CN115791807A - 用于检测晶圆缺陷的装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于检测晶圆缺陷的装置，包括第一分光镜、第一调节模块、第一导向组件、第二分光镜、第二调节模块及第二导向组件。第一分光镜用于接收来自于晶圆的正面的第一成像光，并将第一成像光引导通过第一调节模块和第一导向组件以进入拍摄模块；第二分光镜用于接收来自于晶圆的反面的第二成像光，并将第二成像光引导通过第二调节模块和第二导向组件以进入拍摄模块；来自于晶圆的侧面的第三成像光进入拍摄模块。在第一和第二调整模块的调整下，晶圆的正面、反面和侧面到拍摄模块的成像距离相同或相近。装置的结构简单且生产成本低，不但能将晶圆的正面、反面和侧面显示在一张图像上，而且还能降低晶圆缘部缺陷的成像难度及识别难度。

Description

用于检测晶圆缺陷的装置

技术领域

本发明的实施方式涉及晶圆缺陷检测领域。更具体地，本发明涉及一种用于检测晶圆缺陷的装置。

背景技术

用于检测晶圆缺陷的装置可用于检测Mini LED晶圆或Micro LED晶圆等晶圆的表面缺陷。崩边是晶圆缘部常见缺陷之一，严重时会在晶圆的正面、背面和侧面（或称侧边）上显现，为了检测晶圆的缘部缺陷，现有的用于检测晶圆缺陷的装置需要包括三个带有独立光源的拍摄模块，其中三个拍摄模块依次对晶圆的正面、背面和侧面实施拍摄，并基于拍摄结果判断缘部缺陷的有无，以及缘部缺陷在晶圆的正面、背面和侧面上呈现的尺寸和形式等。该用于检测晶圆缺陷的装置虽然可以实现晶圆缘部缺陷的检测，但是存在结构复杂及制造成本过高等问题。

另外，中国发明专利文献CN114815280A揭露了一种多面聚焦成像的方法和系统，该系统通过一个相机、三个光源和多个薄膜偏振分光镜实现将待成像物体的三个表面显现在一张图像上。相比于上文记载的现有技术，该系统虽然具有更结构简单、成本更低的优势，但却无法将晶圆的正面、反面和侧面清晰显示在一张图像上，且增加了晶圆缘部缺陷的成像难度及识别难度。

本部分旨在为权利要求书中陈述的本发明的实施方式提供背景或上下文。此处的描述可包括可以探究的概念，但不一定是之前已经想到或者已经探究的概念。因此，除非在此指出，否则在本部分中描述的内容对于本申请的说明书和权利要求书而言不是现有技术，并且并不因为包括在本部分中就承认是现有技术。

发明内容

为了解决如上所提到的一个或多个技术问题，本发明提供了一种用于检测晶圆缺陷的装置，其结构简单且生产成本低，不但可以将晶圆的正面、反面和侧面同时显示在一张图像上并在这三个面的成像上展示晶圆缘部缺陷，而且还可以降低晶圆缘部缺陷的成像难度及识别难度。

本发明提供了一种用于检测晶圆缺陷的装置，包括第一分光镜、第一调节模块、第一导向组件、第二分光镜、第二调节模块及第二导向组件；所述第一分光镜用于接收第一成像光，并将所述第一成像光引导通过第一调节模块和第一导向组件以进入拍摄模块，其中所述第一成像光来自于所述晶圆的正面；所述第二分光镜用于接收第二成像光，并将所述第二成像光引导通过第二调节模块和第二导向组件以进入所述拍摄模块，其中所述第二成像光来自于所述晶圆的反面；来自于所述晶圆的侧面的第三成像光进入所述拍摄模块。所述第一调节模块被构造成能够调整所述晶圆的正面到所述拍摄模块的第一成像距离，所述第二调节模块被构造成能够调整所述晶圆的反面到所述拍摄模块的第二成像距离，以使得第一成像距离和第二成像距离趋近于所述晶圆的侧面到拍摄模块的第三成像距离。

如上述技术方案所述，本发明的用于检测晶圆缺陷的装置保证了拍摄模块能实现晶圆缘部缺陷的拍摄，并将晶圆的正面、反面和侧面同时显示在一张图像上并在这三个面的成像上展示晶圆缘部缺陷。相比于包含三个拍摄模块的现有技术，本发明的用于检测晶圆缺陷的装置可以省略两个拍摄模块及其配套附件，具有更简单的结构和更低的生产成本，并可以有效将晶圆的正面、反面和侧面清晰显示在一张图像上，有效降低晶圆缘部缺陷被人或机器识别的难度。

同时，由于晶圆缘部缺陷的尺寸一般为几微米，导致常规拍摄模块无法拍摄而必须使用超高像素（例如2000W以上）且对准许成像距离（又称工作距离）有严格要求的拍摄模块来拍摄，在中国发明专利文献CN114815280A揭露的多面聚焦成像系统中，待成像物体的多个被拍摄表面到相机的成像距离存在较大的差距，导致拍摄模块根本无法将多个被拍摄表面清楚显示在一张图像上。但本发明的用于检测晶圆缺陷的装置特地增加了两个调节模块来调整晶圆的正面、反面到拍摄模块的成像距离，使这两个成像距离与晶圆的侧面到拍摄模块的成像距离相同或接近，从而保证拍摄模块可以将晶圆的正面、反面和侧面清楚显示在一张图像上并在这三个面的成像上展示晶圆缘部缺陷。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本发明示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本发明的若干实施方式，并且相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：

图1为本发明实施例的用于检测晶圆缺陷的装置的结构示意简图；

图2为本发明实施例的用于检测晶圆缺陷的装置的立体示意图；

图3示意性显示了图1所示装置的支架；

图4是图3中D处的结构放大图；

图5为图1所示装置的拍摄模块的两种拍摄结果。

附图标记说明：1a、第一照明光；1b、第一成像光；2a、第二照明光；2b、第二成像光；3b、第三成像光；11、第一光源；12、第一分光镜；13、第一调节模块；15、第一导向组件；151、第一反射元件；152、第一再反射元件；1112、第一壳组；21、第二光源；22、第二分光镜；23、第二调节模块；25、第二导向组件；251、第二反射元件；252、第二再反射元件；2122、第二壳组；3、支架；31、第一横梁；32、第二横梁；33、第三横梁；34、竖梁；311、第二压紧机构；321、第四压紧机构；331、第五压紧机构；332、第六压紧机构；333、第七压紧机构；31a、第一定位槽；31b、第二定位槽；31c、第三定位槽；32a、第四定位槽；32b、第五定位槽；32c、第六定位槽；33a、第七定位槽；33b、第八定位槽；33c、第九定位槽；341、第一檐边；342、第二檐边；51、第一槽孔；51a、第一避让区；51b、第一容留区；51c、第一过渡区；52、第一竖向螺栓；53、第二槽孔；6、拍摄模块；61、相机；62、转向头；200、晶圆；缘部缺陷200a。

具体实施方式

下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

本发明实施例提供了一种用于检测晶圆缺陷的装置，该装置既可以包括光源和拍摄装置，亦可以不包含光源和拍摄装置。当该装置包含光源和拍摄装置时，该装置直接用于检测晶圆200的缺陷，尤其是Mini LED晶圆或Micro LED晶圆的缘部缺陷200a；而当该装置不包含光源和拍摄装置时，该装置则可以同光源一起协助拍摄装置检测晶圆200的缺陷。需要说明的是，该装置主要用于检测或协助检测Mini LED晶圆或Micro LED晶圆等图案晶圆的缺陷，但并不仅限于图案晶圆的缺陷检测，也可以用于检测或协助检测无图晶圆的缘部缺陷及其他部分缺陷。

图1为本发明实施例的用于检测晶圆缺陷的装置的结构示意简图；图2为本发明实施例的用于检测晶圆缺陷的装置的立体示意图。如图1和图2所示，该用于检测晶圆缺陷的装置包括支架3和用于承载晶圆200的承载机构（未示出），以及全部设在支架3上的第一光源11、第一分光镜12、第一调节模块13、第一导向组件15、第二光源21、第二分光镜22、第二调节模块23、第二导向组件25和拍摄模块6。其中，第一导向组件15可包括第一反射元件151和第一再反射元件152，而第二导向组件25包括第二反射元件251和第二再反射元件252。拍摄模块6可固定设在支架3上并使得拍摄模块6的拍摄端与晶圆200的侧面相对。

图3示意性显示了图1所示装置的支架。如图2和图3所示，该支架3包括沿着预定的上下方向布置的竖梁34、设在竖梁34的上端部上且沿着预定的左右方向布置的第一横梁31、设在竖梁34的下端部上且沿着左右方向布置的第二横梁32、设在竖梁34的中间部上且沿着左右方向布置的第三横梁33、设在第一横梁31的右端且用于安装第一光源11和第一分光镜12的第一壳组1112，以及设在第二横梁32的右端且用于安装第二光源21和第二分光镜22的第二壳组2122。其中，第一光源11比第一分光镜12更远离晶圆200，第二光源21比第二分光镜22更远离晶圆200。第一反射元件151设在第一横梁31的左端，第一调节模块13设在第一横梁31的中间部，第二反射元件251设在第二横梁32的左端，第二调节模块23设在第二横梁32的中间部，第一再反射元件152和第二再反射元件252均设在第三横梁33的左端并沿着上下方向间隔布置。

返回图1和图2，第一光源11的第一照明光1a能透过第一分光镜12照射晶圆200的正面并在该正面上反射而变成第一成像光1b，第一成像光1b能在经过第一分光镜12时发生反射，然后在依次经过第一调节模块13和第一导向组件15后进入拍摄模块6。第二光源21的第二照明光2a能透过第二分光镜22照射晶圆200的反面并在该反面上反射而变成第二成像光2b，第二成像光2b能在经过第二分光镜22时发生反射，然后在依次经过第二调节模块23和第二导向组件25后进入拍摄模块6。同时，第一照明光1a和第二照明光2a还能协同照射晶圆200的侧面并被该侧面反射而变成第三成像光3b，第三成像光3b能进入拍摄模块6。其中，第一反射元件151用于将来自第一调节模块13的第一成像光1b反射给第一再反射元件152，而第一再反射元件152用于将来自第一反射元件151的第一成像光1b反射给拍摄模块6。类似地，第二反射元件251用于将来自第二调节模块23的第二成像光2b反射给第二再反射元件252，第二再反射元件252用于将来自第二反射元件251的第二成像光2b反射给拍摄模块6。第一反射元件151、第一再反射元件152、第二反射元件251、第二再反射元件252皆优选为平面反光镜或反射棱镜。第一导向组件15和第二导向组件25除可选为反射元件与再反射元件之外，也可以选为弯曲的导光条。

在本实施例中，第一调节模块13和第二调节模块23可选为代号为H-ZLaF78.CDGM的光学玻璃或具有调整成像距离的其他光学元件。在代号H-ZLaF78.CDGM中，CDGM代表生产商为成都光明光电股份有限公司，H-ZLaF78代表生产商产品型号，并理解为包含该生产商同型号的迭代产品，例如包含代号为H-ZLaF78A.CDGM和H-ZLaF78B.CDGM的光学玻璃。第一调节模块13能调整晶圆200a的正面到拍摄模块6的第一成像距离，而第二调节模块23能调整晶圆200的反面到拍摄模块6的第二成像距离，以使得第一成像距离和第二成像距离趋近于晶圆200的侧面到拍摄模块6的第三成像距离，即第一成像距离、第二成像距离与第三成像距离相同或相近。在第一调节模块13和第二调节模块23的调整下，晶圆200的正面、反面和侧面与拍摄模块6之间的成像距离相同或相近，使得超高像素（例如2000W以上）且对准许成像距离（又称工作距离）有严格要求的拍摄模块6有效接收第一成像光1b、第二成像光2b和第三成像光3b生成图像，并基于第一成像光1b、第二成像光2b和第三成像光3b生成图像，以使得该图像包括关于晶圆200的正面、反面和侧面的成像，如晶圆200存在缘部缺陷200a，则可以在这三个面的成像上展示晶圆200的缘部缺陷200a，详见图5。

根据本发明的实施例，该用于检测晶圆缺陷的装置主要通过拍摄模块6、第一光源11和第二光源21等组成来实现晶圆200的缘部缺陷200a的拍摄，并将晶圆200的正面、反面和侧面同时显示在一张图像上并在这三个面的成像上展示晶圆200的缘部缺陷200a。相比于包含三个拍摄模块的现有技术，本发明的用于检测晶圆缺陷的装置可以省略两个昂贵的拍摄模块6及其配套附件，所以其结构简单且生产成本更低，可以将晶圆200的正面、反面和侧面清晰显示在一张图像上并在这三个面的成像上展示晶圆200的缘部缺陷200a，以有效降低晶圆的缘部缺陷200a被人或机器识别的难度。

同时，由于晶圆200的缘部缺陷200a的尺寸一般为几微米，导致常规拍摄模块无法拍摄而必须使用超高像素（例如2000W以上）且对准许成像距离有严格要求的拍摄模块6来拍摄，在中国发明专利文献CN114815280A揭露的多面聚焦成像系统中，待成像物体的多个被拍摄表面到相机的成像距离存在较大的差距，导致拍摄模块根本无法将多个被拍摄表面清楚显示在一张图像上，更无法在这三个面的成像上清晰展示晶圆200的缘部缺陷200a。但本发明的用于检测晶圆缺陷的装置特地增加了两个调节模块来调整晶圆200的正面、反面到拍摄模块6的成像距离，使这两个成像距离与晶圆200的侧面到拍摄模块6的成像距离相同或接近，从而保证拍摄模块6可以将晶圆200的正面、反面和侧面清楚显示在一张图像上并在这三个面的成像上展示晶圆200的缘部缺陷200a。此外，晶圆200的侧面近似于弧面，使得该用于检测晶圆缺陷的装置可以借助弧面具有漫反射的特点省略掉了一个单独照射晶圆200的侧面的光源及其配套附件，使得本发明的用于检测晶圆缺陷的装置仅使用两个光源就可以实现对晶圆200的三个面的拍摄，同时避免了各面反射光在被拍摄模块6接收时发生重叠，由此可以有效降低晶圆200的缘部缺陷200a的成像难度及识别难度。

在本实施例中，晶圆200的正面、反面和侧面到拍摄模块6的光程可选满足如下关系：

WD₃=WD₁-(L₁*n₁-L₁) 式①

WD₃=WD₂-(L₂*n₂-L₂) 式②

式中：WD₁为第一成像光1b行走的光程；WD₂为第二成像光2b行走的光程；WD₃为第三成像光3b行走的光程；L₁为第一成像光1b在第一调节模块13中通过的路程；L₂为第二成像光2b在第二调节模块23中通过的路程；n₁为第一调节模块13的折射率；n₂为第二调节模块23的折射率。

通过实验验证，当WD₁=443.8mm，WD₂=443.8mm，WD₃=370mm，L₁=L₂=82mm，n₁=n₂=1.9时，式①和式②皆可表达为：443.8mm-(82*1.9-82)=370mm。此时，晶圆200的正面到拍摄模块6的第一成像距离、晶圆200的反面到拍摄模块6的第二成像距离和晶圆200的侧面到拍摄模块6的第三成像距离三者相等，使得晶圆200的正面、反面和侧面的成像能以相同比例显现在同一张图像中，若晶圆存在缘部缺陷200a，该缘部缺陷200a在前述三面成像中的显示比例一致，详见图5，由此可以进一步地降低缘部缺陷200a的识别难度。

在本实施例中，将经过的晶圆200几何中心且与上下方向垂直的表面定义为选定表面，第一光源11和第二光源21设置成关于选定表面镜像对称，第一分光镜12和第二分光镜22关于选定表面镜像对称，第一调节模块13和第二调节模块23关于选定表面镜像对称，第一反射元件151和第二反射元件251关于选定表面镜像对称，第一反射元件151和第二再反射元件252关于选定表面镜像对称。通过这种方式，保证晶圆200的正面和反面在图像中的成像位于晶圆200的侧面在图像中的成像的两侧，并更进一步地降低晶圆200的缘部缺陷200a的识别难度，详见图5。

支架3可选为可调的结构或非可调的结构，但建议将支架3选为如图2和图3所示的可调的结构，即第三横梁33固定设在竖梁34上，而第一横梁31和第二横梁32可滑动地设在竖梁34上，并在第一横梁31和第二横梁32上均设有用于将各自可解除地锁定在竖梁34上的锁定部件。由此，用户可以根据需要调整第一横梁31和第二横梁32在竖梁34上的位置，从而达到调整第一横梁31和第二横梁32相对于第三横梁33的距离，以保证晶圆200的正面、反面和侧面到拍摄模块6的光程满足上文所述的关系。示意性地，第一横梁31和第二横梁32上均设有用于与竖梁34的左侧壁抵接的左夹块以及与竖梁34的右侧壁抵接的右夹块，锁定部件包括沿着左右方向贯穿左夹块并与左夹块的螺纹配合的第一横向螺栓，和/或沿着左右方向贯穿右夹块并与右夹块螺纹配合的第二横向螺栓。

在一个可选的实施例中，如图3和图4所示，竖梁34包括设置在其上端部上的第一檐边341，在第一檐边341上开设有第一槽孔51及部分位于第一槽孔51内且与第一横梁31进行螺纹配合的第一竖向螺栓52，其中第一槽孔51包括用于容纳第一竖向螺栓52的头部且具有装入口的第一容留区51b、与第一容留区51b相连且以使第一竖向螺栓52的杆部穿出第一檐边341的第一过渡区51c及允许工具插入并操作第一竖向螺栓52的头部的第一避让区51a。在需要调整第一横梁31相对于第三横梁33的距离时，解除锁定部件对第一横梁31的锁定作用，使用改锥（又称螺丝刀）旋转第一竖向螺栓52，迫使第一横梁31在竖梁34上滑动，直至第一横梁31相对于第三横梁33的距离为所需距离时停止，然后使用锁定部件将第一横梁31锁定在当前位置。

在一个可选的实施例中，如图3所示，竖梁34还包括设置在其下端部上的第二檐边342，在第二檐边342上开设有第二槽孔53及部分位于第二槽孔53内且与第二横梁32进行螺纹配合的第二竖向螺栓。其中第二槽孔53包括用于容纳第二竖向螺栓的头部且具有装入口的第二容留区、与第二容留区相连且以使第二竖向螺栓的杆部穿出第二檐边342的第二过渡区及允许工具插入并操作第二竖向螺栓的头部的第二避让区，第二槽孔53与第一槽孔51的结构相同，并请参阅图4所示。在需要调整第二横梁32相对于第三横梁33的距离时，解除锁定部件对第二横梁32的锁定作用，使用改锥旋转第二竖向螺栓，迫使第二横梁32在竖梁34上滑动，直至第二横梁32相对于第三横梁33的距离为所需距离时停止，然后使用锁定部件将第二横梁32锁定在当前位置。

在本实施例中，用于检测晶圆缺陷的装置还可包括设在晶圆200的侧面与拍摄模块6之间的第三调节模块，其用于调整晶圆200的侧面与拍摄模块6之间的第三成像距离。第三调节模块可选为H-ZLaF78.CDGM的光学玻璃或具有调整成像距离的其他光学元件。如果晶圆200的侧面与拍摄模块6之间的第三成像距离超出了拍摄模块6的合理成像距离范围，则可以增设的第三调节模块调整晶圆200的侧面与拍摄模块6之间的第三成像距离，以使该第三成像距离处于合理成像距离范围，以保证拍摄模块6清楚拍摄晶圆的侧面。

在本实施例中，如图3所示，该支架3还包括第一定位槽31a、第二定位槽31b、第三定位槽31c、第四定位槽32a、第五定位槽32b、第六定位槽32c、第七定位槽33a、第八定位槽33b和第九定位槽33c。其中，第一定位槽31a设在第一横梁31上且能够匹配容纳第一分光镜12的侧部，即第一分光镜12从第一壳组1112内伸出的部分，该第一定位槽31a用于防止第一分光镜12被装偏。第二定位槽31b设在第一横梁31上且能够匹配容纳第一调节模块13的侧部，用于防止第一调节模块13被装偏。第三定位槽31c设在第一横梁31上且能够匹配容纳第一反射元件151的侧部，用于防止第一反射元件151被装偏。第四定位槽32a设在第二横梁32上且能够匹配容纳第二分光镜22的侧部，即第二分光镜22从第二壳组2122内伸出的部分，该第四定位槽32a用于防止第二分光镜22被装偏。第五定位槽32b设在第二横梁32上且能够匹配容纳第二调节模块23的侧部，用于防止第二调节模块23被装偏。第六定位槽32c设在第二横梁32上且能够匹配容纳第二反射元件251的侧部，用于防止第二反射元件251被装偏。第七定位槽33a设在第三横梁33上且能够匹配容纳第一再反射元件152的侧部，用于防止第一再反射元件152被装偏。第八定位槽33b设在第三横梁33上且能够匹配容纳第二再反射元件252的侧部，用于防止第二再反射元件252被装偏。第九定位槽33c设在第三横梁33上且能够匹配容纳第三调节模块的侧部，用于防止第三调节模块被装偏。

在本实施例中，如图2和图3所示，支架3还包括第一压紧机构（未示出）、第二压紧机构311、第三压紧机构（未示出）、第四压紧机构321、第五压紧机构331、第六压紧机构332和第七压紧机构333。其中，第一压紧机构包括固定设在第一横梁31上且具有第一螺纹孔的第一支柱及盖合第一支柱和第一调节模块13的第一压板，以及贯穿第一压板并拧入第一螺纹孔的第一压紧螺栓。第二压紧机构311包括固定设在第一横梁31上且具有第二螺纹孔的第二支柱及盖合第二支柱和第一反射元件151的第二压板，以及贯穿第二压板并拧入第二螺纹孔的第二压紧螺栓。第三压紧机构包括固定设在第二横梁32上且具有第三螺纹孔的第三支柱及盖合第三支柱和第二调节模块23的第三压板，以及贯穿第三压板并拧入第三螺纹孔的第三压紧螺栓。第四压紧机构321包括固定设在第二横梁32上且具有第四螺纹孔的第四支柱及盖合第四支柱和第二反射元件251的第四压板，以及贯穿第四压板并拧入第四螺纹孔的第四压紧螺栓。第五压紧机构331包括固定设在第三横梁33上且具有第五螺纹孔的第五支柱及盖合第五支柱和第一再反射元件152的第五压板，以及贯穿第五压板并拧入第五螺纹孔的第五压紧螺栓。第六压紧机构332包括固定设在第三横梁33上且具有第六螺纹孔的第六支柱及盖合第六支柱和第二再反射元件252的第六压板，以及贯穿第六压板并拧入第六螺纹孔的第六压紧螺栓。第七压紧机构333包括固定设在第三横梁33上且具有第七螺纹孔的第七支柱及盖合第七支柱和第三调节模块的第七压板，以及贯穿第七压板并拧入第七螺纹孔的第七压紧螺栓。

在本实施例中，承载机构包括机械臂、固定式工作台或旋转式工作台。当承载机构包含机械臂或旋转式工作台时，承载机构则能驱动晶圆200在第一光源11和第二光源21之间以自身中轴线为轴做转动。通过这种方式，拍摄模块6便可对晶圆200的不同缘部进行拍摄。此外，用于检测晶圆缺陷的装置还可包括与拍摄模块6和承载机构相连的控制模块，承载机构被构造成能在控制模块的控制下驱动晶圆200在第一光源11和第二光源21之间以自身中轴线为轴做转动，以使得拍摄模块6能在控制模块的控制下拍摄晶圆200的不同周向位置的缘部。其中，该控制模块可包括可编程逻辑控制部件（如PLC或CPU）、存储器和与可编程逻辑控制部件相连的电子元件等，属于本领域技术人员熟知的，在此不再详述。

在本实施例中，拍摄模块6可包括相机61及固定设在相机61上的转向头62，转向头62包括用于将第一成像光1b、第二成像光2b和第三成像光3b反射到相机61的平面反射镜。晶圆200尺寸非常小，导致可拍摄其缺陷的相机61尺寸非常长，通过增设的平面反射镜可以有效避免装置出现单向尺寸过长或占地面积过大的问题。值得说明的是，当应用场所具有富余的空间时，该拍摄模块6可仅包括相机61而不包括转向头62。需要说明的是，如果拍摄模块6包括转向头62时，拍摄模块6的拍摄端应选为转向头62的入光端，而当拍摄模块6不包括转向头62时，拍摄模块6的拍摄端应选为相机61的镜头端。

在本申请的上述描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“固定”、“安装”、“相连”或“连接”等术语应该做广义的理解。例如，就术语“连接”来说，其可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或者可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。因此，除非本申请另有明确的限定，本领域技术人员可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

根据本申请的上述描述，本领域技术人员还可以理解如下使用的术语，例如“上”、“下”、“左”、“右”、等指示方位或位置关系的术语是基于本申请的附图所示的方位或位置关系的，其仅是为了便于阐述本发明的方案和简化描述的目的，而不是明示或暗示所涉及的装置或元件必须要具有所述特定的方位、以特定的方位来构造和进行操作，因此上述的方位或位置关系术语不能被理解或解释为对本发明方案的限制。

此外，在本申请的上述描述中，晶圆的正面和反面用于指代相对的表面（非近似于圆形的侧面），可以从晶圆的两个相对表面中任选一个作为正面，而剩余的一个表面为反面。同理，本申请中所使用的术语“第一”或“第二”等用于指代编号或序数的术语仅用于描述目的，而不能理解为明示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”或“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个或更多个等，除非另有明确具体的限定。

虽然本文已经示出和描述了本发明的多个实施例，但对于本领域技术人员显而易见的是，这样的实施例只是以示例的方式来提供。本领域技术人员可以在不偏离本发明思想和精神的情况下想到许多更改、改变和替代的方式。应当理解的是在实践本发明的过程中，可以采用对本文所描述的本发明实施例的各种替代方案。所附权利要求书旨在限定本发明的保护范围，并因此覆盖这些权利要求范围内的等同或替代方案。

Claims (17)

1.一种用于检测晶圆缺陷的装置，其特征在于，包括第一分光镜、第一调节模块、第一导向组件、第二分光镜、第二调节模块及第二导向组件；

所述第一分光镜用于接收第一成像光，并将所述第一成像光引导通过所述第一调节模块和第一导向组件以进入拍摄模块，其中所述第一成像光来自于所述晶圆的正面；

所述第二分光镜用于接收第二成像光，并将所述第二成像光引导通过所述第二调节模块和第二导向组件以进入所述拍摄模块，其中所述第二成像光来自于所述晶圆的反面；

来自于所述晶圆的侧面的第三成像光进入所述拍摄模块；

所述第一调节模块被构造成能够调整所述晶圆的正面到所述拍摄模块的第一成像距离，所述第二调节模块被构造成能够调整所述晶圆的反面到所述拍摄模块的第二成像距离，以使得第一成像距离和第二成像距离趋近于所述晶圆的侧面到拍摄模块的第三成像距离。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述晶圆的正面、反面和侧面到所述拍摄模块的光程满足如下关系，以使得第一成像距离和第二成像距离趋近于所述第三成像距离：

WD₃=WD₁-(L₁*n₁-L₁)；

WD₃=WD₂-(L₂*n₂-L₂)；

式中：

WD₁为所述第一成像光行走的光程；

WD₂为所述第二成像光行走的光程；

WD₃为所述第三成像光行走的光程；

L₁为所述第一成像光在所述第一调节模块中通过的路程；

L₂为所述第二成像光在所述第二调节模块中通过的路程；

n₁为所述第一调节模块的折射率；

n₂为所述第二调节模块的折射率。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一调节模块和第二调节模块皆是代号为H-ZLaF78.CDGM的光学玻璃。

4.根据权利要求1到3中任一项所述的装置，其特征在于，还包括透过所述第一分光镜照射所述晶圆的正面和侧面的第一光源，以及透过所述第二分光镜照射所述晶圆的反面和侧面的第二光源。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，

所述第一导向组件包括第一反射元件和第一再反射元件，所述第一反射元件用于将来自所述第一调节模块的第一成像光反射给所述第一再反射元件，所述第一再反射元件用于将来自所述第一反射元件的第一成像光反射给所述拍摄模块；

所述第二导向组件包括第二反射元件和第二再反射元件，所述第二反射元件用于将来自所述第二调节模块的第二成像光反射给所述第二再反射元件，所述第二再反射元件用于将来自所述第二反射元件的第二成像光反射给所述拍摄模块。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一反射元件、第一再反射元件、第二反射元件、第二再反射元件皆为平面反光镜或反射棱镜。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，还包括支架和承载机构，

所述支架包括：

沿着上下方向布置的竖梁；

设在所述竖梁的上端部上且沿着左右方向布置的第一横梁；

设在所述竖梁的下端部上且沿着左右方向布置的第二横梁；

设在所述竖梁的中间部上且沿着左右方向布置的第三横梁；

设在所述第一横梁的右端且用于安装所述第一光源和第一分光镜的第一壳组；

设在所述二横梁的右端且用于安装所述第二光源和第二分光镜的第二壳组；

其中，所述第一光源比所述第一分光镜更远离晶圆，所述第二光源比所述第二分光镜更远离晶圆，所述第一反射元件设在所述第一横梁的左端，所述第一调节模块设在所述第一横梁的中间部，所述第二反射元件设在所述第二横梁的左端，所述第二调节模块设在所述第二横梁的中间部，所述第一再反射元件和第二再反射元件均设在所述第三横梁的左端并沿着上下方向间隔布置；

所述承载机构被构造成用于承载所述晶圆并使得所述晶圆的侧面与所述拍摄模块的拍摄端相对。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第三横梁固定设在所述竖梁上，而所述第一横梁和第二横梁可滑动地设在所述竖梁上，并在所述第一横梁和第二横梁上均设有用于将各自可解除地锁定在所述竖梁上的锁定部件。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述第一横梁和第二横梁上均设有用于与所述竖梁的左侧壁抵接的左夹块以及与所述竖梁的右侧壁抵接的右夹块，所述锁定部件包括沿着左右方向贯穿所述左夹块并与之螺纹配合的第一横向螺栓，和/或沿着左右方向贯穿右夹块并与之螺纹配合的第二横向螺栓。

10.根据权利要求7所述的装置，其特征在于：

所述竖梁包括设置在其上端部上的第一檐边，在所述第一檐边上开设有第一槽孔及部分位于所述第一槽孔内且与所述第一横梁进行螺纹配合的第一竖向螺栓，其中所述第一槽孔包括用于容纳所述第一竖向螺栓的头部且具有装入口的第一容留区、与所述第一容留区相连且以使所述第一竖向螺栓的杆部穿出所述第一檐边的第一过渡区及允许工具插入并操作所述第一竖向螺栓的头部的第一避让区；

所述竖梁还包括设置在其下端部上的第二檐边，在所述第二檐边上开设有第二槽孔及部分位于所述第二槽孔内且与所述第二横梁进行螺纹配合的第二竖向螺栓，其中所述第二槽孔包括用于容纳所述第二竖向螺栓的头部且具有装入口的第二容留区、与所述第二容留区相连且以使所述第二竖向螺栓的杆部穿出所述第二檐边的第二过渡区及允许工具插入并操作所述第二竖向螺栓的头部的第二避让区。

11.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括设在晶圆的侧面与所述拍摄模块之间的第三调节模块，所述第三调节模块用于调整晶圆的侧面到所述拍摄模块的成像距离。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述支架还包括第一定位槽、第二定位槽、第三定位槽、第四定位槽、第五定位槽、第六定位槽、第七定位槽、第八定位槽和第九定位槽中的至少一个，其中：

所述第一定位槽设在所述第一横梁上且能够匹配容纳所述第一分光镜的侧部，

所述第二定位槽设在所述第一横梁上且能够匹配容纳所述第一调节模块的侧部，

所述第三定位槽设在所述第一横梁上且能够匹配容纳所述第一反射元件的侧部，

所述第四定位槽设在所述第二横梁上且能够匹配容纳所述第二分光镜的侧部，

所述第五定位槽设在所述第二横梁上且能够匹配容纳所述第二调节模块的侧部，

所述第六定位槽设在所述第二横梁上且能够匹配容纳所述第二反射元件的侧部，

所述第七定位槽设在所述第三横梁上且能够匹配容纳所述第一再反射元件的侧部，

所述第八定位槽设在所述第三横梁上且能够匹配容纳所述第二再反射元件的侧部，

所述第九定位槽设在所述第三横梁上且能够匹配容纳所述第三调节模块的侧部。

13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述支架还包括第一压紧机构、第二压紧机构、第三压紧机构、第四压紧机构、第五压紧机构、第六压紧机构和第七压紧机构中的至少一个，其中：

所述第一压紧机构包括固定设在所述第一横梁上且具有第一螺纹孔的第一支柱及盖合所述第一支柱和所述第一调节模块的第一压板，以及贯穿所述第一压板并拧入所述第一螺纹孔的第一压紧螺栓；

所述第二压紧机构包括固定设在所述第一横梁上且具有第二螺纹孔的第二支柱及盖合所述第二支柱和所述第一反射元件的第二压板，以及贯穿所述第二压板并拧入所述第二螺纹孔的第二压紧螺栓；

所述第三压紧机构包括固定设在所述第二横梁上且具有第三螺纹孔的第三支柱及盖合所述第三支柱和所述第二调节模块的第三压板，以及贯穿所述第三压板并拧入所述第三螺纹孔的第三压紧螺栓；

所述第四压紧机构包括固定设在所述第二横梁上且具有第四螺纹孔的第四支柱及盖合所述第四支柱和所述第二反射元件的第四压板，以及贯穿所述第四压板并拧入所述第四螺纹孔的第四压紧螺栓；

所述第五压紧机构包括固定设在所述第三横梁上且具有第五螺纹孔的第五支柱及盖合所述第五支柱和所述第一再反射元件的第五压板，以及贯穿所述第五压板并拧入所述第五螺纹孔的第五压紧螺栓；

所述第六压紧机构包括固定设在所述第三横梁上且具有第六螺纹孔的第六支柱及盖合所述第六支柱和所述第二再反射元件的第六压板，以及贯穿所述第六压板并拧入所述第六螺纹孔的第六压紧螺栓；

所述第七压紧机构包括固定设在所述第三横梁上且具有第七螺纹孔的第七支柱及盖合所述第七支柱和所述第三调节模块的第七压板，以及贯穿所述第七压板并拧入所述第七螺纹孔的第七压紧螺栓。

14.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，还包括所述拍摄模块及与所述拍摄模块和承载机构相连的控制模块，所述承载机构被构造成能在所述控制模块的控制下驱动晶圆在所述第一光源和第二光源之间以自身中轴线为轴做转动，以使得所述拍摄模块能在所述控制模块的控制下拍摄所述晶圆的不同周向位置的缘部。

15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述承载机构包括机械臂。

16.根据权利要求1到3中任一项所述的装置，其特征在于，所述拍摄模块包括相机及固定设在所述相机上的转向头，所述转向头包括用于将所述第一成像光、第二成像光和第三成像光反射到所述相机内的平面反射镜。

17.根据权利要求1到3中任一项所述的装置，其特征在于，所述晶圆为Mini LED晶圆或Micro LED晶圆。

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