流量测量部的流量计。
此外，在实施方式3中，将成分浓度测量部构成为包括一对超声波发送接收器208、209、温度传感器210、信号处理部211而进行了说明，但本公开的物理量测量装置完全不限定于该结构。本公开的物理量测量装置也可以构成为代替超声波发送接收器、温度传感器而使用热流传感器。或者，也可以使用能够测量特定的气体的浓度的传感器例如氢气传感器等。
如以上说明的那样，第1公开的物理量测量装置包括：主流路，其供被测量流体流动；入口开口部和出口开口部，其设于主流路的流路壁；副流路，其将入口开口部和出口开口部连接；流入方向限制部，其设于入口开口部；腔室部，其设于副流路；一对超声波发送接收器，其配置于腔室部；温度传感器，其检测被测量流体的温度；以及信号处理部，其接收来自一对超声波发送接收器的信号和来自温度传感器的信号并计算被测量流体的成分浓度。流入方向限制部构成为配置有相对于主流路的流动方向具有预定的倾斜角的引导片。预定的倾斜角在与在主流路流动的流体的流动方向的关系中为比90°大的值。腔室部的截面积具有比入口开口部的有效截面积大的截面积。在这样构成的物理量测量装置中，即使在被测量流体含有微细的水滴等液滴的情况下，也能够大幅抑制水滴等液滴的混入而将液滴实质上被去除的流体向副流路供给。由此，即使在被测量流体含有微细的水滴等的情况下，也能够大幅减小这样的水滴等的影响，提高流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，在设于副流路的腔室部中，实现流体的流入流速的降低，因此能够减小在主流路产生的流体的流动的紊乱。由此，在副流路中，能够在流体的流动的紊乱较少的状态下实施针对被测量流体的测量。此外，该物理量测量装置成为在将在主流路流动的流体向副流路引导时不缩小主流路的截面积的结构，因此不对在主流路流动的流体产生特别的压力损耗。
在第2公开的物理量测量装置中，在第1公开的物理量测量装置中，主流路贯通主流路壳体块而形成。将入口开口部和出口开口部连接的副流路在副流路壳体块内收纳有副流路形成块而形成。在副流路形成块一体地形成有流入方向限制部。并且，在主流路壳体块组装有收纳副流路形成块的副流路壳体块。具有这样的结构的物理量测量装置能够将副流路的结构设为更小型的形状而具体化，能够减少将用于测量在主流路流动的流体的物理量的装置组装于主流路的工时而提高生产物理量测量装置时的生产率。而且，通过减少构成物理量测量装置的部件个数，能够降低生产物理量测量装置时的制造成本。
第3公开的物理量测量装置包括：主流路，其供被测量流体流动；入口开口部和出口开口部，其设于主流路的流路壁；副流路，其将入口开口部和出口开口部连接；流入方向限制部，其设于入口开口部；以及成分浓度测量部，其配置于副流路。流入方向限制部构成为配置有相对于在主流路流动的流体的流动方向具有预定的倾斜角的引导片。预定的倾斜角在与在主流路流动的流体的流动方向的关系中为比90°大的值，并且，引导片间的间隔h与主流路的高度H的关系为H＞h。在这样构成的物理量测量装置中，即使在被测量流体含有微细的水滴等液滴的情况下，也能够大幅抑制水滴等液滴的混入而将实质上不含有液滴的流体向副流路供给。由此，能够大幅减小液滴等的影响而提高流体所含有的成分的浓度测量等的测量精度。此外，通过利用百叶窗状的引导片分割流体的流动，能够减小在主流路产生的流体的流动的紊乱。由此，在副流路中，能够在流体的流动的紊乱较少的状态下实施针对被测量流体的测量。此外，该物理量测量装置成为在将在主流路流动的流体向副流路引导时不缩小主流路的截面积的结构，因此不对在主流路流动的流体产生特别的压力损耗。
在第4公开的物理量测量装置中，特别在第3公开的物理量测量装置中，成分浓度测量部包括：一对超声波发送接收器，其配置于副流路；温度传感器，其检测被测量流体的温度；以及信号处理部，其接收来自一对超声波发送接收器的信号和来自温度传感器的信号并计算被测量流体的成分浓度。
在第5公开的物理量测量装置中，特别在第3公开的物理量测量装置中，成分浓度测量部包括：热流传感器，其配置于副流路；以及信号处理部，其接收来自热流传感器的信号并计算被测量流体的成分浓度。
产业上的可利用性
如以上所述，根据本公开，能够抑制液滴的向副流路的进入并将紊乱较少的稳定的流动的流体向副流路供给，能够提供主流路中的压力损耗较少的物理量测量装置。由此，不仅能够实现测量流体的成分的测量装置，也能够一并设置流量测量部而实现测量精度较高且泛用性也较高的流量计。
附图标记说明
1、主流路；2、入口；3、出口；4、流路壁；5、入口开口部；6、出口开口部；7、副流路；7a、腔室部；7b、流路部；8、9、超声波发送接收器；10、温度传感器；11、信号处理部；12、引导片；13、流入方向限制部；14、主流路壳体块；14a、入口连接部；14b、出口连接部；14c、副流路安装部；14d、温度传感器安装部；15、副流路壳体块；15a、超声波发送接收器组装部；15b、信号处理部组装部；16、密封件；17、副流路形成块；18、保护块；100、测量流路；101、主流路；102、分隔板；103、多层流路；103a、多层流路；104、副流路；105、突出部；106、流出口；201、主流路；202、入口；203、出口；204、流路壁；205、入口开口部；206、出口开口部；207、副流路；208、209、超声波发送接收器(成分浓度测量部)；210、温度传感器(成分浓度测量部)；211、信号处理部(成分浓度测量部)；212、引导片；213、流入方向限制部。

Claims (5)

1.一种物理量测量装置，其中，
该物理量测量装置包括：
主流路，其供被测量流体流动；
入口开口部和出口开口部，其设于所述主流路的流路壁；
副流路，其将所述入口开口部和所述出口开口部连接；
流入方向限制部，其设于所述入口开口部；
腔室部，其设于所述副流路；
一对超声波发送接收器，其配置于所述腔室部；
温度传感器，其检测所述被测量流体的温度；以及
信号处理部，其接收来自所述一对超声波发送接收器的信号和来自所述温度传感器的信号并计算所述被测量流体的成分浓度，
所述流入方向限制部构成为配置有相对于所述主流路的流动方向具有预定的倾斜角的引导片，
所述预定的倾斜角在与在所述主流路流动的所述流体的流动方向的关系中为比90°大的值，
所述腔室部的截面积具有比所述入口开口部的有效截面积大的截面积。
2.根据权利要求1所述的物理量测量装置，其中，
所述主流路贯通主流路壳体块而形成，
将所述入口开口部和所述出口开口部连接的所述副流路在副流路壳体块内收纳有副流路形成块而形成，
在所述副流路形成块一体地形成有所述流入方向限制部，
在所述主流路壳体块组装有收纳所述副流路形成块的所述副流路壳体块。
3.一种物理量测量装置，其中，
该物理量测量装置包括：
主流路，其供被测量流体流动；
入口开口部和出口开口部，其设于所述主流路的流路壁；
副流路，其将所述入口开口部和所述出口开口部连接；
流入方向限制部，其设于所述入口开口部；以及
成分浓度测量部，其配置于所述副流路，
所述流入方向限制部构成为配置有相对于在所述主流路流动的所述流体的流动方向具有预定的倾斜角的引导片，
所述预定的倾斜角在与所述主流路的所述流动方向的关系中为比90°大的值，并且，所述引导片间的间隔h与所述主流路的高度H的关系为H＞h。
4.根据权利要求3所述的物理量测量装置，其中，
所述成分浓度测量部包括：
一对超声波发送接收器，其配置于所述副流路；
温度传感器，其检测所述被测量流体的温度；以及
信号处理部，其接收来自所述一对超声波发送接收器的信号和来自所述温度传感器的信号并计算所述被测量流体的成分浓度。
5.根据权利要求3所述的物理量测量装置，其中，
所述成分浓度测量部包含：
热流传感器，其配置于所述副流路；以及
信号处理部，其接收来自所述热流传感器的信号并计算所述被测量流体的成分浓度。
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